CN219542785U - 一种研磨机上料晶圆吸取机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种研磨机上料晶圆吸取机构，包括安装板、调平底座、调平螺丝、衬套、滑动吸杆、吸盘以及缓冲机构，所述调平底座通过所述调平螺丝安装于所述安装板上；所述衬套固定于所述调平底座的中部；所述滑动吸杆限位于所述衬套的中部，并与所述衬套滑动配合；所述滑动吸杆的下部穿过所述衬套和调平底座与所述吸盘固定连接；所述缓冲机构设置于所述安装板与所述吸盘之间。本实用新型采用调平螺丝对吸盘的平面度进行调节，同时采用缓冲机构实现吸盘的上下浮动，从而确保吸盘吸取晶圆时吸盘面能够很好的平行于晶圆，确保晶圆不被压伤，继而使得晶圆顺利平稳的被搬运，本实用新型充分利用了空间，且结构简单，工作效率高。

Description

一种研磨机上料晶圆吸取机构

技术领域

本实用新型涉及半导体加工设备领域，尤其涉及一种研磨机上料晶圆吸取机构。

背景技术

晶圆从晶圆定位装置取出时需要用吸盘进行吸取，半导体晶圆搬运多为陶瓷材质的真空吸盘进行吸取搬运。吸盘可以保证搬运时候平稳过渡，并在放置晶圆于研磨平台时能够保证晶圆的平稳放置。陶瓷材质的真空吸盘外形占用空间大，且有其设计的局限性，尤其是在吸取晶圆时必须使陶瓷材质的真空吸盘与晶圆表面充分接触，从而提高了晶圆大面积过压的风险。

实用新型内容

本实用新型提供一种研磨机上料晶圆吸取机构，以解决吸取过程中导致的晶圆破损问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种研磨机上料晶圆吸取机构，包括安装板、调平底座、调平螺丝、衬套、滑动吸杆、吸盘以及缓冲机构，

所述调平底座通过所述调平螺丝安装于所述安装板上；

所述衬套固定于所述调平底座的中部；所述滑动吸杆限位于所述衬套的中部，并与所述衬套滑动配合；

所述滑动吸杆的下部穿过所述衬套和调平底座与所述吸盘固定连接；

所述缓冲机构设置于所述安装板与所述吸盘之间。

较佳地，所述缓冲机构为伸缩弹簧，所述伸缩弹簧套设于所述滑动吸杆上。

较佳地，所述滑动吸杆的上部安装有气管接头，所述滑动吸杆为内部中空结构，所述气管接头通过所述内部中空结构与所述吸盘连通。

较佳地，所述衬套上固定有纵向设置的止转销，所述滑动吸杆上设有与所述止转销匹配的凹槽。

较佳地，所述调平螺丝至少为三个，且均匀分布于所述调平底座上。

较佳地，所述滑动吸杆通过底部的螺纹杆与所述吸盘固定连接。

较佳地，所述吸盘采用包胶吸盘。

与现有技术相比，本实用新型提供的研磨机上料晶圆吸取机构具有如下优点：

1、本实用新型采用调平螺丝对吸盘的平面度进行调节，同时采用缓冲机构实现吸盘的上下浮动，从而确保吸盘吸取晶圆时吸盘面能够很好的平行于晶圆，确保晶圆不被压伤；

2、本实用新型在设计上增加了止转机构，使得吸盘不会旋转，确保晶圆顺利平稳的被搬运；

3、本实用新型充分利用了空间，且结构简单，工作效率高。

附图说明

图1为本实用新型一具体实施方式中研磨机上料晶圆吸取机构的立体结构示意图；

图2为本实用新型一具体实施方式中滑动吸杆的结构示意图；

图3为本实用新型一具体实施方式中滑动吸杆与衬套的安装示意图。

图中：10-安装板、20-调平底座、30-调平螺丝、40-衬套、41-止转销、50-滑动吸杆、51-气管接头、52-凹槽、53-螺纹杆、60-吸盘、71-伸缩弹簧。

具体实施方式

为了更详尽的表述上述实用新型的技术方案，以下列举出具体的实施例来证明技术效果；需要强调的是，这些实施例用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。

本实用新型提供的研磨机上料晶圆吸取机构，如图1所示，包括安装板10、调平底座20、调平螺丝30、衬套40、滑动吸杆50、吸盘60以及缓冲机构，其中：

所述调平底座20通过所述调平螺丝30安装于所述安装板10上。所述安装板10作为整个机构的固定件，起到整体支撑作用，调平底座20用于实现吸盘60相对于晶圆表面的平行度调节。

所述衬套40固定于所述调平底座30的中部；所述滑动吸杆50限位于所述衬套40的中部，并与所述衬套40滑动配合。也就是说，衬套40限制了滑动吸杆50在水平方向的移动，但滑动吸杆50能够相对于衬套40上下滑动，从而与缓冲机构配合实现吸盘60的上下浮动。

所述滑动吸杆50的下部穿过所述衬套40和调平底座20与所述吸盘60固定连接。由于所述调平底座20、衬套40、滑动吸杆50以及吸盘60依次连接，且在平行度上保持一致，调平底座20的平行度即为吸盘60的平行度。

所述缓冲机构设置于所述安装板10与所述吸盘60之间，当吸盘60在吸取晶圆时受晶圆反向力作用，通过缓冲机构以及滑动吸杆50相对于衬套40的滑动即可实现吸盘60的上下浮动，使吸盘60与晶圆更好地贴合。

本实用新型采用调平螺丝30对吸盘60的平面度进行调节，同时采用缓冲机构实现吸盘60的上下浮动，从而确保吸盘60吸取晶圆时吸盘面能够很好的平行于晶圆，确保晶圆不被压伤。

在一些实施例中，请继续参考图1，所述缓冲机构为伸缩弹簧71，所述伸缩弹簧71套设于所述滑动吸杆50上，为吸盘60提供均匀的回弹力。

在一些实施例中，请继续参考图1，所述滑动吸杆50的上部安装有气管接头51，所述滑动吸杆50为内部中空结构，所述气管接头51通过所述内部中空结构与所述吸盘60连通，从而为吸盘60提供负压，继而实现晶圆的吸附。

在一些实施例中，请参考图1至图3，所述衬套40上固定有纵向设置的止转销41，所述滑动吸杆50上设有与所述止转销41匹配的凹槽52。安装时，止转销41对应安装于凹槽52内，使得滑动吸杆50(吸盘60)不会旋转，确保晶圆顺利平稳的被搬运。

在一些实施例中，请继续参考图1，所述调平螺丝30至少为三个，且均匀分布于所述调平底座20上，当然，也可以通过设置的调平螺丝30的具体数量控制调平的精度。

在一些实施例中，请重点参考图2和图3，所述滑动吸杆50通过底部的螺纹杆53与所述吸盘60固定连接，安装拆卸便捷，便于根据具体需求更换吸盘60。

在一些实施例中，所述吸盘60可以采用包胶吸盘，起到减震和耐磨的作用。

综上所述，本实用新型提供的研磨机上料晶圆吸取机构，包括安装板10、调平底座20、调平螺丝30、衬套40、滑动吸杆50、吸盘60以及缓冲机构，所述调平底座20通过所述调平螺丝30安装于所述安装板10上；所述衬套40固定于所述调平底座30的中部；所述滑动吸杆50限位于所述衬套40的中部，并与所述衬套40滑动配合；所述滑动吸杆50的下部穿过所述衬套40和调平底座20与所述吸盘60固定连接；所述缓冲机构设置于所述安装板10与所述吸盘60之间。本实用新型采用调平螺丝30对吸盘60的平面度进行调节，同时采用缓冲机构实现吸盘60的上下浮动，从而确保吸盘60吸取晶圆时吸盘面能够很好的平行于晶圆，确保晶圆不被压伤；另外，本实用新型还充分利用了空间，具有结构简单，工作效率高的优点。

显然，本领域的技术人员可以对实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包括这些改动和变型在内。

Claims (7)

1.一种研磨机上料晶圆吸取机构，其特征在于，包括安装板、调平底座、调平螺丝、衬套、滑动吸杆、吸盘以及缓冲机构，

所述调平底座通过所述调平螺丝安装于所述安装板上；

所述衬套固定于所述调平底座的中部；所述滑动吸杆限位于所述衬套的中部，并与所述衬套滑动配合；

所述滑动吸杆的下部穿过所述衬套和调平底座与所述吸盘固定连接；

所述缓冲机构设置于所述安装板与所述吸盘之间。

2.如权利要求1所述的研磨机上料晶圆吸取机构，其特征在于，所述缓冲机构为伸缩弹簧，所述伸缩弹簧套设于所述滑动吸杆上。

3.如权利要求1所述的研磨机上料晶圆吸取机构，其特征在于，所述滑动吸杆的上部安装有气管接头，所述滑动吸杆为内部中空结构，所述气管接头通过所述内部中空结构与所述吸盘连通。

4.如权利要求1所述的研磨机上料晶圆吸取机构，其特征在于，所述衬套上固定有纵向设置的止转销，所述滑动吸杆上设有与所述止转销匹配的凹槽。

5.如权利要求1所述的研磨机上料晶圆吸取机构，其特征在于，所述调平螺丝至少为三个，且均匀分布于所述调平底座上。

6.如权利要求1所述的研磨机上料晶圆吸取机构，其特征在于，所述滑动吸杆通过底部的螺纹杆与所述吸盘固定连接。

7.如权利要求1所述的研磨机上料晶圆吸取机构，其特征在于，所述吸盘采用包胶吸盘。