JP4939635B2 - 樹脂被覆ソーワイヤの設計方法 - Google Patents
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Description
(1)所定の硬さの樹脂で鋼線を被覆し、
(2)得られた樹脂被覆ソーワイヤでワークを切断し、
(3)ワークの切断面における加工変質層深さを調べ、
(4)加工変質層深さの合否を確認し、
(5)不合格の場合は、より硬くした樹脂で鋼線を被覆し、上記(2)〜(4)を繰り返すことによってワークの切断面における加工変質層深さが合格となるように樹脂の硬さを調節する点に要旨を有している。前記加工変質層深さが、例えば、5μmよりも深い場合は、より硬くした樹脂で鋼線を被覆すればよい。
(1)所定の硬さの樹脂で鋼線を被覆し、
(2)得られた樹脂被覆ソーワイヤでワークを切断し、
(3)ワークの切断面における表面粗さを調べ、
(4)表面粗さの合否を確認し、
(5)不合格の場合は、より硬くした樹脂で鋼線を被覆し、上記(2)〜(4)を繰り返すことによってワークの切断面における表面粗さが合格となるように樹脂の硬さを調節して樹脂被覆ソーワイヤを設計することによっても解決することができる。前記表面粗さが、例えば、0.5μmよりも粗い場合は、より硬くした樹脂で鋼線を被覆すればよい。
(1)所定の硬さの樹脂で鋼線を被覆し、
(2)得られた樹脂被覆ソーワイヤでワークを切断し、
(3)ワークの切断面における表面性状(加工変質層深さ、表面粗さなど)を調べ、
(4)表面性状の合否を確認し、
(5)表面性状が不合格の場合は、より硬くした樹脂で鋼線を被覆し、上記(2)〜(4)を繰り返すことによってワークの切断面における表面性状が合格となるように樹脂の硬さを調整して樹脂被覆ソーワイヤを設計すればよい。
(a)ポリウレタンワニス(「TPU F1」、「TPU F2−NC」、「TPU F2−NCA」、「TPU 6200」、「TPU 5100」、「TPU 5200」、「TPU 5700」、「TPU K5 132」、「TPU 3000K」、「TPU 3000EA」など;東特塗料株式会社製の商品。)
(b)ポリエステルワニス(「LITON 2100S」、「LITON 2100P」、「LITON 3100F」、「LITON 3200BF」、「LITON 3300」、「LITON 3300KF」、「LITON 3500SLD」、「Neoheat 8200K2」など;東特塗料株式会社製の商品。)
(c)ポリアミドイミドワニス(「Neoheat AI−00C」など;東特塗料株式会社製の商品。)
(d)ポリエステルイミドワニス(「Neoheat 8600A」、「Neoheat 8600AY」、「Neoheat 8600」、「Neaheat 8600H3」、「Neoheat 8625」、「Neoheat 8600E2」など;東特塗料株式会社製の商品。)
抗張力×0.5−5.0≦張力≦抗張力×0.7−5.0 ・・・(1)
加工台にワーク(単結晶シリコン)を取り付けると共に、ワークの上方にソーワイヤを這わせ、ソーワイヤに砥粒を吹き付けながら、加工台を上昇させて走行するワイヤによってワークを切断し、ワークの切断代(カーフロス)を測定した。
加工台にワーク(単結晶シリコン)を取り付けると共に、ワークの上方にソーワイヤを這わせ、ソーワイヤに砥粒を吹き付けながら、加工台を上昇させて走行するワイヤによってワークを切断したときに、単結晶シリコンの切断代、切断面に形成された加工変質層深さ、および切断面の表面粗さを測定した。
測定装置 :Agilent Technologies製「Nano Indenter XP/DCM」
解析ソフト:Agilent Technologies製「Test Works 4」
Tip :XP
歪速度 :0.05/秒
測定点間隔:30μm
標準試料 :フューズドシリカ
《室温での測定条件》
測定モード :CSM(連続剛性測定法)
励起振動周波数:45Hz
励起振動振幅 :2nm
押込深さ :500nmまで
測定点 :15点
測定環境 :空調装置内で室温23℃
測定モード:Basic(負荷除去測定法)
押込深さ :450nmまで
測定点 :10点
測定環境 :抵抗加熱ヒータでサンプルトレイを120℃に保持
切断面に形成される加工変質層の深さは、切断体を図5(a)に示すように、水平方向に対して4°の傾きとなるように樹脂に埋め込み、図5(b)に示すように切断体の切断面が露出するように切断体と樹脂を研磨した。次に、露出面を下記表3に示す組成のエッチング液でエッチングし、ワーク切断時に形成された加工変質層(ワーク切断時に導入された転移のエッチピット)を光学顕微鏡にて観察した。
切断面の表面粗さは、株式会社ミツトヨ製「CS−3200(装置名)」を用い、切断方向(切り込みの深さ方向)に対して10mmに亘って算術平均粗さRaを測定した。測定結果を下記表2に示す。
Claims (6)
- (1)所定の硬さの樹脂で鋼線を被覆し、
(2)得られた樹脂被覆ソーワイヤでワークを切断し、
(3)ワークの切断面における加工変質層深さを調べ、
(4)加工変質層深さの合否を確認し、
(5)不合格の場合は、より硬くした樹脂で鋼線を被覆し、上記(2)〜(4)を繰り返すことによってワークの切断面における加工変質層深さが合格となるように樹脂の硬さを調節することを特徴とする樹脂被覆ソーワイヤの設計方法。 - 前記加工変質層深さが5μmよりも深い場合は、より硬くした樹脂で鋼線を被覆する請求項1に記載の設計方法。
- (1)所定の硬さの樹脂で鋼線を被覆し、
(2)得られた樹脂被覆ソーワイヤでワークを切断し、
(3)ワークの切断面における表面粗さを調べ、
(4)表面粗さの合否を確認し、
(5)不合格の場合は、より硬くした樹脂で鋼線を被覆し、上記(2)〜(4)を繰り返すことによってワークの切断面における表面粗さが合格となるように樹脂の硬さを調節することを特徴とする樹脂被覆ソーワイヤの設計方法。 - 前記表面粗さが0.5μmよりも粗い場合は、より硬くした樹脂で鋼線を被覆する請求項3に記載の設計方法。
- 前記樹脂の膜厚が2〜15μmである請求項1〜4のいずれかに記載の設計方法。
- 前記鋼線の線径が130μm以下である請求項1〜5のいずれかに記載の設計方法。
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