CN103048210B - 一种石英晶体微天平检测装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种石英晶体微天平检测装置，包括底座、封盖、硅胶垫片和石英晶片；石英晶片位于底座凹槽内，其底端中心加工有上下两面分别设有上电极和下电极的石英晶片凹槽；硅胶垫片上下两面分别与封盖和底座相连，且石英晶片凹槽左右两端与硅胶垫片相连；进样口和出样口均与中心长通孔相连通；上电极由上弹簧针探头依次穿过第三硅胶通孔和上探头通孔引出，下电极由下弹簧针探头穿过下探头通孔引出。本发明提供了一种石英晶体微天平检测装置，该装置中的流通池可以重复利用，结构简单，且性能稳定，还实现了对石英晶体微天平的高频小型化，提高了其质量-频率灵敏度，可以完成对小分子或痕量物质的检测，且所需待检测物的最小样品量小。
Description
技术领域
本发明涉及传感检测技术领域，尤其涉及一种石英晶体微天平检测装置。
背景技术
石英晶体微天平（Quartz Crystal Microbalance，QCM）是一种基于晶片表面附着质量变化导致谐振频率的变化而检测微量物质的传感器，具有灵敏度高、结构简单、成本低，特别是不需要样品标记等优点，在生物、化学等领域作为检测、分析的工具得到了广泛的应用。石英晶体微天平是由AT切的石英晶片以及固定在晶片两面的金属激励电极组成的。激励电极一般由两个分别焊接在晶片两面的管座引脚导出，连接到测试仪器或谐振电路上。
把石英晶体微天平与流动注射分析技术相结合能够实现实时、快速的检测、分析，并且节省被测样品量。其技术关键为流通池的设计、制作，要求即能固定、密封石英晶片，又能导出固定在石英晶片两面的金属激励电极，同时又不能损害石英晶片的谐振特性。
目前，市场常用的微天平基本频率为5MHz或10MHz，其晶片厚度为0.33mm或0.17mm，直径为15mm左右。石英晶体微天平作为质量传感器使用，是基于公知的Sauerbery方程，对于相同单位面积的质量变化，其频率变化与基本频率的平方成正比。因此，提高石英晶体谐振器的基本频率可以提高其质量-频率灵敏度。工作于厚度剪切振动模式的AT切石英晶体谐振器的基本频率与其厚度成反比。因此，可以通过消薄石英晶片的厚度，提高其基本谐振频率，从而提高其质量-频率灵敏度。同时，晶片厚度的减小又可以缩小必要的激励电极面积，即平面尺寸的缩小。同时实现石英晶体微天平的高频化和小型化。
1993年，Zuxuan Lin等人（Anal.Chem.1993,65,1546-1551）设计、制作了基本频率为30MHz的石英晶体谐振器，并成功应用于石英晶体微天平。其石英晶体谐振器采用反台阶结构，石英晶片的中心区域厚度被腐蚀、减薄作为谐振器的振动区域，而周围仍保持晶片原来的厚度，从而维持必要的机械强度便于装夹以及激励电极的导出。从此，基于反台阶结构的高频石英晶体微天平在科研中得到广泛的重视。
2005年，Monika Michalzik等人（Sens.Actuators A2005,111-112,410-415）利用PDMS材料制作微流通池，组成高频小型的石英晶体微天平系统，并成功应用到免疫传感器。但是其设计流通池的流通池只能一次使用，并且对组装的要求很高。2009年，Brigitte P.Sagmeister等人（Biosens.Bioelectron.2009,24,2643-2648）设计、制作了一个用于高频石英晶体微天平的，可以重复使用的流通池。但其结构过于复杂，并且对石英晶体谐振器的振动品质因数（Q值）的影响很大。
发明内容
本发明要解决的技术问题在于，针对现有技术中石英晶体微天平流通池不能重复使用、对组装的要求很高以及流通池结构过于复杂等上述缺陷，提供一种具有可以重复使用、结构简单且具有稳定性能的流通池的石英晶体微天平检测装置，本发明还实现了对石英晶体微天平的高频小型化，提高了其质量-频率灵敏度，可以完成对小分子或痕量物质的检测，且所需待检测物的最小样品量小。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种石英晶体微天平检测装置，包括底座、封盖、硅胶垫片和石英晶片；
底座中心设有底座凹槽，底座凹槽底端设有下探头通孔；
封盖上设有进样口、出样口和上探头通孔；
硅胶垫片上设有中心长通孔和第三硅胶通孔；
石英晶片位于底座凹槽内，且在石英晶片底端中心设有开口向下的石英晶片凹槽；石英晶片凹槽上下两面分别设有上电极和下电极；
硅胶垫片上下两面分别与封盖和底座相连，且石英晶片凹槽左右两端均与硅胶垫片相连；进样口和出样口均与中心长通孔相连通；上电极由上弹簧针探头依次穿过第三硅胶通孔和上探头通孔引出，下电极由下弹簧针探头穿过下探头通孔引出；
中心长通孔的横截面积大于石英晶片凹槽的横截面积，且小于石英晶片顶端的表面积。
在本发明所述技术方案中，石英晶片的中心区域被腐蚀、减薄形成开口向下的石英晶片凹槽，该石英晶片凹槽作为谐振器的振动区域；因为谐振器的振动区域厚度变薄，其基本谐振频率提高，又因为石英晶体微天平的频率变化与基本谐振频率的平方成正比，故石英晶体微天平的频率变化增大，从而使得其质量-频率灵敏度提高，可以完成小分子、痕量物质的检测。除此之外，在石英晶片凹槽周围仍保持原来的厚度，从而维持必要的机械强度便于装夹以及上下激励电极的引出。与此同时，石英晶片厚度的减小又可以缩小必要的上下激励电极面积，故在实现石英晶体微天平高频化的同时，还实现了石英晶体微天平的小型化。
在本发明所述技术方案中，硅胶垫片上下两面分别与封盖和底座相连，封盖上的进样口和出样口均与硅胶垫片上的中心长通孔相连通，故封盖、硅胶垫片和底座就形成一个流通池，该流通池结构简单，性能稳定；另外，在本发明所述技术方案中，中心长通孔的位置与上电极、进样口以及出样口的位置相对应，且其截面面积大于石英晶片凹槽的截面面积，而小于石英晶片的整体表面积，故中心长通孔的截面面积即为流通池的实际有效表面积，中心长圆孔的深度即为流通池的有效深度，因此石英晶体微天平小型化的实现也使得本发明所述流通池的体积变小，这就决定了在检测时所需的最小样品量变少，这对于贵重或有毒物品的检测具有重大意义。
在本发明所述技术方案中，上电极由上弹簧针探头依次穿过第三硅胶通孔和上探头通孔引出，下电极由下弹簧针探头穿过下探头通孔引出，与传统焊接方式相比，这种采用弹簧针探头的接触电极引出方式可以节省所需要的晶片面积，有利于石英晶片的小型化，降低了单个石英谐振器的成本，同时又有利于石英晶片在装夹到流通池之前的表面清洗以及功能性吸附膜的修饰等。
作为对本发明所述技术方案的一种改进，石英晶片的厚度大于底座凹槽的深度，且其顶端表面积比底座凹槽的横截面积小。底座中底座凹槽用于安放石英晶片，并完成对石英晶片的定位。
作为对本发明所述技术方案的一种改进，中心长通孔的两端为半圆形，中间为矩形。
作为对本发明所述技术方案的一种改进，封盖左右两端还分别设有第一封盖通孔和第二封盖通孔，硅胶垫片左右两端分别设有第一硅胶通孔和第二硅胶通孔，底座左右两端也分别设有第一底座通孔和第二底座通孔；封盖、硅胶垫片和底座左右两端分别通过第一螺丝杆和第二螺丝杆固定在一起，其中，第一螺丝杆依次穿过相互连通的第一封盖通孔、第一硅胶通孔和第一底座通孔，第二螺丝杆依次穿过相互连通的第二封盖通孔、第二硅胶通孔和第二底座通孔；第一螺丝杆和第二螺丝杆底端均设有螺帽。这样就使得封盖、硅胶垫片和底座之间是通过螺丝杆可拆卸连接的，一方面，底座、硅胶垫片和封盖之间通过螺丝杆与两个底座通孔、两个硅胶通孔和两个封盖通孔来达到将三者定位的作用，另一方面，当石英晶片不能再使用时，可以拆开由封盖、硅胶垫片和底座构成的流通池，更换新的石英晶片，这样就证明了本发明所述石英晶体微天平检测装置中的流通池可以重复使用，降低了成本。
作为对本发明所述技术方案的一种改进，石英晶片凹槽距离石英晶片顶端的厚度为16μm-30μm，石英晶片的基本频率范围为30MHz-100MHz。石英晶片谐振区域厚度为16μm-30μm，一方面有利于所述石英晶体微天平的小型化，另一方面也保证了所述石英晶体微天平的高频化，故石英晶片的基本频率范围能达到30MHz-100MHz，提高了所述石英晶体微天平检测装置的质量-频率灵敏度，可以完成对小分子或痕量物质的检测。
作为对本发明所述技术方案的一种改进，硅胶垫片的厚度为100μm-1000μm。硅胶垫片的厚度决定了流通池的体积，如若硅胶垫片的厚度小于100μm，则流通池的体积太小，会使得检测液流动困难，如若硅胶垫片的厚度大于1000μm，则会导致流通池的体积过大，也使得检测所需的最小样品量变大，造成浪费。故硅胶垫片的厚度范围为100μm-1000μm，能在顺利完成对待检测物进行检测的基础上，保证所需待检测物的最小样品量比较小。
作为对本发明所述技术方案的一种改进，封盖的材料为石英玻璃或有机玻璃，底座的材料也为石英玻璃或有机玻璃。石英玻璃和有机玻璃都具有高度透明性等优点，故采用石英玻璃或有机玻璃作为封盖和底座的材料，这样有利于对检测过程进行观察。
