JP3523444B2 - 真空チャンバ - Google Patents
真空チャンバInfo
- Publication number
- JP3523444B2 JP3523444B2 JP06621497A JP6621497A JP3523444B2 JP 3523444 B2 JP3523444 B2 JP 3523444B2 JP 06621497 A JP06621497 A JP 06621497A JP 6621497 A JP6621497 A JP 6621497A JP 3523444 B2 JP3523444 B2 JP 3523444B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- vacuum chamber
- tubular member
- fixed
- movable part
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Electron Beam Exposure (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、真空中で試料を移
動させながら、その試料に対して所定の処理を行う装置
に用いられる真空チャンバに関する。
動させながら、その試料に対して所定の処理を行う装置
に用いられる真空チャンバに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造関連の装置において、真空中
でウェハなどの試料を移動させながら処理を行うもの
に、例えば、生産工程に用いられる装置として、反応系
プロセス装置、エッチング装置、電子ビーム露光装置、
イオン注入装置などがある。また、試料の検査に用いら
れる装置として、化学分析装置などがある。
でウェハなどの試料を移動させながら処理を行うもの
に、例えば、生産工程に用いられる装置として、反応系
プロセス装置、エッチング装置、電子ビーム露光装置、
イオン注入装置などがある。また、試料の検査に用いら
れる装置として、化学分析装置などがある。
【０００３】これらの装置には、いずれも真空チャンバ
が用いられ、この真空チャンバ内で試料に対する所定の
処理が行われる。従来の真空チャンバは、剛性を有しか
つ真空排気される容器を本体とし、その内部に、試料を
載置するステージ、および、その装置の使用目的とする
反応処理を行うための機器、例えば電子銃などが配置さ
れた構成となっている。また、ステージは容器内で移動
可能に設けられており、ステージを移動させるための駆
動機構は容器内に設けられている。
が用いられ、この真空チャンバ内で試料に対する所定の
処理が行われる。従来の真空チャンバは、剛性を有しか
つ真空排気される容器を本体とし、その内部に、試料を
載置するステージ、および、その装置の使用目的とする
反応処理を行うための機器、例えば電子銃などが配置さ
れた構成となっている。また、ステージは容器内で移動
可能に設けられており、ステージを移動させるための駆
動機構は容器内に設けられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記の半導体製造に関
わる装置では、近年の半導体プロセスの微細化、高密度
化により、装置内での試料の移動とプロセスの関係にお
いて高精度かつ高速の処理技術が必要とされている。こ
のような状況は、真空を利用するプロセスにおいても同
様であり、電子ビーム露光、イオンビーム加工、配線パ
ターン検査装置など、真空中での試料の処理も、高速か
つ高精度に試料を移動させる必要がある。しかしなが
ら、ウェハを搬送する移動ステージを例に挙げると、滑
らかな運動を補償するために、通常は可動部分には潤滑
溶剤を用いるが、真空中では潤滑剤を使用することはで
きない。そこで、真空中での高速移動を容易にするため
に、可動部分の部品加工精度を比較的粗に行うことが考
えられる。しかしこの場合には、高精度に移動させるこ
とはできなくなってしまう。
わる装置では、近年の半導体プロセスの微細化、高密度
化により、装置内での試料の移動とプロセスの関係にお
いて高精度かつ高速の処理技術が必要とされている。こ
のような状況は、真空を利用するプロセスにおいても同
様であり、電子ビーム露光、イオンビーム加工、配線パ
ターン検査装置など、真空中での試料の処理も、高速か
つ高精度に試料を移動させる必要がある。しかしなが
ら、ウェハを搬送する移動ステージを例に挙げると、滑
らかな運動を補償するために、通常は可動部分には潤滑
溶剤を用いるが、真空中では潤滑剤を使用することはで
きない。そこで、真空中での高速移動を容易にするため
に、可動部分の部品加工精度を比較的粗に行うことが考
えられる。しかしこの場合には、高精度に移動させるこ
とはできなくなってしまう。
【０００５】このように、従来の真空チャンバでは、ス
テージを高速かつ高精度に移動させることは非常に困難
であった。
テージを高速かつ高精度に移動させることは非常に困難
であった。
【０００６】そこで本発明は、試料を載置するステージ
を高速かつ高精度に移動させることができる真空チャン
バを提供することを目的とする。
を高速かつ高精度に移動させることができる真空チャン
バを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明の真空チャンバは、試料が載置される試料台およ
び該試料台を移動させる駆動機構を備えた可動部と、前
記試料台に対向配置され、前記試料に所定の処理を行う
ための機器が取り付けられた固定部材と、一端が前記固
定部材に気密接続されるとともに他端が前記可動部に気
密接続された、可撓性かつ空気非透過性の筒状部材とを
有し、前記試料台は前記可動部と前記固定部材と前記筒
状部材とで形成されて真空排気される空間の内部に配置
され、前記駆動機構は前記空間の外部に配置され、前記
可動部と前記固定部材とは、支持部材を介して対向方向
の距離が不変に結合されていることを特徴とする。
本発明の真空チャンバは、試料が載置される試料台およ
び該試料台を移動させる駆動機構を備えた可動部と、前
記試料台に対向配置され、前記試料に所定の処理を行う
ための機器が取り付けられた固定部材と、一端が前記固
定部材に気密接続されるとともに他端が前記可動部に気
密接続された、可撓性かつ空気非透過性の筒状部材とを
有し、前記試料台は前記可動部と前記固定部材と前記筒
状部材とで形成されて真空排気される空間の内部に配置
され、前記駆動機構は前記空間の外部に配置され、前記
可動部と前記固定部材とは、支持部材を介して対向方向
の距離が不変に結合されていることを特徴とする。
【０００８】上記のとおり構成された本発明の真空チャ
ンバでは、試料を試料台に載置した状態で、可動部と固
定部材と筒状部材とで形成される空間を真空排気した
後、駆動機構により試料台を移動させながら、固定部材
に取り付けられた機器で試料に所定の処理を行う。試料
台と固定部材とは筒状部材を介して接続されるが、筒状
部材は可撓性を有するので、試料台を移動させるとその
移動に追従して筒状部材が変形し、試料が配置された空
間の真空が保たれる。また、駆動機構は大気中に配置さ
れることになるので、駆動機構としては、要求される移
動速度および移動精度を満足するための任意の駆動機構
を使用できる。しかも、可動部と固定部材とを、支持部
材を介して対向方向の距離を不変に結合することで、上
記空間を真空にしたとき、大気圧による筒状部材の軸方
向での圧縮が防止される。
ンバでは、試料を試料台に載置した状態で、可動部と固
定部材と筒状部材とで形成される空間を真空排気した
後、駆動機構により試料台を移動させながら、固定部材
に取り付けられた機器で試料に所定の処理を行う。試料
台と固定部材とは筒状部材を介して接続されるが、筒状
部材は可撓性を有するので、試料台を移動させるとその
移動に追従して筒状部材が変形し、試料が配置された空
間の真空が保たれる。また、駆動機構は大気中に配置さ
れることになるので、駆動機構としては、要求される移
動速度および移動精度を満足するための任意の駆動機構
を使用できる。しかも、可動部と固定部材とを、支持部
材を介して対向方向の距離を不変に結合することで、上
記空間を真空にしたとき、大気圧による筒状部材の軸方
向での圧縮が防止される。
【０００９】また、筒状部材の横断面を円形とすること
で、筒状部材の側面の圧縮が防止される。この場合、筒
状部材の横断面の直径を、可動部に接続された端から固
定部材に接続された端に向かって小さくすることで、上
記空間の容量が小さくなり真空排気時間が短縮される。
また、筒状部材の構造を、繊維材料からなる基材の内側
に金属箔が積層され、さらにその内側に、リング状また
はコイル状の金属製ワイヤが固着された構造とすること
で、筒状部材の可撓性がより向上する。
で、筒状部材の側面の圧縮が防止される。この場合、筒
状部材の横断面の直径を、可動部に接続された端から固
定部材に接続された端に向かって小さくすることで、上
記空間の容量が小さくなり真空排気時間が短縮される。
また、筒状部材の構造を、繊維材料からなる基材の内側
に金属箔が積層され、さらにその内側に、リング状また
はコイル状の金属製ワイヤが固着された構造とすること
で、筒状部材の可撓性がより向上する。
【００１０】さらに、筒状部材の他端にはフランジ部材
が固着され、このフランジ部材を可動部に密着させて、
筒状部材と可動部とが気密接続される構造とすることも
できる。この場合には、フランジ部材と可動部との密着
を解除して両者を離間することで試料の出し入れが行わ
れる。あるいは、可動部を、側面に開口を有する中空状
の移動台と、前記開口を気密閉鎖可能に開閉自在に設け
られた蓋部材とが備えられたものとし、試料台を移動台
の中空部に設けた構成としてもよいし、可動部を、側面
に開口を有する中空状の移動台と、前記開口を気密閉鎖
可能に移動台の中空部に出し入れ可能に設けられた引き
出しとが備えられたものとし、試料台を引き出し内に設
けた構成としてもよい。これらの場合には、蓋部材、あ
るいは引き出しを開いて試料の出し入れが行われる。
が固着され、このフランジ部材を可動部に密着させて、
筒状部材と可動部とが気密接続される構造とすることも
できる。この場合には、フランジ部材と可動部との密着
を解除して両者を離間することで試料の出し入れが行わ
れる。あるいは、可動部を、側面に開口を有する中空状
の移動台と、前記開口を気密閉鎖可能に開閉自在に設け
られた蓋部材とが備えられたものとし、試料台を移動台
の中空部に設けた構成としてもよいし、可動部を、側面
に開口を有する中空状の移動台と、前記開口を気密閉鎖
可能に移動台の中空部に出し入れ可能に設けられた引き
出しとが備えられたものとし、試料台を引き出し内に設
けた構成としてもよい。これらの場合には、蓋部材、あ
るいは引き出しを開いて試料の出し入れが行われる。
【００１１】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。
て図面を参照して説明する。
【００１２】（第１の実施形態）図１は、本発明の真空
チャンバの第１の実施形態の構成を示す概略斜視図であ
る。また図２は、図１に示した真空チャンバの内部構造
を示す断面図である。
チャンバの第１の実施形態の構成を示す概略斜視図であ
る。また図２は、図１に示した真空チャンバの内部構造
を示す断面図である。
【００１３】図１および図２に示すように、ウェハなど
の試料１０が載置される試料台５は、その下方に配置さ
れたＸ軸リニアモータ６およびＹ軸リニアモータ７から
なる駆動機構８によりＸＹ方向に移動可能に設けられて
いる。Ｘ軸リニアモータ６とＹ軸リニアモータ７とは、
互いに滑らかに移動できるように、平滑加工された摺り
合わせ面を持つ。これら試料台５と駆動機構８とで可動
部４が構成される。
の試料１０が載置される試料台５は、その下方に配置さ
れたＸ軸リニアモータ６およびＹ軸リニアモータ７から
なる駆動機構８によりＸＹ方向に移動可能に設けられて
いる。Ｘ軸リニアモータ６とＹ軸リニアモータ７とは、
互いに滑らかに移動できるように、平滑加工された摺り
合わせ面を持つ。これら試料台５と駆動機構８とで可動
部４が構成される。
【００１４】一方、試料台５の試料載置面に対向して、
固定フランジ１が位置固定されて配置されている。可動
部４と固定フランジ１とは、支持フレーム（不図示）を
介して互いに結合されており、Ｚ軸方向の距離は一定に
保持される。
固定フランジ１が位置固定されて配置されている。可動
部４と固定フランジ１とは、支持フレーム（不図示）を
介して互いに結合されており、Ｚ軸方向の距離は一定に
保持される。
【００１５】固定フランジ１の下端面（試料台５との対
向面）には、フレキシブルチューブ２の一端が、溶着等
により気密接続されている。フレキシブルチューブ２
は、ステンレス製の蛇腹式円筒チューブであり、その他
端には、内径がフレキシブルチューブ２の内径よりも小
さく、かつ、外径がフレキシブルチューブ２の外径より
も大きいリング３が、固定フランジ１と同様に気密接続
されている。また、固定フランジ１には、装置の使用目
的とする反応処理を行う機器として、電子銃９がフレキ
シブルチューブ２の中に向かって取り付けられている。
さらに固定フランジ１には、真空排気口１ａが開口して
いる。この真空排気口１ａには、真空ポンプ等の排気系
が接続されている。
向面）には、フレキシブルチューブ２の一端が、溶着等
により気密接続されている。フレキシブルチューブ２
は、ステンレス製の蛇腹式円筒チューブであり、その他
端には、内径がフレキシブルチューブ２の内径よりも小
さく、かつ、外径がフレキシブルチューブ２の外径より
も大きいリング３が、固定フランジ１と同様に気密接続
されている。また、固定フランジ１には、装置の使用目
的とする反応処理を行う機器として、電子銃９がフレキ
シブルチューブ２の中に向かって取り付けられている。
さらに固定フランジ１には、真空排気口１ａが開口して
いる。この真空排気口１ａには、真空ポンプ等の排気系
が接続されている。
【００１６】試料台５は、リング３と対応するフランジ
部５ａを有し、リング３をフランジ部５ａに密着させる
ことで、フレキシブルチューブ２の内側が外部と遮断さ
れる。つまり、試料１０は固定フランジ１とフレキシブ
ルチューブ２と試料台５とで形成される空間内に配置さ
れ、駆動機構８はこの空間の外部に配置される。
部５ａを有し、リング３をフランジ部５ａに密着させる
ことで、フレキシブルチューブ２の内側が外部と遮断さ
れる。つまり、試料１０は固定フランジ１とフレキシブ
ルチューブ２と試料台５とで形成される空間内に配置さ
れ、駆動機構８はこの空間の外部に配置される。
【００１７】本実施形態では、リング３とフランジ部５
ａとの密着部の気密性を確実にするために、図３に示す
ように、フランジ部５ａのリング３との対向面にＯリン
グ５ｃを取り付けている。また、フランジ部５ａには、
リング３との対向面に、リング３に向かって突出する複
数のガイドピン５ｂ（図３では１本のみ図示）を設ける
とともに、リング３には、ガイドピン５ｂが挿入される
嵌合孔３ａを設け、ガイドピン５ｂに沿ってリング３を
上下移動できるようにしている。これにより、試料台５
とリング３との位置合わせを容易に行うことができる。
ａとの密着部の気密性を確実にするために、図３に示す
ように、フランジ部５ａのリング３との対向面にＯリン
グ５ｃを取り付けている。また、フランジ部５ａには、
リング３との対向面に、リング３に向かって突出する複
数のガイドピン５ｂ（図３では１本のみ図示）を設ける
とともに、リング３には、ガイドピン５ｂが挿入される
嵌合孔３ａを設け、ガイドピン５ｂに沿ってリング３を
上下移動できるようにしている。これにより、試料台５
とリング３との位置合わせを容易に行うことができる。
【００１８】上記構成に基づき、試料１０を試料台５に
載置するときには、リング３を上方に持ち上げて試料１
０を載置する。そして、リング３を引き下げて試料台５
のフランジ部５ａと密着させ（図３（ａ））、フレキシ
ブルチューブ２内の空気を真空排気口１ａを介して排気
することで、フレキシブルチューブ２の内部が真空とさ
れる。このとき、固定フランジ１と可動部４とは支持フ
レームによって互いに結合され、しかも、フレキシブル
チューブ２の横断面は円形であるため、フレキシブルチ
ューブ２の内部は、大気圧による圧縮を受けない。ま
た、フレキシブルチューブ２内の空気の排気によりリン
グ３と試料台５のフランジ部５ａとの密着はより高ま
り、しかも、リング３とフランジ部５ａとはガイドピン
５ｂにより位置合せされているので、フレキシブルチュ
ーブ２内を真空にするに際して、リング３と試料台５と
を特に固定しておく必要はない。
載置するときには、リング３を上方に持ち上げて試料１
０を載置する。そして、リング３を引き下げて試料台５
のフランジ部５ａと密着させ（図３（ａ））、フレキシ
ブルチューブ２内の空気を真空排気口１ａを介して排気
することで、フレキシブルチューブ２の内部が真空とさ
れる。このとき、固定フランジ１と可動部４とは支持フ
レームによって互いに結合され、しかも、フレキシブル
チューブ２の横断面は円形であるため、フレキシブルチ
ューブ２の内部は、大気圧による圧縮を受けない。ま
た、フレキシブルチューブ２内の空気の排気によりリン
グ３と試料台５のフランジ部５ａとの密着はより高ま
り、しかも、リング３とフランジ部５ａとはガイドピン
５ｂにより位置合せされているので、フレキシブルチュ
ーブ２内を真空にするに際して、リング３と試料台５と
を特に固定しておく必要はない。
【００１９】フレキシブルチューブ２の内部が真空排気
されたら、駆動機構８の駆動により試料台５をＸＹ方向
に移動させながら、電子銃９から電子ビームを照射して
試料１０に対して所定の処理を行う。このとき、フレキ
シブルチューブ２は試料台５の移動に追従して変形する
ので、フレキシブルチューブ２が試料台５の移動の妨げ
になることはない。試料１０への処理が終了したら、フ
レキシブルチューブ２内の圧力を大気圧に戻した後、リ
ング３を引き上げて（図３（ｂ））試料１０を取り出
す。
されたら、駆動機構８の駆動により試料台５をＸＹ方向
に移動させながら、電子銃９から電子ビームを照射して
試料１０に対して所定の処理を行う。このとき、フレキ
シブルチューブ２は試料台５の移動に追従して変形する
ので、フレキシブルチューブ２が試料台５の移動の妨げ
になることはない。試料１０への処理が終了したら、フ
レキシブルチューブ２内の圧力を大気圧に戻した後、リ
ング３を引き上げて（図３（ｂ））試料１０を取り出
す。
【００２０】以上説明したように、駆動機構８は大気中
に配置されているため、試料１０への処理中は、試料１
０が載置された空間内を真空を保ちながら、試料１０を
高速かつ高精度に移動させることができる。
に配置されているため、試料１０への処理中は、試料１
０が載置された空間内を真空を保ちながら、試料１０を
高速かつ高精度に移動させることができる。
【００２１】本実施形態では、駆動機構８としてリニア
モータを用いた例を示したが、それに限らず、一般的な
ボールスクリュを用いた回転型の駆動機構や、リニアモ
ータよりもさらに高精度な駆動が可能なピエゾ式の駆動
機構など、試料台５の高速、高精度移動に適した任意の
駆動機構を用いることができる。さらに、レーザ光干渉
型の位置決め機構を付加的に用いることにより、より高
精度の位置決めが可能となる。
モータを用いた例を示したが、それに限らず、一般的な
ボールスクリュを用いた回転型の駆動機構や、リニアモ
ータよりもさらに高精度な駆動が可能なピエゾ式の駆動
機構など、試料台５の高速、高精度移動に適した任意の
駆動機構を用いることができる。さらに、レーザ光干渉
型の位置決め機構を付加的に用いることにより、より高
精度の位置決めが可能となる。
【００２２】（第２の実施形態）図４は、本発明の真空
チャンバの第２の実施形態の内部構造を示す断面図であ
る。
チャンバの第２の実施形態の内部構造を示す断面図であ
る。
【００２３】本実施形態では、図４に示すように、フレ
キシブルチューブ１２は、横断面の直径がリング１３か
ら固定フランジ１１に向かって徐々に小さくなる形状を
している。また、電子銃１９は、試料台１５に試料１０
を載置したとき、試料１０の端部と対向する位置に配置
される。その他の構成は第１の実施形態と同様であるの
で、その説明は省略する。
キシブルチューブ１２は、横断面の直径がリング１３か
ら固定フランジ１１に向かって徐々に小さくなる形状を
している。また、電子銃１９は、試料台１５に試料１０
を載置したとき、試料１０の端部と対向する位置に配置
される。その他の構成は第１の実施形態と同様であるの
で、その説明は省略する。
【００２４】フレキシブルチューブ１２の形状を上記の
ようにすることで、フレキシブルチューブ１２の内部の
容量が、第１の実施形態と比べて小さくなる。その結
果、真空排気に必要な時間を短縮することができる。ま
た、電子銃１９の配置を上記のようにすることで、試料
台１５の移動は、例えば図４に示した場合はＹ方向につ
いては左から右に向かう向きだけでよくなる。したがっ
て、試料台１５の移動量が少なくてすみ移動時間が短縮
されるとともに、移動精度がより向上する。
ようにすることで、フレキシブルチューブ１２の内部の
容量が、第１の実施形態と比べて小さくなる。その結
果、真空排気に必要な時間を短縮することができる。ま
た、電子銃１９の配置を上記のようにすることで、試料
台１５の移動は、例えば図４に示した場合はＹ方向につ
いては左から右に向かう向きだけでよくなる。したがっ
て、試料台１５の移動量が少なくてすみ移動時間が短縮
されるとともに、移動精度がより向上する。
【００２５】（第３の実施形態）図５は、本発明の真空
チャンバの第３の実施形態の内部構造を示す断面図であ
る。
チャンバの第３の実施形態の内部構造を示す断面図であ
る。
【００２６】本実施形態では、図５に示すように、フレ
キシブルチューブ２２の基材として繊維材料２２ａを用
い、フレキシブルチューブ２２の可撓性を向上させてい
る。このように、フレキシブルチューブ２２の基材を繊
維材料２２ａとすることで、試料台２５を移動したとき
に試料台２５に作用するフレキシブルチューブ２２の反
力をほとんどなくすることができ、試料台２５の移動精
度をより向上させることができる。
キシブルチューブ２２の基材として繊維材料２２ａを用
い、フレキシブルチューブ２２の可撓性を向上させてい
る。このように、フレキシブルチューブ２２の基材を繊
維材料２２ａとすることで、試料台２５を移動したとき
に試料台２５に作用するフレキシブルチューブ２２の反
力をほとんどなくすることができ、試料台２５の移動精
度をより向上させることができる。
【００２７】繊維材料２２ａとしては、宇宙服などに用
いられるカーボンコンポジット繊維などが適しており、
さらに、その内側にアルミニウムやステンレスなどの金
属箔をラミネートすることによって、気密性が保たれ
る。また、繊維材料２２ａの内周面には、リング状また
はコイル状に形成された、例えばピアノ鋼線などの金属
製のサポートワイヤ２２ｂが固着されている。これによ
り、フレキシブルチューブ２２内を真空排気したとき
の、大気圧によるフレキシブルチューブ２２の側面の圧
縮が防止される。
いられるカーボンコンポジット繊維などが適しており、
さらに、その内側にアルミニウムやステンレスなどの金
属箔をラミネートすることによって、気密性が保たれ
る。また、繊維材料２２ａの内周面には、リング状また
はコイル状に形成された、例えばピアノ鋼線などの金属
製のサポートワイヤ２２ｂが固着されている。これによ
り、フレキシブルチューブ２２内を真空排気したとき
の、大気圧によるフレキシブルチューブ２２の側面の圧
縮が防止される。
【００２８】フレキシブルチューブ２２の上端および下
端は、それぞれ固定フランジ２１およびリング２３に接
続されるが、本実施形態では、二重リング止めや接着剤
による接合等で、両者の接続部の気密性を保持する。さ
らに、本実施形態では、フレキシブルチューブ２２の外
形を概ね円錐台形状としているが、これは、第２の実施
形態と同様の理由による。
端は、それぞれ固定フランジ２１およびリング２３に接
続されるが、本実施形態では、二重リング止めや接着剤
による接合等で、両者の接続部の気密性を保持する。さ
らに、本実施形態では、フレキシブルチューブ２２の外
形を概ね円錐台形状としているが、これは、第２の実施
形態と同様の理由による。
【００２９】（第４の実施形態）図６は、本発明の真空
チャンバの第４の実施形態を説明する図であり、（ａ）
はその要部正面図、（ｂ）は（ａ）の矢印Ａ方向から見
た断面図である。
チャンバの第４の実施形態を説明する図であり、（ａ）
はその要部正面図、（ｂ）は（ａ）の矢印Ａ方向から見
た断面図である。
【００３０】本実施形態では、可動部３４は、第１の実
施形態と同様の駆動機構３８と、駆動機構３８により面
内方向に移動される移動台４１とで構成され、移動台４
１の上面に、フレキシブルチューブ３２の下端に気密接
続されたリング３３が固定されている。
施形態と同様の駆動機構３８と、駆動機構３８により面
内方向に移動される移動台４１とで構成され、移動台４
１の上面に、フレキシブルチューブ３２の下端に気密接
続されたリング３３が固定されている。
【００３１】移動台４１は正面に開口を有する中空構造
体であり、移動台４１の中空部には、引き出し４２が開
閉可能に設けられている。引き出し４２は、少なくとも
上方が開放されており、試料１０が載置される試料台４
２ｂと移動台４１の開口を塞ぐ蓋部４２ａとを有する。
蓋部４２ａの、引き出し４２を押し込んだときに移動台
４１と当接する部位にはシール部材４３が設けられてお
り、引き出し４２を押し込んだときの引き出し４２の内
部の気密性が確保される。
体であり、移動台４１の中空部には、引き出し４２が開
閉可能に設けられている。引き出し４２は、少なくとも
上方が開放されており、試料１０が載置される試料台４
２ｂと移動台４１の開口を塞ぐ蓋部４２ａとを有する。
蓋部４２ａの、引き出し４２を押し込んだときに移動台
４１と当接する部位にはシール部材４３が設けられてお
り、引き出し４２を押し込んだときの引き出し４２の内
部の気密性が確保される。
【００３２】また、フレキシブルチューブ３２の上端
は、第１の実施形態と同様に、目的とする反応処理を行
うための機器が取り付けられた固定フランジ（不図示）
に気密接続されている。引き出し４２内の試料１０に、
上記機器による反応処理を行わせることができるように
するために、移動台４１の上壁には、引き出し４２の内
部とフレキシブルチューブ３２の内部とを連通させる、
試料１０の外形よりも大きな開口４１ａが設けられてい
る。
は、第１の実施形態と同様に、目的とする反応処理を行
うための機器が取り付けられた固定フランジ（不図示）
に気密接続されている。引き出し４２内の試料１０に、
上記機器による反応処理を行わせることができるように
するために、移動台４１の上壁には、引き出し４２の内
部とフレキシブルチューブ３２の内部とを連通させる、
試料１０の外形よりも大きな開口４１ａが設けられてい
る。
【００３３】本実施形態の真空チャンバにおいては、ま
ず、引き出し４２を開いて試料台４２ｂ上に試料１０を
載置し、引き出し４２を閉じる。引き出し４２を閉じる
と、フレキシブルチューブ３２の内部は密封される。次
いで、フレキシブルチューブ３２内を真空排気する。フ
レキシブルチューブ３２内が真空になったら、駆動機構
３８により移動台４１を移動させながら、試料１０に対
して所定の処理を行う。その後、フレキシブルチューブ
３２内の圧力を大気圧に戻し、引き出し４２を開いて試
料１０を取り出す。
ず、引き出し４２を開いて試料台４２ｂ上に試料１０を
載置し、引き出し４２を閉じる。引き出し４２を閉じる
と、フレキシブルチューブ３２の内部は密封される。次
いで、フレキシブルチューブ３２内を真空排気する。フ
レキシブルチューブ３２内が真空になったら、駆動機構
３８により移動台４１を移動させながら、試料１０に対
して所定の処理を行う。その後、フレキシブルチューブ
３２内の圧力を大気圧に戻し、引き出し４２を開いて試
料１０を取り出す。
【００３４】このように、引き出し４２の操作だけで試
料１０の出し入れが可能であるので、試料１０の装填お
よび搬出を自動で行うことができるようになる。
料１０の出し入れが可能であるので、試料１０の装填お
よび搬出を自動で行うことができるようになる。
【００３５】本実施形態では、移動台４１の中空部に、
試料１０が載置される引き出し４２を設けた例を示した
が、引き出し４２を設ける代りに、移動台４１の中空部
内に試料台を設けるとともに移動台の開口を覆う蓋を設
け、蓋を開いて移動台４１の中に試料１０を挿入する構
成としてもよい。この場合においても、蓋は、閉じたと
きに移動台４１の内部を密封できるような構造とする。
試料１０が載置される引き出し４２を設けた例を示した
が、引き出し４２を設ける代りに、移動台４１の中空部
内に試料台を設けるとともに移動台の開口を覆う蓋を設
け、蓋を開いて移動台４１の中に試料１０を挿入する構
成としてもよい。この場合においても、蓋は、閉じたと
きに移動台４１の内部を密封できるような構造とする。
【００３６】
【発明の効果】以上説明したように本発明の真空チャン
バは、可動部と固定部材とを可撓性を有する筒状部材で
接続し、試料台を可動部と固定部材と筒状部材とで形成
される空間内に配置する一方、駆動機構を上記空間の外
部に配置することで、駆動機構としては大気中で使用さ
れる任意の駆動機構を使用することができる。その結
果、試料が載置された空間内の真空を保持しつつ、高速
かつ高精度で試料を移動させることができる。しかも、
可動部と固定部材とを、支持部材を介して対向方向の距
離を不変に結合することで、上記空間を真空にしたとき
の筒状部材の軸方向での圧縮を防止することができる。
バは、可動部と固定部材とを可撓性を有する筒状部材で
接続し、試料台を可動部と固定部材と筒状部材とで形成
される空間内に配置する一方、駆動機構を上記空間の外
部に配置することで、駆動機構としては大気中で使用さ
れる任意の駆動機構を使用することができる。その結
果、試料が載置された空間内の真空を保持しつつ、高速
かつ高精度で試料を移動させることができる。しかも、
可動部と固定部材とを、支持部材を介して対向方向の距
離を不変に結合することで、上記空間を真空にしたとき
の筒状部材の軸方向での圧縮を防止することができる。
【００３７】また、筒状部材の横断面を円形とすること
で、筒状部材の側面の圧縮を防止することができる。こ
の場合、筒状部材の横断面の直径を、可動部に接続され
た端から固定部材に接続された端に向かって小さくする
ことで、上記空間の真空排気時間を短縮することができ
る。また、筒状部材の構造を、繊維材料からなる基材の
内側に金属箔が積層され、さらにその内側に、リング状
またはコイル状の金属製ワイヤが固着された構造とする
ことで、筒状部材の可撓性がより向上し、試料台の移動
精度をより向上させることができる。
で、筒状部材の側面の圧縮を防止することができる。こ
の場合、筒状部材の横断面の直径を、可動部に接続され
た端から固定部材に接続された端に向かって小さくする
ことで、上記空間の真空排気時間を短縮することができ
る。また、筒状部材の構造を、繊維材料からなる基材の
内側に金属箔が積層され、さらにその内側に、リング状
またはコイル状の金属製ワイヤが固着された構造とする
ことで、筒状部材の可撓性がより向上し、試料台の移動
精度をより向上させることができる。
【図１】本発明の真空チャンバの第１の実施形態の構成
を示す概略斜視図である。
を示す概略斜視図である。
【図２】図１に示した真空チャンバの内部構造を示す断
面図である。
面図である。
【図３】図１に示した真空チャンバの、試料台とリング
との接続部の要部断面図である。
との接続部の要部断面図である。
【図４】本発明の真空チャンバの第２の実施形態の内部
構造を示す断面図である。
構造を示す断面図である。
【図５】本発明の真空チャンバの第３の実施形態の内部
構造を示す断面図である。
構造を示す断面図である。
【図６】本発明の真空チャンバの第４の実施形態を説明
する図であり、（ａ）はその要部正面図、（ｂ）は
（ａ）の矢印Ａ方向から見た断面図である。
する図であり、（ａ）はその要部正面図、（ｂ）は
（ａ）の矢印Ａ方向から見た断面図である。
１，１１，２１ 固定フランジ
１ａ 真空排気口
２，１２，２２，３２ フレキシブルチューブ
３，１３，２３，３３ リング
３ａ 嵌合孔
４，３４ 可動部
５，１５，２５，４２ｂ 試料台
５ａ フランジ部
５ｂ ガイドピン
５ｃ Ｏリング
６ Ｘ軸リニアモータ
７ Ｙ軸リニアモータ
８，３８ 駆動機構
９，１９ 電子銃
１０ 試料
２２ａ 繊維材料
２２ｂ サポートワイヤ
４１ 移動台
４１ａ 開口
４２ 引き出し
４２ａ 蓋部
４３ シール部材
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ
Ｈ０１Ｌ 21/265 ６０３ Ｈ０１Ｌ 21/30 ５４１Ｇ
21/3065 21/302 Ｂ
(72)発明者 城戸 隆
東京都練馬区旭町１丁目32番１号 株式
会社アドバンテスト内
(72)発明者 宮本 信雄
東京都練馬区旭町１丁目32番１号 株式
会社アドバンテスト内
(72)発明者 本間 孝治
東京都東大和市立野２丁目703番地 株
式会社ケミトロニクス内
(56)参考文献 特開 平４−151088（ＪＰ，Ａ)
特開 平２−112225（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B01J 3/00 - 3/04
Claims (6)
- 【請求項１】 試料が載置される試料台および該試料台
を移動させる駆動機構を備えた可動部と、 前記試料台に対向配置され、前記試料に所定の処理を行
うための機器が取り付けられた固定部材と、 一端が前記固定部材に気密接続されるとともに他端が前
記可動部に気密接続された、可撓性かつ空気非透過性の
筒状部材とを有し、 前記試料台は前記可動部と前記固定部材と前記筒状部材
とで形成されて真空排気される空間の内部に配置され、
前記駆動機構は前記空間の外部に配置され、前記可動部
と前記固定部材とは、支持部材を介して対向方向の距離
が不変に結合されていることを特徴とする真空チャン
バ。 - 【請求項２】 前記筒状部材は横断面が円形であり、か
つその横断面の直径が前記他端から一端に向かって小さ
くなっている請求項１に記載の真空チャンバ。 - 【請求項３】 前記筒状部材は、繊維材料からなる基材
の内側に金属箔が積層され、さらにその内側に、リング
状またはコイル状の金属製ワイヤが固着されている請求
項２に記載の真空チャンバ。 - 【請求項４】 前記筒状部材の他端にはフランジ部材が
固着され、該フランジ部材を前記可動部に密着させるこ
とで、前記筒状部材と前記可動部とが気密接続される請
求項１ないし３のいずれか１項に記載の真空チャンバ。 - 【請求項５】 前記可動部には、側面に開口を有する中
空状の移動台と、前記開口を気密閉鎖可能に開閉自在に
設けられた蓋部材とが備えられ、前記試料台は前記移動
台の中空部内に設けられている請求項１ないし３のいず
れか１項に記載の真空チャンバ。 - 【請求項６】 前記可動部には、側面に開口を有する中
空状の移動台と、前記開口を気密閉鎖可能に前記移動台
の中空部に出し入れ可能に設けられた引き出しとが備え
られ、前記試料台は前記引き出し内に設けられている請
求項１ないし３のいずれか１項に記載の真空チャンバ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06621497A JP3523444B2 (ja) | 1997-03-19 | 1997-03-19 | 真空チャンバ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06621497A JP3523444B2 (ja) | 1997-03-19 | 1997-03-19 | 真空チャンバ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10258224A JPH10258224A (ja) | 1998-09-29 |
| JP3523444B2 true JP3523444B2 (ja) | 2004-04-26 |
Family
ID=13309362
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06621497A Expired - Fee Related JP3523444B2 (ja) | 1997-03-19 | 1997-03-19 | 真空チャンバ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3523444B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007069376A1 (ja) | 2005-12-12 | 2007-06-21 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 位置合わせ装置、接合装置及び位置合わせ方法 |
-
1997
- 1997-03-19 JP JP06621497A patent/JP3523444B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10258224A (ja) | 1998-09-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3251098B2 (ja) | 環境制御囲い付きプローブステーションおよび環境制御囲いを用いたプローブ試験方法 | |
| US7456413B2 (en) | Apparatus for evacuating a sample | |
| US7531816B2 (en) | Vacuum conveying apparatus and charged particle beam equipment with the same | |
| JP2007093599A (ja) | サンプルを顕微処理するためのクラスタ器具 | |
| US7428850B2 (en) | Integrated in situ scanning electronic microscope review station in semiconductor wafers and photomasks optical inspection system | |
| JP2011154917A (ja) | 試料搬送装置 | |
| KR20050083002A (ko) | 물체의 정밀 이동을 제공하기 위한 로봇-가이드 조립체 | |
| EP2037137A2 (en) | Stage device | |
| JPH11297798A (ja) | 円板形状体の位置決め方法とその装置 | |
| US6352189B1 (en) | Ball suction head | |
| JP2579940B2 (ja) | 負圧容器のアクセス装置 | |
| JP3523444B2 (ja) | 真空チャンバ | |
| EP1398521A1 (en) | Shock absorbing apparatus in a positioning apparatus | |
| CN218385137U (zh) | 一种半导体反应设备 | |
| JPH0951029A (ja) | 半導体製造方法および装置ならびに搬送装置 | |
| JP2019169593A (ja) | 基板搬送システム | |
| JPH0737794A (ja) | 真空内駆動装置 | |
| KR20220006560A (ko) | 접합 장치, 접합 시스템 및 접합 방법 | |
| JP3497545B2 (ja) | 部品保持装置 | |
| CN218471923U (zh) | 晶圆吸附装置 | |
| JPH05258701A (ja) | 電子線装置 | |
| JPH01101498A (ja) | 核燃料ペレットの装填方法およびその装置 | |
| JPS5941848A (ja) | 移動装置 | |
| JP2009010297A (ja) | 真空装置 | |
| JPH06155211A (ja) | 真空吸着テーブル |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040114 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040206 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090220 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090220 Year of fee payment: 5 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090220 Year of fee payment: 5 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090220 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100220 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100220 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110220 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110220 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120220 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120220 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130220 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140220 Year of fee payment: 10 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |