CN211879362U - 一种吸取治具的升降机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种吸取治具的升降机构，包括基板、设于所述基板上的升降驱动装置、与所述升降驱动装置相连的升降板、穿设于所述升降板四角处的导向轴，所述导向轴的顶部与位于所述升降板上方的定位框相连，所述导向轴的底部穿过所述基板，与位于基板下方的所述吸取治具相连，其特征在于：所述定位框与升降板之间的导向轴上套设有第一弹簧。采用这样的结构，吸取治具、导向轴、与定位框的重力作用在第一弹簧上，被第一弹簧的弹力抵消，有效降低了吸取治具与产品接触时对产品的冲击力，降低了产品损坏的几率。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种吸取治具的升降机构。
背景技术
在半导体制造或者是其他高精尖的自动化行业中，产品的搬运通常是以真空吸附的方式进行的。通过真空发生器连接管路，以吸取治具中的吸嘴作为接触媒介，进行产品的吸取并转移，实现自动化搬运的过程。
上述常用的真空方式是目前大主流的搬运方式，但是依旧存在如下的使用缺陷：
缺点一：由于吸取治具自重较大，而部分产品又较为脆弱，在治具下降与产品接触时，产品容易受到过大的冲击而导致损坏。
缺点二：吸取治具与产品之间应保持完全水平，若因其中一个角翘曲过大，使吸取治具上有吸嘴未能完全与产品接触的话，将会破坏整体密封性，导致真空失效，产品从吸嘴上掉落，而现有的升降机构并不具备相应的调平功能，不能有效保证吸取的可靠性。
实用新型内容
基于此，本实用新型提供了一种吸取治具的升降机构，能够抵消掉治具本身自重，避免损伤产品。
本实用新型通过如下方式解决该技术问题：
一种吸取治具的升降机构，包括基板、设于所述基板上的升降驱动装置、与所述升降驱动装置相连的升降板、穿设于所述升降板四角处的导向轴，所述导向轴的顶部与位于所述升降板上方的定位框相连，所述导向轴的底部穿过所述基板，与位于基板下方的所述吸取治具相连，其特征在于：所述定位框与升降板之间的导向轴上套设有第一弹簧。
采用这样的结构，吸取治具、导向轴、与定位框的重力作用在第一弹簧上，被第一弹簧的弹力抵消，有效降低了吸取治具与产品接触时对产品的冲击力，降低了产品损坏的几率。
为实现吸取治具的调平功能，在本实用新型的进一步改进中，还包括设于所述定位框四角处的调平螺栓，所述调平螺栓包括一个底部具有顶头的螺纹轴与一个能够旋入所述螺纹轴的螺母，所述螺纹轴穿设于所述定位框中，所述顶头面朝所述升降板布置，所述螺母安装在所述螺纹轴伸出所述定位框的顶部上。
需要调平时，使用者转动螺母，使螺纹轴相对于定位框向下移动，螺纹轴底部的顶头与升降板相抵，将定位框一角顶起，由于定位框是通过导向轴与吸取治具直连的，也就由此实现了吸取治具的调平。
作为本实用新型的一种优选实施方式，所述导向轴上设有固定环，所述固定环与所述升降板之间的导向轴上套设有第二弹簧。通过第二弹簧向上弹力的作用，使所述调平螺栓的顶头能够始终与所述定位板相抵，避免吸取治具运行时发生晃动。
作为本实用新型的一种优选实施方式，所述升降驱动装置包括设于所述基板上的升降架与设于所述升降架中的气缸，所述升降架包括上框以及从上框四角向下延伸并与所述基板相连的导杆，所述导杆穿设于所述升降板中，所述气缸底部与所述基板固定、顶部具有与所述升降板相连的活塞杆。
作为本实用新型的一种优选实施方式，所述升降板上装有直线轴承，所述导向轴穿设于所述直线轴承中。由此来进一步提高运行稳定性。
综合以上，本吸取治具的升降机构，能够抵吸取治具下降时对产品的冲击，降低产品损坏的概率，同时还能够实现对吸取治具的调平，使吸取治具能够更为可靠的吸取产品。
附图说明
下面结合图片来对本实用新型进行进一步的说明：
图1为本吸取治具的升降机构的立体图；
图2为本吸取治具的升降机构的侧视图；
图3为本吸取治具的升降机构的俯视图；
其中：3100-基板，3200-升降架，3201-上框，3202-导杆，3300-升降板，3301-导向轴承，3302-直线轴承，3400-气缸，3500-定位框，3600-导向轴，3601-第一弹簧，3602-固定环，3603-第二弹簧，3700-调平螺栓，3701-螺纹轴，3702-顶头，3703-螺母，3800-吸取治具，3801-治具板、3802-气管，3803-气管接头。
具体实施方式
以下通过具体实施例来对本实用新型进行近一步阐述：
如图1所示，一种吸取治具的升降机构，包括基板3100、升降架3200、升降板3300、气缸3400、定位框3500、导向轴3600与调平螺栓3700。
基板3100和位于产品输送线旁的配合机构相连，升降架3200、升降板3300、气缸3400、定位框3500、导向轴3600与调平螺栓3700均设于基板3100上，以基板3100为基准进行动作。与基板3100相连的配合机构可以根据生产工序的需要进行调整，比如采用横向导轨、竖向导轨或平面位移机构，当然，也可以仅仅是固定不动的安装支架。
如图2所示，升降架3200包括上框3201以及从上框3201四角向下延伸的导杆3202，导杆3202底端与基板3100相连。气缸3400设于升降架3200内，其底部与基板3100固定，顶部具有活塞杆，该活塞杆通过一个连接板与升降板3300相连。
升降板3300上设有可供导杆3202从中穿过的导向轴承3301，导杆3202穿入该导向轴承3301中，使升降板3300能够在气缸3400的驱动下沿着导杆3202升降。
如图2与图3所示，升降板3300的外周四角处设有可供导向轴3600从中穿过的直线轴承3302，导向轴3600穿入该直线轴承3302中，导向轴3600的顶部与位于升降板3300上方的定位框3500四角通过螺栓固定连接。导向轴3600的底部穿过基板3100，与位于基板3100下方的吸取治具3800相连。
位于定位框3500与直线轴承3302之间的导向轴3600上套设有第一弹簧3601。采用这样的结构，吸取治具3800、导向轴3600、与定位框3500的重力作用在第一弹簧3601上，被第一弹簧3601的弹力抵消，有效降低了吸取治具3800与产品接触时对产品的冲击力，降低了产品损坏的几率。
调平螺栓3700设于定位框3500与升降板3300之间，包括一个底部具有顶头3702的螺纹轴3701与能够旋在该螺纹轴3701上的螺母3703。
该螺纹轴3701穿设于定位框3500的四角位置处，螺纹轴3701底部的顶头3702面朝升降板3300布置，螺母3703安装在螺纹轴3701伸出定位框3500的顶部上。
需要调平时，使用者转动螺母3703，使螺纹轴3701相对于定位框3500向下移动，螺纹轴3701底部的顶头3702与升降板3300相抵，定位框3500的一角被顶起，通过调节定位框3500被顶起的幅度，即可实现定位框3500的水平位置调节，又由于定位框3500是通过导向轴3600与吸取治具3800直连的，因此调节定位框3500水平位置的同时也就实现了对吸取治具3800的调平操作。
此外，由于吸取治具3800是通过第一弹簧3601间接与升降板3300相连的，为避免吸取治具3800晃动，优选在位于升降板3300与基板3100之间的导向轴3600上安装固定环3602，在位于升降板3300与固定环3602之间的导向轴3600上套设第二弹簧3603，这样通过第二弹簧3603向上的弹力，能够使螺纹轴3701的顶头始终与升降板3300的上表面相抵，避免晃动的发生。
如图1所示，吸取治具3800的主要包括一个与导向轴3600底端相连的治具板3801、设于治具板3801底面上的吸嘴、设于治具板3801顶面上的与吸嘴相连通的气管3802，气管3802竖直向上延伸，穿过基板3100、升降板3300，与固定于定位框3500上的气管接头3803相接。采用这样的结构能够避免气管308发生缠绕或妨碍机构的升降，同时外观更为简洁美观。
综合以上，本吸取治具的升降机构，能够抵吸取治具下降时对产品的冲击，降低产品损坏的概率，同时还能够实现对吸取治具的调平，使吸取治具能够更为可靠的吸取产品。
但是，本技术领域中的普通技术人员应当认识到，以上的实施例仅是用来说明本实用新型，而并非用作为对本实用新型的限定，只要在本实用新型的实质精神范围内，对以上所述实施例的变化、变型都将落在本实用新型的权利要求书范围内。
Claims (5)
1.一种吸取治具的升降机构，包括基板(3100)、设于所述基板(3100)上的升降驱动装置、与所述升降驱动装置相连的升降板(3300)、穿设于所述升降板(3300)四角处的导向轴(3600)，所述导向轴(3600)的顶部与位于所述升降板(3300)上方的定位框(3500)相连，所述导向轴(3600)的底部穿过所述基板(3100)，与位于基板(3100)下方的所述吸取治具(3800)相连，其特征在于：所述定位框(3500)与升降板(3300)之间的导向轴(3600)上套设有第一弹簧(3601)。
2.按照权利要求1所述的吸取治具的升降机构，其特征在于：还包括设于所述定位框(3500)四角处的调平螺栓(3700)，所述调平螺栓(3700)包括一个底部具有顶头(3702)的螺纹轴(3701)与一个能够旋入所述螺纹轴(3701)的螺母(3703)，所述螺纹轴(3701)穿设于所述定位框(3500)中，所述顶头(3702)面朝所述升降板(3300)布置，所述螺母(3703)安装在所述螺纹轴(3701)伸出所述定位框(3500)的顶部上。
3.按照权利要求2所述的吸取治具的升降机构，其特征在于：所述导向轴(3600)上设有固定环(3602)，所述固定环(3602)与所述升降板(3300)之间的导向轴(3600)上套设有第二弹簧(3603)。
4.按照权利要求1所述的吸取治具的升降机构，其特征在于：所述升降驱动装置包括设于所述基板(3100)上的升降架(3200)与设于所述升降架(3200)中的气缸(3400)，所述升降架(3200)包括上框(3201)以及从上框(3201)四角向下延伸并与所述基板(3100)相连的导杆(3202)，所述导杆(3202)穿设于所述升降板(3300)中，所述气缸(3400)底部与所述基板(3100)固定、顶部具有与所述升降板(3300)相连的活塞杆。
5.按照权利要求1所述的吸取治具的升降机构，其特征在于：所述升降板(3300)上装有直线轴承(3302)，所述导向轴(3600)穿设于所述直线轴承(3302)中。
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| CN202020636256.2U CN211879362U (zh) | 2020-04-24 | 2020-04-24 | 一种吸取治具的升降机构 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115509024A (zh) * | 2022-08-31 | 2022-12-23 | 成都光创联科技有限公司 | 一种耦合系统及镜片装配方法 |
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