另外，在本发明所述技术方案中，凡未作特别说明的，均可通过采用本技术领域中的常规技术来实现本技术方案。
本发明的有益效果是提供了一种石英晶体微天平检测装置，所述石英晶体微天平检测装置中的流通池具有可以重复利用、结构简单以及性能稳定等优点，本发明还实现了对石英晶体微天平的高频小型化，提高了其质量-频率灵敏度，可以完成对小分子或痕量物质的检测，且所需待检测物的最小样品量小。
附图说明
下面将结合附图及实施例对本发明作进一步说明，附图中：
图1是本发明石英晶体微天平检测装置的结构示意图；
图2是图1的A-A向剖视图；
图3是硅胶垫片的结构示意图；
现将附图中的标号说明如下：1为底座，2为底座凹槽，3为下探头通孔，4为封盖，5为进样口，6为出样口，7为上探头通孔，8为硅胶垫片，9为中心长通孔，10为第一硅胶通孔，11为第二硅胶通孔，12为石英晶片，13为上弹簧针探头，14为下弹簧针探头，15为上电极，16为下电极，17为第一螺丝杆，18为第二螺丝杆，19为第三硅胶通孔。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
本发明优选实施例如下：
如图1和图2所示，包括底座1、封盖4、硅胶垫片8和石英晶片12；其中，底座1中心设有底座凹槽2，底座1底端还设有下探头通孔3，且其左右两端还分别设有第一底座通孔和第二底座通孔；封盖4上设有进样口5、出样口6和上探头通孔7，且其左右两端还分别设有第一封盖通孔和第二封盖通孔；如图3所示，硅胶垫片8上设有中心长通孔9和第三硅胶通孔19，且其左右两端也分别设有第一硅胶通孔10和第二硅胶通孔11；石英晶片12底端中心设有开口向下的石英晶片凹槽，且在石英晶片凹槽的上下两面分别设有上电极15和下电极16；其中，中心长通孔9的横截面积大于石英晶片凹槽的横截面积，且小于石英晶片12顶端的表面积。
硅胶垫片8与封盖4之间通过液体硅胶粘结，再与底座1相连，石英晶片12位于底座凹槽2内，且石英晶片凹槽左右两端均与硅胶垫片8连接，其中，石英晶片12的厚度大于底座凹槽2的深度，且其顶端表面积比底座凹槽2的横截面积小；进样口5和出样口6均与中心长通孔9连通，上电极15由上弹簧针探头13依次穿过第三硅胶通孔19和上探头通孔7引出，下电极16由下弹簧针探头14穿过下探头通孔3引出。
封盖4、硅胶垫片8和底座1左右两端分别通过第一螺丝杆17和第二螺丝杆18固定在一起，其中，第一螺丝杆17依次穿过相互连通的第一封盖通孔、第一硅胶通孔10和第一底座通孔，第二螺丝杆18依次穿过相互连通的第二封盖通孔、第二硅胶通孔11和第二底座通孔；第一螺丝杆17和第二螺丝杆18底端均设有螺帽。
在本实施例中，石英晶片凹槽距离石英晶片12顶端的厚度为16μm-30μm，石英晶片12的基本频率范围为30MHz-100MHz；硅胶垫片8的厚度为100μm-1000μm；封盖4和底座1均是采用石英玻璃或有机玻璃制成。
应当理解的是，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，而所有这些改进和变换都应属于本发明所附权利要求的保护范围。
Claims (7)
1.一种石英晶体微天平检测装置，其特征在于，包括底座(1)、封盖(4)、硅胶垫片(8)和石英晶片(12)；
所述底座(1)中心设有底座凹槽(2)，所述底座凹槽(2)底端设有下探头通孔(3)；
所述封盖(4)上设有进样口(5)、出样口(6)和上探头通孔(7)；
所述硅胶垫片(8)上设有中心长通孔(9)和第三硅胶通孔(19)；
所述石英晶片(12)位于所述底座凹槽(2)内，且在石英晶片(12)底端中心设有开口向下的石英晶片凹槽；所述石英晶片凹槽的底面设有下电极(16)，在石英晶片上与前述石英晶片凹槽底面相对应的另一面上设有上电极(15)；
所述硅胶垫片(8)上下两面分别与封盖(4)和底座(1)相连，且位于石英晶片凹槽左右两侧的石英晶片的顶面均与硅胶垫片(8)相连；所述进样口(5)和出样口(6)均与中心长通孔(9)相连通；所述上电极(15)由上弹簧针探头(13)依次穿过第三硅胶通孔(19)和上探头通孔(7)引出，下电极(16)由下弹簧针探头(14)穿过下探头通孔(3)引出；
所述中心长通孔(9)的横截面积大于石英晶片凹槽的横截面积，且小于石英晶片(12)顶端的表面积。
2.根据权利要求1所述的石英晶体微天平检测装置，其特征在于，所述石英晶片(12)的厚度大于底座凹槽(2)的深度，且其顶端表面积比底座凹槽(2)的横截面积小。
3.根据权利要求1所述的石英晶体微天平检测装置，其特征在于，所述中心长通孔(9)的两端为半圆形，中间为矩形。
4.根据权利要求1所述的石英晶体微天平检测装置，其特征在于，所述封盖(4)左右两端还分别设有第一封盖通孔和第二封盖通孔，硅胶垫片(8)左右两端分别设有第一硅胶通孔(10)和第二硅胶通孔(11)，底座(1)左右两端也分别设有第一底座通孔和第二底座通孔；所述封盖(4)、硅胶垫片(8)和底座(1)左右两端分别通过第一螺丝杆(17)和第二螺丝杆(18)固定在一起，其中，所述第一螺丝杆(17)依次穿过相互连通的第一封盖通孔、第一硅胶通孔(10)和第一底座通孔，所述第二螺丝杆(18)依次穿过相互连通的第二封盖通孔、第二硅胶通孔(11)和第二底座通孔；所述第一螺丝杆(17)和第二螺丝杆(18)底端均设有螺帽。
5.根据权利要求1所述的石英晶体微天平检测装置，其特征在于，所述石英晶片凹槽的底面距离石英晶片(12)顶端的厚度为16μm-30μm，石英晶片(12)的基本频率范围为30MHz-100MHz。
6.根据权利要求1所述的石英晶体微天平检测装置，其特征在于，所述硅胶垫片(8)的厚度为100μm-1000μm。
7.根据权利要求1所述的石英晶体微天平检测装置，其特征在于，所述封盖(4)的材料为石英玻璃或有机玻璃，所述底座(1)的材料也为石英玻璃或有机玻璃。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201310009784.XA CN103048210B (zh) | 2013-01-11 | 2013-01-11 | 一种石英晶体微天平检测装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201310009784.XA CN103048210B (zh) | 2013-01-11 | 2013-01-11 | 一种石英晶体微天平检测装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN103048210A CN103048210A (zh) | 2013-04-17 |
| CN103048210B true CN103048210B (zh) | 2014-09-10 |
Family
ID=48060932
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201310009784.XA Expired - Fee Related CN103048210B (zh) | 2013-01-11 | 2013-01-11 | 一种石英晶体微天平检测装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN103048210B (zh) |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104198320B (zh) * | 2013-08-29 | 2016-08-24 | 北京至感传感器技术研究院有限公司 | 一种手持式快速反应铁量仪 |
| CN104198323B (zh) * | 2013-09-03 | 2017-02-15 | 北京至感传感器技术研究院有限公司 | 一种高灵敏度的酸传感器 |
| CN103471950A (zh) * | 2013-09-23 | 2013-12-25 | 东南大学 | 多通道石英晶体微天平检测装置 |
| CN103558112B (zh) * | 2013-11-19 | 2016-02-03 | 东南大学 | 石英晶体微天平检测装置 |
| CN104232480A (zh) * | 2014-09-24 | 2014-12-24 | 山东师范大学 | 一种多通道压电监测细胞生长动态过程的装置与方法 |
| CN104792649A (zh) * | 2015-05-07 | 2015-07-22 | 谭亮 | 一种单面触液式石英晶体微天平检测装置 |
| CN104807717A (zh) * | 2015-05-11 | 2015-07-29 | 电子科技大学 | 一种高品质因数高质量灵敏度的qcm传感器 |
| US9976946B2 (en) * | 2016-04-21 | 2018-05-22 | Instrumentation Laboratory Company | Optical flow cell and test head apparatus |
| CN108226302A (zh) * | 2016-12-22 | 2018-06-29 | 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 | 基于压电声波传感器的进样装置及其接线方法、清洗方法 |
| CN108169051B (zh) * | 2017-12-29 | 2020-11-03 | 东南大学 | 多参数在线检测的石英晶体微天平系统 |
| CN110361287A (zh) * | 2018-04-10 | 2019-10-22 | 黄显核 | 一种质量灵敏度均一的石英晶体微天平质量传感器 |
| CN109633399A (zh) * | 2018-12-20 | 2019-04-16 | 北京无线电计量测试研究所 | 一种石英晶片的电参数测试装置 |
| CN110836871A (zh) * | 2019-11-08 | 2020-02-25 | 江苏科技大学 | 一种生物分子检测的测量池 |
| CN115112208A (zh) * | 2022-06-08 | 2022-09-27 | 南京理工大学 | 一种新型凹台环形结构的石英晶体微天平 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006031198A1 (en) * | 2004-09-15 | 2006-03-23 | Agency For Science, Technology And Research | Surface plasmon resonance and quartz crystal microbalance sensor |
| CN101398399A (zh) * | 2007-09-26 | 2009-04-01 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 一种石英晶体谐振器及其制备和应用 |
| CN101482530B (zh) * | 2008-08-20 | 2013-01-16 | 上海博物馆 | 一种压电晶体气体传感器的制备方法 |
| CN202033263U (zh) * | 2010-11-30 | 2011-11-09 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 一种石英晶体微天平的微型检测池 |
-
2013
- 2013-01-11 CN CN201310009784.XA patent/CN103048210B/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN103048210A (zh) | 2013-04-17 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C53 | Correction of patent for invention or patent application | ||
| CB02 | Change of applicant information |
Address after: 211161 18, Nanjing Road, Jiangning street, Jiangning District, Jiangsu, China Applicant after: Southeast University Address before: 211189 Jiangsu Road, Jiangning Development Zone, Southeast University, No. 2, No. Applicant before: Southeast University |
|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20140910 Termination date: 20170111 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |