JP4967463B2 - 面発光型半導体レーザ装置 - Google Patents
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Description
(1)VCSEL基板の成膜
先ず、図6に示すように、GaAs等のIII-V族化合物半導体のバルク結晶を基板として、有機金属気層成長(Metal Organic Vapor Phase Epitaxy:MOPVE)法により、III-V族化合物(GaAs、AlGaAs)半導体薄膜を順次エピタキシャル成長させ積層してゆく。積層する薄膜の構造は、前述したように、少なくとも、活性層、スペーサ層、半導体多層膜DBR反射鏡ミラー、コンタクト層を有する。具体的には、Siドープ(Nd=1×1018cm-3)のn型GaAs半導体基板201上に、Siドープ(Nd=1×1018cm-3)のn型GaAsバッファ層202、40.5周期のSiドープ(Nd=1×1018cm-3)のn型Al0.3Ga0.7As/Al0.9Ga0.1As分布ブラッグ反射鏡(DBR層)203、アンドープλ Al0.6Ga0.4Asスペーサ層208、3重量子井戸Al0.11Ga0.89As/Al0.3Ga0.7As活性層204、Znドープ(Na=7×1017cm-3)のp型AlAs層205、30.5周期のZnドープ(Na=7×1017cm-3)のp型 Al0.3Ga0.7As/Al0.9Ga0.1AsDBR層206、Znドープ(Na=1×1019cm-3)のp型GaAs層207の各層を順次成膜する。p型のAl0.3Ga0.7As/Al0.9Ga0.1As分布ブラッグ反射鏡(DBR層)の各層界面には、デバイスの直列抵抗を下げるために、Al0.3Ga0.7AsとAl0.9Ga0.1Asの間の組成のバンド障壁緩衝層を挿入しても良い。
次に、図6(b)に示すように、MOVPE装置で作製したVCSEL基板の最表面に、レーザ出射用の開口部210を有するコンタクト電極209を作製する。コンタクト電極209の作製方法は、基板表面に通常のフォトリソグラフィーによりレジストパターンを形成し、TiとAuを順次着膜してから、レジストを剥離して電極形成するリフトオフ法が好ましい。あるいは、あらかじめTiとAuを着膜しておいて、Auの上で通常のフォトリソグラフィーによりレジストパターンを形成しTiとAuをエッチングしてパターンニングする方法でも良い。P側電極材料は、TiとAuの他に、AuZn/Au、Ti/Pt/Auなどを用いても良い。
次に、図6(c)に示すように、コンタクト電極209を含むVCSEL基板表面全面に、CVD装置やスパッタ装置などによりSiON、または、SiO2の絶縁膜を着膜し、通常のフォトリソグラフィーとエッチングにより前記SiON、またはSiO2をパターンニングして保護膜211を形成する。エッチングは、バッファードフッ酸(BHF)か、フッ素系エッチャントガスによるドライエッチングでも良い。
次に、図7(d)に示すように、柱状のポスト構造を作製するために、エッチングマスク212を形成する。エッチングマスク212は、CVD装置やスパッタ装置などによりSiON、SiNxの絶縁膜を着膜し、フォトリソグラフィー、およびエッチングによりパターニングを行う。エッチングは、バッファードフッ酸(BHF)か、フッ素系エッチャントガスによるドライエッチングでも良い。
次に、図7(e)に示すように、マスク212以外の部分を、塩素系ガスを用いたドライエッチング装置にて数ミクロン〜10数ミクロンの深さまでドライエッチングし、ポスト214とビア213を同時に形成する。このとき、エッチングの深さは、少なくともポスト側面にVCSEL基板の積層膜の断面が露出し、AlAs層205の端部が露出する深さとする。また、ビア213はトレンチ(溝)形状であっても良い。
次に、図7(f)に示すように、ポスト214を作製したら、直ちにアニール炉内に挿入し、水蒸気を導入してポスト側面からAlAs層205の選択酸化を行う。その時のアニール温度は、300〜400℃程度。また、水蒸気は、熱水タンク内の70〜100℃の熱水を窒素キャリアガスでバブリングして炉内に輸送する。水蒸気酸化を行うと、Al組成の高いAlGaAsとAlAs層がアルミ酸化物(AlxOy)に変化するが、AlAsの方がAlGaAsに比べて酸化速度が大きいため、AlAsのみが選択的にポスト側壁端部からポスト中心部へ向っての酸化が進行し酸化層215が形成される。アニール時間を制御することで、ポスト中央部にAlAs層205を所望サイズだけ残すことができる。酸化層(AlxOy層)215は、電気伝導度が極度に小さく、AlAs層205は電気伝導度が大きいため、ポスト構造の中心部に残されたAlAs層205のみに電流が流れる構造、すなわち電流狭窄構造を形成することができる。
次に、図8(g)に示すように、AlAs酸化を行った後でポスト全体をSiO2、SiON、SiNx等の層間絶縁膜216で被覆する。これは、AlAs層のほとんどが酸化によってポーラス状のAlxOy膜となったことによるポスト自体の強度低下を、絶縁膜着膜により補強する効果がある。また、酸化層(AlxOy層)215がポスト側壁端部から自然酸化し変質することを防ぐ効果もある。
次に、図8(h)に示すように、ポスト上部の保護膜211および層間絶縁膜216の下層にあるコンタクト電極209にp配線電極を接地させるためのコンタクトホール217を開ける。コンタクトホール217は、フォトリソグラフィーでパターニングを行い、バッファードフッ酸(BHF)等の薬液によるエッチングやドライエッチングにて行う。
次に、図8(i)に示すように、p配線電極218を形成する。p配線電極218の作製方法は、通常のフォトリソグラフィーによりレジストパターンを形成し、TiとAuを順次着膜してから、レジストを剥離して電極形成するリフトオフ法が好ましい。あるいは、あらかじめTiとAuを着膜しておいて、Auの上で通常のフォトリソグラフィーによりレジストパターンを形成しTiとAuをエッチングしてパターンニングする方法でも良い。p電極材料は、TiとAuの他に、AuZn/Au、Ti/Pt/Auなどを用いても良い。
次に、図8(j)に示すように、n電極221をGaAs基板201の裏面に蒸着装置にて着膜する。n電極の材料としては、AuGe/Au、AuGe/Ni/Auがあげられる。電極を低抵抗オーミック電極とするために、350〜400℃の温度の窒素雰囲気で数分アニールする。
図9(k)に示すように、ビア213の底部には、光を吸収して発熱する物質、光吸収熱変換物質219を着膜する。光吸収熱変換物質としては、光を吸収して熱に変換する機能をもつものであればどのようなものを用いてもよい。このような材料としては、例えば、DVD−RAMの記録層として用いられているGe2Sb2Te5のようなGe−Sb−Te合金、Sb金属、Ag−In−Sb−Te合金、Ag−In−Sb−Te−V合金、ニオブ酸リチウム、メチルニトロアニリンのような化合物がある。上記の合金、化合物を蒸着、または、スパッタ等により着膜し、フォトレジストのリフトオフ法によりパタンニングする。前記光吸収熱変換物質の厚みは、上記化合物の光の侵入長から50nm〜100nm程度が好ましい。
22:n側電極 24:n型半導体多層膜反射鏡
26:活性層 28:p型半導体多層膜反射鏡
30:コンタクト層 32:絶縁部
34:レーザ素子部 36:上部p側電極
38:出射窓 40:引き出し配線
42:電極パッド 50:光吸収熱変換領域
60:反射ミラー 62:レンズ
70:照射用半導体レーザ 72:集光レンズ
74:照射用レーザ素子部 76:反射鏡
80:サーミスタ 90:抵抗体
201:GaAs半導体基板 203、206:DBR層
204:活性層 205:p型AlAs層
209:コンタクト電極 210:開口部
211:保護膜 213:ビア
214:ポスト 215:酸化層
216:層間絶縁膜 217:コンタクトホール
218:p配線電極 219:光吸収変換物質
220:光吸収変換層
Claims (21)
- 基板上に、第一導電型の多層膜反射鏡、活性層、および第二導電型の多層膜反射鏡とを含むレーザ素子部が形成された面発光型半導体レーザ装置であって、
前記基板上の前記レーザ素子部と熱的に結合される位置に、光を吸収し発熱する光吸収熱変換領域と、前記レーザ素子部から発せられたレーザ光の一部を前記光吸収熱変換領域に照射する光学部品とを有する、面発光型半導体レーザ装置。 - 基板上に、第一導電型の多層膜反射鏡、活性層、および第二導電型の多層膜反射鏡とを含むレーザ素子部が形成された面発光型半導体レーザ装置であって、
前記基板上の前記レーザ素子部と熱的に結合される位置に、光を吸収し発熱する光吸収熱変換領域と、前記光吸収熱変換領域にレーザ光を出射する照射用レーザ素子とを含む、面発光型半導体レーザ装置。 - 前記照射用レーザ素子は、前記レーザ素子部と同一の基板上に形成される、請求項2に記載の面発光型半導体レーザ装置。
- 面発光型半導体レーザ装置はさらに、前記照射用レーザ素子からの光を前記光吸収熱変換領域に照射するための光学部品を有する、請求項2または3に記載の面発光型半導体レーザ装置。
- 前記照射用レーザ素子は、サーミスタと並列に接続される、請求項2ないし4いずれか1つに記載の面発光型半導体レーザ装置。
- 前記照射用レーザ素子は、抵抗体と直列に接続される、請求項2ないし4いずれか1つに記載の面発光型半導体レーザ装置。
- 前記光学部品は反射鏡を含む、請求項1または4に記載の面発光型半導体レーザ装置。
- 前記光学部品は集光レンズを含む、請求項4に記載の面発光型半導体レーザ装置。
- 前記光吸収熱変換領域は、光を吸収して熱に変換する化合物を含む、請求項1ないし8いずれか1つに記載の面発光型半導体レーザ装置。
- 前記化合物は、Ge−Sb−Te合金、Sb金属、Ag−In−Sb−Te合金、Ag−In−Sb−Te−V合金、ニオブ酸リチウム、またはメチルニトロアニリンのいずれか1つを含む、請求項9に記載の面発光型半導体レーザ装置。
- 前記化合物は、50乃至100nmの膜厚を有する、請求項9または10に記載の面発光型半導体レーザ装置。
- 前記光吸収熱変換領域は、基板または半導体層をイオン打ち込みによって変質させた領域である、請求項1ないし8いずれか1つに記載の面発光型半導体レーザ装置。
- 前記光吸収熱変換領域は、基板または半導体層を混晶化させた領域である、請求項1ないし8いずれか1つに記載の面発光型半導体レーザ装置。
- 前記光吸収熱変換領域は、基板上の半導体層を除去して形成された溝内に形成される、請求項1ないし13いずれか1つに記載の面発光型半導体レーザ装置。
- 前記溝は、基板上の活性層に至るまでの深さを有する、請求項14に記載の面発光型半導体レーザ装置。
- 前記レーザ素子部は、基板上に形成されたポスト構造を有し、前記溝は、前記ポスト構造に隣接している、請求項14または15に記載の面発光型半導体レーザ装置。
- 前記基板は、GaAs半導体から構成され、前記第一導電型の多層膜反射鏡および第二導電型の多層膜反射鏡は、AlGaAsの半導体層を含む、請求項1ないし16いずれか1つに記載の面発光型半導体レーザ装置。
- 請求項1ないし17いずれか1つに記載の面発光型半導体レーザ装置と、当該レーザ装置から発せられたレーザ光を光媒体を介して送信する送信手段とを備えた、光送信装置。
- 請求項1ないし17いずれか1つに記載の面発光型半導体レーザ装置と、当該装置から発せられた光を空間伝送する伝送手段とを備えた、光空間伝送装置。
- 請求項1ないし17いずれか1つに記載の面発光型半導体レーザ装置と、当該装置から発せられたレーザ光を送信する送信手段とを備えた、光送信システム。
- 請求項1ないし17いずれか1つに記載の面発光型半導体レーザ装置と、当該装置から発せられた光を空間伝送する伝送手段とを備えた、光空間伝送システム。
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