JP4990962B2 - 測定チャンバとクィックロックを介して測定チャンバに組み込み可能な共振子とからなる液体用センサー装置 - Google Patents
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Description
このセンサーは、シーリング部材を用いて測定チャンバに組み込まれた共振子として形成されている。
そして、この表面における、存在を証明される物質、または、その濃度を測定される物質の質量蓄積が、共振子の共振周波数、および/または、振動振幅の変化を生じる。
これら両者パラメーターの変化は、液体特性の相違によっても生じる可能性がある。
すなわち、液体中における生物学的、化学的、または、生化学的物質、および、微生物に関して、その存在を証明するため、または、濃度を測定するため、または、液体特性を特定するために用いられる圧電水晶振動子センサーである。
その開示内容は、その全体が本発明の開示内容に含まれることとなる。
これは1つの圧電共振子を記述し、この圧電共振子は、シール部材を介して測定チャンバに組み込まれ、そして、生物学的、化学的、または、生化学的物質の調査にも用いられる。
この電源供給ワイヤは、電気的に絶縁されたベースプレートを貫通し、電磁的シールドを絞り、折り返して、このベースプレートの上にかぶせることができる。
固定と接触を行うもう1つの方法は、DE 3446612、または、DE 19926944に記載されている。
電気的接触は、バネ接点、ボンディングワイヤ、導電性ゴム、または、導電性接着剤を介して行う(DE 401 13 665)。
DE 197 34 706 A1では、水晶共振子が、射出成形部品から作られた測定チャンバに直接、接着剤を介して固定して組み込まれている。
電気的な接触は、ボンディングワイヤによって、機械的ひずみを生じることなく行われる。
この測定チャンバは、「フローセル」とも呼ばれ、水晶振動子のパラメーターに影響することなく、測定システムに組み込み、取り外しできる。
しかし、この水晶振動子は、シーリングの原理上、取り外しと組み込みの際に機械的歪みが変化する。
その結果として、測定中の短期的な取り外しと組み込みや光学顕微鏡法、走査型原子間力顕微鏡法による水晶振動子表面の特性決定が不可能となる。
そのほか水晶振動子を相応の電気的接触をともなって、測定チャンバ、または、測定システムに組み込むのは、非常に時間のかかる作業であり、遂行できるのは専門家だけである。
シールの押圧力が小さくなると、接触液体の流出、および、その結果として振動子両電極の電気的短絡を生じる。
水晶振動子の挿入、または、取り出しは、例えば、ピンセットを用いて行われ、これは、水晶振動子の破損を生じる可能性があり、そして、生物学的コーティングの場合、このコーティングの少なくとも一部が掻き傷を受け、または、破壊される。
例えば、「重い」粒子を含む、または、人間の細胞を含む液体を分析するとき、この保持原理の重大な欠点は、大型シール、または、大型シールリングによって、原理的上、流れの障壁が生じることである。
接線方向からの流れの導入は可能性を制限され、測定後の検体の除去は、非常に大きな流量を必要とするか、または、まったく不可能である。
流量が大きくなると、また水晶振動子の振動挙動に影響し、圧力が高い場合も非常に高い密閉性を必要とする。
このシステムの場合、水晶振動子表面の特性決定は、ほかの方法(光学顕微鏡法、走査型原子間力顕微鏡法)では不可能であり、また、測定チャンバの外部で水晶振動子に生物学的コーティング、または、洗浄を行うのも不可能である。
水晶振動子を保持部内に接着するそのほかの保持原理の場合、水晶振動子表面は、「クランピング法」のような測定チャンバから取り外された状態では生物学的コーティングするためにアクセス可能であり、また、組み込まれた状態でも原則的に大抵は目視アクセス可能である。
もう1つの欠点として、接着剤の正確な配量と位置決めが必要な保持システム内に、水晶振動子を接着するのは煩瑣である。
水晶振動子表面の中心領域に、接着剤が不正確に塗布されたり、あるいは、接着剤が沈着したりすることにより、接着剤残渣が生じるが、この残渣は振動特性を変化させ、生物学的コーティングをしばしば不可能にする。
例えば、シリコーン接着剤は、硬化状態でも依然として良好な伸張弾性率を持ち、非常に生物共生的であるが、このような接着剤は、硬化時間が比較的長いという欠点を持つ。
即硬化性接着剤、例えば、シアノアクリレート系の接着剤は伸張弾性率が非常に小さく、硬化の際に水晶振動子を非常に強く歪ませる可能性がある。
またこの接着剤は生物共生性が極めて限定されるのに、揮発性が非常に強く、中心に近い領域に非常に容易に沈着する。
水晶振動子が接着される保持システムの場合、電気的な接触は、非常に手間がかかる。
なぜならば、電気的接触は、接着剤の塗布をもってこれと同時に行うか、または、保持部が測定チャンバから取り出し可能であれば、気相中で動作する表面に押し付けられているバネ接点ピンなどを経由して行わなければならない。
接着の際に水晶振動子ごとにその位置決めをわずかずつ変えて行く場合、この機械的歪みは、取り出し後と組み込み後に変化する。
したがって、測定中にほかの方法で水晶振動子表面の特性決定を行うのは困難である。
この問題は、リング状のストッパーリップによって防止されるが、この保持システムの場合、接線方向から流れを導入するのは困難であるか、不可能である。
上記の欠点があるため、接着剤による水晶振動子保持部への水晶振動子取り付けを自動的に、または、安価な方法で行うのは、非常に困難である。
すなわち、測定チャンバと測定装置との間で共振子を密封するシール面が、共振子の領域に挿入されなくなり、半径方向外側の位置に、共振子の外周から間隔を置いたところに設けられる、という利点である。
これにより、前記背景技術に述べた重大な欠点をともなう方法、すなわち、シール面を共振子の上に直に形成する必要性はなくなる。
ディスク状共振子を保持するための「エラストマーリング」という概念は、本発明の場合非常に広い意味に理解されたい。
それは、通常のフィルムの厚さ、すなわち、厚さが50乃至300μmの範囲であって、通常のフィルム材料、例えば、PVCなどによるフィルム材料からなる、このようなフィルムリングである。
この場合、このフィルムリングは、できるだけ薄く、その一方の面が接着剤層でコーティングされているのが好ましい。
そのようにすれば、このフィルムリングと共振子と間の保持が、共振子の外周に接するところで接着剤層によって行われるからである。
したがって、そのほか解除可能な保持、例えば、次のような配置も考慮の対象となる。
それは、フィルムリングが上側および下側に円周状のリング溝を形成され、ディスク状の共振子が、これら円周状のリング溝にはめ込まれている、このような配置である。
当然のことであるが、共振子にこれと異なる輪郭を持たせて、例えば、直角四角形、そのほかの四角形、六角形、平行四辺形などの形状とすることも、本発明の特許請求の範囲である。
したがって「ディスク状」の共振子という概念の使用は、1つの好ましい実施例の説明を単純にするために考えられたものである。
いずれにせよすべての実施例で重要なのは、このシールシステムが、共振子の外側領域、すなわち共振子の動作する振動面がない領域に、わずかな寸法だけ延びていることと、それにより共振子は圧力をまったくかけられずに保持されることとである。
これらのフィルム、材料は、すべて、本発明に含まれるものである。
これは、プラスチックコーティング、または、そのほかの材料によって行うこともできる。
これにより、後に説明する実施例のように、極めて小さい段付きの継ぎ目さえ生じない。
この場合、フィルムリングの厚さは、例えば、100μmであって、フィルムリングのディスク状内周が、共振子の外周の一部を把握し、保持する。
さもなければ、この「重い」粒子、または、細胞は、障壁のため沈積する可能性があり、測定チャンバから除去できなくなる。
液相内で動作する表面に生物学的コーティングを施す場合、保持部を次のように設計したい。
すなわち、生物学的コーティングが「洗い落とされ」ないよう、そして、同時に、流れパラメーターが変化してもおよぼす影響が小さいよう、接線方向からの流れの導入が可能であるように設計したい。
検体を測定チャンバに充填して沈着させている間、測定チャンバに組み込まれた状態の水晶振動子の表面を目視観察できるかは、目視アクセス性で決定される。
もう1つの重要な点は、水晶振動子の表面に1つ、または、複数の生物学的コーティングを施すため、水晶振動子の保持部に組み込まれた水晶振動子を取り外した後の、水晶振動子の表面へのアクセス性である。
このアクセス性は、次のような要件と組み合わされて、例えば、光学顕微鏡法、走査型原子間力顕微鏡法などによる特性決定の可能性を開く。
その要件とは、水晶振動子の保持部に組み込まれた水晶振動子を水晶振動子パラメーターに影響することなく、迅速に測定チャンバから取り外し、迅速に測定チャンバに組み込まなければならないというものである。
この水晶振動子の保持部は、さらに、バイオセンサーの場合に、生物学的コーティングを施された水晶振動子の測定チャンバの外部での取扱性を決定的に改善するためのものである。
水晶振動子をピンセットで直接取り扱うと、壊れやすい水晶振動子に、非常に急速に亀裂を形成する可能性がある。
水晶振動子にピンセットで触ると、生物学的コーティングが破壊される。
上側表面を完全に密封する(上側と下側の電極間の電気的短絡を防止する)。
水晶振動子の保持部に組み込まれた水晶振動子が、測定システムから迅速に取り外され、同測定システムに迅速に組み込まれる(測定チャンバ、または、流れシステムへの組み込み。
振動励起およびセンサー信号取り出しのための電気的接触)。
液体が接触する水晶振動子の表面が、確定される(問題:接液面が変動すると信号も変動する)。
水晶振動子のシールによって、減衰および機械的歪みが小さくなる。
測定チャンバ、または、流れシステムからの取り外しおよびそこに組み込むことによる水晶振動子パラメーターへの影響がない(電気的条件、水晶振動子の機械的歪み、減衰がいずれも一定)。
水晶振動子/保持部における接触抵抗が小さい。
測定実行後、測定チャンバからすべての粒子と細胞とが、できるだけ完全に除去される(洗浄)。
可変的なセル容積が可能である(死容積が小さい)。
水晶振動子の表面は、測定チャンバに組み込まれた状態のとき、原理的に目視アクセス可能である。
生物学的コーティングがあってもそれを損傷することなく、水晶振動子の測定チャンバからの取り外し、そこへの組み込みが容易である。
測定システムの外部での壊れやすい水晶振動子の取扱性が良好である(生物学的コーティング、再生、顕微鏡下の観察など)。
測定チャンバに(水晶振動子の表面に対して)接線方向から流れを導入できる=流れパラメーターが変化しても影響が小さい。
生物学的コーティングが「洗い落とされる」ことはない。
水晶振動子の表面上に検体が均一に分布される(半径方向に異なる感受性)。
測定チャンバの内部においても外部においても、水晶振動子の表面に生物学的、または、化学的コーティングを行うことができる(水晶振動子の保持部は、生物共生的な材料、特に接着剤からなる。
ただし、この材料は、できるだけ不活性であって、かつ、指定されていない化学的、および、生物学的物質を沈着させないものとする)。
フィルムリングの水晶振動子からはみ出す部分は、プラスチックリング(保持リング)に接着される。
接着剤の硬化は、例えば、はんだごて先端、または、加熱板による、例えば、フィルムの短時間加熱によって行われる。
なぜならば、フィルムが、比較的大きい伸張弾性率を持つからである。
この接触リングの表面には、2つの金属電極が取り付けられている。
これにより、下側表面にある接触パッドが、接触リングの電極の上に、正確に位置決めされる。
そして、水晶振動子に機械的歪みを生じることなく、非常に良好な電気的接触が得られる。
それは、下側表面のうち非常に小さい振幅で振動する周縁領域だけが接触し、したがって水晶振動子のせん断振動が接触リングによって受ける減衰はきわめてわずかである、このような内径である。
すなわち、水晶振動子の上でクィックロック、例えば、バヨネットロックを行うことにより、測定チャンバを液密に適合させることができ、その際、水晶振動子に大きな機械的歪みを生じたり、あるいは、組み込み後と取り外し後に機械的ひずみが変化したりすることはない。
フィルムは、厚さが0.1mm未満であり、大きな流れの障壁とならないので、測定チャンバのジオメトリーが相応のものであれば、流れを接線方向から導入することができる。
この保持システムによって、液体供給管を目視ウィンドウの外に設けることができ、これにより、同時に接線方向から流れを導入しながら測定中、または、液体などの注入中に、水晶振動子の表面の目視観察が初めて可能となる。
そのほかこの配置によって、目視用の透明な鏡筒の高さと測定チャンバの容積とを調整ネジを介して、さまざまな数値に正確に調整することができる。
サーモスタットによる温度制御は、例えば、ペルティエシステムによって下から行うことができ、その際、目視アクセスが妨げられることはない。
これにより検体と水晶振動子の表面との結合、気泡包含の有無、充填プロセスを観察することができ、学問上の利点のみならず、自動化された測定のためのプロセス監視が可能となる。
本発明の水晶振動子保持の原理によって、水晶振動子の上側表面を確実に密封できるようになる。
また、接液表面は、水晶振動子の組み込みと取り外しの際にも正確に定められ、従来のシステムと異なって、接線方向から流れを導入しても、流れの障壁を生じることはない。
これにより、例えば、「重い」粒子、または、「大きな」人間細胞であっても、測定後ふたたび測定チャンバから取り除くことができる。
これにより、例えば、人間の全血の分析が、初めて可能となる。
測定チャンバの容積が、校正可能である。
生物共生性が得られる。
測定チャンバの外部での水晶振動子の取扱性が、良好である(水晶振動子の表面は、生物学的コーティングのためのアクセス性が良好である。
水晶振動子を水晶振動子の保持部に組み込んだままピンセットで外側保持リングに保持させ、あるいは、そこから取り外し、そこに組み込みできるので、その際、水晶振動子を高い機械的応力で破壊したり、生物学的コーティングを破壊したりすることはない)。
測定チャンバに同時に電気的接触を設けるが、これは、クィックロックによって、水晶振動子パラメーターに影響することなく行うことができる。
これは、中間結果を確認するため、測定中に水晶振動子に迅速にアクセスする前提条件、それとともに他の方法(光学顕微鏡法、走査型原子間力顕微鏡法など)による水晶振動子の表面の特性決定の前提条件である。
また、水晶振動子の測定チャンバへの組み込みが、クィックロックによって若干単純化されたため、この組み込みに専門家は不要となり、この単純性から、測定チャンバの取り付け自動化が考えられる。
この場合、図面およびその説明には、そのほかにも本発明の特徴と長所を記載する。
この共振子は、非常に薄く形成されていて、図1の実施例では厚さを誇張して示されている。
また、これと異なる測定装置、例えば、インピーダンス測定機能、または、正確に定められた信号を共振子1に供給する信号発生器による励振機能を用いることもできる。
関連性をよりよく説明できるようにするためである。
仮に、共振子1の厚さを、例えば、2/10mmとし、共振子1の共振周波数を10MHzとすれば、フィルム厚さは50乃至200μmの範囲にある。
なぜならば、本発明は、共振子1の外径9と、それに付随するフィルムリング11の内径との間にある固定領域に、共振子1をできるだけ減衰が少なくかつひずみのない状態で取り付けることにあるからである。
しかし、重要なのは、フィルムリング11、または、それと等価の材料がエラストマー挙動を示すことである。
正確に一定かつ等しく保たれながら歪みを生じない保持、外部からの影響、特に、下記のシールリング17および保持リング10を用いて説明されるシールシステムからの影響を受けない保持を行うことも重要である。
これにより、共振子1の振動する部分は、この保持部の中に取り込まれない。
このシーリング箇所は、円周状のシールリング17によって形成され、このシールリング17は、測定チャンバ36の下側に配置されている。
それと対向する部分は、保持リング10によって形成され、この保持リング10は、形状安定性材料、例えば、ポリプロピレン、PPEなどからなっている。
この保持リング10は、上側から対向するシールリング17に対して合わせ面を形成し、このシールリング17はその形状を広い範囲内で変化させることができる。
このシールリング17は、金属リングとして形成することもできる。
共振子1への力の導入は、フィルム特性によって正確に定められていて、点線で表されたフィルムリング11のわずかな変形だけによって行われる。
その際、接着面12は、点線で表された接着面12’の方向に変形する。
これにより、フィルムリング11の内周は、上側エッジ15にそって共振子1の外周を取り囲み、そこに信頼性ある密封を生じる。
これらの面は、保持リング10によって形成され、図2に矢印22で示す。
この接着面領域はオーバラップ領域であって、ここでは、フィルムリング11の内径13が、共振子1の外径を把握し、そこで保持する。
シーリングは、フィルムを水晶振動子に接着することによって行われる。
もう1つの仕様では、保持のため、より剛性あるフィルムを用い、このフィルムは、上方から共振子1への単なる圧力によって密封を生じる。
この場合、上側のシールリング17の内径16が共振子1に作用せず、共振子1に作用するのが従来の技術の欠点だった、この内径がフィルムリング11の外側フィルム部分に接触することも重要である。
これら2つの接触面は、シール圧にかかわらず常に等しい負荷を受け、この押圧力は、前記に説明したように、共振子1に導入されない。
この流入スペース32は、できるだけ容積が小さいものとし、測定スペース33と液体流に関して結ばれている。
矢印方向28に、共振子1の測定表面25を接線方向から流した後、調査対象の物質は、ふたたび矢印方向37に、図示の流出スペースから測定チャンバ36の流路35に流れ、そこから排出される。
流路34、35を測定チャンバ36に、共振子1の測定表面25と正確に平行に導くことも、意図することができる。
これは薄い、脈理状のコーティングである。
この場合、図5の通り、全血に含まれる赤血球61が含まれているものとする。
共振子1の内部では定常的な横波が形成され、この横波は、垂直方向(矢印方向39)すなわち上方に向かい、物質24の中に伝播する。
したがって共振子1の両表面25はせん断振動を行い、これを矢印38で模式的に示す。
この状態を図6に詳しく示す。
共振子1にオシレーター回路が電源供給することにより、交流電圧の周波数に、機械的な共鳴周波数を追随させる。
交流電圧の周波数の変化は、周波数カウンターで検出することができ、共振子1の測定表面25における質量負荷の変化を知る尺度として用いられる。
これらのハウジングは中央の開口を決定し、この開口に透明なプラスチック材料(または、ガラス)からなる目視用鏡筒41が、高さを調節可能な方法で挿入されている。
この下側部分を、例えば、図12で参照番号54を付した保持部として示す。
この目視用鏡筒41は、固定ネジ49によって回転を固定され、こうして測定スペース33の高さを調節する。
一方の測定チャンバ36は完全装備され、他方の測定チャンバ36’の上にはCCDカメラの保持部55だけが設けられている。
そこに設けられている測定チャンバ36’自体は、取り外されている。
端子58は、センサーユニット53に設けられたオシレーター回路のアウトプットであり、そして、端子59は、インピーダンス測定機器の接続に用いられる。
2 接触面
3 接触面
4 接触面
5 接触面
6 接触リング
7 電源供給線
8 中空スペース
9 外径(共振子1)
10 保持リング
11、11’ フィルムリング
12、12’ 接着面
13 内径(フィルムリング11)
14 間隔
15 上側エッジ(共振子1)
16 内径
17 シールリング
18 内径(保持リング10)
19 シール面(シールリング17)
20 保持面(保持リング10)
21 矢印方向
22 矢印方向
23 矢印方向
24 プロテインコーティング
25 測定表面
26 IgG抗体
27 全血
28 矢印方向
29 目視ウィンドウ
30 矢印方向
31 正面
32 流入スペース
33 測定スペース
34 流路
35 流路
36 測定チャンバ
37 矢印方向
38 矢印方向
39 矢印方向
40 矢印方向
41 目視用鏡筒
42 ハウジング
43 バヨネットフランジ
44 ハウジング下部
45 接続ホース
46 調整ホイール
47 回転方向
48 表示ウィンドウ(固定)
49 固定ネジ
50 取り付け穴
51 Oリングシール
52 固定ネジ
53 センサーユニット
54 保持部
55 CCDカメラの保持部
56 検体容器
57 緩衝液容器
58 端子(オシレーター)
59 端子(インピーダンス)
60 端子
61 赤血球
Claims (35)
- 測定チャンバと共振子(1)とからなり、該共振子(1)がクィックロックを介して測定チャンバに組み込まれ、液体用センサーのため、かつ液体中の物質、および/または、微生物の存在を証明、または、濃度を測定する装置であって、
2つの固定可能なハウジング部分からなるハウジング(42)と、
調査対象の液体と接触して、存在を証明される物質、粒子、および/または、微生物による質量蓄積に、共振周波数、および/または、減衰の変化によって応答する共振子(1)と、
前記ハウジング(42)と共振子(1)との間に配置されたシール部材、かつその接触面が本装置のそのほかの部分(36、11、11’)に接触するシールリング(17)を持つ該シール部材とを持ち、
前記共振子(1)は、その外周だけが、薄いエラストマーリング(11)に保持、密封されていることと、共振子(1)の外径(9)から半径方向に間隔を取ったところで、該エラストマーリング(11)が、一面では、密封しながら測定チャンバ(36)のシールリング(17)に接触し、他面では、保持リング(10)に接触することとを特徴とする、前記装置。 - 前記共振子(1)がディスク状の振動体として形成され、該振動体が、その外周に2つのたがいに反対側に位置する接触面(2、3)を備え、該接触面が、共振子(1)の下面とほぼ同一面を形成しながらつながっていることを特徴とする、請求項1記載の装置。
