JP4980770B2 - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4980770B2 JP4980770B2 JP2007087000A JP2007087000A JP4980770B2 JP 4980770 B2 JP4980770 B2 JP 4980770B2 JP 2007087000 A JP2007087000 A JP 2007087000A JP 2007087000 A JP2007087000 A JP 2007087000A JP 4980770 B2 JP4980770 B2 JP 4980770B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holding
- plate
- wafer
- contact
- parallel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
そこで、ウエハを面で吸着保持が可能なポーラス体が頻繁に使用されるようになった。この様なポーラス体は、極小径の金属球を焼結し、研磨によって精度の高い保持面を有するため、ウエハに対して局所的に力が加わることは少ない。しかしながら、金属製であるが故にこのポーラス体が傾いてウエハに接触した場合や、接触時の衝撃によって当該ウエハを損傷させてしまう、という不都合を生じる。
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、ウエハ等の板状部材を搬送するに際し、当該板状部材が載置される載置面毎に異なる傾きがあっても、それら傾きに対応するように保持部材と板状部材との傾きを調整し、それらが平行となった状態で当該板状部材に接触して当該板状部材を搬送することのできる搬送装置を提供することにある。
前記保持手段は前記板状部材の被保持面を保持する保持面を有する保持プレートにより構成される一方、前記平行調整手段は、前記保持プレートと相対配置された基準プレートと、複数個を一ユニットとして前記基準プレートに出没自在に支持された調整部材と、前記保持プレートに設けられた当接位置調整部材とを含み、
前記当接位置調整部材と前記各ユニットにおける調整部材とを選択的に当接させることで前記保持面の傾きが調整される、という構成を採っている。
また、保持プレートに当接位置調整部材を設けることにより、保持プレート自体に特別な加工を必要とすることを回避することができる。
また、保持手段と駆動手段とが緩衝手段を介して連結されていることで、保持面と板状部材の被保持面とが接触した際の衝撃も吸収されるので、板状部材を割ってしまうような不都合は生じない。
また、緩衝手段15は、保持面16AとウエハWとが接触したときの圧力を緩和するため、保持面16Aによる吸着保持の際の衝撃もなく、この点からもウエハWの損傷を回避することができる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
また、当接位置調整部材としては、保持プレート16の上面に調整ブロック19を固定する構成としたが、調整ブロックに設けたのと同様の穴を保持プレート16に形成すれば、調整ブロックを省略することもできる。但し、前記実施形態の構成を採用すれば、調整ブロックの変更により、種々の載置面に対応した傾き調整を行う自由度をもたらす、という利点がある。
11 保持手段
12 平行調整手段
13 駆動手段
14 連結手段
15 緩衝手段
16 保持プレート
16A 保持面
17 基準プレート
18 ボルト群(調整部材)
18a、18b、18c ボルト
19 調整ブロック(当接位置整部材)
T テーブル
TS 載置面
W 半導体ウエハ(板状部材)
Claims (3)
- 載置面に載置された板状部材を保持する保持手段と、この保持手段に併設された平行調整手段と、前記保持手段を前記平行調整手段と共に移動する駆動手段と、当該駆動手段と前記保持手段との間に位置して当該保持手段を揺動可能且つ昇降可能に支持する連結手段を備えた搬送装置において、
前記保持手段は前記板状部材の被保持面を保持する保持面を有する保持プレートにより構成される一方、前記平行調整手段は、前記保持プレートと相対配置された基準プレートと、複数個を一ユニットとして前記基準プレートに出没自在に支持された調整部材と、前記保持プレートに設けられた当接位置調整部材とを含み、
前記当接位置調整部材と前記各ユニットにおける調整部材とを選択的に当接させることで前記保持面の傾きが調整されることを特徴とする搬送装置。 - 前記基準プレートと保持プレートは平面内で相対回転可能に設けられていることを特徴とする請求項1記載の搬送装置。
- 前記保持手段は、緩衝手段を介して前記駆動手段に支持されていることを特徴とする請求項1又は2記載の搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007087000A JP4980770B2 (ja) | 2007-03-29 | 2007-03-29 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007087000A JP4980770B2 (ja) | 2007-03-29 | 2007-03-29 | 搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008251563A JP2008251563A (ja) | 2008-10-16 |
JP4980770B2 true JP4980770B2 (ja) | 2012-07-18 |
Family
ID=39976222
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007087000A Active JP4980770B2 (ja) | 2007-03-29 | 2007-03-29 | 搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4980770B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101167630B1 (ko) | 2012-02-13 | 2012-07-20 | (주)엠에프에스 | 반도체 자재 이송용 홀더 어셈블리 |
JP6255221B2 (ja) * | 2013-11-22 | 2017-12-27 | 株式会社ディスコ | 搬送装置 |
KR102178943B1 (ko) * | 2018-11-29 | 2020-11-16 | (주)한양씨앤씨 | 헤드고정용 가변프레임을 갖는 인쇄기 |
JP7267763B2 (ja) * | 2019-02-06 | 2023-05-02 | リンテック株式会社 | 保持装置および保持方法 |
CN111730588A (zh) * | 2020-07-27 | 2020-10-02 | 郑州市博晟科技有限公司 | 用于机械手的夹取机构的定位装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07183692A (ja) * | 1993-11-11 | 1995-07-21 | Sony Corp | ツール保持装置 |
JP3958031B2 (ja) * | 2001-11-20 | 2007-08-15 | 株式会社ディスコ | 板状物搬送装置 |
JP4643185B2 (ja) * | 2004-07-05 | 2011-03-02 | リンテック株式会社 | 移載装置 |
-
2007
- 2007-03-29 JP JP2007087000A patent/JP4980770B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008251563A (ja) | 2008-10-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4980770B2 (ja) | 搬送装置 | |
TWI415778B (zh) | Multi - joint robots | |
WO2004081994A3 (en) | Substrate support lift mechanism | |
KR102374913B1 (ko) | 반송 장치 | |
JP5607965B2 (ja) | 半導体ウエハマウント方法および半導体ウエハマウント装置 | |
WO2007097147A1 (ja) | 搬送装置及び搬送方法 | |
JP7136953B2 (ja) | 加工装置 | |
KR101739052B1 (ko) | 기판 회전 장치 | |
JP5047645B2 (ja) | 立軸型平面加工盤 | |
JP4980761B2 (ja) | 搬送装置及び搬送方法 | |
JP5326938B2 (ja) | ベーン起立取付装置 | |
JP2012186505A (ja) | 部品供給装置 | |
JP6707847B2 (ja) | ワーク搬送装置 | |
CN102005399B (zh) | 提供大键合力的晶粒键合机 | |
JP2009050959A (ja) | 板状物搬送装置 | |
JP3916372B2 (ja) | ワーク搬送テーブル装置 | |
JP5901226B2 (ja) | ユニット搬出入装置 | |
JP5261030B2 (ja) | 半導体ウエハの搬送方法 | |
JP2006205331A (ja) | クランプ機構 | |
JP7121409B2 (ja) | ワーク搬送装置 | |
JP2008036785A (ja) | 組立装置、及び組立製造方法、並びに組立ライン | |
JP3958031B2 (ja) | 板状物搬送装置 | |
JP2017005070A (ja) | 搬送装置 | |
JP4358672B2 (ja) | 基板搬送器具 | |
CN107731729B (zh) | 晶圆传输夹持机构及应用其的cmp设备 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091016 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110217 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110920 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111107 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120417 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120419 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150427 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4980770 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |