JP3315683B2

JP3315683B2 - 電気特性測定装置

Info

Publication number: JP3315683B2
Application number: JP2000187527A
Authority: JP
Inventors: 貞夫川田
Original assignee: Alps Electric Co Ltd
Current assignee: Alps Alpine Co Ltd
Priority date: 1999-11-08
Filing date: 2000-06-19
Publication date: 2002-08-19
Anticipated expiration: 2020-06-19
Also published as: CN1295252A; CN1191477C; JP2001201515A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電気特性を測定す
るための測定装置に関わり、特に、薄膜磁気ヘッド等の
微細な構造を有し、静電気や突入電流に弱い電子デバイ
スを被測定物とする電気特性測定装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のデジタルマルチメーター等の電気
特性測定装置は、図７に示すように、電気測定器を内蔵
した本体部６１と、本体部６１から引き出されて絶縁被
覆された２本の測定ケーブル６２と、測定ケーブル６２
の先端部に取り付けられ、測定ケーブル６２を介して本
体部６１と電気的に接続された正・負極の一対の棒状の
電極プローブ６３を有しており、電極プローブ６３はニ
ッケルを下地として金めっきが施された真鍮等の良導電
体からなり、電極プローブ６３を被測定物の端子部に直
接当接させて被測定物の電気特性測定を行っていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の電気特
性測定装置は、絶縁皮膜を有する測定ケーブル６２が電
荷を蓄積しやすい構造であり、更に電極プローブ６３は
本体部６１の電源アースから電気的に浮いた状態にある
ので、電極プローブ６３が電源アースに対して電位をも
ちやすい。電極プローブ６３や被測定物が帯電している
と、測定時の電極プローブ６３と被測定物の端子部との
接触により、帯電していた電荷Ｑは、被測定物と電極プ
ローブ６３間を瞬間的（数ナノ秒間）に移動する。この
ように電荷Ｑが瞬間的に移動する場合、電荷Ｑが微量で
あっても、電荷Ｑの時間微分である電流Ｉ＝ΔＱ／ΔＴ
は大電流となり得る。この大電流により、被測定物が微
細な構造を有する電子デバイス（例えば薄膜磁気ヘッド
等）であるとき、被測定物が静電破壊される問題があっ
た。

【０００４】また、従来において、被測定物や電気特性
測定装置の帯電を防ぐために、被測定物をイオナイザー
を用いて除電したり、電気特性測定装置の改造等が行わ
れた。しかし、いずれの手法もコストが高く、管理が複
雑になるという問題があった。本発明は、被測定物で
ある電子デバイスを静電破壊させることなく、且つ電子
デバイスの電気特性を正確に測定することができる電気
特性測定装置を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明の電気特性測定装
置は、電極プローブが、良導電体からなる基部と、良導
電体からなる第一の接点部と、前記第一の接点部よりも
高い電気抵抗を有する導電体からなる第二の接点部とを
備え、前記基部と前記第一、第二の接点部は電気的に導
通された状態にあって、前記第一の接点部は、前記第二
の接点部が被測定物と電気的に接続された後に被測定物
と電気的に接続されるようにした。

【０００６】さらに、本発明の電気特性測定装置は、前
記電極プローブが、良導電体からなる基部を有し、前記
第一の接点部は前記基部の一部で形成され、前記第二の
接点部は前記基部の長さ方向に移動可能であると共に、
前記第二の接点部は前記第一の接点部よりも前記基部の
長さ方向に突出したり、この突出状態から後退するよう
に移動可能とした。

【０００７】さらに好ましくは、本発明の電気特性測定
装置は、前記第二の接点部と前記基部の間に、バネ部材
を介在させた。

【０００８】さらに、本発明の電気特性測定装置は、前
記バネ部材は、前記基部と前記第二の接点部を連結して
いる。

【０００９】さらに、本発明の電気特性測定装置は、前
記第一の接点部と前記第二の接点部は互いに近接して設
けられている。

【００１０】また、本発明の電気特性測定装置は、前記
第二の接点部は、前記第一の接点部の外周を囲むような
筒状で形成した。

【００１１】また、本発明の電気特性測定装置は、前記
第一の接点部の長手方向の中央部には空洞部が設けられ
ており、該空洞部に前記第二の接点部が収納されてい
る。

【００１２】さらに、本発明の電気特性測定装置は、前
記第二の接点部の表面抵抗が、１０⁶乃至１０¹²Ω／□
である。

【００１３】さらに、本発明の電気特性測定装置は、前
記第二の接点部が、導電性プラスチック材からなる。導
電性プラスチックとしては、ポリアセチレン等の導電性
高分子、プラスチックに導電性フィラーとして金属粉末
等を混合させたもの、あるいはイオン伝導性高分子等が
ある。

【００１４】あるいは、本発明の電気特性測定装置は、
前記第二の接点部が、導電性セラミックスからなる。導
電性セラミックスとしては、ＺｒＯ₂−Ｙ₂Ｏ₃等のイオ
ン導電体がある。

【００１５】さらに、本発明の電気特性測定装置は、前
記バネ部材がベリリウム銅からなる。

【００１６】あるいは、本発明の電気特性測定装置は、
前記バネ部材がリン青銅からなる。

【００１７】また、本発明の電気特性測定装置は、前記
第一の接点部が前記基部の一部で形成され、前記第二の
接点部は前記第一の接点部の近傍で前記基部に取り付け
られて、前記第一の接点部の先端と前記第二の接点部の
先端の位置を、前記基部の長さ方向に一致させて配置し
た。

【００１８】さらに、本発明の電気特性測定装置は、前
記第二の接点部の表面抵抗が、１０⁶乃至１０¹²Ω／□
である。

【００１９】さらに、本発明の電気特性測定装置は、前
記第二の接点部が、導電性プラスチックからなる。

【００２０】さらに、本発明の電気特性測定装置は、前
記第二の接点部が、導電性セラミックスからなる。

【００２１】

【発明の実施の形態】まず、本発明の第一の実施の形態
を図１と図２により説明する。本発明の電気特性測定装
置は、図１に示すように、電気測定器を内蔵した本体部
１と、本体部１から引き出されて絶縁被覆された２本の
測定ケーブル２と、測定ケーブル２の先端部に取り付け
られて、測定ケーブル２を介して本体部１と電気的に接
続された正・負極の一対の電極プローブ３を有してい
る。

【００２２】一対それぞれの電極プローブ３は、図２に
示すように、ニッケルを下地として金メッキを施された
真鍮等の良導電体からなる基部３ｂと、基部３ｂの一部
であり、基部３ｂの先端中央部から基部３ｂの長さ方向
に延出された先細の棒状である第一の接点部３ａと、ベ
リリウム銅やリン青銅等からなるコイル状のバネ部材５
と、導電性プラスチックや導電性セラミックス等の高抵
抗材料からなる第二の接点部４とから構成されており、
第二の接点部４は、基部３ｂとほぼ同一な太さの筒状で
あり、中心に貫通孔が設けられている。なお、導電性プ
ラスチックとしては、例えばポリアセチレン等の導電性
高分子、金属粉末或いは金属メッキ無機物等の導電性フ
ィラーを含むもの、あるいは、ポリエチレンオキサイド
とＬｉＣｌＯ₄の混合物からなる伝導性高分子等があ
り、導電性セラミックスとしては、ＺｒＯ₂−Ｙ₂Ｏ₃や
Ｂｉ₂Ｏ₃−Ｙ₂Ｏ₃等がある。

【００２３】第一の接点部３ａは第二の接点部４の貫通
孔に挿入され、第一の接点部３ａの外周は第二の接点部
４に囲まれた状態となっている。また、第二の接点部４
の上面にはバネ部材５の一端部が取り付けられると共
に、バネ部材５の他端部が基部３ｂに取り付けられてお
り、第二の接点部４は、第一の接点部３ａに対して基部
３ｂの長さ方向に移動可能な状態で基部３ｂに連結され
ている。また、この第二の接点部４と基部３ｂとは、バ
ネ部材５により電気的に導通状態となっている。測定前
の通常時においては、第二の接点部４が第一の接点部３
ａよりも基部３ｂの長さ方向に突出した状態となってい
ると共に、この突出状態からバネ部材５の弾性に抗し
て、基部３ｂ側に後退可能となっている。

【００２４】電気特性測定時、電極プローブ３の先端部
を被測定物の端子部に近づけると、電極プローブ３は、
まず最初に、第二の接点部４において被測定物の端子部
と接触する。このとき、電極プローブ３や被測定物が帯
電していたとしても、電極プローブ３と被測定物間の電
荷移動は高抵抗材からなる第二の接点部４により緩慢な
ものとなるので、被測定物に大電流が流れることがな
い。また、第二の接点部４は第一の接点部３ａの外周を
囲んでいるので、第一の接点部３ａが第二の接点部４よ
りも先に端子部に接触することがない。

【００２５】電荷移動が完了して電極プローブ３と被測
定物が同電位となった後に電極プローブ３を被測定物の
端子部に押圧すると、バネ部材５の弾性により第二の接
点部４が突出した状態から後退し、第一の接点部３ａの
先端が被測定物の端子部と接触する。そして、良導電体
からなる第一の接点部３ａと被測定物の電気的接続によ
り、測定装置における内部抵抗の少ない状態で、被測定
物の電気的特性の測定を正確に行うことができる。

【００２６】次に、本発明の第二の実施の形態を図３に
より説明する。第二の実施の形態の本体部１と測定ケー
ブル２は図１に示す第一の実施の形態と同様であり、測
定ケーブル２の先端に取り付けられた電極プローブ１３
は、図３に示すように、ニッケルを下地として金メッキ
を施された真鍮等の良導電体からなる基部１３ｂと、基
部１３ｂの先端部から基部１３ｂの長さ方向に凹んで設
けられた孔部１３ｃと、孔部１３ｃ内において突出した
ストッパ部１３ｄと、基部１３ｂの一部であり孔部１３
ｃの近傍から基部１３ａの長さ方向に延出された先細の
棒状である第一の接点部１３ｂと、ベリリウム銅やリン
青銅等からなるバネ部材１５と、導電性プラスチックや
導電性セラミックス等の高抵抗材料からなる第二の接点
部１４とから構成されており、第二の接点部１４は先細
の棒状であると共に、後端部には、孔部１３ｃのストッ
パ部１３ｄに対応して、外周に突出したかけ止め部１４
ａが設けられている。

【００２７】第二の接点部１４とバネ部材１５は基部１
３ｂの孔部１３ｃに収納され、バネ部材１５が第二の接
点部１４と基部１３ｂの間に介在することにより、第二
の接点部１４は基部１３ｂの長さ方向に移動可能な状態
となっている。また、第二の接点部１４と基部１３ｂと
は、バネ部材１５により電気的に導通状態となってい
る。測定前の通常時において、第二の接点部１４は、第
一の接点部１３ｂよりも基部１３ａの長さ方向に突出し
ている。このとき、孔部１３ｃのストッパ部１３ｄと第
二の接点部１４のかけ止め部１４ａが当接することによ
り、第二の接点部１４の孔部１３ｃからの抜け落ちを防
いでいる。なお、第二の接点部１４と基部１３ｂがバネ
部材１５により連結されていれば、第二の接点部１４の
かけ止め部１４ａと孔部１３ｃのストッパ部１３ｄはな
くいても良い。

【００２８】電気特性測定時、電極プローブ１３の長さ
方向を被測定物の端子部と略垂直に保持した状態で電極
プローブ１３の先端部を被測定物の端子部に近づける
と、電極プローブ１３は、まず最初に第二の接点部１４
において被測定物の端子部と接触する。このとき、電極
プローブ１３や被測定物が帯電していたとしても、電荷
の電極プローブ１３と被測定物間の移動は高抵抗材から
なる第二の接点部１４により緩慢なものとなるので、被
測定物に大電流が流れることがない。

【００２９】電荷移動が完了して電極プローブ１３と被
測定物が同電位となった後に電極プローブ１３を被測定
物の端子部に押圧すると、バネ部材１５の弾性により第
二の接点部１４突出した状態から後退して、第一の接点
部１３ａの先端が被測定物の端子部と接触する。そし
て、良導電体からなる第一の接点部３ａと被測定物の電
気的接続により、測定装置における内部抵抗の少ない状
態で、被測定物の電気的特性の測定を正確に行うことが
できる。このとき、第一の接点部１３ａと第二の接点部
１４は互いに近接して設けられているので、被測定物の
端子部が小面積であっても、第二の接点部１４が被測定
物と接触したままの状態で第一の接点部１３ａを被測定
物に接触させることができるので、第二の接点部１４の
接触により除電された被測定物が第一の接点部１３ａと
接触するまでに再度帯電することを防ぐことができる。

【００３０】次に、本発明の第三の実施の形態を図４に
より説明する。第三の実施の形態の本体部１と測定ケー
ブル２は図１に示す第一の実施の形態と同様であり、測
定ケーブル２の先端に取り付けられた電極プローブ２３
は、図４に示すように、ニッケルを下地として金メッキ
を施された真鍮等の良導電体からなる基部２３ｂと、基
部２３ｂの一部であり、基部２３ｂの長さ方向に延出さ
れた筒状である第一の接点部２３ａと、筒状の第一の接
点部２３ａの中央部に設けられて先端側に開放口を有す
る空洞部２３ｄと、第一の接点部２３ａの空洞部２３ｄ
内において突出したストッパ部２３ｅと、ベリリウム銅
やリン青銅等からなるバネ部材２５と、導電性プラスチ
ックや導電性セラミックス等の高抵抗材料からなる第二
の接点部２４とから構成されており、第二の接点部２４
は先細の棒状であり、後端部には、ストッパ部２３ｅに
対応して外周部に突出したかけ止め部２４ａが設けられ
ている。

【００３１】第二の接点部２４とバネ部材２５は第一の
接点部２３ａの空洞部２３ｄに収納され、バネ部材２５
が第二の接点部２４と基部２３ｂの間に介在することに
より、第二の接点部２４は基部２３ｂの長さ方向に移動
可能な状態となっている。また、バネ部材２５により、
第二の接点部２４と基部２３ｂとは電気的に導通状態と
なっている。測定前の通常時において、第二の接点部２
４は、第一の接点部２３ｂよりも基部２３ａの長さ方向
に突出している。このとき、ストッパ部２３ｅと第二の
接点部２４のかけ止め部２４ａが当接することにより、
第二の接点部２４の孔部２３ｃからの抜け落ちを防いで
いる。なお、第二の接点部２４と基部２３ｂがバネ部材
２５により連結されていれば、第二の接点部２４のかけ
止め部２４ａとストッパ部２３ｅはなくても良い。

【００３２】電気特性測定時、電極プローブ２３を被測
定物の端子部と略垂直に保持して端子部に近づけると、
電極プローブ２３は、まず最初に、第二の接点部２４に
おいて被測定物の端子部と接触する。このとき、電極プ
ローブ２３や被測定物に帯電していた電荷は、第二の接
点部２４を介して電極プローブ２３と被測定物間を移動
する。このような電荷移動は高抵抗材からなる第二の接
点部２４により緩慢なものとなり、大電流となることが
ない。

【００３３】電荷移動が完了して電極プローブ２３と被
測定物が同電位となった後、電極プローブ２３を被測定
物の端子部に押圧すると、バネ部材２５の弾性により第
二の接点部２４が突出した状態から後退して、第一の接
点部２３ａの先端が被測定物の端子部と接触する。そし
て、良導電体からなる第一の接点部３ａと被測定物の電
気的接続により、測定装置における内部抵抗の少ない状
態で、被測定物の電気的特性の測定を正確に行うことが
できる。このとき、第二の接点部２４は第一の接点部２
３ａの空洞部２３ｄに収納されているので、被測定物の
端子部が小面積であっても、第二の接点部２４が被測定
物と接触した状態で第一の接点部２３ａを被測定物に接
触させることができるので、第二の接点部２４の接触に
より除電された被測定物が第一の接点部２３ａと接触す
るまでに再度帯電することを防ぐことができる。

【００３４】次に、本発明の第四の実施の形態を図５に
より説明する。第四の実施の形態の本体部１と測定ケー
ブル２は図１に示す第一の実施の形態と同様であり、測
定ケーブル２の先端に取り付けられた電極プローブ３３
は、図５に示すように、ニッケルを下地として金メッキ
を施された真鍮等の良導電体からなる基部３３ｂと、基
部３３ｂの一部であり、基部３３ｂの先端部から基部３
３ｂの長さ方向に延出された先細の棒状である第一の接
点部３３ａと、導電性プラスチックや導電性セラミック
ス等の高抵抗材料からなり、第一の接点部３３ａと同様
に先細の棒状である第二の接点部３４とを有し、第二の
接点部３４は第一の接点部３３ａの近傍で基部３３ｂに
固定して取り付けられて、第一の接点部３３ａの先端と
第二の接点部３４の先端の位置は、基部３３ｂの長さ方
向に一致するように配置されている。

【００３５】電気特性測定時、図５の実線で示すよう
に、電極プローブ３３を傾けた状態で、まず最初に、第
二の接点部３４と被測定物の端子部とを接触させる。こ
のとき、電極プローブ３３や被測定物に帯電していたと
しても、電荷の電極プローブ３３と被測定物間の移動は
高抵抗材からなる第二の接点部３４により緩慢なものと
なるので、被測定物に大電流が流れることがない。

【００３６】そして、電荷移動が完了して電極プローブ
３と被測定物が同電位となった後、図５の点線で示すよ
うに、電極プローブ３３の基部３３ｂを回転させて、第
二の接点部３４が接触にある被測定物の端子部に、第一
の接点部３３ａを接触させる。更に、基部３３ｂを同方
向に回転させると、第二の接点部３４が被測定物の端子
部から離れ、第一の接点部３３ａのみが被測定物の端子
部と接触した状態となる。そして、良導電体からなる第
一の接点部３３ａと被測定物の電気的接続により、測定
装置における内部抵抗の少ない状態で、被測定物の電気
的特性の測定を正確に行うことができる。このとき、第
二の接点部３４が被測定物の端子部から離れる前に第一
の接点部３３ａが被測定物の端子部と接触するので、第
二の接点部３４の接触により除電された被測定物が第一
の接点部３３ａと接触するまでに再度帯電することがな
い。また、第一の接点部３３ａと被測定物の電気的接続
により測定を行うときには第二の接点部３４は端子部か
ら離れているので、より正確な測定を行うことができ
る。

【００３７】次に、本発明の第五の実施の形態を図６に
より説明する。第五の実施の形態の本体部１は、図１に
示す第一の実施の形態と同様であり、本体部１と電気的
に接続された電極プローブ４３を有している。

【００３８】電極プローブ４３は、図６に示すように、
導電体からなり、貫通孔が設けられた筒状の基部４３ｂ
と、ニッケルを下地として金メッキを施された真鍮等の
良導電体からなり、先細となった棒状である一対の第一
の接点部４３ａと、ベリリウム銅やリン青銅等からなる
コイル状のバネ部材４５と、導電性プラスチックや導電
性セラミックス等の高抵抗材料からなり、２つの貫通孔
が平行に設けられた筒状の第二の接点部４４とから構成
されている。

【００３９】基部４３ｂと第二の接点部４４は、バネ部
材４５により連結されており、バネ部材４５によって、
第二の接点部４４と基部４３ｂとは電気的に導通状態と
なっている。一対の第一の接点部４３ａは、基部４３ｂ
の貫通孔内で、互いに平行に保持され、第二の接点部４
４の２つの貫通孔にそれぞれ挿入されて、一対の第一の
接点部４３ａは、それぞれ、外周が第二の接点部４４に
囲まれた状態となっている。このとき、第二の接点部４
４は、バネ部材４５の弾性により、第一の接点部４３ａ
に対して基部４３ｂの長さ方向に移動可能な状態となっ
ている。

【００４０】一対の接点部４３ａは、それぞれが本体部
１の正・負極と電気的に接続されている。

【００４１】測定前の通常時においては、第二の接点部
４４が第一の接点部４３ａよりも基部４３ｂの長さ方向
に突出した状態となっていると共に、この突出状態から
バネ部材４５の弾性に抗して、基部４３ａ側に後退可能
となっている。

【００４２】電気特性測定時、電極プローブ４３の先端
部を被測定物の端子部に近づけると、電極プローブ４３
は、まず最初に、第二の接点部４４において被測定物の
端子部と接触する。このとき、電極プローブ４３や被測
定物が帯電していたとしても、電極プローブ４３と被測
定物間の電荷移動は高抵抗材からなる第二の接点部４４
により緩慢なものとなるので、被測定物に大電流が流れ
ることがない。また、一対の第一の接点部４３ａは、そ
れぞれの外周が第二の接点部４４により囲まれているの
で、第二の接点部４４よりも先に端子部に接触すること
がなく、また、第１の接点部４３ａ同士が接触すること
がない。

【００４３】電荷移動が完了して電極プローブ４３と被
測定物が同電位となった後に電極プローブ４３を被測定
物の端子部に押圧すると、バネ部材４５の弾性により第
二の接点部４４が突出した状態から後退し、一対の第一
の接点部４３ａは、それぞれの先端が被測定物の端子部
と接触して、本体部１の正・負極は、被測定物と同時に
電気的に接触する。そして、測定装置における内部抵抗
の少ない状態で、被測定物の電気的特性の測定を正確に
行うことができる。

【００４４】このように、電極プローブ３を被測定物の
端子部に押圧することにより、本体部１の正・負極が、
同時に被測定物と電気的に接触する。このとき、電極プ
ローブ３を片手で保持して測定することができるので、
正、負極の一対の電極プローブを別個に設けて一対の電
極プローブをそれぞれ両手に持って測定するよりも、測
定を容易に行うことができる。

【００４５】

【発明の効果】本発明の電気特性測定装置は、良導電体
からなる第一の接点部は、高抵抗材からなる第二の接点
部が被測定物と電気的に接続された後に被測定物と電気
的に接続される。このような電気特性測定装置では、電
極プローブや被測定物に帯電していたとしても、電荷の
電極プローブと被測定物間の移動は高抵抗材からなる第
二の接点部により緩慢なものとなるので、被測定物に大
電流が流れることがなく、被測定物の静電破壊を防ぐこ
とができる。また、電荷移動が完了してから第一の接点
部と被測定物とを電気的接続して、内部抵抗の少ない状
態で、被測定物の電気的特性の測定を正確に行うことが
できる。

【００４６】また、本発明の電気特性測定装置は、前記
第二の接点部は移動可能であると共に、前記第二の接点
部は前記第一の接点部よりも前記基部の長さ方向に突出
したり、この突出状態から後退するようにした。このよ
うな電気特性測定装置では、前記第二の接点部は前記第
一の接点部よりも突出しているので、測定時に第一の接
点部が第二の接点部よりも先に被測定物に接触すること
がなく、被測定物の静電破壊を防ぐことができる。

【００４７】また、本発明の電気特性測定装置は、前記
第二の接点部と前記基部の間に、バネ部材を介在させ
た。このような電気特性測定装置では、第二の接点部の
移動をバネ部材の弾性により行うので、第二の接点部の
移動が容易であり、第二の接点部に押圧されることによ
る端子部の破損を防ぐことができる。

【００４８】また、本発明の電気特性測定装置は、前記
バネ部材は、前記基部と前記第二の接点部を連結してい
る。このような電気特性測定装置では、第二の接点部が
基部から抜けることがなく、第二の接点部の抜け止めの
構造が不要であるから、構造を簡易なものとすることが
できる。

【００４９】また、本発明の電気特性測定装置は、前記
第一の接点部と前記第二の接点部は近接して設けられて
いる。このような電極プローブの構造では、被測定物の
端子部が小面積であっても、第二の接点部が被測定物と
接触した状態で第一の接点部を被測定物に接触させるこ
とができるので、第二の接点部の接触により除電された
被測定物が第一の接点部と接触するまでに再度帯電する
ことを防ぐことができる。

【００５０】また、本発明の電気特性測定装置は、前記
第二の接点部を、前記第一の接点部の外周を囲むような
筒状で形成した。このような電気特性測定装置では、第
一の接点部が第二の接点部に囲まれているから、電極プ
ローブが被測定物に傾いた状態で接近しても、第一の接
点部が第二の接点部よりも先に端子部に接触することが
ない。

【００５１】また、本発明の電気特性測定装置は、前記
第一の接点部の長手方向の中央部には空洞部が設けられ
ており、該空洞部に前記第二の接点部が収納されてい
る。このような電極プローブの構造では、被測定物の端
子部が小面積であっても、第二の接点部が被測定物と接
触した状態で第一の接点部を被測定物に接触させること
ができるので、第二の接点部の接触により除電された被
測定物が第一の接点部と接触するまでに再度帯電するこ
とを防ぐことができる。

【００５２】さらに、本発明の電気特性測定装置は、前
記第二の接点部の表面抵抗が１０⁶乃至１０¹²Ω／□で
ある。このような電気特性測定装置では、第二の接点部
が接触したときの電荷の移動による電流をより小さなも
のとすることができる。

【００５３】さらに、本発明の電気特性測定装置は、前
記第二の接点部が、導電性プラスチックからなる。絶縁
材の表面に界面活性剤や水分を付着させておいても表面
抵抗を１０⁶乃至１０¹²Ω／□とすることができるが、
第二の接点部を導電性プラスチックから構成すること
で、安定した表面抵抗値を得ることができる。

【００５４】あるいは、本発明の電気特性測定装置は、
前記第二の接点部が、導電性セラミックスからなる。絶
縁材の表面に界面活性剤や水分を付着させておいても表
面抵抗を１０⁶乃至１０¹²Ω／□とすることができる
が、第二の接点部を導電性セラミックスから構成するこ
とで、安定した表面抵抗値を得ることができる。

【００５５】さらに、本発明の電気特性測定装置は、前
記バネ部材がベリリウム銅からなる。このような電気特
性測定装置では、第二の接点部が接触したときの電荷の
移動による電流をより小さなものとすることができる。

【００５６】あるいは、本発明の電気特性測定装置は、
前記バネ部材がリン青銅からなる。このような電気特性
測定装置では、第二の接点部が接触したときの電荷の移
動による電流をより小さなものとすることができる。

【００５７】また、本発明の電気特性測定装置は、前記
第一の接点部の先端と前記第二の接点部の先端の位置
を、前記基部の長さ方向に一致させて配置した。このよ
うな電気特性測定装置では、第二の接点部が接触した状
態の被測定物に、第一の接点部が接触してた後、第二の
接点部が被測定物の端子部から離れ、第一の接点部のみ
が被測定物の端子部と接触した状態となるので、第二の
接点部の接触により除電された被測定物が第一の接点部
３３と接触するまでに再度帯電することがない。また、
第一の接点部と被測定物の電気的接続により測定を行う
ときには第二の接点部は端子部から離れているので、よ
り正確な測定を行うことができる。

【００５８】さらに、本発明の電気特性測定装置は、前
記第二の接点部の表面抵抗が１０⁶乃至１０¹²Ω／□で
ある。このような電気特性測定装置では、第二の接点部
が接触したときの電荷の移動による電流をより小さなも
のとすることができる。

【００５９】さらに、本発明の電気特性測定装置は、前
記第二の接点部が、導電性プラスチックからなる。絶縁
材の表面に界面活性剤や水分を付着させておいても表面
抵抗を１０⁶乃至１０¹²Ω／□とすることができるが、
第二の接点部を導電性プラスチックから構成すること
で、安定した表面抵抗値を得ることができる。

【００６０】あるいは、本発明の電気特性測定装置は、
前記第二の接点部が、導電性セラミックスからなる。絶
縁材の表面に界面活性剤や水分を付着させておいても表
面抵抗を１０⁶乃至１０¹²Ω／□とすることができる
が、第二の接点部を導電性セラミックスから構成するこ
とで、安定した表面抵抗値を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の電気特性測定装置の全体概略図。

【図２】本発明の電気特性測定装置の第一の実施の形態
の要部断面図。

【図３】本発明の電気特性測定装置の第二の実施の形態
の要部断面図。

【図４】本発明の電気特性測定装置の第三の実施の形態
の要部断面図。

【図５】本発明の電気特性測定装置の第四の実施の形態
の要部断面図。

【図６】本発明の電気特性測定装置の第五の実施の形態
の要部断面図。

【図７】従来の電気特性測定装置の全体概略図。

【符号の説明】

１本体部２測定ケーブル３、１３、２３、３３、４３電極プローブ３ａ、１３ａ、２３ａ、３３ａ、４３ａ第一の接点部３ｂ、１３ｂ、２３ｂ、３３ｂ、４３ｂ基部１３ｃ孔部２３ｄ空洞部４、１４、２４、３４、４４第二の接点部５、１５、２５、４５バネ部材

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】電極プローブは、良導電体からなる基部
と、良導電体からなる第一の接点部と、前記第一の接点
部よりも高い電気抵抗を有する導電体からなる第二の接
点部とを備え、前記基部と前記第一、第二の接点部は電
気的に導通された状態にあって、前記第一の接点部は、
前記第二の接点部が被測定物と電気的に接続された後に
被測定物と電気的に接続されるようにしたことを特徴と
する電気特性測定装置。
【請求項２】前記電極プローブは、前記第一の接点部
が前記基部の一部で形成され、前記第二の接点部は前記
基部の長さ方向に移動可能であると共に、前記第二の接
点部は前記第一の接点部よりも前記基部の長さ方向に突
出したり、この突出状態から後退するようにしたことを
特徴とする請求項１記載の電気特性測定装置。
【請求項３】前記第二の接点部と前記基部の間に、バ
ネ部材を介在させたことを特徴とする請求項２記載の電
気特性測定装置。
【請求項４】前記バネ部材は、前記基部と前記第二の
接点部を連結していることを特徴とする請求項３に記載
の電気特性測定装置。
【請求項５】前記第一の接点部と前記第二の接点部は
互いに近接して設けられていることを特徴とする請求項
２乃至４のいずれかに記載の電気特性測定装置。
【請求項６】前記第二の接点部は、前記第一の接点部
の外周を囲むような筒状で形成したことを特徴とする請
求項２乃至５のいずれかに記載の電気特性測定装置。
【請求項７】前記第一の接点部の長手方向の中央部に
は空洞部が設けられており、該空洞部に前記第二の接点
部が収納されていることを特徴とする請求項２乃至５の
いずれかに記載の電気特性測定装置。
【請求項８】前記第二の接点部の表面抵抗は、１０⁶
乃至１０¹²Ω／□であることを特徴とする請求項２乃至
７のいずれかに記載の電気特性測定装置。
【請求項９】前記第二の接点部は、導電性プラスチッ
クからなることを特徴とする請求項８に記載の電気特性
測定装置。
【請求項１０】前記第二の接点部は、導電性セラミッ
クスからなることを特徴とする請求項８に記載の電気特
性測定装置。
【請求項１１】前記バネ部材はベリリウム銅からなる
ことを特徴とする請求項２乃至１０のいずれかに記載の
電気特性測定装置。
【請求項１２】前記バネ部材はリン青銅からなること
を特徴とする請求項２乃至１０のいずれかに記載の電気
特性測定装置。
【請求項１３】前記第一の接点部は前記基部の一部で
形成され、前記第二の接点部は前記第一の接点部の近傍
で前記基部に取り付けられて、前記第一の接点部の先端
と前記第二の接点部の先端の位置を、前記基部の長さ方
向に一致させて配置したことを特徴とする請求項１記載
の電気特性測定装置。
【請求項１４】前記第二の接点部の表面抵抗は、１０
⁶乃至１０¹²Ω／□であることを特徴とする請求項１３
記載の電気特性測定装置。
【請求項１５】前記第二の接点部は、導電性プラスチ
ックからなることを特徴とする請求項１４に記載の電気
特性測定装置。
【請求項１６】前記第二の接点部は、導電性セラミッ
クスからなることを特徴とする請求項１４に記載の電気
特性測定装置。