JP4358672B2 - 基板搬送器具 - Google Patents
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Description
基板を保持する吸着パッドと、
該吸着パッドを3点で支持する第一の調整ボルトと、該第一の調整ボルトを遊嵌支持する第一のボルト支持部と、該第一の調整ボルトに螺合し該第一の調整ボルトを進退させる第一の調整ナットと、該第一の調整ボルトに遊嵌して該吸着パッドと該第一ボルト支持部とによって挟持される第一の圧縮バネとから構成される第一の支持機構と、
第二の平面に位置付けられるように該吸着パッドを支持するために前記第一のボルト支持部を3点で支持する第二の調整ボルトと、該第二の調整ボルトを進退させる第二の調整ナットと、該第二の調整ボルトに遊嵌して該第一のボルト支持部と該第二のボルト支持部とによって挟持される第二の圧縮バネと、該第二のボルト支持部に形成され該第一のボルト支持部を規制する規制部とから構成される第二の支持機構と、
該吸着パッドを該第一の平面と該第二の平面とに選択的に位置付けるため、進出状態と退避状態とに位置付けられるピストンロッドを有し該第二のボルト支持部に固定されるエア−シリンダ−と、該第一のボルト支持部とピストンロッドとを連結する連結部とから構成される進退機構と、
該エア−シリンダ−の頭頂部に移動ア−ムを固定し、該移動ア−ムの移動により前記第一の支持手段を移動させる駆動手段、
とから構成させる基板搬送器具が提案されている(例えば、特許文献1参照。)。
基板を保持可能な吸着パッドと、
前記吸着パッドの底面に基板を吸着するための減圧機構と、
前記吸着パッドを4点で支持する4本の第一調整ネジボルトと、これら第一調整ネジボルトを遊嵌支持する第一ボルト支持部と、該第一調整ネジボルトに螺合し該第一調整ネジボルトを進退させる第一調整ナットと、該第一調整ネジボルトに遊嵌して該吸着パッドと該第一ボルト支持部とによって挟持される第一レベリング調整用圧縮バネとから構成される第一支持機構と、
前記4本の第一調整ネジボルト間に位置し、前記吸着パッドを2点で支持する2本の第二有頭調整ネジボルトと、これら第二有頭調整ネジボルトを支持する前記第一ボルト支持部と、該第二有頭調整ネジボルトに遊嵌して前記第一ボルト支持部と該パッドと該第一ボルト支持部上に位置する第二有頭調整ネジボルトの頭部とによって挟持される第二ショック吸収用圧縮バネとから構成される第二支持機構と、
移動ア−ムの駆動手段と、
前記移動ア−ムの底凹陥部に半月状頭部が2線で線接触する蒲鉾状プレ−トを設け、該蒲鉾状プレ−トに設けた第三ボルト孔に嵌挿させ、前記移動ア−ムを該蒲鉾状プレ−トを介して前記第一ボルト支持部に支持する第三有頭ボルトとから構成される第三の支持機構と、
から構成される基板搬送器具を提供するものである。
図1は基板搬送器具の正面図、図2は基板搬送器具の平面図、図3は基板搬送器具の側面図、図4は基板搬送器具の吸着パッド部分の拡大平面図、図5は図4におけるA−A切断線から見た基板搬送器具の正面図、および図6は図4におけるB−B切断線から見た基板搬送器具の正面図である。
w ワ−ク
2 吸着パッド機構
3 吸着パッド
4 減圧機構
4a,4b,7 ユニオン
4a2、4b2 真空孔
5 テフロンチュ−ブ
6 第一ボルト支持部
8 第一調整ネジボルト
8a 第一調整ナット
8b 第一レベリング調整用圧縮バネ8b
9 第二有頭調整ネジボルト
9a 第二有頭調整ネジボルトの頭部
9b 第二ショック吸収用圧縮バネ
11 蒲鉾状プレ−ト
13 ポリウレタンコイルチュ−ブ
14 移動ア−ム
14b 調整プレ−ト底凹陥部
16 第三有頭ボルト
22 スクエアFシリンダ
33 ステッピングモ−タ
37 スライダ
38 シリンダ
Claims (1)
- 基板を保持可能な吸着パッドと、
前記吸着パッドの底面に基板を吸着するための減圧機構と、
前記吸着パッドを4点で支持する4本の第一調整ネジボルトと、これら第一調整ネジボルトを遊嵌支持する第一ボルト支持部と、該第一調整ネジボルトに螺合し該第一調整ネジボルトを進退させる第一調整ナットと、該第一調整ネジボルトに遊嵌して該吸着パッドと該第一ボルト支持部とによって挟持される第一レベリング調整用圧縮バネとから構成される第一支持機構と、
前記4本の第一調整ネジボルト間に位置し、前記吸着パッドを2点で支持する2本の第二有頭調整ネジボルトと、これら第二有頭調整ネジボルトを支持する前記第一ボルト支持部と、該第二有頭調整ネジボルトに遊嵌して前記第一ボルト支持部と該パッドと該第一ボルト支持部上に位置する第二有頭調整ネジボルトの頭部とによって挟持される第二ショック吸収用圧縮バネとから構成される第二支持機構と、
移動ア−ムの駆動手段と、
前記移動ア−ムの底凹陥部に半月状頭部が2線で線接触する蒲鉾状プレ−トを設け、該蒲鉾状プレ−トに設けた第三ボルト孔に嵌挿させ、前記移動ア−ムを該蒲鉾状プレ−トを介して前記第一ボルト支持部に支持する第三有頭ボルトとから構成される第三の支持機構と、
から構成される基板搬送器具。
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