- 前記接触面(2、3)が、正確に定められた接触圧で、接触リング(6)における対向する接触面(4、5)に接触し、該接触リングが、電気絶縁性材料から形成されていて、共振子(1)の接触面(2、3)との導電手段を形成することを特徴とする、請求項1または請求項2記載の装置。
- 前記接触面(4、5)が、電源供給線(7)を備え、その際、オシレーター回路の電気的振動周波数に、共振子(1)の機械的振動を追随させることを特徴とする、請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の装置。
- 前記エラストマーリング(11)がフィルムリングとして形成され、該フィルムリング(11)はその内径(13)が、共振子(1)をわずかな寸法だけ把握して該共振子(1)を保持し、これにより、共振子(1)の減衰が少なくひずみのない保持部と密封部が形成され、共振子(1)の振動部分との接触を回避することを特徴とする、請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の装置。
- 前記保持部から半径方向に間隔を取ったところで、たがいに対向して配置されたシールリング(10、17)の間に、共振子(1)の外側に位置する面(19、20)が形成され、該面(19、20)の間にエラストマーリング(11)が収められていることを特徴とする、請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の装置。
- 前記測定チャンバ(36)と、前記測定装置の共振子(1)との間を密封するため、上側と下側のシール面が、半径方向外側に共振子(1)の外周から間隔を取って配置されていることを特徴とする、請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の装置。
- 前記上側のシーリング箇所が、円周状のシールリング(17)によって、測定チャンバ(36)の下側に形成され、そして、それに対向する下側の保持面が、形状安定性材料からなる保持リング(10)によって形成され、該保持リング(10)は、上側の対向するシールリング(17)の対向面を形成し、共振子(1)に対して間隔(14)を取り、これにより共振子(1)は自由にフロートするよう形成されていることを特徴とする、請求項1乃至請求項7のいずれかに記載の装置。
- 前記保持リング(10)の内径(18)が接触リング(6)の外径を把握し、そして、接触リング(6)上で保持リング(10)の欠点のない心合わせを形成し、その際、フィルムリング(11)の領域に配置された共振子(1)が、測定チャンバ(36)の測定スペース(33)で、正確に心合わせされることを特徴とする、請求項1乃至請求項8のいずれかに記載の装置。
- 前記共振子(1)を保持するフィルムリング(11)が、接着層(12)、および、共振子(1)の円周状外周を取り付けるための下側/上側の円周状溝、または、たがいに離れて円周状に分布された保持フィンを備え、あるいは、静電性に形成され、その際、エラストマーリング(11)は、共振子(1)の輪郭の形状に適合され、該エラストマーリングの厚さは、共振子(1)の厚さの何分の1に薄く形成されていることを特徴とする、請求項1乃至請求項9のいずれかに記載の装置。
- 矢印方向(23)に上側のシールリング(17)に生じた押圧力が、矢印方向(21)すなわち下方に向かって、保持リング(10)における対向接触面、または、対向面に導かれ、フィルムリング(11)が変形(11’)の方向だけに変形し、その際、接着面(12)は変形して接着面(12’)となり、フィルムリング(11)はその内周が、共振子(1)の外周の上側エッジ(15)を囲むことを特徴とする、請求項1乃至請求項10のいずれかに記載の装置。
- 前記矢印方向(21)の押圧力が矢印方向(22)に反力を生じ、これにより、共振子(1)への力の導入が回避されることを特徴とする、請求項1乃至請求項11のいずれかに記載の装置。
- 前記フィルムリング(11)は厚さが薄いため、測定表面(25)へ矢印方向(28)に接線方向から損失のない流入が得られることを特徴とする、請求項1乃至請求項12のいずれかに記載の装置。
- 上側シールリング(17)との間のシール面はシール面(19)の領域に、そして、保持リング(10)の領域におけるシール面はシール面(20)の領域に形成されていることを特徴とする、請求項1乃至請求項13のいずれかに記載の装置。
- 前記エラストマーリング(11)は、共振子(1)の表面に直接設けられていて、これにより、測定チャンバ(36)が、該エラストマーリング(11)とともに、完全に平坦でエッジのないものに形成され、そして、流れの障壁が防止されることを特徴とする、請求項1乃至請求項14のいずれかに記載の装置。
- 前記共振子(1)の上側表面(31)が、完全に密封され、そして、上側および下側に配置された電極間の短絡を防止することを特徴とする、請求項1乃至請求項15のいずれかに記載の装置。
- 液相中の共振子(1)のための前記保持部が、接線方向からの液体導入を形成することを特徴とする、請求項1乃至請求項16のいずれかに記載の装置。
- 前記共振子(1)が水晶振動子の表面を持つものとして形成され、その際、組み込まれた状態の共振子(1)の表面を観察するため、測定チャンバ(36)が、垂直に調節可能な目視ウィンドウ(29)を備え、該ウィンドウは測定スペース(33)の上側の境界を形成し、該ウィンドウによって測定表面(25)のチェックが可能となることを特徴とする、請求項1乃至請求項17のいずれかに記載の装置。
- 前記測定チャンバ(36)は、斜めに測定スペース(33)につながる流路(34、35)を備え、該流路は妨げとなる突起を生じることなく測定スペース(33)とつながり、そして、容積の小さい流入スペース(32)へ矢印方向(28)の流入を可能とすることを特徴とする、請求項1乃至請求項18のいずれかに記載の装置。
- 前記調査対象の物質が、矢印方向(28)に共振子(1)の測定表面(25)に接線方向から流した後、ふたたび矢印方向(37)に、そこに設けられている流出スペースから測定チャンバの流路(35)に流れ、そこから排出されることを特徴とする、請求項1乃至請求項19のいずれかに記載の装置。
- 前記目視ウィンドウ(29)の表面(31)が、共振子(1)の測定表面(25)まで高さ調節可能な間隔を形成することを特徴とする、請求項1乃至請求項20のいずれかに記載の装置。
- 前記流路(34、35)が、測定チャンバ(36)の中を共振子(1)の測定表面(25)と平行に導かれることを特徴とする、請求項1乃至請求項21のいずれかに記載の装置。
- 前記共振子(1)の測定表面(25)が、コーティング(24)を施され、該コーティングには、抗体(26)を加えられて固定されることを特徴とする、請求項1乃至請求項22のいずれかに記載の装置。
- 前記調査対象の物質(24、26、61)が、IgG抗体(26)に付着し、他方では共振子(1)が交流電圧によって励振され、これにより、たわみ方向(39)を持つ横波が形成されて、矢印方向(40)に伝播し、これにより、調査対象の物質(24、25、61)に共鳴振動が励起されることを特徴とする、請求項1乃至請求項23のいずれかに記載の装置。
- 前記共振子(1)の機械的な共振周波数が、測定表面(25)の質量負荷に応じて変化して、共振子(1)に電源供給するオシレーター回路に追随させられ、その際、生じる周波数変化が、共振子(1)の測定表面(25)における質量負荷の変化を表す尺度を形成することを特徴とする、請求項1乃至請求項24のいずれかに記載の装置。
- 沈着した層による減衰を電気的インピーダンスを用いて測定することを特徴とする、請求項1乃至請求項25のいずれかに記載の装置。
- 前記測定チャンバ(36)が、2段型に形成されたハウジング(42)を備え、該ハウジング(42)が、中央、中心にある開口を決定し、該開口に、透明なプラスチック(または、ガラス)からなる目視用鏡筒(41)が、高さ調節可能な方法で挿入されていることを特徴とする、請求項1乃至請求項26のいずれかに記載の装置。
- 前記ハウジング(42)が、クィックロックネジによって、保持部(54)に取り付けられ、その際、バヨネットフランジ(43)が取り付けられたハウジング下部(44)が、保持部(54)における相方の受けフランジに噛み込み、これにより、測定装置のためのシールリング(17)を形成することを特徴とする、請求項1乃至請求項27のいずれかに記載の装置。
- 前記ハウジング下部(44)に、調査対象の物質を導入および排出するための接続ホース(45)がつながることを特徴とする、請求項1乃至請求項28のいずれかに記載の装置。
- 前記測定スペース(33)の高さが目視用鏡筒(41)によって調節可能であり、その際、調整ホイール(46)が、ハウジング(42)内に設けられたネジ山と協働して、矢印方向(47)に回転されると、目視用鏡筒(41)を上方、または、下方に移動させ、固定ネジ(49)により回転を止めて固定することを特徴とする、請求項1乃至請求項29のいずれかに記載の装置。
- 前記調整ホイール(46)が、たがいに間隔を取りながら周囲を一周する一連の表示ウィンドウ(48)を備え、調整ホイール(46)の回転を対向して位置する測定マークによって認識しながら調節できることを特徴とする、請求項1乃至請求項30のいずれかに記載の装置。
- センサーユニット(53)が、隣り合って並ぶ複数の測定チャンバ(36)を備え、該測定チャンバ(36)は、緩衝液容器(57)をそれぞれ割り当てられた一連の検体容器(56)を備える場合、直列で、または、並列で動作可能であり、その際、調査対象の液体が配管システムに送られることを特徴とする、請求項1乃至請求項31のいずれかに記載の装置。
- 前記センサーユニット(53)がさまざまな電気系統端子を備え、該端子(58)が、センサーユニット(53)に設けられたオシレーター回路のアウトプットであり、該端子(59)が、インピーダンス測定機器のための端子であり、該端子(60)が多チャンネル端子として形成され、該多チャンネル端子が、さまざまな電気信号、さまざまな供給電源などを導くことを特徴とする、請求項1乃至請求項32のいずれかに記載の装置。
- 前記センサーユニット(53)が、内部スペースに配置されたペルティエ素子によって、温度が絶対的に安定している環境を持ち、その際、該センサーユニット(53)は、配置された測定チャンバ(36)によって、小さい温度範囲内で安定した温度制御を形成することを特徴とする、請求項1乃至請求項33のいずれかに記載の装置。
- 前記センサーユニット(53)の下に、サーモスタット温度制御された水浴が設けられ、検体液体が、測定チャンバ(36)に注入される前に、該水浴を通って流れることを特徴とする、請求項1乃至請求項34のいずれかに記載の装置。
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US9086338B2 (en) * | 2010-06-25 | 2015-07-21 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Sensing device |
US8616056B2 (en) | 2010-11-05 | 2013-12-31 | Analog Devices, Inc. | BAW gyroscope with bottom electrode |
US8631700B2 (en) | 2010-11-05 | 2014-01-21 | Analog Devices, Inc. | Resonating sensor with mechanical constraints |
US8919199B2 (en) | 2010-12-01 | 2014-12-30 | Analog Devices, Inc. | Apparatus and method for anchoring electrodes in MEMS devices |
US9091544B2 (en) | 2010-11-05 | 2015-07-28 | Analog Devices, Inc. | XY-axis shell-type gyroscopes with reduced cross-talk sensitivity and/or mode matching |
US20120190131A1 (en) * | 2011-01-21 | 2012-07-26 | Vlad Joseph Novotny | Biosensor Electronics |
US9039976B2 (en) | 2011-01-31 | 2015-05-26 | Analog Devices, Inc. | MEMS sensors with closed nodal anchors for operation in an in-plane contour mode |
US10203272B2 (en) | 2011-10-12 | 2019-02-12 | Colorado Seminary, University of Denver | MEMS aerosol impactor |
ITTO20120789A1 (it) * | 2012-09-14 | 2012-12-14 | Fond Istituto Italiano Di Tec Nologia Iit | Dispositivo automatico di misura, procedimento di misura mediante tale dispositivo e sistema dotato di tale dispositivo. |
JP6086347B2 (ja) * | 2013-02-16 | 2017-03-01 | 国立大学法人信州大学 | 共振型質量センサ |
US9709595B2 (en) | 2013-11-14 | 2017-07-18 | Analog Devices, Inc. | Method and apparatus for detecting linear and rotational movement |
US9599471B2 (en) | 2013-11-14 | 2017-03-21 | Analog Devices, Inc. | Dual use of a ring structure as gyroscope and accelerometer |
US10746548B2 (en) | 2014-11-04 | 2020-08-18 | Analog Devices, Inc. | Ring gyroscope structural features |
US9869552B2 (en) * | 2015-03-20 | 2018-01-16 | Analog Devices, Inc. | Gyroscope that compensates for fluctuations in sensitivity |
US10316648B2 (en) * | 2015-05-06 | 2019-06-11 | Baker Hughes Incorporated | Method of estimating multi-phase fluid properties in a wellbore utilizing acoustic resonance |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3653253A (en) * | 1970-01-05 | 1972-04-04 | Thermo Systems Inc | Aerosol mass concentration spectrometer |
JPS6355150U (ja) * | 1986-09-29 | 1988-04-13 | ||
DD281075A1 (de) * | 1989-03-30 | 1990-07-25 | Hermsdorf Keramik Veb | Piezokeramischer resonator |
JPH03279840A (ja) * | 1990-03-29 | 1991-12-11 | Dainichiseika Color & Chem Mfg Co Ltd | 水晶振動子セル |
JPH03295443A (ja) * | 1990-04-13 | 1991-12-26 | Seiko Instr Inc | 水晶振動子バイオセンサー |
DE4013665A1 (de) * | 1990-04-27 | 1991-10-31 | Fraunhofer Ges Forschung | Sensor zum nachweisen eines stoffes in einer fluessigkeit |
JP2955347B2 (ja) * | 1990-11-21 | 1999-10-04 | サントリー株式会社 | 匂い識別装置 |
JP3295443B2 (ja) * | 1991-10-09 | 2002-06-24 | パイオニア株式会社 | オーディオ装置における信号処理回路 |
JP3032642B2 (ja) * | 1992-06-15 | 2000-04-17 | 松下電工株式会社 | 超音波センサー |
US5455475A (en) * | 1993-11-01 | 1995-10-03 | Marquette University | Piezoelectric resonant sensor using the acoustoelectric effect |
JP3279840B2 (ja) * | 1994-10-17 | 2002-04-30 | 宮本 勇 | 超微粒子の生成方法 |
JPH08136381A (ja) * | 1994-11-11 | 1996-05-31 | Pacific Ind Co Ltd | 圧力検出装置 |
JPH08290272A (ja) * | 1995-04-20 | 1996-11-05 | Toyo Commun Equip Co Ltd | シーム溶接封止用パッケージ |
DE19734706A1 (de) * | 1997-08-11 | 1999-02-18 | Fraunhofer Ges Forschung | Piezoelektrischer Resonator, Verfahren zur Herstellung des Resonators sowie dessen Einsatz als Sensorelement zum Erfassen der Konzentration eines in einem Fluid enthaltenen Stoffes und/oder der Bestimmung physikalischer Eigenschaften des Fluids |
JPH11183479A (ja) * | 1997-10-16 | 1999-07-09 | Fuji Electric Co Ltd | 溶液測定用センサ及び溶液成分測定方法 |
DE69841480D1 (de) * | 1997-12-02 | 2010-03-18 | Allan L Smith | Sensor zur messung von mass und wärmefluss |
JP2001153777A (ja) * | 1999-11-26 | 2001-06-08 | Initium:Kk | 水晶発振子 |
DE60128110T2 (de) * | 2000-08-08 | 2008-01-10 | Akubio Ltd. | Quartzkristall Sensorzelle |
SE0004547D0 (sv) * | 2000-12-07 | 2000-12-07 | Amersham Pharmacia Biotech Kk | Chip quartz oscillator and sensor |
WO2004001392A1 (en) * | 2002-06-19 | 2003-12-31 | Biosensor Applications Sweden Ab (Publ) | System, device and method for detection of several individual analytes in a solution, and a disposible flow cell for use therein |
JP2006078179A (ja) * | 2002-09-12 | 2006-03-23 | Furukawa Techno Research:Kk | マイクロ質量センサとその発振子の保持機構 |
SE0203772D0 (sv) * | 2002-12-19 | 2002-12-19 | Attana Ab | Piezoelectric sensor arrangement |
WO2004082363A2 (en) * | 2003-03-17 | 2004-09-30 | Michael Nerenberg | Sensor assembly and methods of making and using same |
CN100567976C (zh) * | 2003-12-30 | 2009-12-09 | 3M创新有限公司 | 表面声波传感器组件和传感器盒 |
JP4228993B2 (ja) * | 2004-05-21 | 2009-02-25 | 株式会社明電舎 | フローセル型qcmセンサ |
EP1788385A4 (en) * | 2004-09-10 | 2014-04-09 | Murata Manufacturing Co | SENSOR FOR DETECTING A SUBSTANCE IN A LIQUID AND DEVICE FOR DETECTING A SUBSTANCE IN A LIQUID IN USE THEREOF |
US7554247B2 (en) * | 2004-12-15 | 2009-06-30 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd | Component measuring device |
JP4134025B2 (ja) * | 2004-12-28 | 2008-08-13 | 日本電波工業株式会社 | 感知装置 |
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