JP4941307B2 - 位置合わせ装置、接合装置及び位置合わせ方法 - Google Patents
位置合わせ装置、接合装置及び位置合わせ方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4941307B2 JP4941307B2 JP2007550084A JP2007550084A JP4941307B2 JP 4941307 B2 JP4941307 B2 JP 4941307B2 JP 2007550084 A JP2007550084 A JP 2007550084A JP 2007550084 A JP2007550084 A JP 2007550084A JP 4941307 B2 JP4941307 B2 JP 4941307B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- block member
- plate portion
- electronic component
- wafer
- block
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
- H01L21/681—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment using optical controlling means
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B38/00—Ancillary operations in connection with laminating processes
- B32B38/18—Handling of layers or the laminate
- B32B38/1825—Handling of layers or the laminate characterised by the control or constructional features of devices for tensioning, stretching or registration
- B32B38/1833—Positioning, e.g. registration or centering
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/133354—Arrangements for aligning or assembling substrates
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
- G05B19/402—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by control arrangements for positioning, e.g. centring a tool relative to a hole in the workpiece, additional detection means to correct position
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
- H01L21/682—Mask-wafer alignment
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B2305/00—Condition, form or state of the layers or laminate
- B32B2305/55—Liquid crystals
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B2309/00—Parameters for the laminating or treatment process; Apparatus details
- B32B2309/60—In a particular environment
- B32B2309/68—Vacuum
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B2309/00—Parameters for the laminating or treatment process; Apparatus details
- B32B2309/70—Automated, e.g. using a computer or microcomputer
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B2457/00—Electrical equipment
- B32B2457/14—Semiconductor wafers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B37/00—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
- B32B37/0046—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by constructional aspects of the apparatus
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/37—Measurements
- G05B2219/37608—Center and diameter of hole, wafer, object
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T156/00—Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
- Y10T156/10—Methods of surface bonding and/or assembly therefor
- Y10T156/1052—Methods of surface bonding and/or assembly therefor with cutting, punching, tearing or severing
- Y10T156/1062—Prior to assembly
- Y10T156/1075—Prior to assembly of plural laminae from single stock and assembling to each other or to additional lamina
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49117—Conductor or circuit manufacturing
- Y10T29/49124—On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
- Y10T29/4913—Assembling to base an electrical component, e.g., capacitor, etc.
- Y10T29/49131—Assembling to base an electrical component, e.g., capacitor, etc. by utilizing optical sighting device
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/53—Means to assemble or disassemble
- Y10T29/5313—Means to assemble electrical device
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/53—Means to assemble or disassemble
- Y10T29/5313—Means to assemble electrical device
- Y10T29/53174—Means to fasten electrical component to wiring board, base, or substrate
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/53—Means to assemble or disassemble
- Y10T29/5313—Means to assemble electrical device
- Y10T29/53174—Means to fasten electrical component to wiring board, base, or substrate
- Y10T29/53178—Chip component
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/53—Means to assemble or disassemble
- Y10T29/5313—Means to assemble electrical device
- Y10T29/53174—Means to fasten electrical component to wiring board, base, or substrate
- Y10T29/53183—Multilead component
Description
3 チャンバ
7 冷却水流動路
9 気密室
10 接合装置
11 空間部
12 第1ブロック部材
12A 第1押板部
12B 第1裏板部
12C 第1ヒータチップ(加熱部材、ヒータチップ)
15 第1冷却溝(第1冷却用ガス流路)
17 第1吸着溝
19 第1N2ガス供給流路(第1冷却用ガス供給流路)
20 第1支柱部材(第1可撓性部材)
21 撮像用ポート
22 第1加圧軸(第1加圧部材)
23 第1空気流路
24 第1中空部材(第1中空導管)
25 第1冷却用流体循環路
26 第1Oリング(第1弾性部材)
27 観察用窓
28 第2ブロック部材
28A 第2押板部
28B 第2裏板部
28C 第2ヒータチップ(加熱部材、ヒータチップ)
31 第2冷却溝(第2冷却用ガス流路)
33 第2吸着溝
35 ベローズ
36 切り欠き(貫通部)
37 磁気シールユニット(回転シール部)
39 制御部
40 第2支柱部材(第2可撓性部材)
41 第2N2ガス供給流路(第2冷却用ガス供給流路)
42 第2加圧軸(第2加圧部材)
43 第2空気流路
44 第2中空部材(第2中空導管)
45 第2冷却用流体循環路
47 画像認識装置
52 XYテーブル(駆動部)
54 回転テーブル(駆動部)
M1 第1空間部
M2 第2空間部
W1 第1ウエーハ(第1電子部品)
W2 第2ウエーハ(第2電子部品)
なお、本実施形態では、チャンバ3の内部に窒素ガスを導入し、第1ウエーハW1及び第2ウエーハW2としてSiウエーハを用い、カメラ47AとしてIRカメラを用いた場合について説明する。
Claims (19)
- チャンバと、
前記チャンバとで内部に気密室を区画形成する可撓性のベローズと、
第1アライメントマークが付された第1電子部品を保持し前記気密室に配置された第1ブロック部材と第2アライメントマークが付された第2電子部品を保持し前記気密室に配置された第2ブロック部材の一方を他方に対して相対移動させる駆動部と、
前記チャンバの外表面から内部側に向かって突出して空間部を区画形成するとともに一部に前記第1電子部品又は前記第2電子部品の少なくとも一方を観察できる観察用窓が設けられた撮像用ポートと、
前記撮像用ポートにより区画形成された空間部に設けられ、前記第1電子部品又は前記第2電子部品の少なくとも一方を撮像するための撮像部と、
前記撮像部により撮像された前記第1アライメントマークと前記第2アライメントマークの位置ずれ量を算出し、前記位置ずれ量を補正するように前記駆動部を制御する制御部と、
を含んで構成されていることを特徴とする位置合わせ装置。 - 前記駆動部により前記第1ブロック部材と前記第2ブロック部材の一方が他方に対して平行に移動され、又は/及び前記第1ブロック部材と前記第2ブロック部材の一方が他方に対して回転移動されることを特徴とする請求項1に記載の位置合わせ装置。
- 前記駆動部により前記第1ブロック部材に保持された前記第1電子部品と前記第2ブロック部材に保持された前記第2電子部品との離間距離を変更する方向に前記第1ブロック部材又は前記第2ブロック部材の一方が他方に対して移動されることを特徴とする請求項1又は2に記載の位置合わせ装置。
- 前記チャンバ及び前記ベローズと共に前記気密室を区画形成し前記ベローズが前記チャンバと共に回転することを可能にする回転シール部が設けられていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の位置合わせ装置。
- 前記チャンバには、冷却水を流動させるための冷却水流動路が形成されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の位置合わせ装置。
- 電子部品同士を接合する接合装置であって、
請求項1乃至5のいずれか1項に記載の位置合わせ装置を備えたことを特徴とする接合装置。 - 前記接合装置は、
前記第1ブロック部材と、
前記第2ブロック部材と、
前記第1ブロック部材と第1空間部を介して配置され前記第1ブロック部材を所定の方向に加圧する第1加圧部材と、
前記第1空間部に設けられ前記第1ブロック部材の中心と同心の円周上でありかつ相互に等間隔となるように前記第1ブロック部材の他方側端面に接続されるとともに、前記第1加圧部材からの加圧力を前記第1ブロック部材に伝達する複数の棒状の第1可撓性部材と、
前記第2ブロック部材と第2空間部を介して配置され前記第2ブロック部材が前記第1ブロック部材を押圧する方向に前記第2ブロック部材を加圧する第2加圧部材と、
前記第2空間部に設けられ前記第2ブロック部材の中心と同心の円周上でありかつ相互に等間隔となるように前記第2ブロック部材の他方側端面に接続されるとともに、前記第2加圧部材からの加圧力を前記第2ブロック部材に伝達する複数の棒状の第2可撓性部材と、
前記第1ブロック部材及び前記第2ブロック部材を加熱する加熱部材と、
を含んで構成されていることを特徴とする請求項6に記載の接合装置。 - 前記第1ブロック部材又は前記第2ブロック部材の少なくとも一方には、前記第1ブロック部材又は前記第2ブロック部材を厚み方向に貫通する貫通部が形成されていることを特徴とする請求項6又は7に記載の接合装置。
- 前記第1ブロック部材又は前記第2ブロック部材の厚み方向一方側の前記貫通部の開口面積が厚み方向他方側の前記貫通部の開口面積と比較して大きいことを特徴とする請求項8に記載の接合装置。
- 前記加熱部材は、ヒータチップであり、
前記第1ブロック部材は、前記第1電子部品を保持する第1押板部と、前記第1押板部に接続し前記第1押板部の線膨張係数と同一又は略同一の線膨張係数を有する第1裏板部と、前記第1裏板部に接続し前記第1押板部を加熱するとともに前記第1押板部の線膨張係数と同一又は略同一の線膨張係数を有する前記ヒータチップと、で構成され、
前記第2ブロック部材は、前記第2電子部品を保持する第2押板部と、前記第2押板部に接続し前記第2押板部の線膨張係数と同一又は略同一の線膨張係数を有する第2裏板部と、前記第2裏板部に接続し前記第2押板部を加熱するとともに前記第2押板部の線膨張係数と同一又は略同一の線膨張係数を有する前記ヒータチップと、で構成されていることを特徴とする請求項7乃至9のいずれか1項に記載の接合装置。 - 前記第1押板部及び前記第2押板部は導体であり、前記第1裏板部及び前記第2裏板部は絶縁体であることを特徴とする請求項10に記載の接合装置。
- 前記第1押板部と前記第1裏板部との間には、冷却用ガスが流れる第1冷却用ガス流路が形成され、
前記第2押板部と前記第2裏板部との間には、冷却用ガスが流れる第2冷却用ガス流路が形成されていることを特徴とする請求項10又は11に記載の接合装置。 - 前記第1可撓性部材は、内部に前記冷却用ガスを流動させて前記第1冷却用ガス流路に前記冷却用ガスを供給する冷却ガス供給機能を兼ね備えており、
前記第2可撓性部材は、内部に前記冷却用ガスを流動させて前記第2冷却用ガス流路に前記冷却用ガスを供給する冷却ガス供給機能を兼ね備えていることを特徴とする請求項12に記載の接合装置。 - 前記第1押板部に前記第1電子部品を吸着させる第1吸着部と、
前記第2押板部に前記第2電子部品を吸着させる第2吸着部と、
を有することを特徴とする請求項10乃至13のいずれか1項に記載の接合装置。 - 前記第1吸着部は、前記第1押板部に形成された複数の第1吸着溝と、前記第1吸着溝から吸引した空気を流動させる第1中空導管と、で構成され、
前記第2吸着部は、前記第2押板部に形成された複数の第2吸着溝と、前記第2吸着溝から吸引した空気を流動させる第2中空導管と、で構成されていることを特徴とする請求項14に記載の接合装置。 - 前記第1中空導管は第1弾性部材を介して前記第1加圧部材と接続され、前記第2中空導管は第2弾性部材を介して前記第2加圧部材と接続されていることを特徴とする請求項15に記載の接合装置。
- 前記第1加圧部材の内部には、前記第1可撓性部材に供給する前記冷却用ガスが流動する第1冷却用ガス供給流路と、前記第1中空導管から流入した空気が流動する第1空気流路が形成されており、
前記第2加圧部材の内部には、前記第2可撓性部材に供給する前記冷却用ガスが流動する第2冷却用ガス供給流路と、前記第2中空導管から流入した空気が流動する第2空気流路が形成されていることを特徴とする請求項15又は16に記載の接合装置。 - 前記第1加圧部材の内部には、前記第1加圧部材を冷却させる冷却用流体を循環させるための第1冷却用流体循環路が形成されており、
前記第2加圧部材の内部には、前記第2加圧部材を冷却させる冷却用流体を循環させるための第2冷却用流体循環路が形成されていることを特徴とする請求項7乃至17のいずれか1項に記載の接合装置。 - チャンバと、前記チャンバとで内部に気密室を区画形成する可撓性のベローズと、第1アライメントマークが付された第1電子部品を保持し前記気密室に配置された第1ブロック部材と第2アライメントマークが付された第2電子部品を保持し前記気密室に配置された第2ブロック部材の一方を他方に対して相対移動させる駆動部と、前記チャンバの外表面から内部側に向かって突出して空間部を区画形成するとともに一部に前記第1電子部品又は前記第2電子部品の少なくとも一方を観察できる観察用窓が設けられた撮像用ポートと、を有する位置合わせ装置の位置合わせ方法であって、
撮像部により撮像された前記第1アライメントマークと前記第2アライメントマークの位置ずれ量を算出する算出工程と、
前記第1ブロック部材と前記第2ブロック部材の一方を他方に対して相対移動させて前記位置ずれ量を補正する補正工程と、
を有することを特徴とする位置合わせ方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007550084A JP4941307B2 (ja) | 2005-12-12 | 2006-09-04 | 位置合わせ装置、接合装置及び位置合わせ方法 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005357955 | 2005-12-12 | ||
JP2005357955 | 2005-12-12 | ||
JP2007550084A JP4941307B2 (ja) | 2005-12-12 | 2006-09-04 | 位置合わせ装置、接合装置及び位置合わせ方法 |
PCT/JP2006/317467 WO2007069376A1 (ja) | 2005-12-12 | 2006-09-04 | 位置合わせ装置、接合装置及び位置合わせ方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2007069376A1 JPWO2007069376A1 (ja) | 2009-05-21 |
JP4941307B2 true JP4941307B2 (ja) | 2012-05-30 |
Family
ID=38162691
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007550084A Expired - Fee Related JP4941307B2 (ja) | 2005-12-12 | 2006-09-04 | 位置合わせ装置、接合装置及び位置合わせ方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8333009B2 (ja) |
EP (1) | EP1962128B1 (ja) |
JP (1) | JP4941307B2 (ja) |
KR (1) | KR100968039B1 (ja) |
CN (1) | CN101326457B (ja) |
WO (1) | WO2007069376A1 (ja) |
Families Citing this family (35)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4941305B2 (ja) * | 2005-10-12 | 2012-05-30 | 株式会社村田製作所 | 接合装置 |
WO2007069376A1 (ja) * | 2005-12-12 | 2007-06-21 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 位置合わせ装置、接合装置及び位置合わせ方法 |
JP5272348B2 (ja) * | 2007-08-14 | 2013-08-28 | 株式会社ニコン | ウェハ接合装置 |
US7875529B2 (en) | 2007-10-05 | 2011-01-25 | Micron Technology, Inc. | Semiconductor devices |
US7927938B2 (en) | 2007-11-19 | 2011-04-19 | Micron Technology, Inc. | Fin-JFET |
JP4209457B1 (ja) | 2008-02-29 | 2009-01-14 | 三菱重工業株式会社 | 常温接合装置 |
JP4859895B2 (ja) * | 2008-09-01 | 2012-01-25 | 三菱重工業株式会社 | 常温接合装置 |
WO2010057068A2 (en) * | 2008-11-16 | 2010-05-20 | Suss Microtec, Inc. | Method and apparatus for wafer bonding with enhanced wafer mating |
FR2943177B1 (fr) * | 2009-03-12 | 2011-05-06 | Soitec Silicon On Insulator | Procede de fabrication d'une structure multicouche avec report de couche circuit |
FR2947380B1 (fr) | 2009-06-26 | 2012-12-14 | Soitec Silicon Insulator Technologies | Procede de collage par adhesion moleculaire. |
FR2961945B1 (fr) * | 2010-06-23 | 2012-08-17 | Commissariat Energie Atomique | Procede de scellement de deux elements par thermocompression a basse temperature |
JP2012054416A (ja) * | 2010-09-01 | 2012-03-15 | Nikon Corp | 押圧装置、貼り合わせ装置、貼り合わせ方法、及び、積層半導体装置の製造方法 |
KR101021000B1 (ko) * | 2010-09-01 | 2011-03-09 | 윤태중 | 온도편차 저감장치 및 온도편차 저감방법 |
JP5091296B2 (ja) * | 2010-10-18 | 2012-12-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 接合装置 |
US8512491B2 (en) * | 2010-12-21 | 2013-08-20 | Tessera, Inc. | Dual wafer spin coating |
TWI449005B (zh) * | 2010-12-31 | 2014-08-11 | Au Optronics Corp | 功能性膜片貼合方法、貼合機台及膜片貼合對位方法 |
JP5929153B2 (ja) * | 2011-12-14 | 2016-06-01 | 日産自動車株式会社 | 界磁極用磁石体の製造装置およびその製造方法 |
US9434029B2 (en) * | 2011-12-20 | 2016-09-06 | Intel Corporation | High performance transient uniform cooling solution for thermal compression bonding process |
US8870051B2 (en) | 2012-05-03 | 2014-10-28 | International Business Machines Corporation | Flip chip assembly apparatus employing a warpage-suppressor assembly |
KR102012044B1 (ko) * | 2012-09-03 | 2019-08-20 | 리쿠아비스타 비.브이. | 전기습윤 표시 패널용 기판 합착 장치 및 이를 이용한 기판의 합착 방법 |
JP6193665B2 (ja) * | 2013-07-26 | 2017-09-06 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
CN103545236A (zh) * | 2013-11-12 | 2014-01-29 | 江苏艾科瑞思封装自动化设备有限公司 | 装片机的自动对位机构、包括它的装片机及方法 |
JP5765405B2 (ja) * | 2013-11-19 | 2015-08-19 | 株式会社ニコン | 基板接合装置及び基板接合方法 |
US20150155211A1 (en) * | 2013-12-03 | 2015-06-04 | Kulicke And Soffa Industries, Inc. | Systems and methods for bonding semiconductor elements |
US9282650B2 (en) * | 2013-12-18 | 2016-03-08 | Intel Corporation | Thermal compression bonding process cooling manifold |
US10153190B2 (en) * | 2014-02-05 | 2018-12-11 | Micron Technology, Inc. | Devices, systems and methods for electrostatic force enhanced semiconductor bonding |
JP6400938B2 (ja) * | 2014-04-30 | 2018-10-03 | ファスフォードテクノロジ株式会社 | ダイボンダ及びボンディング方法 |
US10192847B2 (en) * | 2014-06-12 | 2019-01-29 | Asm Technology Singapore Pte Ltd | Rapid cooling system for a bond head heater |
JP6429187B2 (ja) * | 2014-11-18 | 2018-11-28 | ボンドテック株式会社 | 接合方法および接合装置 |
DE102015106298B4 (de) * | 2015-04-24 | 2017-01-26 | Semikron Elektronik Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung, Verfahren und Anlage zur inhomogenen Abkühlung eines flächigen Gegenstandes |
JP6700130B2 (ja) * | 2016-07-12 | 2020-05-27 | 東京エレクトロン株式会社 | 接合システム |
CN108986167B (zh) * | 2017-06-05 | 2022-01-11 | 梭特科技股份有限公司 | 置晶设备的校正方法及使用该方法的置晶设备 |
TWI667728B (zh) * | 2017-10-30 | 2019-08-01 | Industrial Technology Research Institute | 晶片接合裝置、晶片接合的方法以及晶片封裝結構 |
CN111223812B (zh) * | 2018-11-27 | 2022-07-12 | 昆山微电子技术研究院 | 一种晶圆键合加压装置及晶圆键合设备 |
CN114505817B (zh) * | 2022-03-11 | 2024-04-19 | 深圳市凯威达电子有限公司 | 一种智能照明驱动芯片生产用可精准定位的插接装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005077426A (ja) * | 2003-08-29 | 2005-03-24 | Shibaura Mechatronics Corp | 基板貼り合わせ装置および基板貼り合わせ方法 |
WO2005071735A1 (ja) * | 2004-01-22 | 2005-08-04 | Bondtech Inc. | 接合方法及びこの方法により作成されるデバイス並びに接合装置 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5337151A (en) * | 1992-07-28 | 1994-08-09 | Optical Radiation Corporation | Double-sided circuit board exposure machine and method with optical registration and material variation compensation |
JP3523444B2 (ja) | 1997-03-19 | 2004-04-26 | 株式会社アドバンテスト | 真空チャンバ |
JP4224959B2 (ja) | 2001-08-21 | 2009-02-18 | 株式会社日立プラントテクノロジー | 液晶基板の組立装置 |
JP4038133B2 (ja) | 2002-02-28 | 2008-01-23 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 基板貼り合わせ装置及び方法並びに基板検出装置 |
JP2004151215A (ja) | 2002-10-29 | 2004-05-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶基板の貼り合わせ方法 |
JP2004151655A (ja) | 2002-11-01 | 2004-05-27 | Seiko Epson Corp | 電気光学機器の製造方法および製造装置、並びに電子機器 |
JP4330912B2 (ja) * | 2003-04-02 | 2009-09-16 | 富士通株式会社 | 貼合せ基板製造装置 |
JP4376116B2 (ja) * | 2003-06-03 | 2009-12-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板受け渡し位置の調整方法 |
WO2007069376A1 (ja) * | 2005-12-12 | 2007-06-21 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 位置合わせ装置、接合装置及び位置合わせ方法 |
US7556970B2 (en) * | 2006-03-27 | 2009-07-07 | Tokyo Electron Limited | Method of repairing damaged film having low dielectric constant, semiconductor device fabricating system and storage medium |
-
2006
- 2006-09-04 WO PCT/JP2006/317467 patent/WO2007069376A1/ja active Application Filing
- 2006-09-04 JP JP2007550084A patent/JP4941307B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2006-09-04 KR KR1020087014135A patent/KR100968039B1/ko active IP Right Grant
- 2006-09-04 EP EP06797390A patent/EP1962128B1/en not_active Not-in-force
- 2006-09-04 CN CN2006800465939A patent/CN101326457B/zh not_active Expired - Fee Related
-
2008
- 2008-06-11 US US12/137,286 patent/US8333009B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005077426A (ja) * | 2003-08-29 | 2005-03-24 | Shibaura Mechatronics Corp | 基板貼り合わせ装置および基板貼り合わせ方法 |
WO2005071735A1 (ja) * | 2004-01-22 | 2005-08-04 | Bondtech Inc. | 接合方法及びこの方法により作成されるデバイス並びに接合装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20080245472A1 (en) | 2008-10-09 |
KR20080074173A (ko) | 2008-08-12 |
EP1962128B1 (en) | 2012-10-24 |
US8333009B2 (en) | 2012-12-18 |
WO2007069376A1 (ja) | 2007-06-21 |
EP1962128A4 (en) | 2010-11-03 |
JPWO2007069376A1 (ja) | 2009-05-21 |
CN101326457A (zh) | 2008-12-17 |
CN101326457B (zh) | 2010-11-17 |
EP1962128A1 (en) | 2008-08-27 |
KR100968039B1 (ko) | 2010-07-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4941307B2 (ja) | 位置合わせ装置、接合装置及び位置合わせ方法 | |
JP4941305B2 (ja) | 接合装置 | |
US10504756B2 (en) | Wafer processing method and apparatus | |
JP5282100B2 (ja) | 貼り合わせ装置及び貼り合わせ方法 | |
US10580678B2 (en) | Apparatus and method for semiconductor wafer leveling, force balancing and contact sensing | |
US9263312B2 (en) | Joining device and joining position adjustment method using joining device | |
US20110139399A1 (en) | Heater unit, heating and cooling device, and apparatus comprising same | |
TWI669744B (zh) | 熱壓焊接系統、次系統及使用方法 | |
KR20170041267A (ko) | 마이크로 전기기계 부품들을 특히 열에 의해 결합하는 장치 | |
JP6334695B2 (ja) | ウェーハを位置合わせおよび中心化するための装置および方法 | |
JP2019024081A (ja) | アラインされた基板ペアを扱うシステムと関連技術 | |
JP2000332061A (ja) | チップ熱圧着ツール及びそれを備えたチップ実装装置 | |
JP2023060534A (ja) | 電子部品接合装置 | |
JP2012049511A (ja) | 部品加工装置および部品接合装置 | |
JP2006210903A (ja) | ボンディング方法、ボンディング装置及び電子装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111207 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120106 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120131 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120213 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4941307 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150309 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |