CN1295252A - 电特性测定装置 - Google Patents

Abstract

本发明目的在于提供一种电特性测定装置,其可正确地测定作为被测定物的电子器件的电特性。由高电阻形成的第2接点部4与被测定物以导通方式连接,之后由良导电体形成的第1接点部3a与被测定物以导通方式连接。

Description

电特性测定装置

本发明涉及用于测定电特性的测定装置，本发明特别是涉及下述电特性测定装置，其具有薄膜磁头等的微型结构，以静电或突入电流较弱的电子器件作为被测定物。

如图7所示，过去的数字式伏-欧-毫安表等的电特性测定装置包括内部设置有电动测定器的主体部61；从主体部61引出，经绝缘性覆盖的2根测定电缆62；正负极的一对杆状的电极探头63，该对电极探头63安装于测定电缆62的前端部，通过测定电缆62与主体部61以导通方式连接，该电极探头63由以镍为基体，进行了镀金处理的黄铜等的良导电体形成，电极探头63与被测定物的端子部直接相接触，对被测定物的电特性进行测定。

但是，由于过去的电特性测定装置中的具有绝缘外膜的测定电缆62为容易蓄积电荷的结构，另外，电极探头63处于相对主体部61的电源接地端，静电浮起的状态，故电极探头63相对电源接地端，容易带有电位。如果电极探头63或被测定物63带电，通过测定时的电极探头63与被测定物的端子部之间的接触，带电的电荷Q在被测定物与电极探头63之间瞬间移动(数个毫微秒)。在按照此方式，电荷Q瞬间移动的场合，即使在电荷Q为微量的情况下，作为电荷Q时间微分的电流I=△Q／△T为大电流。由于该大电流，当被测定物为具有微型结构的电子器件(比如，薄膜磁头等)时，具有被测定物受到静电破坏的问题。

另外，在过去，为了防止被测定物或电特性测定装置带电，通过电离装置对被测定物进行除电处理，或对电特性测定装置进行改造等。但是，任何一种方式的成本均较高，具有管理复杂的问题。本发明的目的在于提供电特性测定装置，其不使作为被测定物的电子器件受到静电破坏，并且可正确地测定电子器件的电特性。

本发明的电特性测定装置按照下述方式构成，该方式为：电极探头包括由良导电体形成的基部；由良导电体形成的第1接点部；由其电阻大于上述第1接点部的导电体形成的第2接点部，上述基部与第1，第2接点部处于导通的状态，在第2接点部与被测定物以导通方式连接之后，第1接点部与该被测定物以导通方式连接。

另外，本发明的电特性测定装置中的电极探头具有由良导电体形成的基部，第1接点部由上述基部的一部分形成，第2接点部可沿上述基部的长度方向移动，并且上述第2接点部相对第1接点部，沿上述基部的长度方向突出，可按照相对该突出状态后退的方式移动。

此外，最好在本发明的电特性测定装置中，第2接点部与基部之间设置有弹簧部件。

还有，最好在本发明的电特性测定装置中，上述弹簧部件将基部与第2接点部连接。

再有，最好在本发明的电特性测定装置中，第1接点部与第2接点部按照相互接近的方式设置。

另外，最好在本发明的电特性测定装置中，第2接点部呈包围第1接点部的外周的筒状。

此外，最好在本发明的电特性测定装置中，在上述第1接点部的长度方向的中间部，设置有中空部，第2接点部接纳于该中空部中。

还有，最好在本发明的电特性测定装置中，上述第2接点部的表面电阻在10⁶～10¹²Ω／□的范围内。

再有，最好在本发明的电特性测定装置中，第2接点部由导电性塑料形成。作为导电性塑料，包括有聚乙炔等的导电性高分子，在塑料中混合有作为导电性填料的金属粉末等而形成的材料，或离子传导性高分子等。

或者，在本发明的电特性测定装置中，第2接点部由导电性陶瓷形成。作为导电性陶瓷，包括有ZrO₂-Y₂O₃等的离子带电体。

还有，在本发明的电特性测定装置中，上述弹簧部件由铍铜形成。

或者，在本发明的电特性测定装置中，上述弹簧部件由磷青铜形成。

另外，在本发明的电特性测定装置中，第1接点部由上述基部的一部分形成，第2接点部在第1接点部的附近，安装于上述基部上，第1接点部的前端与第2接点部的前端位置按照与上述基部的长度方向保持一致的方式设置。

此外，在本发明的电特性测定装置中，第2接点部的表面电阻在10⁶～10¹²Ω／□的范围内。

还有，在本发明的电特性测定装置中，第2接点部由导电性塑料形成。

再有，在本发明的电特性测定装置中，第2接点部由导电性陶瓷形成。

图1为本发明电特性测定装置的整体示意图；

图2为本发明的电特性测定装置的第1实施例的主要部分的剖视图；

图3为本发明的电特性测定装置的第2实施例的主要部分的剖视图；

图4为本发明的电特性测定装置的第3实施例的主要部分的剖视图；

图5为本发明的电特性测定装置的第4实施例的主要部分的剖视图；

图6为本发明的电特性测定装置的第5实施例的主要部分的剖视图；

图7为过去的电特性测定装置的整体示意图。

首先，通过图1和图2对本发明的第1实施例进行描述。如图1所示，本发明的电特性测定装置包括其内部设置有电测定器的主体部1；两根测定电缆2，它们从主体部1引出，实现绝缘包覆；正负极的一对电极探头3，其安装于测定电缆2的前端部，通过测定电缆2，与主体部1以导通方式连接。

如图2所示，一对相应的电极探头3包括基部3b，该基部3b由以镍为基体，进行了镀金处理的黄铜等的良导电体形成；第1接点部3a，该第1接点部3a呈从基部3b的前端中间部，沿基部3b的长度方向延伸的前端较细的杆状；螺旋状的弹簧部件5，该弹簧部件5由铍铜或磷青铜等形成；第2接点部4，该第2接点部4由导电性塑料或导电性陶瓷等的高阻抗材料形成，上述第2接点部4呈与基部3b基本相同的粗细的筒状，在中心开设有通孔。

另外，作为导电性塑料，包括有比如，聚乙炔等的导电性高分子，包含金属粉末或镀金属层的无机物等的导电性填料的材料，或具有由聚氧化乙烯与LiClO₄的混合物形成的传导性高分子等，作为导电性陶瓷，包括有ZrO₂-Y₂O₃或Bi₂O₃-Y₂O₃等。

第1接点部3a插入第2接点部4的通孔中，第1接点部3a的外周处于围绕第2接点部4的主体。另外，在第2接点部4的顶面，安装有弹簧部件5的一个端部，并且在弹簧部件5的另一端部安装于基部3b，第2接点部4在可相对第1接点部3a，沿基部3b的长度方向移动的状态，与基部3b连接。此外，该第2接点部4与基部3b处于通过弹簧部件5，实现导通的状态。在测定前的通常时，第2接点部4处于沿基部3b的长度方向，从第1接点部3a突出的状态，并且可相对该突出状态，抵抗弹簧部件5的弹性，朝向基部3b一侧后退。

如果在测定电特性时，使电极探头3的前端部接近被测定物的端子部，则电极探头3首先在最初，在第2接点部4，与被测定物的端子部相接触。此时，即使在电极探头3或被测定物带电的情况下，由于电极探头3与被测定物之间的电荷移动因高阻抗材料的第2接点部4的作用而缓慢，故大电流不流过被测定物。

此外，由于第2接点部4围绕第1接点部3a的外周，故第1接点部3a不先于第2接点部4，与被测定物的端子部相接触。

如果在电荷移动完成，电极探头3与被测定物为相同电位之后，将电极探头3压靠于被测定物的端子部，则在弹簧部件5的弹性的作用下，第2接点部4从突出的状态后退，第1接点部3a的前端与被测定物的端子部相接触。另外，由于由良导电体形成的第1接点部3a与被测定物之间以导通方式连接，故在测定装置中的内部电阻较小的状态下，可正确地测定被测定物的电特性。

下面通过图3，对本发明的第2实施例进行描述。第2实施例的主体部1与测定电缆2与图1所示的第1实施例的相同，如图3所示，安装于测定电缆2的前端的电极探头13包括基部13b，该基部13b由以镍为基体，进行了镀金处理的黄铜等的良导电体形成；孔部13c，该孔部13c从该基部13b的前端部，沿基部13b的长度方向呈凹状设置；止动部13d，其在孔部13c的内部突出；第1接点部13a，该第1接点部13a为基部13b的一部分，其呈从孔部13c的附近，沿基部13b的长度方向延伸的前端较细的杆状；弹簧部件15，该弹簧部件15由铍铜或磷青铜等形成；第2接点部14，该第2接点部14由导电性塑料或导电性陶瓷等的高电阻材料形成，上述第2接点部14呈前端较细的杆状，并且在其后端部，对应于孔部13c的止动部13d，设置有朝向外周突出的钩搭部14a。

第2接点部14与弹簧部件15接纳于基部13b的孔部13c内，弹簧部件15设置于第2接点部14与基部13b之间，由此第2接点部14处于可沿基部13b的长度方向移动的状态。另外，第2接点部14与基部13b通过弹簧部件15，处于导通状态。在测定前的通常时，第2接点部14相对第1接点部13a，沿基部13b的长度方向突出。此时，由于通孔13c中的止动部13d与第2接点部14中的钩搭部14a相接触，故防止第2接点部14从孔部13c拔落。另外，如果第2接点部14与基部13b通过弹簧部件15连接，也可不设置第2接点部14中的钩搭部14a与孔部13c中的止动部13d。

在测定电特性时，如果在使电极探头13的长度方向基本与被测定物的端子部保持垂直的状态，使电极探头13的前端部靠近被测定物的端子部，则该电极探头13首先在最初，在第2接点部14，与被测定物的端子部相接触。此时，即使在电极探头13或被测定物带电的情况下，由于电荷在电极探头13与被测定物之间的移动因由高电阻材料形成的第2接点部14而缓慢，故大电流不流过被测定物。

如果在电荷移动完成，电极探头13与被测定物处于相同电位之后，将电极探头13压靠于被测定物的端子部上，则由于弹簧部件15的弹性，第2接点部14从突出状态后退，第1接点部13a的前端与被测定物的端子部相接触。另外，由于由良导电体形成的第1接点部3a与被测定物之间以导通方式连接，故在测定装置中的内部电阻很小的状态，可正确对被测定物的电特性进行测定。

此时，由于第1接点部13a与第2接点部14按照相互接近的方式设置，故即使在被测定物的端子部的面积较小的情况下，在第2接点部14与被测定物相接触的状态，第1接点部13a仍可与被测定物相接触，由此，可防止下述情况，该情况指因第2接点部14的接触而除电的被测定物再次带电，直至与第1接点部13a相接触。

下面通过图4，对本发明的第3实施例进行描述。第3实施例中的主体部1和测定电缆2与图1所示的第1实施例的相同，如图4所示，安装于测定电缆2的前端上的电极探头23包括基部23b，该基部23b由以镍为基体，进行了镀金处理的黄铜等的良导电体形成；第1接点部23a，该第1接点部23a为基部23b的一部分，其呈沿基部23b的长度方向延伸的筒状；中空部23d，该中空部23d设置于筒状的第1接点部23a的中间部，在其前端侧，具有开放口；止动部23e，该止动部23e在第1接点部23a中的中空部23d的内部突出；弹簧部件25，该弹簧部件25由铍铜或磷青铜等形成；第2接点部24，该第2接点部24由导电性塑料或导电性陶瓷等的高电阻材料形成，上述第2接点部24为呈前端较细的杆状，在其后端部，对应于止动部23e，设置有在外周部突出的钩搭部24a。

