JP4981100B2 - 独立温度制御付き成形構造とその成形方法 - Google Patents
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Description
本発明の構造は、プラスチックからなる熱溶融材料を金型の形状に基づき成形することができる金型を含み、金型の表面に埋め込まれた電熱線であり、導電性のもので、異なる入力電圧によって前記金型に異なるパワーの熱を供給することができる少なくとも一つの電熱線と、入力電圧を供給する電源ユニットと、コントロールユニットであり、電源ユニットにより供給された入力電圧量をコントロールすることにより電熱線の温度を制御するコントロールユニットを含む。前記コントロールユニットは、前記熱溶融材料の冷却時に前記電熱線に電力を供給して、前記金型の表面付近の熱溶融材料の温度を該熱溶融材料の凝固温度よりも高く維持し、冷却完了時に前記電熱線への電力供給を停止して、前記金型と前記熱溶融材料の熱膨張係数の差が原因で生じる熱応力を解消することを特徴とする。
4 加熱融解材料
6 金型
8 電熱線
9 圧力センサー
10 電源
11 熱電対
12 コンピュータコントロールユニット
Claims (10)
- 微細構造の金型に用いる独立温度制御付き成形構造であり、前記構造は、
プラスチックからなる熱溶融材料を金型どおりの形状に成形する金型と、
前記金型の表面に埋め込まれた少なくとも1つの電熱線であり、前記電熱線は導電性であり、異なる入力電圧によって前記金型に異なるパワーの熱を供給できる電熱線と、
前記入力電圧を供給する電源ユニットと、
コントロールユニットであって、前記電源ユニットによって供給された前記入力電圧の量を制御することによって前記電熱線の温度を制御するコントロールユニットと、からなり、
前記コントロールユニットは、
前記熱溶融材料の冷却時に前記電熱線に電力を供給して、前記金型の表面付近の熱溶融材料の温度を該熱溶融材料の凝固温度よりも高く維持し、前記冷却完了時に前記電熱線への電力供給を停止して、前記金型と前記熱溶融材料の熱膨張係数の差が原因で生じる熱応力を解消することを特徴とする、
独立温度制御付き成形構造。 - 前記微細構造の金型の基材としてシリコンウェハー、金属、セラミック、或いはその他如何なる半導体材料のうち何れかを用いることを特徴とする、請求項1に記載の独立温度制御付き成形構造。
- 前記独立温度制御付き成形構造は、
誘電体層と窒化ケイ素層を導電性シリコンウェハー金型上に形成することと、
照射、リソグラフィー、エッチングを利用して前記誘電体層をマスキングし、ドライエッチング技術を用いて前記シリコンウェハー金型をエッチングし発熱ループを形成することと、
イオン注入技術を用いて導電性イオンを前記シリコンウェハー金型に注入し、前記イオンが前記シリコンウェハー金型の表層に集中するように前記イオンの垂直方向の濃度分布についてガウス分布を考慮し、電子が動き回るようにするためのブリッジを作成し、前記電子の運動は熱を発生させて前記シリコンウェハー金型に異なるパワーの熱を供給することと、
前記イオンにフォトレジスト反転技術を適用して二酸化ケイ素と前記窒化ケイ素を除去することと、
前記誘電体層を除去し、前記イオンの電極を電源に接続してシリコンウェハーをベースにした独立温度制御付き微細構造金型を実現すること、
から形成されることを特徴とする、請求項2に記載の独立温度制御付き成形構造。 - 前記ドライエッチングは、反応性イオンエッチング技術を用いてフォトレジスト残留物をバッファ層マスクへ作り変えることを特徴とする、請求項3に記載の独立温度制御付き成形構造。
- 前記誘電体層が、熱酸化した二酸化ケイ素であることを特徴とする、請求項3に記載の独立温度制御付き成形構造。
- 表面に埋め込まれた電熱線を有する微細構造の金型を備え、
前記電熱線は導電性のもので、異なる入力電圧によって前記金型に異なるパワーの熱を供給することができ、
プラスチックからなる熱溶融材料の離型工程中、前記熱溶融材料の冷却時に前記電熱線に電力を供給して、前記金型の表面付近の熱溶融材料の温度を該熱溶融材料の凝固温度よりも高く維持し、冷却完了時に前記電熱線への電力供給を停止して、前記金型と前記熱溶融材料の熱膨張係数の差が原因で生じる熱応力を解消することを特徴とする、
独立温度制御付き金型を用いた成形方法。 - 前記微細構造金型の基材としてシリコンウェハー、金属、セラミック、或いは他の如何なる半導体材料のうち何れかを用いることを特徴とする、請求項6に記載の独立温度制御付き成形方法。
- 独立温度制御付き前記シリコンウェハーをベースとした微細構造金型の製造方法は、
導電性シリコンウェハー金型上に誘電体層と窒化ケイ素層を形成することと、
照射、リソグラフィー、エッチング利用して、誘電体層のマスキングを行い、ドライエッチング技術を用いて前記シリコンウェハー金型をエッチングし発熱ループを形成することと、
イオン注入技術を用いて導電性イオンを前記シリコンウェハー金型に注入し、該イオン注入は、前記イオンが前記シリコンウェハー金型の表層に集中するように前記イオンの垂直方向の濃度分布についてガウス分布を考慮し、電子が動き回るようにするためのブリッジを造り、前記電子の運動は熱を発生させて前記シリコンウェハー金型に異なる温度をもたらすことと、
前記イオンにフォトレジスト反転技術を適用して二酸化ケイ素と前記窒化ケイ素を除去することと、
前記誘電体層を除去し、前記イオンの電極を電源に接続して独立温度制御付きシリコンウェハーをベースにした微細構造金型を実現すること、
からなることを特徴とする、請求項6に記載の独立温度制御付き成形方法。 - 前記ドライエッチングは、反応性イオンエッチング技術を用いてフォトレジスト残留物を形成し、バッファ層マスクとすることを特徴とする、請求項8に記載の独立温度制御付き成形方法。
- 前記誘電体層が、熱酸化した二酸化ケイ素であることを特徴とする、請求項8に記載の独立温度制御付き成形方法。
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