JPH05232137A - コンタクトプローブ - Google Patents
コンタクトプローブInfo
- Publication number
- JPH05232137A JPH05232137A JP3474792A JP3474792A JPH05232137A JP H05232137 A JPH05232137 A JP H05232137A JP 3474792 A JP3474792 A JP 3474792A JP 3474792 A JP3474792 A JP 3474792A JP H05232137 A JPH05232137 A JP H05232137A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pin
- coaxial
- conductor
- contact probe
- spring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高周波測定に使用できるバネ式コンタクトプ
ローブを提供すること。 【構成】 中心導体１、誘電体２及び外部導体３を同軸
状に配して同軸ケーブル６と同じインピーダンスの同軸
ピン８とし、バネ５を内蔵する筒４内に進退できるよう
に収容し、且つ筒４と外部導体３の導通を導電性グリー
ス７等で確保し、同軸ピン８には同軸ケーブル６を接続
してある。
ローブを提供すること。 【構成】 中心導体１、誘電体２及び外部導体３を同軸
状に配して同軸ケーブル６と同じインピーダンスの同軸
ピン８とし、バネ５を内蔵する筒４内に進退できるよう
に収容し、且つ筒４と外部導体３の導通を導電性グリー
ス７等で確保し、同軸ピン８には同軸ケーブル６を接続
してある。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はバネ式コンタクトプロー
ブに関し、特に、高周波測定に使用するための構造の改
良に関する。
ブに関し、特に、高周波測定に使用するための構造の改
良に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、プリント基板や集積回路パッケー
ジの電気的測定においては、バネを内蔵したバネ式コン
タクトプローブを被測定物に接触させて測定を行うこと
が広く行われている。この種のコンタクトプローブの２
つの従来例を図２、図３に示す。
ジの電気的測定においては、バネを内蔵したバネ式コン
タクトプローブを被測定物に接触させて測定を行うこと
が広く行われている。この種のコンタクトプローブの２
つの従来例を図２、図３に示す。
【０００３】〔第１従来例〕図２に示すコンタクトプロ
ーブは、ブローブ１０の軸１１が筒１２内にスライドで
きるように収容され、筒１２に内蔵のバネ１３でブロー
ブ１０を進出方向に押す構造である。このコンタクトプ
ローブはブローブ１０自体が単なる１本の導体であり、
インピーダンス整合は考慮されず、インピーダンスが不
定又は高いため、高周波特性が悪く、高周波測定には使
用することができない。即ち、高周波測定機器の入力イ
ンピーダンスは特定の値、一般には例えば５０Ωであ
り、またプリント基板や集積回路パッケージの高周波回
路も特定のインピーダンス、一般には例えば５０Ωを持
つように設計されているため、図２に示すコンタクトプ
ローブではインピーダンスが測定機器に整合せず、従っ
て高周波測定では測定精度が低下して使用できない。
ーブは、ブローブ１０の軸１１が筒１２内にスライドで
きるように収容され、筒１２に内蔵のバネ１３でブロー
ブ１０を進出方向に押す構造である。このコンタクトプ
ローブはブローブ１０自体が単なる１本の導体であり、
インピーダンス整合は考慮されず、インピーダンスが不
定又は高いため、高周波特性が悪く、高周波測定には使
用することができない。即ち、高周波測定機器の入力イ
ンピーダンスは特定の値、一般には例えば５０Ωであ
り、またプリント基板や集積回路パッケージの高周波回
路も特定のインピーダンス、一般には例えば５０Ωを持
つように設計されているため、図２に示すコンタクトプ
ローブではインピーダンスが測定機器に整合せず、従っ
て高周波測定では測定精度が低下して使用できない。
【０００４】〔第２従来例〕図３に示すコンタクトプロ
ーブは電圧測定用ピン２０と、このピン２０の外周に位
置する中空の電流測定用ピン２１とを備え、両ピン２
０，２１は個別に動作できるようになっている。即ち、
電圧測定用ピン２０の軸２０Ａは電流測定用ピン２１の
中空軸２１Ａ内に筒状の絶縁体２２，２３を挾んで固定
された筒２４内にスライドできるように収容されてお
り、筒２４に内蔵のバネ（図示は省略するが、図２と同
様な構造）により、筒２４からピン２０を進出する方向
に押付けている。また、電流測定用ピン２１の中空軸２
１Ａの外周には筒２５がスライドできるように、但し、
ストッパ２６により抜けないように、取付けられてい
る。更に、中空軸２１Ａの外周にはバネ２７を取付け、
電流測定用ピン２１を筒２５から進出する方向に押し付
けている。図３中、２０Ｂは電圧測定用ピン２０の結線
部、２１Ｂは電流測定用ピン２１の結線部である。図３
のコンタクトプローブでは、２つのピン２０，２１が同
軸状に配置されているが、これは単に電圧測定用と電流
測定用という別々の２つの接触を確保するためのもので
あり、インピーダンス整合は考慮されていない。もちろ
ん、電圧測定用ピン２０自体も図２のコンタクトプロー
ブと基本的に同一構造であるから、インピーダンス整合
は考慮されていない。従って、図３のコンタクトプロー
ブも高周波測定には使用できない。
ーブは電圧測定用ピン２０と、このピン２０の外周に位
置する中空の電流測定用ピン２１とを備え、両ピン２
０，２１は個別に動作できるようになっている。即ち、
電圧測定用ピン２０の軸２０Ａは電流測定用ピン２１の
中空軸２１Ａ内に筒状の絶縁体２２，２３を挾んで固定
された筒２４内にスライドできるように収容されてお
り、筒２４に内蔵のバネ（図示は省略するが、図２と同
様な構造）により、筒２４からピン２０を進出する方向
に押付けている。また、電流測定用ピン２１の中空軸２
１Ａの外周には筒２５がスライドできるように、但し、
ストッパ２６により抜けないように、取付けられてい
る。更に、中空軸２１Ａの外周にはバネ２７を取付け、
電流測定用ピン２１を筒２５から進出する方向に押し付
けている。図３中、２０Ｂは電圧測定用ピン２０の結線
部、２１Ｂは電流測定用ピン２１の結線部である。図３
のコンタクトプローブでは、２つのピン２０，２１が同
軸状に配置されているが、これは単に電圧測定用と電流
測定用という別々の２つの接触を確保するためのもので
あり、インピーダンス整合は考慮されていない。もちろ
ん、電圧測定用ピン２０自体も図２のコンタクトプロー
ブと基本的に同一構造であるから、インピーダンス整合
は考慮されていない。従って、図３のコンタクトプロー
ブも高周波測定には使用できない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記従来技術
の欠点に鑑み、高周波測定に使用できるコンタクトプロ
ーブを提供することを目的とする。
の欠点に鑑み、高周波測定に使用できるコンタクトプロ
ーブを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明のコンタクトプロ
ーブの構成は、被測定物に先端が接触する中心導体、こ
の中心導体を同軸状に囲む外部導体及び中心導体と外部
導体間に同軸状に配置された誘電体が一体化されてなる
同軸ピンと、この同軸ピンを進出及び後退可能に収容し
且つ外部導体に電気的に接続した筒と、同軸ピンを進出
方向に押すバネと、同軸ピンの中心導体及び外部導体に
接続された同軸ケーブルとを備え、同軸ピンのインピー
ダンスが同軸ケーブルのインピーダンスに整合している
ものである。
ーブの構成は、被測定物に先端が接触する中心導体、こ
の中心導体を同軸状に囲む外部導体及び中心導体と外部
導体間に同軸状に配置された誘電体が一体化されてなる
同軸ピンと、この同軸ピンを進出及び後退可能に収容し
且つ外部導体に電気的に接続した筒と、同軸ピンを進出
方向に押すバネと、同軸ピンの中心導体及び外部導体に
接続された同軸ケーブルとを備え、同軸ピンのインピー
ダンスが同軸ケーブルのインピーダンスに整合している
ものである。
【０００７】
【作用】中心導体、誘電体及び外部導体が同軸構造をな
し、インピーダンス整合がとれている。使用に際して
は、バネに抗して筒を押して同軸ピンの中心導体を被測
定物に接触させ、また筒を被測定物のグランド部分に接
続する。これにより、接触点から同軸ピン及び同軸ケー
ブルまでインピーダンス整合がとれて高周波特性が良く
なり、高周波測定の精度が向上する。
し、インピーダンス整合がとれている。使用に際して
は、バネに抗して筒を押して同軸ピンの中心導体を被測
定物に接触させ、また筒を被測定物のグランド部分に接
続する。これにより、接触点から同軸ピン及び同軸ケー
ブルまでインピーダンス整合がとれて高周波特性が良く
なり、高周波測定の精度が向上する。
【０００８】
【実施例】図１に基づいて本発明の一実施例を説明す
る。図１に示すコンタクトプローブでは、中心導体１の
全外周に先端を少し残して誘電体２を被覆し、更に誘電
体２の全外周に外部導体３を被覆して、これらが一体化
した同軸ピン８を得ている。同軸ピン８のインピーダン
スは、中心導体１の外径、誘電体２の誘電率及び外部導
体３の内径に依存するが、本実施例では５０Ωに設定し
てある。中心導体１の先端は円錐状に形成してある。こ
のような同軸ピン８をコイル状のバネ５を内蔵した導電
性の筒４内に僅かな隙間をもって進退方向にスライドで
きるように収容してある。この場合、導通を確保するた
めに外部導体３の外周と筒４の内周間に導電性グリース
７を塗る等の処理を施している。また、同軸ピン８の基
端部で中心導体１と外部導体３を、５０Ωの同軸ケーブ
ル６の中心導体と外部導体にそれぞれ接続し、同軸ケー
ブル６をバネ５内を通して筒４の底部の穴から引出して
ある。なお、９Ａと９Ｂは同軸ピン８をバネ５が進出方
向に押すので、これの抜止め用ストッパであり、一方の
ストッパ９Ａは外部導体３の外周に一体に形成し、他方
のストッパ９Ｂは筒４の内周にねじ結合で取付けてあ
る。ストッパの代りに、例えばバネ５の両端を外部導体
３の基端部と筒４の底部に固定しても抜止めになる。
る。図１に示すコンタクトプローブでは、中心導体１の
全外周に先端を少し残して誘電体２を被覆し、更に誘電
体２の全外周に外部導体３を被覆して、これらが一体化
した同軸ピン８を得ている。同軸ピン８のインピーダン
スは、中心導体１の外径、誘電体２の誘電率及び外部導
体３の内径に依存するが、本実施例では５０Ωに設定し
てある。中心導体１の先端は円錐状に形成してある。こ
のような同軸ピン８をコイル状のバネ５を内蔵した導電
性の筒４内に僅かな隙間をもって進退方向にスライドで
きるように収容してある。この場合、導通を確保するた
めに外部導体３の外周と筒４の内周間に導電性グリース
７を塗る等の処理を施している。また、同軸ピン８の基
端部で中心導体１と外部導体３を、５０Ωの同軸ケーブ
ル６の中心導体と外部導体にそれぞれ接続し、同軸ケー
ブル６をバネ５内を通して筒４の底部の穴から引出して
ある。なお、９Ａと９Ｂは同軸ピン８をバネ５が進出方
向に押すので、これの抜止め用ストッパであり、一方の
ストッパ９Ａは外部導体３の外周に一体に形成し、他方
のストッパ９Ｂは筒４の内周にねじ結合で取付けてあ
る。ストッパの代りに、例えばバネ５の両端を外部導体
３の基端部と筒４の底部に固定しても抜止めになる。
【０００９】
【発明の効果】本発明のコンタクトプローブは中心導
体、誘電体及び外部導体の同軸構造のピン即ち同軸ピン
を有し、同軸ケーブルとインピーダンス整合を行ってい
るので、高周波特性が向上し、高い精度で高周波測定を
行うことができる。
体、誘電体及び外部導体の同軸構造のピン即ち同軸ピン
を有し、同軸ケーブルとインピーダンス整合を行ってい
るので、高周波特性が向上し、高い精度で高周波測定を
行うことができる。
【図１】本発明のコンタクトプローブの一実施例を示す
図。
図。
【図２】第１従来例を示す図。
【図３】第２従来例を示す図。
１ 中心導体 ２ 誘電体 ３ 外部導体 ４ 筒 ５ バネ ６ 同軸ケーブル ７ 導電性グリース ８ 同軸ピン ９Ａ，９Ｂ ストッパ
Claims (1)
- 【請求項１】 被測定物に先端が接触する中心導体、こ
の中心導体を同軸状に囲む外部導体及び中心導体と外部
導体間に同軸状に配置された誘電体が一体化されてなる
同軸ピンと、この同軸ピンを進出及び後退可能に収容し
且つ外部導体に電気的に接続した筒と、同軸ピンを進出
方向に押すバネと、同軸ピンの中心導体及び外部導体に
接続された同軸ケーブルとを備え、同軸ピンのインピー
ダンスが同軸ケーブルのインピーダンスに整合している
コンタクトプローブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3474792A JPH05232137A (ja) | 1992-02-21 | 1992-02-21 | コンタクトプローブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3474792A JPH05232137A (ja) | 1992-02-21 | 1992-02-21 | コンタクトプローブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05232137A true JPH05232137A (ja) | 1993-09-07 |
Family
ID=12422923
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3474792A Withdrawn JPH05232137A (ja) | 1992-02-21 | 1992-02-21 | コンタクトプローブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05232137A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0646382U (ja) * | 1992-11-25 | 1994-06-24 | 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社 | 接点ピン |
| JP2008191081A (ja) * | 2007-02-07 | 2008-08-21 | Hioki Ee Corp | コンタクトプローブ |
| JP2008191080A (ja) * | 2007-02-07 | 2008-08-21 | Hioki Ee Corp | コンタクトプローブ |
-
1992
- 1992-02-21 JP JP3474792A patent/JPH05232137A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0646382U (ja) * | 1992-11-25 | 1994-06-24 | 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社 | 接点ピン |
| JP2008191081A (ja) * | 2007-02-07 | 2008-08-21 | Hioki Ee Corp | コンタクトプローブ |
| JP2008191080A (ja) * | 2007-02-07 | 2008-08-21 | Hioki Ee Corp | コンタクトプローブ |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990518 |