JP4993187B2 - コンタクトプローブ - Google Patents

Description

本発明は、第１電極および第２電極の一対の電極を備えたコンタクトプローブに関するものである。

この種のコンタクトプローブとして、特開平５−２３２１３７号公報にバネ式コンタクトプローブ（以下、「コンタクトプローブ」ともいう）が開示されている。このコンタクトプローブは、測定対象導体（プロービング対象体）に対して別個独立して接触可能な一対の導体（電極）を備えて構成されている。具体的には、このコンタクトプローブは、その先端部が円錐状となるように加工された中心導体と、中心導体の挿通が可能に構成された中空の（筒状の）外部導体とを備え、外部導体内に配設された誘電体（誘電体で形成された筒：以下、「筒状誘電体」ともいう）を介して中心導体が外部導体に対してスライド可能に保持されている。また、このコンタクトプローブは、プロービング装置の移動機構にコンタクトプローブを保持させるための筒（以下、上記の筒状誘電体と区別するために「ベース部」ともいう）を備えている。さらに、このコンタクトプローブでは、ベース部内に配設されたバネによって外部導体とベース部とがプロービング方向において相反する方向に付勢されると共に、筒状誘電体内に配設されたバネによって、外部導体および中心導体がプロービング方向において相反する方向に付勢されている。

このコンタクトプローブを用いたプロービングに際しては、プロービングの開始が指示されたときに、プロービング装置の移動機構がプロービング対象体に向けて（プロービング方向で）ベース部を移動させる。この際には、まず、中心導体の先端部がプロービング対象体に当接し、その状態において、ベース部がさらに移動させられることにより、外部導体に対して中心導体がプロービング方向とは逆向きに相対的に移動させられる。この際に、筒状誘電体内のバネが押し縮められることにより、その反発力によって中心導体の先端部がプロービング対象体の表面に向けて付勢される。次いで、移動機構がベース部をさらに移動させることにより、外部導体の先端部がプロービング対象体に当接し、その状態からベース部がさらに移動させられることにより、ベース部に対して外部導体がプロービング方向とは逆向きに相対的に移動させられる。この際に、ベース部内のバネが押し縮められることにより、その反発力によって外部導体の先端部がプロービング対象体の表面に向けて付勢される。この状態において、プロービング対象体に接触している中心導体および外部導体を用いた電気的検査が実行される。
特開平５−２３２１３７号公報（第２頁、第１図）

ところが、従来のコンタクトプローブには、以下の問題点がある。すなわち、従来のコンタクトプローブでは、プロービング時において、先端部が円錐状に加工された中心導体の先端部をプロービング対象体に接触させ、その後に、外部導体の先端部をプロービング対象体に接触させる構成が採用されている。この場合、今日の回路基板検査装置では、プロービング対象体（検査対象基板等）の電気的検査を短時間で実行すべく、プロービング対象体上の各プロービングポイントに対してコンタクトプローブを高速にプロービングさせる構成が採用されている。したがって、従来のコンタクトプローブでは、プロービング時においてコンタクトプローブがプロービング対象体に向けて高速に移動させらて中心導体の先端部がプロービング対象体に接触した際に、コンタクトプローブが慣性の法則に従ってプロービング方向に移動し続けようとする力が中心導体の先端部とプロービング対象体との接触部位に集中することとなる。この結果、中心導体とプロービング対象体との接触部位に大きな力が加わることに起因して、従来のコンタクトプローブには、プロービング対象体の表面における中心導体の接触部位に大きな打痕（傷付き）が生じたり、中心導体の先端部が破損したりするという問題点がある。

この場合、打痕の発生や電極の破損の問題については、四端子法測定用のコンタクトプローブに限らず、例えば二端子法測定用のコンタクトプローブ（単一の電極を有するタイプのコンタクトプローブ）においても、同様にして発生する。具体的には、二端子法測定用のコンタクトプローブにおいては、プロービング時においてコンタクトプローブがプロービング対象体に向けて高速に移動させらて電極の先端部がプロービング対象体に接触した際に、コンタクトプローブが慣性の法則に従ってプロービング方向で移動し続けようとする力が電極の先端部とプロービング対象体との接触部位に集中することとなる。この結果、電極とプロービング対象体との接触部位に大きな力が加わることに起因して、この種のコンタクトプローブにおいても、プロービング対象体の表面における電極の接触部位に大きな打痕（傷付き）が生じたり、電極の先端部が破損したりするおそれがある。

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、電極における接触側端部の破損およびプロービング対象体の傷付きを防止し得るコンタクトプローブを提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく請求項１記載のコンタクトプローブは、ベース部に対してプロービング方向における相対的な移動が可能に配設された当接部と、前記ベース部に対して前記当接部とは別個独立して前記プロービング方向における相対的な移動が可能に配設されて相互に絶縁された第１電極および第２電極と、前記ベース部および前記当接部を前記プロービング方向において相反する向きに付勢する第１付勢部材と、前記ベース部および前記第２電極を前記プロービング方向において相反する向きに付勢する第２付勢部材と、前記第１電極および前記第２電極を前記プロービング方向において相反する向きに付勢する第３付勢部材とを備えると共に、非プロービング状態において前記当接部の当接側端部が前記第１電極の接触側端部および前記第２電極の接触側端部よりも前記プロービング方向側に突出しているコンタクトプローブであって、前記第１電極としてのピン状の中心電極と、前記第２電極としての筒状の外側電極とを備えて、当該外側電極内に前記中心電極が挿入されると共に、前記ベース部に対して前記外側電極を前記プロービング方向に付勢する前記第２付勢部材と、前記外側電極に対して前記当接部を前記プロービング方向に付勢する第４付勢部材とが相俟って前記第１付勢部材として機能するように構成されている。
また、請求項２記載のコンタクトプローブは、ベース部に対してプロービング方向における相対的な移動が可能に配設された当接部と、前記ベース部に対して前記当接部とは別個独立して前記プロービング方向における相対的な移動が可能に配設されて相互に絶縁された第１電極および第２電極と、前記ベース部および前記当接部を前記プロービング方向において相反する向きに付勢する第１付勢部材と、前記ベース部および前記第２電極を前記プロービング方向において相反する向きに付勢する第２付勢部材と、前記第１電極および前記第２電極を前記プロービング方向において相反する向きに付勢する第３付勢部材とを備えると共に、非プロービング状態において前記当接部の当接側端部が前記第１電極の接触側端部および前記第２電極の接触側端部よりも前記プロービング方向側に突出しているコンタクトプローブであって、前記第１電極としての筒状の外側電極と、前記第２電極としてのピン状の中心電極とを備えて、当該外側電極内に前記中心電極が挿入されると共に、前記ベース部に対して前記中心電極を前記プロービング方向に付勢する前記第２付勢部材と、前記中心電極に対して前記当接部を前記プロービング方向に付勢する第５付勢部材とが相俟って前記第１付勢部材として機能するように構成されている。

また、請求項３記載のコンタクトプローブは、請求項１または２記載のコンタクトプローブにおいて、前記当接部は、非導電性の弾性部材が前記当接側端部に取り付けられて構成されている。

また、請求項４記載のコンタクトプローブは、請求項１から３のいずれかに記載のコンタクトプローブにおいて、前記第１付勢部材と相俟って前記ベース部に対する前記当接部の前記プロービング方向における移動速度を低下させる減衰機構を備え、当該減衰機構は、オイルダンパ機構、エアダンパ機構および減衰ゴム機構のいずれかで構成されている。

請求項１，２記載のコンタクトプローブでは、ベース部に対してプロービング方向における相対的な移動が可能に配設された当接部と、第１電極および第２電極と、ベース部および当接部をプロービング方向において相反する向きに付勢する第１付勢部材とを備えると共に、非プロービング状態において当接部の当接側端部が第１電極の接触側端部および第２電極の接触側端部よりもプロービング方向側に突出している。したがって、請求項１，２記載のコンタクトプローブによれば、両電極がプロービング対象体Ｘに接触するのに先立ち、当接部に対する両電極の移動速度を第１付勢部材の反発力によって十分に低下させることができるため、両電極の先端部が過剰に強い力でプロービング対象体に押し付けられる事態が回避されてプロービング対象体の表面に大きな打痕（傷付き）が生じたり、両電極の先端部が破損したりする事態を確実に回避することができる。

また、請求項１，２記載のコンタクトプローブでは、第１電極および第２電極のいずれか一方としてのピン状の中心電極と、第１電極および第２電極のいずれか他方としての筒状の外側電極とを備えて、外側電極内に中心電極が挿入されている。さらに、請求項１記載のコンタクトプローブでは、第１電極としての中心電極と第２電極としての外側電極とを備えると共に、第２付勢部材と、外側電極に対して当接部をプロービング方向に付勢する第４付勢部材とが相俟って第１付勢部材として機能するように構成されている。さらに、請求項２記載のコンタクトプローブでは、第１電極としての外側電極と第２電極としての中心電極とを備えると共に、第２付勢部材と、中心電極に対して当接部をプロービング方向に付勢する第５付勢部材とが相俟って第１付勢部材として機能するように構成されている。したがって、請求項１，２記載のコンタクトプローブによれば、比較的簡易な構成でありながら、第１電極の先端部および第２電極の先端部をプロービング対象体上の極く狭い範囲内に別個独立して接触させることができる。

また、請求項３記載のコンタクトプローブでは、非導電性の弾性部材が当接部の当接側端部に取り付けられている。したがって、このコンタクトプローブによれば、当接部がプロービング対象体に当接した際に当接部の当接部位に傷付きが生じる事態を確実に回避することができる。

さらに、請求項４記載のコンタクトプローブでは、第１付勢部材と相俟ってベース部に対する当接部のプロービング方向における移動速度を低下させる減衰機構を備えている。したがって、このコンタクトプローブによれば、第１付勢部材の反発力のみならず、減衰機構内で生じる抵抗によって、電極がプロービング対象体に接触するのに先立って当接部に対する電極の移動速度を一層低下させることができるため、電極の先端部が過剰に強い力でプロービング対象体に押し付けられる事態が確実に回避されてプロービング対象体の表面に大きな打痕（傷付き）が生じたり、電極の先端部が破損したりする事態を一層確実に回避することができる。

また、請求項４記載のコンタクトプローブでは、減衰機構としてのオイルダンパ機構、エアダンパ機構および減衰ゴム機構のいずれかを備えている。したがって、このコンタクトプローブによれば、簡易な構成でありながら、プロービング時において当接部に対する電極の移動速度を十分に低下させることができると共に、例えば、摺動抵抗を利用した減衰機構等とは異なり、プロービングを数多く行ったとしても、減衰能力を大きく低下させることなく十分な能力を長期に亘って維持することができる。また、機械式の複雑な構成の減衰機構とは異なり、コンタクトプローブの製造コストの高騰を回避することができる。

以下、添付図面を参照して、本発明に係るコンタクトプローブの最良の形態について説明する。

最初に、コンタクトプローブ１Ａの構成およびその動作原理について、図面を参照して説明する。

図１に示すコンタクトプローブ１Ａは、本発明に係るコンタクトプローブに相当する四端子法測定用のコンタクトプローブの一例であって、ベース部（ホルダ）２ａ、外側電極３ａ、中心電極４ａ、当接部５ａ、スプリング６ａ〜８ａおよびオイルダンパ機構９ａを備えて全体として細長棒状に形成されている。なお、同図および後に参照する図２〜４では、本発明に係るコンタクトプローブについての理解を容易とするために、コンタクトプローブ１Ａの構成を概念的に図示している。したがって、これらの図面おける各部材の長さや突起部等の形成位置およびその大きさについては、実際のコンタクトプローブ１Ａ（図示せず）とは相違している。また、外側電極３ａおよび中心電極４ａの間などに配設されて両電極３ａ，４ａを相互に絶縁する絶縁体や、外側電極３ａおよび中心電極４ａをプロービング装置（図示せず）に電気的に接続するための接続ケーブル等の図示および説明を省略する。

ベース部２ａは、プロービング装置における移動機構にコンタクトプローブ１Ａを取り付けるため（移動機構の保持部にコンタクトプローブ１Ａを保持させるため）の部材であって、その内側に外側電極３ａ、中心電極４ａおよび当接部５ａ等を挿通可能に全体として円筒状に形成されている。外側電極３ａは、本発明における第２電極の一例であって、その内側に中心電極４ａやスプリング７ａを挿通可能に全体として円筒状に形成されていると共に、中心電極４ａや当接部５ａとは別個独立してベース部２ａに対してプロービング方向における相対的な移動が可能に配設されている。また、外側電極３ａは、その一端側（同図における下端部側）に本発明における接触側端部が形成されると共に、プロービング時においてスプリング６ａによってベース部２ａに対して矢印Ａの向き（プロービング方向）に付勢される。

中心電極４ａは、本発明における第１電極の一例であって、全体としてピン状（棒状）に形成されて外側電極３ａ内に挿通させられると共に、外側電極３ａや当接部５ａとは別個独立してベース部２ａに対してプロービング方向における相対的な移動が可能に配設されている。また、中心電極４ａは、プロービング時においてスプリング７ａによって外側電極３ａに対して矢印Ａの向き（プロービング方向）に付勢される。この場合、このコンタクトプローブ１Ａでは、図１に示す非プロービング状態（外側電極３ａおよび中心電極４ａの双方がプロービング対象体Ｘに接触していない状態）において、中心電極４ａの接触側端部（同図における下端部）が外側電極３ａの接触側端部（同図における下端部）よりもプロービング方向（矢印Ａの向き）に突出している。

当接部５ａは、その内側に外側電極３ａや中心電極４ａ等を挿通可能に全体として円筒状に形成されると共に、外側電極３ａや中心電極４ａとは別個独立してベース部２ａに対してプロービング方向における相対的な移動が可能に配設されている。この場合、このコンタクトプローブ１Ａでは、プロービング時においてプロービング対象体Ｘに対して当接部５ａを円環状の領域で面的に接触させるために当接部５ａがある程度の厚みを有する筒体で構成されている。また、当接部５ａの一端側（本発明における当接側端部：同図における下端部側）には、例えば弾性樹脂材料で形成されたリング状の弾性部材１５が取り付けられている。この当接部５ａは、プロービング時においてスプリング８ａによって外側電極３ａに対して矢印Ａの向き（プロービング方向）に付勢される。この場合、このコンタクトプローブ１Ａでは、非プロービング状態において、当接部５ａの当接側端部（弾性部材１５が取り付けられている側の端部：同図における下端部）が外側電極３ａや中心電極４ａの接触側端部（同図における下端部）よりもプロービング方向（矢印Ａの向き）に突出している。

スプリング６ａは、本発明における第２付勢部材の一例であって、圧縮型の弦巻ばねで構成されてベース部２ａおよび外側電極３ａを相反する向きに付勢する。スプリング７ａは、本発明における第３付勢部材の一例であって、圧縮型の弦巻ばねで構成されて外側電極３ａおよび中心電極４ａを相反する向きに付勢する。スプリング８ａは、本発明における第４付勢部材の一例であって、圧縮型の弦巻ばねで構成されて、スプリング６ａと相俟って本発明における第１付勢部材を構成する。この場合、このコンタクトプローブ１Ａでは、プロービング時において、スプリング６ａがベース部２ａに対して外側電極３ａをプロービング方向に付勢し、スプリング８ａが外側電極３ａに対して当接部５ａをプロービング方向に付勢することで、結果として、スプリング６ａ，８ａによって当接部５ａがベース部２ａに対してプロービング方向に間接的に付勢される構成が採用されている。なお、スプリング６ａ，８ａによって当接部５ａを間接的に付勢する構成に限らず、単一のスプリングによってベース部２ａに対して当接部５ａをプロービング方向に直接的に付勢する構成を採用することもできる。

オイルダンパ機構９ａは、本発明における減衰機構の一例であって、このコンタクトプローブ１Ａでは、一例として、当接部５ａをシリンダとし、外側電極３ａをピストンとし、かつオイル１３を抵抗体として、外側電極３ａおよび中心電極４ａの当接部５ａに対する移動速度を低下させる減衰機構が構成されている。具体的には、外側電極３ａには、その外径が当接部５ａの内径とほぼ等しい鍔部１１ａが形成されると共に、鍔部１１ａには、オイル１３の通過を許容する極く小さな複数のオリフィス１２ａが形成されている。また、当接部５ａと外側電極３ａとの間に封入されたオイル１３は、オイルダンパ機構９ａがコンタクトプローブ１Ａの用途に応じて予め規定された減衰力を発揮できるように、その粘度が規定されている。

このコンタクトプローブ１Ａを用いたプロービングに際しては、プロービング装置における移動機構の保持部（図示せず）にベース部２ａを保持させるようにしてプロービング装置にコンタクトプローブ１Ａを装着する。次いで、プロービングの開始が指示されたときに、移動機構がプロービング対象体Ｘに向けて矢印Ａの向きにベース部２ａを移動させる。この際には、図２に示すように、まず、当接部５ａの先端部（弾性部材１５）がプロービング対象体Ｘに当接する。この場合、このコンタクトプローブ１Ａでは、当接部５ａがプロービング対象体Ｘに対して面的に接触可能にある程度の厚みを有する筒体で構成されて、かつ、当接部５ａの先端部に弾性部材１５が取り付けられているため、当接部５ａ（弾性部材１５）とプロービング対象体Ｘとの接触部位に大きな力が集中して加わる事態が回避される。

次いで、ベース部２ａが矢印Ａの向きにさらに移動させられることにより、外側電極３ａおよび中心電極４ａが当接部５ａに対してプロービング方向（矢印Ａの向き）に移動させられる。この際には、当接部５ａ内において外側電極３ａが当接部５ａに対して矢印Ａの向きに移動させられるのに伴い、当接部５ａと外側電極３ａとの間に封入されているオイル１３が各オリフィス１２ａを通過して鍔部１１ａの裏側の空間（当接部５ａ内におけるベース部２ａ側の空間）に流れ込む。したがって、オイル１３が各オリフィス１２ａを通過する際に生じる流動抵抗、およびスプリング８ａの反発力によって、当接部５ａに対する外側電極３ａや中心電極４ａのプロービング方向（矢印Ａの向き）への移動速度が低下させられる。

続いて、ベース部２ａが矢印Ａの向きにさらに移動させられることにより、図３に示すように、中心電極４ａの先端部がプロービング対象体Ｘに当接する。この際には、当接部５ａに対する中心電極４ａおよび外側電極３ａの移動速度が十分に低下しているため、中心電極４ａの先端部がプロービング対象体Ｘに対して過剰に速い速度で当接する事態が回避される。この結果、中心電極４ａの先端部とプロービング対象体Ｘとの接触部位に加わる力が従来のコンタクトプローブと比較して十分に小さくなる。

次いで、ベース部２ａが矢印Ａの向きにさらに移動させられることにより、外側電極３ａが当接部５ａおよび中心電極４ａに対してスプリング６ａの反発力によってプロービング方向（矢印Ａの向き）に移動させられて、図４に示すように、外側電極３ａの先端部がプロービング対象体Ｘに当接する。この際には、スプリング６ａ，７ａが押し縮められることにより、スプリング６ａ，７ａの反発力によって中心電極４ａの先端部がプロービング対象体Ｘの表面に向けて矢印Ａの向きに付勢されると共に、スプリング６ａの反発力によって外側電極３ａの先端部がプロービング対象体Ｘの表面に向けて矢印Ａの向きに付勢される。この後、プロービング対象体Ｘに接触している外側電極３ａおよび中心電極４ａを用いた電気的検査が実行される。

このように、このコンタクトプローブ１Ａでは、ベース部２ａに対してプロービング方向における相対的な移動が可能に配設された当接部５ａと、中心電極４ａ（第１電極）および外側電極３ａ（第２電極）と、ベース部２ａおよび当接部５ａをプロービング方向において相反する向きに付勢するスプリング６ａ，８ａ（第１付勢部材）とを備えると共に、非プロービング状態において当接部５ａの当接側端部が中心電極４ａの接触側端部および外側電極３ａの接触側端部よりもプロービング方向側に突出している。したがって、このコンタクトプローブ１Ａによれば、中心電極４ａがプロービング対象体Ｘに接触するのに先立ち、当接部５ａに対する中心電極４ａの移動速度をスプリング６ａ，８ａの反発力によって十分に低下させることができるため、中心電極４ａの先端部が過剰に強い力でプロービング対象体Ｘに押し付けられる事態が回避されてプロービング対象体Ｘの表面に大きな打痕（傷付き）が生じたり、中心電極４ａの先端部が破損したりする事態を確実に回避することができる。

また、このコンタクトプローブ１Ａでは、本発明における第１電極および第２電極のいずれか一方（この例では、第１電極）としてのピン状の中心電極４ａと、本発明における第１電極および第２電極のいずれか他方（この例では、第２電極）としての筒状の外側電極３ａとを備えて、外側電極３ａ内に中心電極４ａが挿入されている。また、このコンタクトプローブ１Ａでは、第２付勢部材に相当するスプリング６ａと、第４付勢部材に相当するスプリング８ａとが相俟って第１付勢部材として機能するように構成されている。したがって、このコンタクトプローブ１Ａによれば、比較的簡易な構成でありながら、外側電極３ａの先端部および中心電極４ａの先端部をプロービング対象体Ｘ上の極く狭い範囲内に別個独立して接触させることができる。

また、このコンタクトプローブ１Ａでは、非導電性の弾性部材１５が当接部５ａの当接側端部に取り付けられている。したがって、このコンタクトプローブ１Ａによれば、当接部５ａがプロービング対象体Ｘに当接した際に当接部５ａの当接部位に傷付きが生じる事態を確実に回避することができる。

さらに、このコンタクトプローブ１Ａでは、スプリング８ａと相俟ってベース部２ａに対する当接部５ａのプロービング方向における移動速度を低下させるオイルダンパ機構９ａ（減衰機構）を備えている。したがって、このコンタクトプローブ１Ａによれば、スプリング８ａの反発力のみならず、オイルダンパ機構９ａ内で生じる抵抗（この例では、オイル１３の流動抵抗）によって、中心電極４ａがプロービング対象体Ｘに接触するのに先立って当接部５ａに対する中心電極４ａおよび外側電極３ａの移動速度を一層低下させることができるため、中心電極４ａの先端部が過剰に強い力でプロービング対象体Ｘに押し付けられる事態が確実に回避されてプロービング対象体Ｘの表面に大きな打痕（傷付き）が生じたり、中心電極４ａの先端部が破損したりする事態を一層確実に回避することができる。

この場合、このコンタクトプローブ１Ａでは、本発明における減衰機構としてのオイルダンパ機構９ａを備えている。したがって、このコンタクトプローブ１Ａによれば、簡易な構成でありながら、プロービング時において当接部５ａに対する中心電極４ａおよび外側電極３ａの移動速度を十分に低下させることができると共に、例えば、摺動抵抗を利用した減衰機構等とは異なり、プロービングを数多く行ったとしても、オイルダンパ機構９ａの減衰能力を大きく低下させることなく十分な能力を長期に亘って維持することができる。また、機械式の複雑な構成の減衰機構とは異なり、コンタクトプローブ１Ａの製造コストの高騰を回避することができる。

次に、コンタクトプローブ１Ｂの構成およびその動作原理について、図面を参照して説明する。

図５に示すコンタクトプローブ１Ｂは、本発明に係るコンタクトプローブに相当する四端子法測定用のコンタクトプローブの他の一例であって、ベース部（ホルダ）２ｂ、外側電極３ｂ、中心電極４ｂ、当接部５ｂ、スプリング６ｂ〜８ｂおよびオイルダンパ機構９ｂを備えて全体として細長棒状に形成されている。なお、同図および後に参照する図６〜８では、本発明に係るコンタクトプローブについての理解を容易とするために、コンタクトプローブ１Ｂの構成を概念的に図示している。したがって、これらの図面おける各部材の長さや突起部等の形成位置およびその大きさについては、実際のコンタクトプローブ１Ｂ（図示せず）とは相違している。また、外側電極３ｂおよび中心電極４ｂの間などに配設されて両電極３ａ，４ａを相互に絶縁する絶縁体や、外側電極３ｂおよび中心電極４ｂをプロービング装置（図示せず）に電気的に接続するための接続ケーブル等の図示および説明を省略する。

ベース部２ｂは、プロービング装置における移動機構にコンタクトプローブ１Ｂを取り付けるため（移動機構の保持部にコンタクトプローブ１Ｂを保持させるため）の部材であって、一例として、中心電極４ｂの後端部側に挿入可能な鍔付き円筒状に形成されている。外側電極３ｂは、本発明における第１電極の他の一例であって、その内側に中心電極４ｂの先端部側を挿通可能に全体として円筒状に形成されると共に、中心電極４ｂや当接部５ｂとは別個独立してベース部２ｂに対してプロービング方向における相対的な移動が可能に配設されている。また、外側電極３ｂは、その一端側（同図における下端部側）に本発明における接触側端部が形成されると共に、プロービング時においてスプリング７ｂによって中心電極４ｂに対して矢印Ａの向き（プロービング方向）に付勢される。

中心電極４ｂは、本発明における第２電極の他の一例であって、その先端部側（同図における下端部側）がピン状（棒状）に形成されて外側電極３ｂ内に挿通させられると共に、その後端部側（同図における上端部側）が円筒状に形成されてベース部２ｂが挿入されている。この中心電極４ｂは、外側電極３ｂや当接部５ｂとは別個独立してベース部２ｂに対してプロービング方向における相対的な移動が可能に配設されると共に、プロービング時においてスプリング６ｂによってベース部２ｂに対して矢印Ａの向き（プロービング方向）に付勢される。この場合、このコンタクトプローブ１Ｂでは、図５に示す非プロービング状態（外側電極３ｂおよび中心電極４ｂの双方がプロービング対象体Ｘに接触していない状態）において、外側電極３ｂの接触側端部（同図における下端部）が中心電極４ｂの接触側端部（同図における下端部）よりもプロービング方向（矢印Ａの向き）に突出している。

当接部５ｂは、その内側に外側電極３ｂや中心電極４ｂ等を挿通可能に全体として円筒状に形成されると共に、外側電極３ｂや中心電極４ｂとは別個独立してベース部２ｂに対してプロービング方向における相対的な移動が可能に配設されている。この場合、このコンタクトプローブ１Ｂでは、プロービング時においてプロービング対象体Ｘに対して当接部５ｂを円環状の領域で面的に接触させるために当接部５ｂがある程度の厚みを有する筒体で構成されている。また、当接部５ｂの一端側（本発明における当接側端部：同図における下端部側）には、例えば弾性樹脂材料で形成されたリング状の弾性部材１５が取り付けられている。この当接部５ｂは、プロービング時においてスプリング８ｂによって中心電極４ｂに対して矢印Ａの向き（プロービング方向）に付勢される。この場合、このコンタクトプローブ１Ｂでは、非プロービング状態において、当接部５ｂの当接側端部（弾性部材１５が取り付けられている側の端部：同図における下端部）が外側電極３ｂや中心電極４ｂの接触側端部（同図における下端部）よりもプロービング方向（矢印Ａの向き）に突出している。

スプリング６ｂは、本発明における第２付勢部材の他の一例であって、圧縮型の弦巻ばねで構成されてベース部２ｂおよび中心電極４ｂを相反する向きに付勢する。スプリング７ｂは、本発明における第３付勢部材の一例であって、圧縮型の弦巻ばねで構成されて外側電極３ｂおよび中心電極４ｂを相反する向きに付勢する。スプリング８ｂは、本発明における第５付勢部材の一例であって、圧縮型の弦巻ばねで構成されて、スプリング６ｂと相俟って本発明における第１付勢部材を構成する。この場合、このコンタクトプローブ１Ｂでは、プロービング時において、スプリング６ｂがベース部２ｂに対して中心電極４ｂをプロービング方向に付勢し、スプリング８ｂが中心電極４ｂに対して当接部５ｂをプロービング方向に付勢することで、結果として、スプリング６ｂ，８ｂによって当接部５ｂがベース部２ｂに対して間接的にプロービング方向に付勢される構成が採用されている。なお、スプリング６ｂ，８ｂによって当接部５ｂを間接的に付勢する構成に限らず、単一のスプリングによってベース部２ｂに対して当接部５ｂをプロービング方向に直接的に付勢する構成を採用することもできる。

オイルダンパ機構９ｂは、本発明における減衰機構の他の一例であって、このコンタクトプローブ１Ｂでは、一例として、当接部５ｂをシリンダとし、中心電極４ｂをピストンとし、かつオイル１３を抵抗体として、外側電極３ｂおよび中心電極４ｂの当接部５ｂに対する移動速度を低下させる減衰機構が構成されている。具体的には、中心電極４ｂには、その外径が当接部５ｂの内径とほぼ等しい鍔部１１ｂが形成されると共に、鍔部１１ｂには、オイル１３の通過を許容する極く小さな複数のオリフィス１２ｂが形成されている。また、当接部５ｂと中心電極４ｂとの間に封入されたオイル１３は、オイルダンパ機構９ｂがコンタクトプローブ１Ｂの用途に応じて予め規定された減衰力を発揮できるように、その粘度が規定されている。

このコンタクトプローブ１Ｂを用いたプロービングに際しては、プロービング装置における移動機構の保持部（図示せず）にベース部２ｂを保持させるようにしてプロービング装置にコンタクトプローブ１Ｂを装着する。次いで、プロービングの開始が指示されたときに、移動機構がプロービング対象体Ｘに向けて矢印Ａの向きにベース部２ｂを移動させる。この際には、図６に示すように、まず、当接部５ｂの先端部（弾性部材１５）がプロービング対象体Ｘに当接する。この場合、このコンタクトプローブ１Ｂでは、当接部５ｂがプロービング対象体Ｘに対して面的に接触可能にある程度の厚みを有する筒体で構成されて、しかも、当接部５ｂの先端部に弾性部材１５が取り付けられているため、当接部５ｂ（弾性部材１５）とプロービング対象体Ｘとの接触部位に大きな力が集中して加わる事態が回避される。

次いで、ベース部２ｂが矢印Ａの向きにさらに移動させられることにより、外側電極３ｂおよび中心電極４ｂが当接部５ｂに対してプロービング方向（矢印Ａの向き）に移動させられる。この際には、当接部５ｂ内において中心電極４ｂが当接部５ｂに対して矢印Ａの向きに移動させられるのに伴い、当接部５ｂと中心電極４ｂとの間に封入されているオイル１３が各オリフィス１２ｂを通過して鍔部１１ｂの裏側の空間（当接部５ｂ内におけるベース部２ｂ側の空間）に流れ込む。したがって、オイル１３が各オリフィス１２ｂを通過する際に生じる流動抵抗、およびスプリング８ｂの反発力によって、当接部５ｂに対する外側電極３ｂや中心電極４ｂのプロービング方向（矢印Ａの向き）への移動速度が低下させられる。

続いて、ベース部２ｂが矢印Ａの向きにさらに移動させられることにより、図７に示すように、外側電極３ｂの先端部がプロービング対象体Ｘに当接する。この際には、当接部５ｂに対する中心電極４ｂおよび外側電極３ｂの移動速度が十分に低下しているため、外側電極３ｂの先端部がプロービング対象体Ｘに対して過剰に速い速度で当接する事態が回避される。この結果、外側電極３ｂの先端部とプロービング対象体Ｘとの接触部位に加わる力が従来のコンタクトプローブと比較して十分に小さくなる。

次いで、ベース部２ｂが矢印Ａの向きにさらに移動させられることにより、中心電極４ｂが当接部５ｂおよび外側電極３ｂに対してスプリング６ｂの反発力によってプロービング方向（矢印Ａの向き）に移動させられて、図８に示すように、中心電極４ｂの先端部がプロービング対象体Ｘに当接する。この際には、スプリング６ｂ，７ｂが押し縮められることにより、スプリング６ｂ，７ｂの反発力によって外側電極３ｂの先端部がプロービング対象体Ｘの表面に向けて矢印Ａの向きに付勢されると共に、スプリング６ｂの反発力によって中心電極４ｂの先端部がプロービング対象体Ｘの表面に向けて矢印Ａの向きに付勢される。この後、プロービング対象体Ｘに接触している外側電極３ｂおよび中心電極４ｂを用いた電気的検査が実行される。

このように、このコンタクトプローブ１Ｂでは、ベース部２ｂに対してプロービング方向における相対的な移動が可能に配設された当接部５ｂと、外側電極３ｂ（第１電極）および中心電極４ｂ（第２電極）と、ベース部２ｂおよび当接部５ｂをプロービング方向において相反する向きに付勢するスプリング６ｂ，８ｂ（第１付勢部材）とを備えると共に、非プロービング状態において当接部５ｂの当接側端部が外側電極３ｂの接触側端部および中心電極４ｂの接触側端部よりもプロービング方向側に突出している。したがって、このコンタクトプローブ１Ｂによれば、外側電極３ｂがプロービング対象体Ｘに接触するのに先立ち、当接部５ｂに対する外側電極３ｂの移動速度をスプリング６ｂ，８ｂの反発力によって十分に低下させることができるため、外側電極３ｂの先端部が過剰に強い力でプロービング対象体Ｘに押し付けられる事態が回避されてプロービング対象体Ｘの表面に大きな打痕（傷付き）が生じたり、外側電極３ｂの先端部が破損したりする事態を確実に回避することができる。

