CN220463245U - 一种硅片抛光机头吸盘 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种硅片抛光机头吸盘。所述硅片抛光机头吸盘包括有底座：所述底座的顶部开设有漏屑槽，所述底座的顶部固定安装有凹型架，所述凹型架的表面固定安装有控制器，所述底座的顶部固定安装有圆柱，所述圆柱的顶部固定安装有第一电机，所述第一电机的输出端固定安装有电动伸缩杆；将对应的四个第二承接块调节至适当位置，便于将硅片固定在对应的圆槽内，方便进行加工，将吸取的硅片放入对应的圆槽并位于第一承接块与第二承接块之间，然后反转第三电机，在伸缩弹簧的作用下，可使四个第二承接块进行复位，继而可在对应圆槽内固定不同规格的硅片，不必频繁的进行上料，提高了该装置的适应性和灵活性。

Description

一种硅片抛光机头吸盘

技术领域

本实用新型属于硅片加工技术领域，尤其涉及一种硅片抛光机头吸盘。

背景技术

随着科学技术的发展，一直在不断推动着半导体的发展，其中硅片的应用变得越来越广泛，硅片常用在航空航天、医学以及家电等领域；本实用新型公开了一种硅片抛光机，申请号为202222758177.0，包括机台、以及设置于机台的滑台、定位件和真空吸盘，滑台的滑动端固定有安装架，安装架上固定有抛光件，真空吸盘的四周设置有若干定位件，定位件位于抛光件的一侧，真空吸盘与真空发生器连通，抛光件具有倾斜抛光面，倾斜抛光面与水平面的夹角为α，α＝30-50°；该硅片抛光机，能够高效对硅片边缘进行抛光。

但是，上述结构中还存在不足之处，一次只能对一种规格的硅片进行抛光，需要频繁进行上料，装置的适应性和灵活性较差，故有待改进。

因此，有必要提供新的一种硅片抛光机头吸盘解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题是提供将对应的四个第二承接块调节至适当位置，便于将硅片固定在对应的圆槽内，方便进行加工，将吸取的硅片放入对应的圆槽并位于第一承接块与第二承接块之间，然后反转第三电机，在伸缩弹簧的作用下，可使四个第二承接块进行复位，继而可在对应圆槽内固定不同规格的硅片，不必频繁的进行上料，提高了该装置的适应性和灵活性。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的硅片抛光机头吸盘包括有底座：所述底座的顶部开设有漏屑槽，所述底座的顶部固定安装有凹型架，所述凹型架的表面固定安装有控制器，所述底座的顶部固定安装有圆柱，所述圆柱的顶部固定安装有第一电机，所述第一电机的输出端固定安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的输出端固定安装有安装板，所述安装板上设置有升降机构，所述安装板的表面滑动安装有移动块，所述移动块的表面固定安装有抛光组件，所述凹型架的顶部固定安装有机械臂，所述凹型架的顶部开设有加工槽，所述凹型架的底部固定安装有第三电机，所述加工槽内开设有转动槽，所述转动槽内设置有连接块，所述加工槽内设置有四个调节机构，所述加工槽内开设有弧形槽，所述弧形槽与圆槽相连通，所述弧形槽内设置有承接机构，所述机械臂上设置有吸盘组件；所述调节机构包括有滑槽、T型块和连接杆，所述滑槽开设在加工槽内，所述T型块与滑槽滑动连接，所述连接杆铰接安装在T型块和连接块之间。

作为本实用新型的进一步方案，所述升降机构包括有第二电机、移动槽，所述第二电机固定安装在安装板的表面，所述移动槽开设在安装板的表面。

作为本实用新型的进一步方案，所述升降机构还包括有螺纹杆，所述螺纹杆螺纹安装在移动槽内，所述螺纹杆的顶端与第二电机固定连接，所述移动块与螺纹杆的表面螺纹连接。

作为本实用新型的进一步方案，所述连接块与第三电机的输出端固定连接，所述加工槽内开设有四个圆槽，四个所述圆槽内均固定安装有第一承接块。

作为本实用新型的进一步方案，所述承接机构包括有第二承接块、圆形连杆，所述第二承接块滑动设置在弧形槽内，所述第二承接块与对应的圆槽滑动连接并与对应的第一承接块相适配，所述圆形连杆的一端与第二承接块固定连接，所述圆形连杆的另一端延伸至滑槽内并与T型块固定连接。

作为本实用新型的进一步方案，所述承接机构还包括有两个伸缩弹簧，两个所述伸缩弹簧的一端均与弧形槽固定连接，所述伸缩弹簧的另一端均与第二承接块固定连接。

与相关技术相比较，本实用新型提供的硅片抛光机头吸盘具有如下有益效果：

1、本实用新型通过设置升降机构，启动第二电机带动螺纹杆转动，螺纹杆带动移动块向下移动，移动块带动抛光组件移动至对应的圆槽内，来对圆槽内的硅片进行抛光，抛光所产生的碎屑会从圆槽掉落到漏屑槽，方便对碎屑进行收集；

2、本实用新型通过设置调节机构，启动第三电机带动连接块转动，连接块带动四个连接杆移动，四个连接杆带动对应的T型块移动，四个T型块带动对应圆形连杆移动，四个圆形连杆带动对应的第二承接块移动，继而将对应的四个第二承接块调节至适当位置，便于将硅片固定在对应的圆槽内，方便进行加工；

3、本实用新型通过设置承接机构，将吸取的硅片放入对应的圆槽并位于第一承接块与第二承接块之间，然后反转第三电机，在伸缩弹簧的作用下，可使四个第二承接块进行复位，继而可在对应圆槽内固定不同规格的硅片，不必频繁的进行上料，提高了该装置的适应性和灵活性。

附图说明

为了便于本领域技术人员理解，下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

图1为本实用新型硅片抛光机头吸盘的立体结构示意图；

图2为本实用新型硅片抛光机头吸盘中凹型架、第三电机和圆槽的结构连接示意图；

图3为本实用新型硅片抛光机头吸盘图1中A处的结构放大示意图；

图4为本实用新型硅片抛光机头吸盘中加工槽、圆槽、第一承接块、弧形槽和承接机构的结构连接示意图。

图中：1、底座；2、漏屑槽；3、凹型架；4、控制器；5、圆柱；6、第一电机；7、电动伸缩杆；8、安装板；9、升降机构；901、第二电机；902、移动槽；903、螺纹杆；10、移动块；11、抛光组件；12、机械臂；13、加工槽；14、第三电机；15、转动槽；16、连接块；17、圆槽；18、第一承接块；19、调节机构；1901、滑槽；1902、T型块；1903、连接杆；20、弧形槽；21、承接机构；2101、第二承接块；2102、圆形连杆；2103、伸缩弹簧；22、吸盘组件。

具体实施方式

请结合参阅图1、图2、图3和图4，其中，图1为本实用新型硅片抛光机头吸盘的立体结构示意图；图2为本实用新型硅片抛光机头吸盘中凹型架、第三电机和圆槽的结构连接示意图；图3为本实用新型硅片抛光机头吸盘图1中A处的结构放大示意图；图4为本实用新型硅片抛光机头吸盘中加工槽、圆槽、第一承接块、弧形槽和承接机构的结构连接示意图。硅片抛光机头吸盘包括有底座1：所述底座1的顶部开设有漏屑槽2，所述底座1的顶部固定安装有凹型架3，所述凹型架3的表面固定安装有控制器4，所述底座1的顶部固定安装有圆柱5，所述圆柱5的顶部固定安装有第一电机6，所述第一电机6的输出端固定安装有电动伸缩杆7，所述电动伸缩杆7的输出端固定安装有安装板8，所述安装板8上设置有升降机构9，所述安装板8的表面滑动安装有移动块10，所述移动块10的表面固定安装有抛光组件11，所述凹型架3的顶部固定安装有机械臂12，所述凹型架3的顶部开设有加工槽13，所述凹型架3的底部固定安装有第三电机14，所述加工槽13内开设有转动槽15，所述转动槽15内设置有连接块16，所述加工槽13内设置有四个调节机构19，所述加工槽13内开设有弧形槽20，所述弧形槽20与圆槽17相连通，所述弧形槽20内设置有承接机构21，所述机械臂12上设置有吸盘组件22；所述调节机构19包括有滑槽1901、T型块1902和连接杆1903，所述滑槽1901开设在加工槽13内，所述T型块1902与滑槽1901滑动连接，所述连接杆1903铰接安装在T型块1902和连接块16之间。

如图1所示，所述升降机构9包括有第二电机901、移动槽902，所述第二电机901固定安装在安装板8的表面，所述移动槽902开设在安装板8的表面，所述升降机构9还包括有螺纹杆903，所述螺纹杆903螺纹安装在移动槽902内，所述螺纹杆903的顶端与第二电机901固定连接，所述移动块10与螺纹杆903的表面螺纹连接；

通过升降机构9的作用，启动第二电机901带动螺纹杆903转动，螺纹杆903带动移动块10向下移动，移动块10带动抛光组件11移动至对应的圆槽17内，来对圆槽17内的硅片进行抛光，抛光所产生的碎屑会从圆槽17掉落到漏屑槽2，方便对碎屑进行收集。

如图1和图3所示，所述连接块16与第三电机14的输出端固定连接，所述加工槽13内开设有四个圆槽17，四个所述圆槽17内均固定安装有第一承接块18；

通过加工槽13、第三电机14、连接块16、圆槽17和第一承接块18的相互配合，启动第三电机14带动连接块16转动，连接块16带动四个连接杆1903移动，四个连接杆1903带动对应的T型块1902移动，四个T型块1902带动对应圆形连杆2102移动，四个圆形连杆2102带动对应的第二承接块2101移动，继而将对应的四个第二承接块2101调节至适当位置，便于将硅片固定在对应的圆槽17内，方便进行加工。

如图3和图4所示，所述承接机构21包括有第二承接块2101、圆形连杆2102，所述第二承接块2101滑动设置在弧形槽20内，所述第二承接块2101与对应的圆槽17滑动连接并与对应的第一承接块18相适配，所述圆形连杆2102的一端与第二承接块2101固定连接，所述圆形连杆2102的另一端延伸至滑槽1901内并与T型块1902固定连接，所述承接机构21还包括有两个伸缩弹簧2103，两个所述伸缩弹簧2103的一端均与弧形槽20固定连接，所述伸缩弹簧2103的另一端均与第二承接块2101固定连接。

通过承接机构21的作用，将吸取的硅片放入对应的圆槽17并位于第一承接块18与第二承接块2101之间，然后反转第三电机14，在伸缩弹簧2103的作用下，可使四个第二承接块2101进行复位，继而可在对应圆槽17内固定不同规格的硅片，不必频繁的进行上料，提高了该装置的适应性和灵活性。

本实用新型提供的硅片抛光机头吸盘的工作原理如下：

当需要对硅片进行抛光时，启动机械臂12带动吸盘组件22吸取硅片，启动第三电机14带动连接块16转动，连接块16带动四个连接杆1903移动，四个连接杆1903带动对应的T型块1902移动，四个T型块1902带动对应圆形连杆2102移动，四个圆形连杆2102带动对应的第二承接块2101移动，继而将对应的四个第二承接块2101调节至适当位置，然后将吸取的硅片放入对应的圆槽17并位于第一承接块18与第二承接块2101之间，然后反转第三电机14，在伸缩弹簧2103的作用下，可使四个第二承接块2101进行复位，继而可在对应圆槽17内固定不同规格的硅片，不必频繁的进行上料，提高了该装置的适应性和灵活性，启动第一电机6和电动伸缩杆7，可将升降机构9调节至适当位置，启动第二电机901带动螺纹杆903转动，螺纹杆903带动移动块10向下移动，移动块10带动抛光组件11移动至对应的圆槽17内，来对圆槽17内的硅片进行抛光，抛光所产生的碎屑会从圆槽17掉落到漏屑槽2，方便对碎屑进行收集。

需要说明的是，本实用新型的设备结构和附图主要对本实用新型的原理进行描述，在该设计原理的技术上，装置的动力机构、供电系统及控制系统等的设置并没有完全描述清楚，而在本领域技术人员理解上述实用新型的原理的前提下，可清楚获知其动力机构、供电系统及控制系统的具体，申请文件的控制方式是通过控制器来自动控制，控制器的控制电路通过本领域的技术人员简单编程即可实现；

其中所使用到的标准零件均可以从市场上购买，而且根据说明书和附图的记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中常规的型号，且本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。

尽管已经表示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型或直接或间接运用，在其它相关的技术领域，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (6)

1.一种硅片抛光机头吸盘，其特征在于，包括有底座：所述底座的顶部开设有漏屑槽，所述底座的顶部固定安装有凹型架，所述凹型架的表面固定安装有控制器，所述底座的顶部固定安装有圆柱，所述圆柱的顶部固定安装有第一电机，所述第一电机的输出端固定安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的输出端固定安装有安装板，所述安装板上设置有升降机构，所述安装板的表面滑动安装有移动块，所述移动块的表面固定安装有抛光组件，所述凹型架的顶部固定安装有机械臂，所述凹型架的顶部开设有加工槽，所述凹型架的底部固定安装有第三电机，所述加工槽内开设有转动槽，所述转动槽内设置有连接块，所述加工槽内设置有四个调节机构，所述加工槽内开设有弧形槽，所述弧形槽与圆槽相连通，所述弧形槽内设置有承接机构，所述机械臂上设置有吸盘组件；

所述调节机构包括有滑槽、T型块和连接杆，所述滑槽开设在加工槽内，所述T型块与滑槽滑动连接，所述连接杆铰接安装在T型块和连接块之间。

2.根据权利要求1所述的硅片抛光机头吸盘，其特征在于：所述升降机构包括有第二电机、移动槽，所述第二电机固定安装在安装板的表面，所述移动槽开设在安装板的表面。

3.根据权利要求2所述的硅片抛光机头吸盘，其特征在于：所述升降机构还包括有螺纹杆，所述螺纹杆螺纹安装在移动槽内，所述螺纹杆的顶端与第二电机固定连接，所述移动块与螺纹杆的表面螺纹连接。

4.根据权利要求1所述的硅片抛光机头吸盘，其特征在于：所述连接块与第三电机的输出端固定连接，所述加工槽内开设有四个圆槽，四个所述圆槽内均固定安装有第一承接块。

5.根据权利要求4所述的硅片抛光机头吸盘，其特征在于：所述承接机构包括有第二承接块、圆形连杆，所述第二承接块滑动设置在弧形槽内，所述第二承接块与对应的圆槽滑动连接并与对应的第一承接块相适配，所述圆形连杆的一端与第二承接块固定连接，所述圆形连杆的另一端延伸至滑槽内并与T型块固定连接。

6.根据权利要求5所述的硅片抛光机头吸盘，其特征在于：所述承接机构还包括有两个伸缩弹簧，两个所述伸缩弹簧的一端均与弧形槽固定连接，所述伸缩弹簧的另一端均与第二承接块固定连接。