JP4935965B2 - 電気機械変換素子 - Google Patents
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Description
11 基板
13 従動膜
21 圧力室
21a 壁面
23 副室(第1の副室)
25 第2副室(第2の副室)
30 駆動膜
30a 引出部
31 圧電体(駆動体)
31a 圧電体引出部
31p 作用部
33 下部電極
35 上部電極(第1の上部電極)
35a 上部電極引出部(第1の電極引出部)
35p 作用部(第1の電極作用部)
37 第2の上部電極
37a 第2上部電極引出部(第2の電極引出部)
37p 作用部(第2の電極作用部)
39 駆動回路
41 連通プレート
43 インク流入口
45 ノズル連通口
51 ノズルプレート
53 インク流路
55 インク吐出ノズル
100 インクジェットプリンタ用ヘッド
Claims (13)
- 板状の基板と、
前記基板に形成され、前記基板の面に平行な方向の断面の縦横比が略同一の断面形状を有する圧力室と、
前記基板に形成され、前記圧力室に連通し、前記基板の面に平行な第1の方向に前記圧力室と並ぶように設けられた副室と、
前記基板の一面に、前記基板よりも薄肉に形成され、前記圧力室及び前記副室の上部の壁面をなす従動膜と、
前記従動膜の上に形成された下部電極と、
前記下部電極の上に形成され、前記圧力室の上に位置し、前記圧力室の断面形状よりも小さく、前記基板の面に平行な方向の縦横比が略同一の面形状の作用部と、この作用部から前記副室の上に延長された引出部とを有する駆動体と、
前記駆動体の上に形成された上部電極とを備え、
前記圧力室の前記断面形状は、円形、矩形または多角形であり、
前記副室は、前記基板に形成される空間のうち、前記断面形状を持つ前記圧力室の空間を除いた空間であり、
前記副室は、前記第1の方向と直交し且つ前記基板の面に平行な第2の方向の幅が前記圧力室よりも小さく、
前記駆動体の引出部は、前記第2の方向の幅が前記副室よりも小さいことを特徴とする電気機械変換素子。 - 前記駆動体の引出部の上に形成された前記上部電極の前記第2の方向の幅は、前記駆動体の引出部の幅よりも狭いことを特徴とする請求項1に記載の電気機械変換素子。
- 前記副室の前記第2の方向の幅が、前記圧力室の前記第2の方向の幅の25%〜75%の範囲にあることを特徴とする請求項1または2に記載の電気機械変換素子。
- 前記駆動体の引出部の前記第2の方向の幅が、前記副室の前記第2の方向の幅の50%〜80%の範囲にあることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の電気機械変換素子。
- 前記駆動体の作用部の形状が円であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の電気機械変換素子。
- 前記駆動体は、圧電体であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の電気機械変換素子。
- 板状の基板と、
前記基板に形成され、前記基板の面に平行な方向の断面の縦横比が略同一の断面形状を有する圧力室と、
前記基板に形成され、前記圧力室に連通し、前記基板の面に平行な第1の方向に前記圧力室と並ぶように設けられた第1の副室と、
前記基板に形成され、前記圧力室に連通し、前記基板の面に平行な第1の方向に前記圧力室と並ぶように設けられ、前記圧力室を介して前記第1の副室に対向する位置に配置された第2の副室と、
前記基板の一面に、前記基板より薄肉に形成され、前記圧力室、前記第1の副室及び前記第2の副室の上部の壁面をなす従動膜と、
前記従動膜の上に形成された下部電極と、
前記下部電極の上に形成された駆動体と、
前記圧力室の上の前記駆動体の上に形成され、前記圧力室の断面形状よりも小さく、前記基板の面に平行な方向の縦横比が略同一の面形状を有する第1の電極作用部と、この第1の電極作用部から前記第1の副室の上の前記駆動体の上に延長された第1の電極引出部とを有する第1の上部電極と、
前記圧力室の周縁に跨る前記駆動体の上に形成され、かつ前記第1の上部電極の周囲を取り囲むように形成された第2の電極作用部と、この第2の電極作用部から前記第2の副室の上の前記駆動体の上に延長された第2の電極引出部とを有する第2の上部電極と、
前記第1の上部電極と前記第2の上部電極とに逆極性の駆動信号を与える駆動回路とを備え、
前記第1の副室及び第2の副室は、前記第1の方向と直交し且つ前記基板の面に平行な第2の方向の幅が前記圧力室よりも小さく、
前記第1の上部電極の第1の電極引出部及び前記第2の上部電極の第2の電極引出部は、前記第2の方向の幅がそれぞれ前記第1の副室及び前記第2の副室よりも小さいことを特徴とする電気機械変換素子。 - 前記第1の副室及び前記第2の副室の前記第2の方向の幅が、前記圧力室の前記第2の方向の幅の25%〜75%の範囲にあることを特徴とする請求項7に記載の電気機械変換素子。
- 前記第1の上部電極の第1の電極引出部の前記第2の方向の幅が、前記第1の副室の前記第2の方向の幅の10%〜40%の範囲にあり、
前記第2の上部電極の第2の電極引出部の前記第2の方向の幅が、前記第2の副室の前記第2の方向の幅の10%〜40%の範囲にあることを特徴とする請求項7または8に記載の電気機械変換素子。 - 前記駆動体の作用部の形状が円であることを特徴とする請求項7〜9のいずれか一項に記載の電気機械変換素子。
- 前記駆動体は、圧電体であることを特徴とする請求項7〜10のいずれか一項に記載の電気機械変換素子。
- 前記圧力室の前記断面形状は、円形、矩形または多角形であり、
前記第1の副室及び前記第2の副室は、前記基板に形成される空間のうち、前記断面形状を持つ前記圧力室の空間を除いた空間であって、前記圧力室を介して互いに対向する位置の各空間であることを特徴とする請求項7〜11のいずれか一項に記載の電気機械変換素子。 - 前記圧力室の前記断面形状は、円形であり、
前記圧力室の空間は、円筒形であることを特徴とする請求項1または12に記載の電気機械変換素子。
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