JP4111928B2 - レジンボンドワイヤソーおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の効果を確認するために、上記実施例のワイヤソー(発明品)と、一層の接着用樹脂層のみを形成した特許文献2記載のワイヤソー(比較品1)と、接着用樹脂層はなく、螺旋状の粗密の砥粒層を形成した特許文献3記載のワイヤソー(比較品2)と、芯線に施した軟質金属メッキ層に形成した螺旋状の多条の溝に砥粒の一部を埋設した特許文献4記載のワイヤソー(比較品3)を使用して、以下の試験条件で切断試験を行った。
切断装置:単線切断装置
ワイヤ速度:平均400m/min
ワイヤテンション:19.6N
被加工物:シリコンインゴット
1a ピアノ線
1b メッキ層
2 接着用樹脂層
2a 熱硬化性樹脂層
2b 感光性樹脂層
2c 凹部
3 砥粒層
3a ボンド層
3b 砥粒
3c 凹部
10 ワイヤソー
11〜14 被覆芯線
20,30,40 容器
21 液状の熱硬化性樹脂
22,32,42 ダイス
23 加熱装置
31 液状の感光性樹脂
33,43 紫外線照射装置
41 砥粒と液状の感光性樹脂の混合物
Claims (2)
- 芯線の表面に樹脂を結合剤として砥粒を固着させたレジンボンドワイヤソーであって、芯線と砥粒層との間に砥粒を含まない接着用樹脂層が設けられており、前記接着用樹脂層に螺旋状の凹部が形成され、
前記砥粒層には前記接着用樹脂層に形成された前記螺旋状の凹部に対応した形状の螺旋状の凹部が形成され、
前記接着用樹脂層は二層に形成されており、芯線側は熱硬化性樹脂で形成され、砥粒層側は感光性樹脂で形成されているレジンボンドワイヤソー。 - 芯線を一定の速度で送りながら、容器に収容した液状樹脂中を通過させて芯線に液状樹脂を被覆し、硬化させて接着用樹脂層を形成する工程と、接着用樹脂層を形成した芯線を一定の速度で送りながら、接着用樹脂層に螺旋状の凹部を形成する工程と、
接着用樹脂層に螺旋状の凹部を形成した芯線を一定の速度で送りながら、容器に収容した砥粒と液状樹脂の混合物中を通過させて接着用樹脂層に砥粒と液状樹脂の混合物を被覆し、硬化させて芯線に形成された前記接着用樹脂層の螺旋状の凹部に対応した形状の螺旋状の凹部を有する砥粒層を固着させる工程とを含み、
前記接着用樹脂層を形成する工程を、容器に収容した液状の熱硬化性樹脂中を通過させて芯線に液状の熱硬化性樹脂を被覆し、硬化させて一層目の接着用樹脂層を形成する段階と、続いて容器に収容した液状の感光性樹脂中を通過させて一層目の接着用樹脂層に液状の感光性樹脂を被覆し、硬化させて二層目の接着用樹脂層を形成する段階の二段階とするレジンボンドワイヤソーの製造方法。
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