JP2006347123A - インクジェットヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】 共通電極と流路ユニットとが信頼性高く電気的に接続されるようにする。
【解決手段】 圧電シート４１〜４３が積層されたアクチュエータユニット２１が流路ユニット４に接着されている。圧電シート４１と圧電シート４２との間に共通電極３４が配置されている。アクチュエータユニット２１の流路ユニット４との接着面には、圧電シート４３を貫通する孔４９ａの開口が形成されており、共通電極３４と電気的に接続された導通配線４９ｂが孔４９ａ内に埋め込まれている。導通配線４９ｂの端部には端子４６が形成されている。流路ユニット４のアクチュエータユニット２１との接着面には凹部３０が形成されている。凹部３０の底面には凸部３０ａが形成されている。そして、端子４６が凸部３０ａと接して電気的に接続されている。
【選択図】 図９

Description

本発明は、被記録媒体にインクを吐出するインクジェットヘッドに関する。

インクジェットヘッドは、インクジェットプリンタ等において、インクタンクから供給されたインクを複数の圧力室に分配し、各圧力室に選択的にパルス状の圧力を付与することによりノズルからインクを吐出する。圧力室に選択的に圧力を付与するための一つの手段として、圧電性のセラミックからなる複数の圧電シートが積層されたアクチュエータユニットが用いられることがある。

かかるインクジェットヘッドの一例として、連続平板状の圧電シートを、複数の圧力室に跨って形成されたコモン電極（共通電極）と、各圧力室に対向して配置された複数の個別電極とで挟み込んだ圧電アクチュエータを有するものが知られている（特許文献１参照）。このインクジェットヘッドにおいて、圧電アクチュエータの側面には、キャビティユニット（流路ユニット）の上面から圧電アクチュエータの積層方向に沿って導電性接着剤が塗布されている。この導電性接着剤によってキャビティユニットと圧電アクチュエータのコモン電極とが電気的に接続され、キャビティユニットがグランドに接続されている。

したがって、キャビティユニットとコモン電極とがグランドに接続されて同電位となり、キャビティユニットとコモン電極間に電位差が生じなくなる。これにより、内部電極（コモン電極及び個別電極）のマイグレーションに起因した圧電アクチュエータの破損を抑制することが可能になる。つまり、キャビティユニットと内部電極間に電位差が生じると、キャビティユニット内のインク中の水分が電極近傍で電解され、水素イオン（Ｈ+）が生成される。このとき、圧電アクチュエータの内部電極がマイナス側になっていると、生成された水素イオンが内部電極側に移動し、内部電極が水素イオンを吸蔵して膨張する。このようにキャビティユニットと内部電極間に電位差が生じると、膨張した内部電極によって圧電アクチュエータの内部電極を破損する可能性があるが、上述のようにキャビティユニットとコモン電極とが同電位とされていることで、このような破損を抑制することができる。

さらに、搬送された被印刷媒体とキャビティユニットとが擦れ合うことによって発生する静電気が、キャビティユニットからグランドに流れるため、静電気によって圧電アクチュエータに接続された電子部品が破損するのを抑制することができる。

特開２００３−８０７０９号公報（図１１）

上述した特許文献１に記載のインクジェットヘッドにおいては、その完成後に、他の部材が導電性接着剤に接触するなどの事態が生じて導電性接着剤に不測の力が加えられた場合に、コモン電極とキャビティユニットとが電気的に接続されなくなることがある。

そこで、本発明の主たる目的は、共通電極と流路ユニットとが信頼性高く電気的に接続されたインクジェットヘッドを提供することである。

課題を解決するための手段及び効果

本発明のインクジェットヘッドは、複数のノズルとそれぞれが前記ノズルと連通した複数の圧力室とを有する導電性材料からなる流路ユニットと、圧電層と、前記圧電層に積層された一又は複数の絶縁層と、それぞれが前記圧力室に対向する複数の個別電極と、前記複数の個別電極と共に前記圧電層を挟む共通電極と、前記流路ユニットと前記絶縁層のうちの最外層とを接着する接着層とを有するインクジェットヘッドである。前記流路ユニットが、表面に形成された凹部及び前記凹部の底面から突出した凸部を有している。前記流路ユニットとの接着面に開口する孔が前記最外層に形成されていると共に、前記共通電極と電気的に接続された導電性部材の少なくとも一部が前記孔内に埋め込まれている。そして、前記導電性部材の前記接着面から突出した端部が前記凸部と接触し当該凸部と電気的に接続されている。

本発明によると、共通電極と電気的に接続された導電性部材の端部と流路ユニットに形成された凹部内の凸部との接着部分が絶縁層及び流路ユニットによって閉じられた空間内に存在するために、端部と凸部との電気的接続が解除されることがほとんどなく、高い信頼性で流路ユニットと共通電極とを電気的に接続することができる。

また、導電性部材として柔軟性を有するものを用い、製造過程において導電性部材の端部と凸部とを接触させると、凸部と接触した導電性部材の端部が凸部の表面に沿って変形する。そのため、絶縁層と流路ユニットとの接着を導電性部材が阻害することがなく、しかも端部と凸部との接触面積が大きくなって両者の電気的接続の信頼性が高まる。さらに、この場合に、凸部と接触した導電性部材の端部が凹部内にまで拡がったとしても、絶縁層と流路ユニットとの間にまで導電性部材の端部が拡がりにくい。したがって、加圧時に絶縁層及び／又は圧電層を破損させにくくすることができる。

本発明においては、前記凹部の深さと前記凸部の高さとが同じであることが好ましい。これによると、導電性部材の端部と流路ユニットの凸部とが確実に接する。

本発明においては、前記凹部が前記凸部によって環状に画定されていることが好ましい。これによると、導電性部材として柔軟性を有するものを用い、製造過程において導電性部材の端部と凸部とを接触させると、凸部と接触した導電性部材の端部が凹部内にまで拡がったとしても、絶縁層と流路ユニットとの間にまで導電性部材の端部がより拡がりにくい。したがって、加圧時に絶縁層及び／又は圧電層をより破損させにくくすることができる。

また、本発明においては、前記端部が、前記凸部の外周面と接触していることが好ましい。これによると、凸部先端に付着した接着剤を製造過程において取り去らなくても、導電性部材の端部と流路ユニットに形成された凹部内の凸部とが電気的に接続される。したがって、接着剤除去工程を行う必要がなくなって、接着剤除去工程で発生する細かいゴミによってノズルが詰まるおそれがなくなる。

そして、このとき、前記端部が前記凸部の外周面を環状に被覆していることが好ましい。これによると、端部と凸部との接触面積が非常に大きくなるために、両者の電気的接続の信頼性をより高めることができる。

このとき、前記凹部の外縁の径が、前記孔の径よりも大きく、前記凹部の内縁の径が前記孔の径よりも小さいことがより好ましい。これによると、導電性部材として柔軟性を有するものを用い、製造過程において導電性部材の端部と凸部とを接触させると、凸部と接触した導電性部材の端部が凹部内にまで拡がりやすくなるものの、絶縁層と流路ユニットとの間にまで導電性部材の端部が拡がることがほとんどない。したがって、加圧時に絶縁層及び／又は圧電層を破損させることがない。

また、本発明においては、前記導電性部材を複数備えていることがより好ましい。これによると、複数の導電性部材の端部と凸部とが接するため、共通電極と流路ユニットとがより信頼性高く電気的に接続される。

このとき、前記圧電層と前記一又は複数の絶縁層とが積層された積層体における前記個別電極が配設された前記圧電層の表面に、前記複数の導電性部材の前記端部に対向するように配設された複数の対向端子をさらに有していることがより一層好ましい。これによると、製造過程において対向端子を加圧して積層体と流路ユニットとを接着することによって、導電性部材の端部と流路ユニットの凸部とが確実に接する。これにより、共通電極と流路ユニットとがより信頼性高く電気的に接続される。

さらに、このとき、前記複数の対向端子のそれぞれが、前記端部に電気的に接続されていることがさらにより一層好ましい。これによると、製造過程において給電部材に形成された共通電極用の複数の接続端子と複数の対向端子とを接合することによって導電性部材の端部への給電が可能になるので、導電性部材の端部の電位を制御するための配線構造を簡略化することができる。さらに、積層体と給電部材との機械的な接合強度が高くなる。

また、本発明においては、前記複数の導電性部材に係る複数の前記端部が、平面視において、前記流路ユニットにおける前記圧電層に対向した領域内にある複数の前記圧力室を取り囲んでいることがより好ましい。これによると、圧力室及び個別電極を高密度に配置しつつ導電性部材を配置することができる。

また、本発明において、前記対向端子は、前記個別電極と電気的に接続され、且つ、対応する前記端部と電気的に絶縁されていることがより一層好ましい。これによると、製造過程において、対向端子を加圧することで、端部と凸部とが確実に接することに加え、給電部材に形成された個別電極用の接続端子と対向端子とを接合することによって個別電極への給電が可能になるので、個別電極の電位を制御するための配線構造を簡略化することができる。さらに、個別電極が対向端子とは別の端子を持てば、給電部材が対向端子にも別の端子にも接合されることで、個別電極に対する電気的な接続の信頼性が向上する。

さらに、本発明においては、前記圧力室が、平面視において、複数の前記端部に取り囲まれていることがより一層好ましい。これによると、製造過程において流路ユニットと絶縁層とを接着するときに、各端部が均一に加圧される。これによって、共通電極と流路ユニットとがより信頼性高く電気的に接続される。

加えて、本発明においては、前記接着層が導電性接着剤からなり、前記端部が前記接着層と接触していることがより好ましい。これによると、導電性部材の端部と流路ユニットとが導電性接着剤を介して電気的に接続されることになるので、共通電極と流路ユニットとがより信頼性高く電気的に接続される。

以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。

＜第１の実施の形態＞
本発明に係る第１の実施の形態であるインクジェットヘッドについて図面を参照しつつ説明する。図１は、本発明に係る第１の実施の形態であるインクジェットヘッドの外観斜視図である。図２は、図１のII−II線に沿った断面図である。インクジェットヘッド１は、図１に示すように、用紙に対してインクを吐出するための主走査方向に延在した矩形平面形状を有するヘッド本体７０と、ヘッド本体７０の上面に配置され且つ２つのインク溜まり３が形成されたベースブロック７１と、これらヘッド本体７０とベースブロック７１とを保持するホルダ７２とを含んでいる。

ヘッド本体７０は、図２に示すように、インク流路が形成された流路ユニット４と、流路ユニット４の上面に形成された接着層６（図６参照）によって接着された複数のアクチュエータユニット（積層体）２１とを含んでいる。接着層６は、導電性接着剤からなる。また、流路ユニット４及びアクチュエータユニット２１は共に複数の薄板（プレート）を積層して互いに接着させた積層構造を有している。このうち、流路ユニット４の底面は微小径を有する多数のノズル８（図６参照）が配列されたインク吐出面７０ａとなっている。また、アクチュエータユニット２１の上面には、給電部材であるフレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ：Flexible Printed Circuit）５０が半田によって接着され、左又は右に引き出されている。

図３は、ヘッド本体７０を上面（インク吐出面７０ａと反対側）から見た平面図である。図３に示すように、流路ユニット４は、一方向（主走査方向）に延在した矩形平面形状を有している。流路ユニット４内には、共通インク室であるマニホールド流路５が設けられており、破線で描かれている。マニホールド流路５は、流路ユニット４の長手方向（主走査方向）と平行に延在する複数の副マニホールド流路５ａに分岐している。

流路ユニット４の上面（アクチュエータユニット２１との接着面）には、複数の開口３ａが形成されており、平面形状が台形である４つのアクチュエータユニット２１が、これらの開口３ａを避けるように、千鳥状で２列に配列されている。各アクチュエータユニット２１は、その平行対向辺（上辺及び下辺）が流路ユニット４の長手方向に沿うように配置されている。また、隣接するアクチュエータユニット２１の斜辺同士が、流路ユニット４の幅方向（副走査方向）に部分的にオーバーラップしている。一方、複数の開口３ａも流路ユニット４の長手方向に沿って２列に配列されており、各列５個、計１０個の開口３ａがアクチュエータユニット２１と干渉しない位置に設けられている。そして、マニホールド流路５には、各開口３ａを通じてベースブロック７１のインク溜まり３に貯溜されていたインクが供給される。

流路ユニット４の上面は、さらに、ノズル８にそれぞれ連通された圧力室１０（図６参照）がマトリクス状に複数配列されている。１つのアクチュエータユニット２１の接着領域に対応して、これらの圧力室１０が集合し１つの圧力室群９を構成している。つまり、アクチュエータユニット２１は、１つの圧力室群９を構成する全ての圧力室１０に跨るサイズと形状とを有している。また、圧力室群９に対向する流路ユニット４の下面（インク吐出面７０ａ）では、圧力室１０に連通するノズル８もマトリクス状に多数配列されて、１つの圧力室群９に対応した１つのインク吐出領域を形成している。

