JP4967739B2 - セラミックス電子部品(以下電子部品)焼成用道具材 - Google Patents

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Description

本発明は、誘電体、積層コンデンサ、セラミックコンデンサ、圧電素子、サーミスタ等の電子部品を焼成する際に用いる、アルミナ−ムライト質のセッター、棚板、匣鉢等の電子部品焼成用道具材及びその製造方法に関する。
電子部品焼成用道具材は、一般的に耐熱性や機械的強度が必要とされているが、近年、被焼成物であるセラミックス電子部品の歩留りに悪影響を与える電子部品自身の形状の変化を少なくする事が要求されている。
電子部品の焼成時に起こる形状変化は、道具材が反ることが一因である。
道具材が反る事に関して、一般的に道具材の密度が高いほど反り難い傾向にある。道具材で高密度の物は気孔が少なく、気孔を少なくする方法の一つには、焼結性を向上させる方法がある。そこで添加物を少量使用する事により緻密な焼結体を得、低気孔の道具材を作る事を目的とする。
本発明は、電子部品の焼成時に、焼成用道具材を反り難くする事により、電子部品自身の形状変化を抑制し、歩留りを向上させること。
上記目的を達成する為にアルミナ−ムライト質焼成用道具材を製造する際に少量の酸化亜鉛を添加することにより緻密な焼結体を得、反り特性を向上させる。
アルミナ−ムライト質焼成用道具材の製造時に使用するアルミナ原料は、電融アルミナ、焼結アルミナで、いずれも純度が98.5〜99.9%重量%、粒度は2000〜1μm程度である事が望ましい。純度が98.5重量%未満の場合は被焼成物との反応があり、粒度が2000μmより大きい場合は被焼成物を傷つける場合がある。
使用するシリカ原料は、電融シリカで純度が99.0〜99.5重量%、粒度は1000〜1μmであることが望ましい。アルミナ原料同様、純度が99.0重量%未満の場合は被焼成物との反応があり、粒度が1000μmより場合は被焼成物を傷つける場合がある。
使用するムライト原料は、電融ムライトで、化学成分はアルミナ成分が70重量%以上でシリカ成分が20〜30重量%であり、粒度は1000〜1μmである事が望ましい。アルミナ、シリカ成分の合計量が99.0重量%未満の場合は被焼成物との反応があり、粒度が1000μmより大きい場合は被焼成物を傷つける場合がある。
添加物として使用する酸化亜鉛原料は、純度が90.0〜99.9重量%であることが望ましく、粒度は15〜1μmが望ましく、添加量は外配で0.01〜10重量%が望ましい。
上記粒度及び添加量以外の場合は、良好な焼結性が得らないか、または低融点化合物を作り特性の向上は認められない場合がある。
以下に本発明の実施例を示し、本発明の特徴とするところを一層明確にする。
(実施例1〜7)
電融アルミナ、焼結アルミナ、シリカ粉、電融ムライトそれぞれの原料をアルミナ:シリカ比が(70〜99):(30〜1)に成るように調合し、混合する。混合時に外配で0.01〜10重量%の酸化亜鉛を添加し、バインダーとしてデキストリンを使用して混練した後、坏土を260×173mmの金型に入れ、2.2t/cmの圧力を加えて乾式プレス成形した。これにより縦260mm、幅173mm、厚み7mmの成形体を得た。この成形体をトンネル炉にて最高温度1730℃にて合計102時間の条件で焼成し、試料を作製した。
(比較例1)
実施例1と同一の方法で添加物を使用しないものを比較例として作製した。
(比較評価1)
実施例1〜7及び比較例1の試料について、各試料をそれぞれ6mmの厚さに研磨し、所定荷重を掛けて、電気炉にて1600℃の温度で5時間保持し試料の反り量を試験した。その結果を表1に示す。
Figure 0004967739
表からも明らかなように実施例1〜7の試料の反り難さは比較例1の試料に比べて反り量が少ない事が判る。
発明の効果
以上述べたように、本発明によれば、アルミナ−ムライト質焼成用道具材において、製造時に0.01〜10.0重量%の酸化亜鉛原料を外配で添加する事により、使用中の反り量が少ない製品を製造する事ができる。本発明のアルミナ−ムライト質焼成用道具材を用いることによって、電子部品自身の形状変化を抑制し、歩留りを向上させることができる。
4点曲げ試験法の概略図である。
符号の説明
1 荷重
2 試料(サイズ:260×173×6mm)
3 支点
Figure 0004967739

Claims (2)

  1. 化学成分がアルミナ70〜99重量%、シリカ30〜1重量%からなる、アルミナ−ムライト質電子部品焼成用道具材において、製造時に外配で0.5〜3重量%の酸化亜鉛原料を添加して得られる道具材。
  2. 化学成分がアルミナ70〜99重量%、シリカ30〜1重量%からなる、アルミナ−ムライト質電子部品焼成用道具材において、製造時に外配で0.5〜3重量%の酸化亜鉛原料を添加して得られる道具材の製造方法。
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