この場合、このコンタクトプローブ１Ｂでは、本発明における第１電極および第２電極のいずれか一方（この例では、第２電極）としてのピン状の中心電極４ｂと、本発明における第１電極および第２電極のいずれか他方（この例では、第１電極）としての筒状の外側電極３ｂとを備えて、外側電極３ｂ内に中心電極４ｂが挿入されている。また、このコンタクトプローブ１Ｂでは、第２付勢部材に相当するスプリング６ｂと、第５付勢部材に相当するスプリング８ｂとが相俟って第１付勢部材として機能するように構成されている。したがって、このコンタクトプローブ１Ｂによれば、比較的簡易な構成でありながら、外側電極３ｂの先端部および中心電極４ｂの先端部をプロービング対象体Ｘ上の極く狭い範囲内に別個独立して接触させることができる。

また、このコンタクトプローブ１Ｂでは、非導電性の弾性部材１５が当接部５ｂの当接側端部に取り付けられている。したがって、このコンタクトプローブ１Ｂによれば、当接部５ｂがプロービング対象体Ｘに当接した際に当接部５ｂの当接部位に傷付きが生じる事態を確実に回避することができる。

さらに、このコンタクトプローブ１Ｂでは、スプリング８ｂと相俟ってベース部２ｂに対する当接部５ｂのプロービング方向における移動速度を低下させるオイルダンパ機構９ｂ（減衰機構）を備えている。したがって、このコンタクトプローブ１Ｂによれば、スプリング８ｂの反発力のみならず、オイルダンパ機構９ｂ内で生じる抵抗（この例では、オイル１３の流動抵抗）によって、外側電極３ｂがプロービング対象体Ｘに接触するのに先立って当接部５ｂに対する外側電極３ｂおよび中心電極４ｂの移動速度を一層低下させることができるため、外側電極３ｂの先端部が過剰に強い力でプロービング対象体Ｘに押し付けられる事態が確実に回避されてプロービング対象体Ｘの表面に大きな打痕（傷付き）が生じたり、外側電極３ｂの先端部が破損したりする事態を一層確実に回避することができる。

この場合、このコンタクトプローブ１Ｂでは、本発明における減衰機構としてのオイルダンパ機構９ｂを備えている。したがって、このコンタクトプローブ１Ｂによれば、簡易な構成でありながら、プロービング時において当接部５ｂに対する外側電極３ｂおよび中心電極４ｂの移動速度を十分に低下させることができると共に、例えば、摺動抵抗を利用した減衰機構等とは異なり、プロービングを数多く行ったとしても、オイルダンパ機構９ｂの減衰能力を大きく低下させることなく十分な能力を長期に亘って維持することができる。また、機械式の複雑な構成の減衰機構とは異なり、コンタクトプローブ１Ｂの製造コストの高騰を回避することができる。

続いて、コンタクトプローブ１Ｃの構成およびその動作原理について、図面を参照して説明する。

図９に示すコンタクトプローブ１Ｃは、二端子法測定用のコンタクトプローブの一例であって、ベース部（ホルダ）２ｃ、電極４ｃ、当接部５ｃ、スプリング６ｃ，８ｃおよびオイルダンパ機構９ｃを備えて全体として細長棒状に形成されている。なお、同図および後に参照する図１０，１１では、理解を容易とするために、コンタクトプローブ１Ｃの構成を概念的に図示している。したがって、これらの図面おける各部材の長さや突起部等の形成位置およびその大きさについては、実際のコンタクトプローブ１Ｃ（図示せず）とは相違している。また、電極４ｃをプロービング装置（図示せず）に電気的に接続するための接続ケーブル等の図示および説明を省略する。

ベース部２ｃは、プロービング装置における移動機構にコンタクトプローブ１Ｃを取り付けるため（移動機構の保持部にコンタクトプローブ１Ｃを保持させるため）の部材であって、一例として、電極４ｃの後端部側に挿入可能な鍔付き円筒状に形成されている。電極４ｃは、単一の電極の一例であって、その先端部側（同図における下端部側）がピン状（棒状）に形成されて接触側端部が形成されると共に、その後端部側（同図における上端部側）が円筒状に形成されてベース部２ｃが挿入されている。この電極４ｃは、当接部５ｃとは別個独立してベース部２ｃに対してプロービング方向における相対的な移動が可能に配設されると共に、プロービング時においてスプリング６ｃによってベース部２ｃに対して矢印Ａの向き（プロービング方向）に付勢される。

当接部５ｃは、その内側に電極４ｃの先端部側を挿通可能に全体として円筒状に形成されると共に、電極４ｃとは別個独立してベース部２ｃに対してプロービング方向における相対的な移動が可能に配設されている。この場合、このコンタクトプローブ１Ｃでは、プロービング時においてプロービング対象体Ｘに対して当接部５ｃを円環状の領域で面的に接触させるために当接部５ｃがある程度の厚みを有する筒体で構成されている。また、当接部５ｃの一端側（当接側端部：同図における下端部側）には、例えば弾性樹脂材料で形成されたリング状の弾性部材１５が取り付けられている。この当接部５ｃは、プロービング時においてスプリング８ｃによって電極４ｃに対して矢印Ａの向き（プロービング方向）に付勢される。この場合、このコンタクトプローブ１Ｃでは、非プロービング状態において、当接部５ｃの当接側端部（弾性部材１５が取り付けられている側の端部：同図における下端部）が電極４ｃの接触側端部（同図における下端部）よりもプロービング方向（矢印Ａの向き）に突出している。

スプリング６ｃは、圧縮型の弦巻ばねで構成されてベース部２ｃおよび電極４ｃを相反する向きに付勢する。スプリング８ｃは、圧縮型の弦巻ばねで構成されている。この場合、このコンタクトプローブ１Ｃでは、プロービング時において、スプリング６ｃがベース部２ｃに対して電極４ｃをプロービング方向に付勢し、スプリング８ｃが電極４ｃに対して当接部５ｃをプロービング方向に付勢することで、結果として、スプリング６ｃ，８ｃによって当接部５ｃがベース部２ｃに対してプロービング方向に間接的に付勢される構成が採用されている。なお、スプリング６ｃ，８ｃによって当接部５ｃを間接的に付勢する構成に限らず、単一のスプリングによってベース部２ｃに対して当接部５ｃをプロービング方向に直接的に付勢する構成を採用することもできる。

オイルダンパ機構９ｃは、減衰機構の他の一例であって、このコンタクトプローブ１Ｃでは、一例として、当接部５ｃをシリンダとし、電極４ｃをピストンとし、かつオイル１３を抵抗体として、電極４ｃの当接部５ｃに対する移動速度を低下させる減衰機構が構成されている。具体的には、電極４ｃには、その外径が当接部５ｃの内径とほぼ等しい鍔部１１ｃが形成されると共に、鍔部１１ｃには、オイル１３の通過を許容する極く小さな複数のオリフィス１２ｃが形成されている。また、当接部５ｃと電極４ｃとの間に封入されたオイル１３は、オイルダンパ機構９ｃがコンタクトプローブ１Ｃの用途に応じて予め規定された減衰力を発揮できるように、その粘度が規定されている。

このコンタクトプローブ１Ｃを用いたプロービングに際しては、プロービング装置における移動機構の保持部（図示せず）にベース部２ｃを保持させるようにしてプロービング装置にコンタクトプローブ１Ｃを装着する。次いで、プロービングの開始が指示されたときに、移動機構がプロービング対象体Ｘに向けて矢印Ａの向きにベース部２ｃを移動させる。この際には、図１０に示すように、まず、当接部５ｃの先端部（弾性部材１５）がプロービング対象体Ｘに当接する。この場合、このコンタクトプローブ１Ｃでは、当接部５ｃがプロービング対象体Ｘに対して面的に接触可能にある程度の厚みを有する筒体で構成されて、しかも、当接部５ｃの先端部に弾性部材１５が取り付けられているため、当接部５ｃ（弾性部材１５）とプロービング対象体Ｘとの接触部位に大きな力が集中して加わる事態が回避される。

次いで、ベース部２ｃが矢印Ａの向きにさらに移動させられることにより、電極４ｃが当接部５ｃに対してプロービング方向（矢印Ａの向き）に移動させられる。この際には、当接部５ｃ内において電極４ｃが当接部５ｃに対して矢印Ａの向きに移動させられるのに伴い、当接部５ｃと電極４ｃとの間に封入されているオイル１３が各オリフィス１２ｃを通過して鍔部１１ｃの裏側の空間（当接部５ｃ内におけるベース部２ｃ側の空間）に流れ込む。したがって、オイル１３が各オリフィス１２ｃを通過する際に生じる流動抵抗、およびスプリング８ｃの反発力によって、当接部５ｃに対する電極４ｃのプロービング方向（矢印Ａの向き）への移動速度が低下させられる。

続いて、ベース部２ｃが矢印Ａの向きにさらに移動させられることにより、図１１に示すように、電極４ｃの先端部がプロービング対象体Ｘに当接する。この際には、当接部５ｃに対する電極４ｃの移動速度が十分に低下しているため、電極４ｃの先端部がプロービング対象体Ｘに対して過剰に速い速度で当接する事態が回避される。この結果、電極４ｃの先端部とプロービング対象体Ｘとの接触部位に加わる力が従来の二端子法測定用のコンタクトプローブと比較して十分に小さくなる。次いで、ベース部２ｃが矢印Ａの向きにさらに移動させられることにより、スプリング６ｃが押し縮められて、その反発力によって電極４ｃの先端部がプロービング対象体Ｘの表面に向けて矢印Ａの向きに付勢される。この後、プロービング対象体Ｘに接触している電極４ｃを用いた電気的検査が実行される。

このように、このコンタクトプローブ１Ｃでは、ベース部２ｃに対してプロービング方向における相対的な移動が可能に配設された当接部５ｃと、単一の電極４ｃと、ベース部２ｃおよび当接部５ｃをプロービング方向において相反する向きに付勢するスプリング６ｃ，８ｃ（第１付勢部材）とを備えると共に、非プロービング状態において当接部５ｃの当接側端部が電極４ｃの接触側端部よりもプロービング方向側に突出している。したがって、このコンタクトプローブ１Ｃによれば、電極４ｃがプロービング対象体Ｘに接触するのに先立ち、当接部５ｃに対する電極４ｃの移動速度をスプリング６ｃ，８ｃの反発力によって十分に低下させることができるため、電極４ｃの先端部が過剰に強い力でプロービング対象体Ｘに押し付けられる事態が回避されてプロービング対象体Ｘの表面に大きな打痕（傷付き）が生じたり、電極４ｃの先端部が破損したりする事態を確実に回避することができる。

また、このコンタクトプローブ１Ｃでは、非導電性の弾性部材１５が当接部５ｃの当接側端部に取り付けられている。したがって、このコンタクトプローブ１Ｃによれば、当接部５ｃがプロービング対象体Ｘに当接した際に当接部５ｃの当接部位に傷付きが生じる事態を確実に回避することができる。

さらに、このコンタクトプローブ１Ｃでは、ベース部２ｃに対する当接部５ｃのプロービング方向における移動速度を低下させるオイルダンパ機構９ｃ（減衰機構）を備えている。したがって、このコンタクトプローブ１Ｃによれば、スプリング８ｃの反発力のみならず、オイルダンパ機構９ｃ内で生じる抵抗（この例では、オイル１３の流動抵抗）によって、電極４ｃがプロービング対象体Ｘに接触するのに先立って当接部５ｂに対する電極４ｃの移動速度を一層低下させることができるため、電極４ｃの先端部が過剰に強い力でプロービング対象体Ｘに押し付けられる事態が確実に回避されてプロービング対象体Ｘの表面に大きな打痕（傷付き）が生じたり、電極４ｃの先端部が破損したりする事態を一層確実に回避することができる。

また、このコンタクトプローブ１Ｃでは、減衰機構としてのオイルダンパ機構９ｃを備えている。したがって、このコンタクトプローブ１Ｃによれば、簡易な構成でありながら、プロービング時において当接部５ｃに対する電極４ｃの移動速度を十分に低下させることができると共に、例えば、摺動抵抗を利用した減衰機構等とは異なり、プロービングを数多く行ったとしても、オイルダンパ機構９ｃの減衰能力を大きく低下させることなく十分な能力を長期に亘って維持することができる。また、機械式の複雑な構成の減衰機構とは異なり、コンタクトプローブ１Ｃの製造コストの高騰を回避することができる。

なお、スプリング６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂ，８ａ〜８ｃとして圧縮型の弦巻ばねを用いたコンタクトプローブ１Ａ〜１Ｃについて説明したが、各付勢部材の構成はこれに限定されず、例えば、引っ張型ばね（縮長方向に弾性復帰しようとするばね）を用いて構成することができる。この構成を採用する場合においては、各付勢部材の配設位置や、付勢部材が係合する突出部の位置等を適宜変更する。また、本発明における各付勢部材は、弦巻ばねのような付勢部材に限定されず、例えば、発泡樹脂等の弾性部材で構成することもできる。

さらに、当接部５ａに対する外側電極３ａの移動に伴ってオイル１３が当接部５ａ内におけるベース部２ａ側の空間に流れ込む構成のオイルダンパ機構９ａを有するコンタクトプローブ１Ａ、および当接部５ｂに対する中心電極４ｂの移動に伴ってオイル１３が当接部５ｂ内におけるベース部２ｂ側の空間に流れ込む構成のオイルダンパ機構９ｂを有するコンタクトプローブ１Ｂについて説明したが、本発明におけるオイルダンパ機構の構成はこれに限定されない。具体的には、コンタクトプローブ１Ａにおけるオイルダンパ機構９ａに代えて、当接部５ａに対する外側電極３ａの移動に伴ってオイル１３が当接部５ａ内におけるベース部２ａ側の空間から接触側端部側の空間に流れ込む構成のオイルダンパ機構を採用したり、コンタクトプローブ１Ｂにおけるオイルダンパ機構９ｂに代えて、当接部５ｂに対する中心電極４ｂの移動に伴ってオイル１３が当接部５ｂ内におけるベース部２ｂ側の空間から接触側端部側の空間に流れ込む構成のオイルダンパ機構を採用したりすることができる。この際には、コンタクトプローブ１Ａ，１Ｂにおける各鍔部１１ａ，１１ｂの形成位置を適宜変更すればよい。

また、本発明におけるオイルダンパ機構は、当接部５ａ，５ｂをシリンダとし、外側電極３ａおよび中心電極４ｂをピストンとし、オイル１３を抵抗体とする構成に限定されず、例えば、当接部５ａ，５ｂとは別個のシリンダ内に外側電極３ａおよび中心電極４ｂとは別個のピストンを配設してオイル１３を封入することで、オイルダンパ機構を構成すると共に、シリンダおよびピストンのいずれか一方を当接部に連結し、かつ、いずれか他方を第１電極に連結して第１電極に対する第２電極の移動速度を低下させる減衰機構を構成することができる。加えて、本発明における減衰機構は、オイルダンパ機構に限定されず、オイルダンパ機構におけるオイルに代えて抵抗体として空気を利用したエアダンパ機構や、圧縮変形時または伸長変形時にその変形方向に働く力を減衰させる例えば減衰ゴム機構などを採用することができる。

非プロービング状態におけるコンタクトプローブ１Ａの側面断面図である。 当接部５ａの先端部（弾性部材１５）をプロービング対象体Ｘに当接させた状態のコンタクトプローブ１Ａの側面断面図である。 中心電極４ａの先端部をプロービング対象体Ｘに当接させた状態のコンタクトプローブ１Ａの側面断面図である。 外側電極３ａの先端部、および中心電極４ａの先端部をプロービング対象体Ｘに付勢した状態のコンタクトプローブ１Ａの側面断面図である。 非プロービング状態におけるコンタクトプローブ１Ｂの側面断面図である。 当接部５ｂの先端部（弾性部材１５）をプロービング対象体Ｘに当接させた状態のコンタクトプローブ１Ｂの側面断面図である。 外側電極３ｂの先端部をプロービング対象体Ｘに当接させた状態のコンタクトプローブ１Ｂの側面断面図である。 外側電極３ｂの先端部、および中心電極４ｂの先端部をプロービング対象体Ｘに付勢した状態のコンタクトプローブ１Ｂの側面断面図である。 非プロービング状態におけるコンタクトプローブ１Ｃの側面断面図である。 当接部５ｃの先端部（弾性部材１５）をプロービング対象体Ｘに当接させた状態のコンタクトプローブ１Ｃの側面断面図である。 電極４ｃをプロービング対象体Ｘに付勢した状態のコンタクトプローブ１Ｃの側面断面図である。

符号の説明

１Ａ〜１Ｃ コンタクトプローブ
２ａ〜２ｃ ベース部
３ａ，３ｂ 外側電極
４ａ，４ｂ 中心電極
４ｃ 電極
５ａ〜５ｃ 当接部
６ａ〜６ｃ，７ａ，７ｂ，８ａ〜８ｃ スプリング
９ａ〜９ｃ オイルダンパ機構
１５ 弾性部材
Ｘ プロービング対象体

Claims (4)

1. ベース部に対してプロービング方向における相対的な移動が可能に配設された当接部と、前記ベース部に対して前記当接部とは別個独立して前記プロービング方向における相対的な移動が可能に配設されて相互に絶縁された第１電極および第２電極と、前記ベース部および前記当接部を前記プロービング方向において相反する向きに付勢する第１付勢部材と、前記ベース部および前記第２電極を前記プロービング方向において相反する向きに付勢する第２付勢部材と、前記第１電極および前記第２電極を前記プロービング方向において相反する向きに付勢する第３付勢部材とを備えると共に、非プロービング状態において前記当接部の当接側端部が前記第１電極の接触側端部および前記第２電極の接触側端部よりも前記プロービング方向側に突出しているコンタクトプローブであって、
   前記第１電極としてのピン状の中心電極と、前記第２電極としての筒状の外側電極とを備えて、当該外側電極内に前記中心電極が挿入されると共に、前記ベース部に対して前記外側電極を前記プロービング方向に付勢する前記第２付勢部材と、前記外側電極に対して前記当接部を前記プロービング方向に付勢する第４付勢部材とが相俟って前記第１付勢部材として機能するように構成されているコンタクトプローブ。
2. ベース部に対してプロービング方向における相対的な移動が可能に配設された当接部と、前記ベース部に対して前記当接部とは別個独立して前記プロービング方向における相対的な移動が可能に配設されて相互に絶縁された第１電極および第２電極と、前記ベース部および前記当接部を前記プロービング方向において相反する向きに付勢する第１付勢部材と、前記ベース部および前記第２電極を前記プロービング方向において相反する向きに付勢する第２付勢部材と、前記第１電極および前記第２電極を前記プロービング方向において相反する向きに付勢する第３付勢部材とを備えると共に、非プロービング状態において前記当接部の当接側端部が前記第１電極の接触側端部および前記第２電極の接触側端部よりも前記プロービング方向側に突出しているコンタクトプローブであって、
   前記第１電極としての筒状の外側電極と、前記第２電極としてのピン状の中心電極とを備えて、当該外側電極内に前記中心電極が挿入されると共に、前記ベース部に対して前記中心電極を前記プロービング方向に付勢する前記第２付勢部材と、前記中心電極に対して前記当接部を前記プロービング方向に付勢する第５付勢部材とが相俟って前記第１付勢部材として機能するように構成されているコンタクトプローブ。
3. 前記当接部は、非導電性の弾性部材が前記当接側端部に取り付けられて構成されている請求項１または２記載のコンタクトプローブ。
4. 前記第１付勢部材と相俟って前記ベース部に対する前記当接部の前記プロービング方向における移動速度を低下させる減衰機構を備え、
   当該減衰機構は、オイルダンパ機構、エアダンパ機構および減衰ゴム機構のいずれかで構成されている請求項１から３のいずれかに記載のコンタクトプローブ。

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