JP4943448B2 - 基板を保持するための装置及び方法 - Google Patents
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Description
2 フィンガ
3 スリット
10 フィンガ
15 チャックプレート
20 基板
25 先端部
30 ギャップ
35 第一の面(非処理面)
36 構造体または特徴部
37 第二の面(処理面)
40 アクチュエータ
Claims (19)
- 第一の面と第二の面とを有する基板をプロセス中に保持するための装置であって、
前記基板の前記第一の面に顕著に接触することなく前記基板の前記第二の面に接触するように構成された一つ以上の保持用構成要素を備え、
少なくとも一つの前記保持用構成要素が、該少なくとも一つの保持用構成要素が前記プロセスに影響を与えないように、前記プロセス中に動かされるように構成されていて、
前記プロセスが、液体メニスカスが前記基板の底面に接触するメニスカスプロセスであり、前記液体メニスカス及び前記基板が互いに相対的に動かされて、前記液体メニスカスが前記基板の底面の連続的な部分に接触する、装置。 - 前記基板がウェーハである請求項1に記載の装置。
- 前記ウェーハが半導体ウェーハである請求項2に記載の装置。
- 前記第一の面が上面である請求項1に記載の装置。
- 前記上面が、該上面の上に少なくとも一つの構造体または特徴部を有し、前記一つ以上の保持用構成要素が前記プロセス中に前記構造体または特徴部と接触することを避ける請求項4に記載の装置。
- 前記第二の面が底面であり、該底面が前記プロセスに晒される請求項1に記載の装置。
- メニスカスプロセス中に動かされるように構成された少なくとも一つの前記保持用構成要素が、該少なくとも一つの保持用構成要素が液体メニスカスに接触しないように動かされる請求項1に記載の装置。
- 二つ以上の前記保持用構成要素が、該二つ以上の保持用構成要素のそれぞれが前記液体メニスカスに接触しないように連続的に動かされる請求項1に記載の装置。
- 前記保持用構成要素を動かすためのアクチュエータを更に備えた請求項1に記載の装置。
- 前記アクチュエータは、空気式、圧電式、電気拘束式、電磁式、モータ及び形状記憶合金のうちの少なくとも一つである請求項9に記載の装置。
- 第一の面と第二の面とを有する基板を処理する方法であって、
前記基板の前記第一の面に顕著に接触することなく前記基板の前記第二の面に接触するように構成された一つ以上の保持用構成要素を介して基板を保持する段階と、
前記基板及びプロセス要素が互いに相対的に移動するように前記基板及びプロセス要素の少なくとも一つを移動させる段階と、
少なくとも一つの前記保持用構成要素が前記プロセス要素と接触しないようにプロセス中に該少なくとも一つの保持用構成要素を動かす段階とを備え、
前記プロセス要素が、前記基板の底面に接触する液体メニスカスであり、前記移動させる段階が、前記液体メニスカス及び前記基板が互いに相対的に移動するように前記液体メニスカス及び前記基板を移動させる段階を含み、前記液体メニスカスが前記基板の底面の連続的な部分に接触する、方法。 - 前記基板がウェーハである請求項11に記載の方法。
- 前記ウェーハが半導体ウェーハである請求項12に記載の方法。
- 前記第一の面が上面である請求項11に記載の方法。
- 前記上面が、該上面の上に少なくとも一つの構造体または特徴部を有し、前記一つ以上の保持用構成要素がプロセス中に前記構造体または特徴部と接触することを避ける請求項14に記載の方法。
- 前記第二の面が底面であり、該底面が前記プロセス要素に晒される請求項11に記載の方法。
- 前記一つ以上の保持用構成要素が第一の保持用構成要素及び第二の保持用構成要素を含み、
前記第一の保持用構成要素が前記プロセス要素に接触しないように、前記第一の保持用構成要素を保持位置から待避位置に動かす段階と、
前記プロセス要素が前記第一の保持用構成要素に近接した前記基板の領域に接触しなくなった後に、前記第一の保持用構成要素を前記待避位置から前記保持位置に戻す段階と、
前記第二の保持用構成要素が前記プロセス要素に接触しないように、前記第二の保持用構成要素を保持位置から待避位置に動かす段階と、
前記プロセス要素が前記第二の保持用構成要素に近接した前記基板の領域に接触しなくなった後に、前記第二の保持用構成要素を前記待避位置から前記保持位置に戻す段階とを備えた請求項11に記載の方法。 - 前記保持用構成要素を動かす段階が、アクチュエータで前記保持用構成要素を動かす段階を含む請求項11に記載の方法。
- 前記アクチュエータで前記保持用構成要素を動かす段階が、空気式、圧電式、電気拘束式、電磁式、モータ及び形状記憶合金のアクチュエータのうちの少なくとも一つで前記保持用構成要素を動かす段階を含む請求項18に記載の方法。
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