JP5758445B2 - 液処理装置および液処理方法 - Google Patents
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Description
20 リフトピンプレート
20a 貫通穴
22 リフトピン
24 接続部材
26 バネ
30 保持プレート
30a 貫通穴
30b 貫通穴
31 基板支持部
31a 軸
31b 基板支持部分
31c 被押圧部材
31d バネ部材
32 収容部材
33 軸受け部
33a 軸受け孔
33b 内壁面
34 回転軸
36 回転カップ
37 固定保持部
38 接続部材
39 回転駆動部
40 洗浄液供給管
40a、40b 洗浄液供給路
42 ヘッド部分
42a〜42d ノズル
44 第1の連動部材
46 第2の連動部材
50 昇降駆動部
52 接続部材
56 外カップ
58 排液管
60 フィン部材
60a フィン部分
70 洗浄液供給ノズル
101 載置台
102 搬送アーム
103 棚ユニット
104 搬送アーム
W ウエハ
Claims (6)
- 基板を保持する保持プレートと、
前記保持プレートを回転させる回転駆動部と、
前記保持プレートの上側に設けられ、基板を下方から支持するリフトピンを有するリフトピンプレートと、
前記リフトピンプレートが前記保持プレートに隣接する隣接状態と、前記リフトピンプレートが前記保持プレートから上方に離間する離間状態とをとることができるように、前記リフトピンプレートを前記保持プレートに対して相対的に昇降させる昇降機構と、
前記リフトピンプレートが前記隣接状態に維持されるように前記リフトピンプレートを付勢するバネと、
を備え、
前記保持プレートは可動の基板支持部を有しており、この可動の基板支持部は、基板を側方から支持する基板支持位置と、前記基板支持位置から変位して基板を解放する基板解放位置との間で可動であり、
前記基板支持部はバネ部材により前記基板解放位置に向けて付勢されており、前記リフトピンプレート及び前記保持プレートが前記隣接状態にあるときに、前記基板支持部は前記リフトピンプレートにより押圧されることにより前記基板支持位置に位置させられ、かつ、前記リフトピンプレート及び前記保持プレートが前記離間状態にあるときに、前記基板支持部は前記リフトピンプレートから離れて前記バネ部材が発生する力により前記基板解放位置に位置し、
前記昇降機構は、前記バネの弾性力に抗して前記リフトピンプレートを押し上げて前記離間状態に移行させる部材を有しており、この部材は、前記リフトピンプレートが前記隣接状態にあるときに前記リフトピンプレートから離れることを特徴とする、基板処理装置。 - 前記基板支持部は前記保持プレートに軸支されており、当該基板支持部は軸を中心として揺動するようになっており、
前記基板支持部は、基板を側方から支持する基板支持部分と、前記リフトピンプレートと前記保持プレートとの間に設けられて前記リフトピンプレート及び前記保持プレートが前記隣接状態にあるときに前記リフトピンプレートの下面により下方に押圧される被押圧部分とを有し、
前記基板支持部は、前記リフトピンプレート及び前記保持プレートが前記離間状態から前記隣接状態に移行するときに前記リフトピンプレートの下面により前記被押圧部分が下方に押圧されることにより前記軸を中心として回転し、前記基板支持部分が基板の側方から基板に向かって移動し、これにより前記基板支持部の前記基板支持位置が実現されるように構成されていることを特徴とする請求項1記載の基板処理装置。 - 前記保持プレートに、前記基板支持部の前記軸を受け入れる軸受け孔が設けられた軸受け部が設けられており、前記軸は前記軸受け孔に沿って水平方向に移動可能となっており、前記バネ部材は、前記軸を前記保持プレートの中心に向かって押圧する機能も有している、請求項2記載の基板処理装置。
- 前記リフトピンプレートは、前記リフトピンプレート及び前記保持プレートが前記隣接状態にあるときに前記リフトピンプレートの前記リフトピンが前記基板支持部により支持された基板から離れ、かつ、前記リフトピンプレート及び前記保持プレートが前記隣接状態にあるときに前記基板支持部により支持されていない基板の下面を支持することを特徴とする、請求項1から3のうちのいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記リフトピンプレートは、接続部材により、前記保持プレートに相対上下動可能に、かつ、相対回転不能に連結されている、請求項1から4のうちのいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記接続部材は、前記リフトピンプレートに固定されているとともに、前記保持プレートに形成された穴を貫通して延びており、前記リフトピンプレートを押し上げて前記離間状態に移行させる部材は、前記接続部材を押し上げることにより前記リフトピンプレートを押し上げる、請求項5記載の基板処理装置。
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