第2接点部24与弹簧部件25接纳于第1接点部23a中的中空部23d，弹簧部件25设置于第2接点部24与基部23b之间，由此第2接点部24处于可沿基部23b的长度方向移动。此外，通过弹簧部件25，第2接点部24与基部23b之间实现导通。在测定前的通常时，第2接点部24相对第1接点部23b，沿基部23a的长度方向突出。此时，由于止动部23e与第2接点部24中的钩搭部24a相接触，这样便防止第2接点部24相对孔部23c拔落。另外，如果第2接点部24与基部23b通过弹簧部件25连接，则也可不设置第2接点部24中的钩搭部24a与止动部23e。

在测定电特性时，如果使电极探头23按照基本上与被测定物的端子部保持垂直的方式靠近该端子部，则电极探头23首先在最初在第2接点部24，与被测定物的端子部相接触。此时，电极探头23或被测定物上所携带的电荷通过第2接点部24，在电极探头23与被测定物之间移动。这样的电荷移动因高电阻材料形成的第2接点部24而缓慢，不产生大电流。

如果在电荷移动完成，电极探头23与被测定物处于相同电位之后，将电极探头23压靠于被测定物的端子部上，则由于弹簧部件25的弹性，第2接点部24从突出状态后退，第1接点部23a的前端与被测定物的端子部相接触。另外，由于由良导电体形成的第1接点部23a与被测定物之间以导通方式连接，故在测定装置中的内部电阻很小的状态，可正确地对被测定物的电特性进行测定。

此时，由于第2接点部24接纳于第1接点部23a中的中空部23d，故即使在被测定物的端子部的面积较小的情况下，在第2接点部24与被测定物相接触的状态，第1接点部23a仍可与被测定物相接触，由此，可防止下述情况，该情况指因第2接点部24的接触而除电的被测定物再次带电，直至与第1接点部23a相接触。

下面通过图5，对本发明的第4实施例进行描述。第4实施例中的主体部1和测定电缆2与图1所示的第1实施例的相同，如图5所示，安装于测定电缆2的前端上的电极探头33包括基部33b，该基部33b由以镍为基体，进行了镀金处理的黄铜等的良导电体形成；第1接点部33a，该第1接点部33a为基部33b的一部分，其呈从基部33b的前端部，沿基部33b的长度方向延伸的前端较细的杆状；第2接点部34，该第2接点部34由导电性塑料或导电性陶瓷等的高电阻材料形成，上述第2接点部34与第1接点部33a相同，呈前端较细的杆状，该第2接点部34在第1接点部33a附近，固定安装于基部33b上，第1接点部33a的前端与第2接点部34的前端的位置按照与基部33b的长度方向保持一致的方式设置。

在测定电特性时，如图5中的实线所示，在电极探头33倾斜的状态，首先在最初，使第2接点部34与被测定物的端子部相接触。此时，即使在电极探头33或被测定物带电的情况下，由于电荷在电极探头33与被测定物之间的移动因由高电阻材料形成的第2接点部34而缓慢，故大电流不会流过被测定物。

另外，在电荷移动完成，电极探头23与被测定物处于相同电位之后，如图5中的虚线所示，使电极探头33中的基部33b旋转，使第1接点部33a，与和第2接点部34接触的被测定物的端子部相接触。另外，如果沿相同方向使基部33b旋转，第2接点部34与被测定物的端子部离开，仅仅第1接点部33a处于与被测定物的端子部相接触的状态。此外，由于由良导电体形成的第1接点部33a与被测定物之间以导通方式连接，故在测定装置中的内部电阻很小的状态，可正确对被测定物的电特性进行测定。

此时，由于在第2接点部34与被测定物的端子部离开之前，第1接点部33a与被测定物的端子部相接触，故不发生下述情况，该情况指因第2接点部34的接触而除电的被测定物再次带电，直至与第1接点部33a相接触。另外，当通过第1接点部33a与被测定物之间的导通式连接进行测定时，由于第2接点部34与端子部离开，故可更加正确地进行测定。

下面通过图6，对本发明的第5实施例进行描述。第5实施例中的主体部1与图1所述的第1实施例相同，其包括与主体部1以导通方式连接的电极探头43。

如图6所示，电极探头43包括筒状基部43b，该基部43b由导电体形成，设置有通孔；一对第1接点部43a，该对第1接点部43a由以镍为基体，进行了镀金处理的黄铜等的良导电体形成，其呈前端较细的杆状；螺旋状的弹簧部件45，该弹簧部件45由铍铜或磷青铜等形成；第2接点部44，该第2接点部44由导电性塑料或导电性陶瓷等的高电阻材料形成，上述第2接点部44平行地设置有两个通孔，该第2接点部44呈筒状。

基部43b与第2接点部44通过弹簧部件45连接，借助弹簧部件45，第2接点部44与基部43b实现导通。一对第1接点部43a在基部43b的通孔内部，相互保持平行，分别插入第2接点部44中的两个通孔中，一对第1接点部43a的外周各自处于围绕第2接点部44的状态。此时，第2接点部44借助弹簧部件45的弹性，处于可相对第1接点部43a，沿基部43b的长度方向移动的状态。

一对接点部43a分别与主体部1的正负极以导通方式连接。

在测定前的通常时，第2接点部44处于相对第1接点部43a，沿基部43b的长度方向突出的状态，并且从该突出状态，抵抗弹簧部件45的弹性，可朝向基部43a一侧后退。

在测定电特性时，如果使电极探头43的前端部靠近被测定物的端子部，则电极探头43首先在最初，在第2接点部44上，与被测定物的端子部相接触。此时，即使在电极探头43或被测定物带电的情况下，由于在电极探头43与被测定物之间的电荷移动因由高电阻材料形成的第2接点部44缓慢，大电流仍不流过被测定物。

还有，由于一对第1接点部43a的相应外周为第2接点部44包围，故该对第1接点部43a不先于第2接点部44，与被测定物的端子部相接触，另外，第1接点部43a之间不相接触。

如果在电荷移动完成，电极探头43与被测定物处于相同电位之后，将电极探头43压靠于被测定物的端子部上，则由于弹簧部件45的弹性，第2接点部44从突出状态后退，一对第1接点部43a的相应前端与被测定物的端子部相接触，主体部1的正负极同时与被测定物之间以导通方式接触。这样，在测定装置中的内部电阻很小的状态，可正确对被测定物的电特性进行测定。

按照上述方式，通过将电极探头3压靠于被测定物的端子部上，主体部1的正负极同时与被测定物之间以导通方式接触。由于此时，可通过一只手保持电极探头3，对其进行测定，故与下述场合相比较，可更容易进行测定，该场合指分别设置正，负极的一对电极探头，分别通过两只手保持一对电极探头，对其进行测定。

在本发明的电特性测定装置中，在由高电阻材料形成的第2接点部与被测定物以导通方式接触之后，由良导电体形成的第1接点部与被测定物以导通方式接触。

在这样的电特性测定装置中，即使在电极探头或被测定物带电的情况下，由于电荷在电极探头与被测定物之间的移动因由高电阻材料形成的第2接点部而缓慢，大电流仍不流过被测定物，可防止被测定物的静电破坏。另外，在电荷移动完成之后，第1接点部与被测定物以导通方式接触，在内部电阻较小的状态，可正确地测定被测定物的电特性。

另外，在本发明的电特性测定装置中，上述第2接点部可移动，并且上述第2接点部可相对第1接点部，沿上述基部的长度方向突出，相对该突出状态后退。

在这样的电特性测定装置中，由于上述第2接点部相对第1接点部突出，故在测定时，第1接点部不先于第2接点部，与被测定物相接触，可防止被测定物的静电破坏。

此外，本发明的电特性测定装置在上述第2接点部与基部之间，设置弹簧部件。

在这样的电特性测定装置中，由于第2接点部的移动借助弹簧部件的弹性进行，故第2接点部容易移动，可防止因压靠于第2接点部上造成的端子部的破坏。

还有，在本发明的电特性测定装置中，上述弹簧部件将上述基部和第2接点部连接。

在这样的电特性测定装置中，由于第2接点部不相对基部拔动，无需第2接点部的止拔结构，故可使结构简单。

再有，在本发明的电特性测定装置中，上述第1接点部与第2接点部以相互接近的方式设置。

在这样的电极探头结构中，即使在被测定物的端子部的面积较小的情况下，由于在第2接点部与被测定物相接触的状态，可使第1接点部与被测定物相接触，故可防止通过第2接点部的接触而除电的被测定物再次带电，直至与第1接点部相接触。

另外，在本发明的电特性测定装置中，上述第2接点部呈包围第1接点部的外周的筒状。

在这样的电特性测定装置中，由于第1接点部为第2接点部包围，故即使在电极探头在倾斜于被测定物的状态接近的情况下，第1接点部仍不先于第2接点部，与端子部相接触。

另外，在本发明的电特性测定装置中，上述第1接点部的长度方向的中间部设置有中空部，该中空部接纳于第2接点部。

在这样的电极探头结构中，即使在被测定物的端子部的面积较小的情况下，由于在第2接点部与被测定物相接触的状态，可使第1接点部与被测定物相接触，故可防止因第2接点部的接触而除电的被测定物再次带电，直至与第1接点部相接触。

此外，在本发明的电特性测定装置中，第2接点部的表面电阻在10⁶～10¹²Ω／□的范围内。

在这样的电特性测定装置中，可使第2接点部接触时的电荷的移动形成的电流更小。

还有，在本发明的电特性测定装置中，第2接点部由导电性塑料形成。

即使在绝缘材料的表面上附着表面活性剂或水分的情况下，仍可使表面电阻在10⁶～10¹²Ω／□的范围内，而第2接点部由导电性塑料形成，从而可获得稳定的表面电阻值。

或者，在本发明的电特性测定装置中，第2接点部由导电性陶瓷形成。

即使绝缘材料的表面上附着表面活性剂或水分的情况下，仍可使表面电阻在10⁶～10¹²Ω／□的范围内，而第2接点部由导电性陶瓷形成，从而可获得稳定的表面电阻值。

另外，在本发明的电特性测定装置中，弹簧部件由铍铜形成。在这样的电特性测定装置中，可使第2接点部接触时的电荷的移动形成的电流更小。

再有，在本发明的电特性测定装置中，弹簧部件由磷青铜形成。在这样的电特性测定装置中，可使第2接点部接触时的电荷的移动形成的电流更小。

另外，在本发明的电特性测定装置中，第1接点部的前端与第2接点部的前端的位置按照与上述基部的长度方向保持一致的方式设置。

在这样的电特性测定装置中，由于在第1接点部与第2接点部接触时的状态的被测定物接触后，第2接点部与被测定物的端子部离开，仅仅第1接点部处于与被测定物的端子部相接触的状态，故不发生下述情况，即通过第2接点部的接触而除电的被测定物再次带电，直至与第1接点部33相接触。此外，由于当通过第1接点部与被测定物以导通方式连接，进行测定时，第2接点部与被测定物的端子部离开，故可进行更加正确的测定。

另外，本发明的电特性测定装置中的第2接点部的表面电阻在10⁶～10¹²Ω／□的范围内。

在这样的电特性测定装置中，可使第2接点部接触时的电荷的移动形成的电流更小。

此外，本发明的电特性测定装置中的第2接点部由导电性塑料形成。

即使在绝缘材料的表面上附着表面活性剂或水分的情况下，仍可使表面电阻在10⁶～10¹²Ω／□的范围内，而第2接点部由导电性塑料形成，从而可获得稳定的表面电阻值。

或者，本发明的电特性测定装置中的第2接点部由导电性陶瓷形成。

即使在绝缘材料的表面上附着表面活性剂或水分的情况下，仍可使表面电阻在10⁶～10¹²Ω／□的范围内，而第2接点部由导电性陶瓷形成，从而可获得稳定的表面电阻值。

Claims (21)

1．一种电特性测定装置，其特征在于电极探头包括由良导电体形成的基部；由良导电体形成的第1接点部；由其电阻大于上述第1接点部的导电体形成的第2接点部，上述基部与第1，第2接点部处于导通的状态，在第2接点部与被测定物以导通方式连接之后，第1接点部与该被测定物以导通方式连接。

2．根据权利要求1所述的电特性测定装置，其特征在于上述第1接点部由上述基部的一部分形成，上述第2接点部在上述第1接点部的附近，安装于上述基部上，第1接点部的前端与第2接点部的前端的位置按照与上述基部的长度保持一致的方式设置，第2接点部的表面电阻在10⁶～10¹²Ω／□的范围内。

3．根据权利要求2所述的电特性测定装置，其特征在于上述第2接点部由导电性塑料形成。

4．根据权利要求2所述的电特性测定装置，其特征在于上述第2接点部由导电性陶瓷形成。

5．根据权利要求1所述的电特性测定装置，其特征在于上述电极探头中的第1接点部由上述基部的一部分形成，第2接点部可沿上述基部的长度方向移动，并且上述第2接点部可相对第1接点部，沿上述基部的长度方向突出，从该突出状态后退。

6．根据权利要求5所述的电特性测定装置，其特征在于在上述第2接点部与上述基部之间，设置有弹簧部件。

7．根据权利要求6所述的电特性测定装置，其特征在于上述弹簧部件将上述基部和第2接点部连接。

8．根据权利要求7所述的电特性测定装置，其特征在于上述第1接点部与第2接点部按照相互靠近的方式设置。

9．根据权利要求8所述的电特性测定装置，其特征在于上述第2接点部呈包围第1接点部的外周的筒状。

10．根据权利要求9所述的电特性测定装置，其特征在于在上述第1接点部的长度方向的中间部，设置有中空部，第2接点部接纳于该中空部中。

11．根据权利要求10所述的电特性测定装置，其特征在于上述第2接点部的表面电阻在10⁶～10¹²Ω／□的范围内。

12．根据权利要求11所述的电特性测定装置，其特征在于上述弹簧部件由铍铜形成。

13．根据权利要求11所述的电特性测定装置，其特征在于上述弹簧部件由磷青铜形成。

14．根据权利要求2所述的电特性测定装置，其特征在于上述第1接点部与第2接点部按照相互接近的方式设置。

15．根据权利要求2所述的电特性测定装置，其特征在于上述第2接点部呈包围第1接点部的外周的筒状。

16．根据权利要求2所述的电特性测定装置，其特征在于在上述第1接点部的长度方向的中间部，设置有中空部，第2接点部接纳于该中空部中。

17．根据权利要求2所述的电特性测定装置，其特征在于第2接点部的表面阻抗在10⁶～10¹²Ω／□的范围内。

18．根据权利要求17所述的电特性测定装置，其特征在于第2接点部由导电性塑料形成。

19．根据权利要求17所述的电特性测定装置，其特征在于第2接点部由导电性陶瓷形成。

20．根据权利要求2所述的电特性测定装置，其特征在于上述弹簧部件由铍铜形成。

21．根据权利要求2所述的电特性测定装置，其特征在于上述弹簧部件由磷青铜形成。

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