図２に戻って、ベースブロック７１は、例えばステンレスなどの金属材料からなる。ベースブロック７１内のインク溜まり３は、ベースブロック７１の長手方向に沿って延在する略直方体の中空領域である。インク溜まり３は、その一端に設けられた開口（図示せず）を通じて外部に設置されたインクタンク（図示せず）からインクが供給され、常にインクで満たされている。インク溜まり３には、インクを流出するための開口３ｂが、その延在方向に沿って２列に計１０個設けられている。これら開口３ｂは、流路ユニット４の開口３ａと接続されるように千鳥状に設けられている。すなわち、インク溜まり３の１０個の開口３ｂと流路ユニット４の開口３ａはそれぞれ同じ位置関係となるように設けられている。

ベースブロック７１の下面７３は、開口３ｂの近傍部分７３ａにおいて周囲よりも下方に飛び出している。そして、ベースブロック７１は、開口３ｂの近傍部分７３ａにおいてのみ流路ユニット４の上面と接触している。そのため、開口３ｂの近傍部分７３ａ以外の領域は、流路ユニット４から離隔しており、ここで形成された間隙部分にアクチュエータユニット２１が配されている。

ホルダ７２は、ベースブロック７１を把持する把持部７２ａと、副走査方向に間隔をおいて設けられ把持部７２ａの上面から上方に向けて突出する一対の突出部７２ｂとを含んでいる。ベースブロック７１は、ホルダ７２の把持部７２ａの下面に形成された凹部内に接着固定されている。アクチュエータユニット２１に接続されたＦＰＣ５０は、間隙部分から引き出され、スポンジなどの弾性部材８３を介してホルダ７２の突出部７２ｂ表面に沿うようにそれぞれ配置されている。そして、突出部７２ｂに対向して、ＦＰＣ５０上にドライバＩＣ８０が設置されている。すなわち、ＦＰＣ５０は、アクチュエータユニット２１とドライバＩＣ８０とを電気的に接合し、ドライバＩＣ８０から出力された駆動信号をアクチュエータユニット２１に伝達する。

ドライバＩＣ８０の外側表面には略直方体形状のヒートシンク８２が密着配置されている。このヒートシンク８２により、ドライバＩＣ８０で発生した熱を効率的に散逸させることができる。ドライバＩＣ８０及びヒートシンク８２の上方においては、ＦＰＣ５０の一端が接続された基板８１が配置されている。ヒートシンク８２の上面と基板８１との間、および、ヒートシンク８２の下面とＦＰＣ５０との間は、それぞれシール部材８４で接着されており、インクジェットヘッド１の本体にゴミやインクが侵入することを防いでいる。

図４は、図３に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大平面図である。図４に示すように、流路ユニット４内のアクチュエータユニット２１と対向する領域には、流路ユニット４の長手方向と平行に４本の副マニホールド流路５ａが延在している。各副マニホールド流路５ａには、ノズル８の各々に通じる多数の個別インク流路７（図６参照）が接続されている。図４では、説明の都合上、本来アクチュエータユニット２１の陰になって見ることができないノズル８、圧力室１０及びアパーチャ１３が実線で示されている。

流路ユニット４の上面には、上述のように、圧力室群９が形成されており、アクチュエータユニット２１の外形とほぼ同じ大きさの台形形状を有している。圧力室群９に属する各圧力室１０は、平面形状が角が丸くなった略菱形である。さらに、各圧力室１０は、その長い対角線の一端においてノズル８に連通されていると共に、その他端においてアパーチャ１３を介して副マニホールド流路５ａに連通されている。後述するように、アクチュエータユニット２１上には、圧力室１０よりも一回り小さい個別電極３５（図８参照）が、圧力室１０と対向するようにマトリクス状に配列されている。

図５は、ヘッド本体７０における１つのアクチュエータユニット２１が配置されている１つの接着領域のみを示した部分平面図である。図４及び図５に示すように、この接着領域には、複数の凹部３０(図６参照)が、互いにほぼ等間隔に形成され、1つの圧力室群９を取り囲んでいる。各凹部３０は、平面視で円形の外形形状を有している。さらに、アクチュエータユニット２１上には、円盤状の表面電極６１が、平面視において各凹部３０とそれぞれ対応して形成されている。これらの表面電極６１は、アクチュエータユニット２１の外縁と個別電極３５の形成領域（平面視で圧力室群９に対応）との聞に位置している。

次に、ヘッド本体７０の構造について説明する。図６は、図４に示すVI−VI線における断面図であり、個別インク流路を示している。図７は、凹部３０の平面図である。図６から分かるように、ノズル８は、圧力室１０及びアパーチャすなわち絞り１３を介して副マニホールド流路５ａと連通している。このようにして、ヘッド本体７０には、副マニホールド流路５ａの出口からアパーチャ１３、圧力室１０を経てノズル８に至る個別インク流路７が圧力室１０ごとに形成されている。

ヘッド本体７０は、図６に示すように、上から順に、アクチュエータユニット２１、キャビティプレート２２、ベースプレート２３、アパーチャプレート２４、サプライプレート２５、マニホールドプレート２６、２７及びノズルプレート２８の合計８枚のシート材が積層された積層構造を有している。これらのうち、プレート２２〜２８が金属製となっており、これらプレート２２〜２８により流路ユニット４が構成されている。本実施の形態では、いずれのプレート２２〜２８もステンレス製であるが、ノズルプレート２８は樹脂製であってもよい。

アクチュエータユニット２１は、後で詳述するように、３枚の圧電シート４１〜４３（図８参照）が積層され且つ電極が配されている。全ての圧電シート４１〜４３は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなる。

キャビティプレート２２は、アクチュエータユニット２１の接着領域内に、圧力室１０の空隙を構成する孔が多数設けられている。各孔は、それぞれほぼ菱形の形状を有している。さらに接着領域の周縁部には、複数の凹部３０（図４及び図５参照）が設けられており、全ての孔を取り囲んでいる。いずれの凹部３０も、アクチュエータユニット側に向かって開口している。図６及び図７に示すように、凹部３０は、円筒形状を有しており、その底面の中心から凹部３０と同心の円柱形状を有する凸部３０ａがアクチュエータユニット２１に向かって突出している。したがって、凹部３０は、凸部３０ａに画定されて環状溝となっている。また、凹部３０の深さと凸部３０ａの高さとが同一となっている。つまり、凸部３０ａの上端面が流路ユニット４の上面と同一平面上にある。

ベースプレート２３は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、圧力室１０とアパーチャ１３との連絡孔２３ａ及び圧力室１０からノズル８への連絡孔２３ｂがそれぞれ設けられている。アパーチャプレート２４は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、アパーチャ１３となる孔のほかに圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられている。サプライプレート２５は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、アパーチャ１３と副マニホールド流路５ａとの連絡孔及び圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられている。マニホールドプレート２６、２７は、副マニホールド流路５ａに加えて、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられている。ノズルプレート２８は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、ノズル８がそれぞれ設けられている。

これらアクチュエータユニット２１と７枚のプレート２２〜２８とが、互いに位置合わせして積層されて、図６に示すような個別インク流路７を形成している。図６から分かるように、本実施の形態の個別インク流路７は、圧力室１０を最上部として、全体に上に凸の弓なり形状をした流路である。さらに、個別インク流路７は、この圧力室１０を挟んで２つの流路から構成されている。このうち、一方の流路は、副マニホールド流路５ａの上側縁部から上方に向かい、アパーチャ１２において水平に延在した後、圧力室１０の一方端に至る流路である。また、他方の流路は、圧力室１０の他方端から離れるようにして斜め下方に向かい、その後垂直下方にノズル８へと至る流路である。これによって、副マニホールド流路５ａからノズル８への滑らかなインク供給が可能となっている。

次に、アクチュエータユニット２１の構成について説明する。図８（ａ）は図６に描かれた１点鎖線で囲まれた領域の部分拡大断面図であり、図８（ｂ）はアクチュエータユニット２１の部分拡大平面図である。図９は、図８に描かれた１点鎖線で囲まれた領域の部分拡大断面図である。

図８（ａ）に示すように、アクチュエータユニット２１は、それぞれ厚みが１５μｍ程度で同じになるように形成された３枚の圧電シート４１、４２、４３が積層された積層構造を有している。このとき、圧電シート（圧電層）４１が最上層、圧電シート（絶縁層）４２が中間層、圧電シート（絶縁層）４３が最下層（最外層）となっている。そのうち、最上層だけが、電界印加時に電歪特性を示す活性部を有する層（以下、単に「活性部を有する層」というように記する）とされ、残り２層は活性部をもたない非活性層である。これら圧電シート４１〜４３は、１つの圧力室群９を覆うように配置され、連続した層状の平板（連続平板層）となっている。圧電シート４１〜４３が連続平板層の積層体であるので、例えばスクリーン印刷技術を用いることにより圧電シート４１上に個別電極３５及び表面電極６１を高密度に配置することが可能となっている。そのため、個別電極３５に対応する位置に形成される圧力室１０をも高密度に配置することが可能となって、高解像度画像の印刷ができるようになる。

最上層の圧電シート４１上には、個別電極３５及び表面電極６１が配置されている。圧電シート４１とその下側の圧電シート４２との間には、略２μｍの厚みの共通電極３４が介在している。さらに、圧電シート４２と最下層の圧電シート４３との間にも、共通電極３４と同様に形成された略２μｍの厚みの補強電極３３が介在している。これら個別電極３５、共通電極３４及び補強電極３３は共に、例えばＡｇ−Ｐｄ系などの金属材料からなる。また、共通電極３４及び補強電極３３はともに、対応する各圧電シート４２、４３のほぼ全面に形成されており、各シートが積層されたときにその端面が外部に露出している。

個別電極３５は、図８（ｂ）に示すように、圧力室１０と対向する位置に配置された主電極領域３５ａと、主電極領域３５ａにつながっており且つ圧力室１０と対向しない位置に配置された補助電極領域３５ｂとから構成されている。主電極領域３５ａは、圧力室１０とほぼ相似の平面形状を有し、圧力室１０に比べ一回り小さい略菱形である。この主電極領域３５ａにおける鋭角部は延出されて補助電極領域３５ｂにつながっている。補助電極領域３５ｂの先端表面には、円形のランド３６が設けられている。ランド３６は、キャビティプレート２２において圧力室１０が形成されていない領域に対向している。ランド３６は、例えば、ガラスフリットを含む金からなり、補助電極領域３５ｂと電気的に接続されている。図８（ａ）ではＦＰＣ５０の図示を省略しているものの、各ランド３６は、ＦＰＣ５０に設けられた対応する接続端子とそれぞれ電気的に接続されている。つまり、個別電極３５のランド３６は、ＦＰＣ５０の接続端子と接合されており、ドライバＩＣ８０とそれぞれ接続されている。これにより、各圧力室１０に対応するものごとに電位を選択的に制御することができる。

各圧電シート４１〜４３には、図８（ａ）及び図９に示すように、平面視において互いに重ならないように各シートの厚み方向に貫通した孔４７ａ、４８ａ、４９ａが形成されている。このとき、圧電シート４３の孔４９ａと凹部３０とが、平面視において各開口の中心がほぼ一致するように対向している。また、凹部３０の外縁の径が孔４９ａの開口の径よりも大きく、凹部３０の内縁の径が孔４９ａの開口の径よりも小さくなっている（図７参照）。孔４７ａ、４８ａ、４９ａの内壁面には、筒状のスルーホール電極６２ａ、６２ｂ、６２ｃが配置されている。スルーホール電極６２ａの上端面がアクチュエータユニット２１の上面と同一平面上にあって表面電極６１と電気的に接合されている。スルーホール電極６２ａとスルーホール電極６２ｂとが共通電極３４を介して電気的に接続されている。また、スルーホール電極６２ｂとスルーホール電極６２ｃとが補強電極３３を介して電気的に接続されている。スルーホール電極６２ｃの下端面がアクチュエータユニット２１の下面（流路ユニット４との接着面）と同一平面上にある。このように、アクチュエータユニット２１内には、各圧電シート４１〜４３に設けられたスルーホール電極６２ａ、６２ｂ、６２ｃからなり、共通電極３４を電気的な導電路の一部とする筒状の内部配線（第１の内部配線）が形成されている。この内部配線は、一端が表面電極６１と接合され、さらに補強電極３３を導電路の一部に含んでいる。

スルーホール電極６２ａ、６２ｂ、６２ｃ内にはそれぞれＡｇ−Ｐｄの混合剤からなる導電性部材が埋め込まれており、この導電性部材が導通配線４７ｂ、４８ｂ、４９ｂとなっている。各導通配線４７ｂ、４８ｂ、４９ｂは各圧電シート４１〜４３の厚さ方向に延在している。これにより、最上層でスルーホール電極６２ａと導通配線４７ｂとが、中間層でスルーホール電極６２ｂと導通配線４８ｂとが、最下層でスルーホール電極６２ｃと導通配線４９ｂとがそれぞれ電気的に接合されている。そして、導通配線４７ｂの上端面が表面電極６１に、下端面が共通電極３４にそれぞれ電気的に接合されている。また、導通配線４８ｂの上端面が共通電極３４に、下端面が補強電極３３にそれぞれ電気的に接合されている。さらに、導通配線４９ｂの上端面が補強電極３３に電気的に接合されており、下端面がアクチュエータユニット２１の下面から流路ユニット４に向かって突出して端子４６を形成している。つまり、アクチュエータユニット２１内には、各圧電シート４１〜４３に設けられた導通配線４７ｂ、４８ｂ、４９ｂからなり、共通電極３４を電気的な導電路の一部とする別の内部配線（第２の内部配線）が形成されている。この内部配線も、一端が表面電極６１と接合され、さらに補強電極３３をその一部に含んでいる。このとき、上述の第１の内部配線は、その内側に第２の内部配線が配設されて、並列の導電路を構成している。また、第１の内部配線は、その他端において、突出した端子４６を有する導通配線４９ｂ（導電性部材）が配置されている。なお、ここでは、平面視において、表面電極６１と端子４６とが互いに重ならないように配置されていると共に、多数の端子４６が圧力室群９を取り囲んでいる（図５参照）。

端子４６は、その中心部が下方に向かって凸となった円盤形状を有しており、流路ユニット４の上面に形成された凹部３０と対向している。平面視において、端子４６の外径が孔４９ａの開口の径よりも大きくなっている。言い換えれば、端子４６の外縁の全てが、孔４９ａの外縁より径方向の外側に位置している。このとき、端子４６の外径が、凹部３０の外縁の径よりも小さく、且つ、凹部３０の内縁の径よりも大きくなっている。そのため、アクチュエータユニット２１と流路ユニット４との界面に端子４６が介在することがないので、両者の接着時に加えられる押圧力が、端子４６の介在部分に集中してアクチュエータユニット２１を破損することがない。また、本実施の形態では、端子４６は、Ａｇ−Ｐｄ系の導電性材料から形成されており、比較的柔らかい。そのため、アクチュエータユニット２１を流路ユニット４に接着することで、図９に示すように、加えられる押圧力により、凸部３０ａの先端が端子４６の突出部内に容易に入り込む。このとき、端子４６が凸部３０ａの外周面と接触しており、端部４６が凸部３０ａの外周面を環状に被覆する。これによって、端子４６と流路ユニット４とが凸部３０ａを介して電気的に接続されている。

また、端子４６の側面（周縁部）と凹部３０の内壁面との間には、接着層６のフィレットが形成されている。これにより、端子４６と流路ユニット４とが接着層６のフィレットを介して電気的に接続されている。したがって、端子４６が凸部３０ａを介して直接的に、且つ、接着層６を介して間接的に流路ユニット４と電気的に接続されている。さらに、第１の内部配線と第２の内部配線とから構成された内部導電体路により、共通電極３４が端子４６を介して流路ユニット４に電気的に接合されている。つまり、スルーホール電極６２ａ、６２ｂ、６２ｃと、導通配線４７ｂ、４８ｂ、４９ｂと、これらと接合している共通電極３４及び補強電極３３の一部とがアクチュエータユニット２１内に形成された内部導電体路となっている。

なお、接着層６のフィレットは、アクチュエータユニット２１を流路ユニット４に接着するときに形成される。接着剤を流路ユニット４（キャビティプレート２２）の上面に塗布し、この接着剤をアクチュエータユニット２１と共に挟んで両者を固定するとき、押圧力を加えて、両者間の接着剤を所定厚の接着層６に形成する。このとき、余剰の接着剤は、一部が凹部３０内に回収される。残余の接着剤は、凹部３０に対向するアクチュエータユニット２１（圧電シート４３）の下面に広がりフィレットとなる。このフィレットの厚さや広がりは、押圧力や残余の接着剤の量、粘度、表面張力等で決まるものであるが、アクチュエータユニット２１の下面における端子４６の広がりが凹部３０の開口端近傍に達する程に形成されている。そのため、少なくともフィレットの一部は、端子４６と容易に接続可能となっている。

表面電極６１は、ＦＰＣ５０の独立した接地用の接続端子（図示せず）と半田で接合されているため、表面電極６１、端子４６を含む導通配線４７ｂ、４８ｂ、４９ｂ、共通電極３４及び補強電極３３の全てが接地されてグランド電位となっている。また、端子４６が凸部３０ａの上端面及び接着層６のフィレットと接することによって流路ユニット４と電気的に接続されているため、流路ユニット４もグランド電位となっている。本実施の形態では、表面電極６１は、図５に示すように、複数箇所に分散して形成されている。これらの表面電極６１と接続する共通電極３４は確実にグランド電位となり、その電気的信頼性も高い。さらに、端子４６は、上述のように、流路ユニット４に対して直接的及び間接的に接続されており、流路ユニット４と共通電極３４との間に確実に電位差が生じない構成となっている。

次に、アクチュエータユニット２１の駆動方法について述べる。アクチュエータユニット２１における圧電シート４１の分極方向はその厚み方向である。つまり、アクチュエータユニット２１は、上側（つまり、圧力室１０とは離れた）１枚の圧電シート４１を活性層が存在する層とし且つ下側（つまり、圧力室１０に近い）２枚の圧電シート４２，４３を非活性層とした、いわゆるユニモルフタイプの構成となっている。したがって、個別電極３５を正又は負の所定電位とすると、例えば電界と分極とが同方向であれば圧電シート４１中の電極に挟まれた電界印加部分が活性層として働き、圧電横効果により分極方向と直角方向に縮む。一方、圧電シート４２，４３は、電界の影響を受けないため自発的には縮まないので、上層の圧電シート４１と下層の圧電シート４２，４３との間で、分極方向と垂直な方向への歪みに差を生じることとなり、圧電シート４１〜４３全体が非活性側に凸となるように変形しようとする（ユニモルフ変形）。このとき、図８（ａ）に示したように、圧電シート４１〜４３の下面は圧力室を画定するキャビティプレート２２の上面に固定されているので、結果的に圧電シート４１〜４３は圧力室側へ凸になるように変形する。このため、圧力室１０の容積が低下して、インクの圧力が上昇し、ノズル８からインクが吐出される。その後、個別電極３５を共通電極３４と同じ電位に戻すと、圧電シート４１〜４３は元の形状になって圧力室１０の容積が元の容積に戻るので、インクをマニホールド５側から吸い込む。

なお、他の駆動方法として、予め個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にしておき、吐出要求があるごとに個別電極３５を共通電極３４と一旦同じ電位とし、その後所定のタイミングにて再び個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にすることもできる。この場合は、個別電極３５と共通電極３４とが同じ電位になるタイミングで、圧電シート４１〜４３が元の形状に戻る。これにより、圧力室１０の容積は初期状態（両電極の電位が異なる状態）と比較して増加し、インクが副マニホールド流路５ａ側から圧力室１０内に吸い込まれる。その後再び個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にしたタイミングで、圧電シート４１〜４３が圧力室１０側へ凸となるように変形し、圧力室１０の容積低下によりインクへの圧力が上昇し、インクが吐出される。

以上説明した第１の実施の形態によると、共通電極３４と電気的に接続された端子４６と流路ユニット４に形成された凹部３０内の凸部３０ａとの接着部分がアクチュエータユニット２１及び流路ユニット４によって閉じられた空間内に存在するために、この接着部分に外部からの不測の力が直接加えられることがない。したがって、端子４６と凸部３０ａとの電気的接続が解除されにくく、高い信頼性で流路ユニット４と共通電極３４とを電気的に接続することができる。さらに、製造過程において軟らかい導電性部材の端部（端子４６）と凸部３０ａとを接触させることにより、凸部３０ａと接触した導電性部材の端部が凸部３０ａの表面に沿って変形する。そのため、アクチュエータユニット２１と流路ユニット４との接着を導電性部材が阻害することがなく、しかも導電性部材の端部と凸部３０ａとの接触面積が大きくなって両者の電気的接続の信頼性が高まる。

また、凹部３０の底面までの深さと凸部３０ａの高さとが同じであるため、端子４６と凸部３０ａとが確実に接する。

さらに、端子４６が凸部３０ａの外周面と接触しているため、凸部３０ａの先端に付着した接着剤を製造過程において取り去らなくても、端子４６と凸部３０ａとが電気的に接続される。したがって、接着剤除去工程を行う必要がなくなって、接着剤除去工程で発生する細かいゴミによってノズル８が詰まるおそれがなくなる。

また、凹部３０が凸部３０ａによって環状に画定されているため、製造過程において導電性部材の端部（端子４６）と凸部３０ａとを接触させることにより、凸部３０ａと接触した導電性部材の端部が凹部３０内にまで拡がったとしても、アクチュエータユニット２１と流路ユニット４との間にまで導電性部材の端部が拡がらない。したがって、加圧時にアクチュエータユニット２１を破損させることがない。

さらに、端子４６が凸部３０ａの外周面を環状に被覆しているため、端子４６と凸部３０ａとの接触面積が非常に大きくなり、両者の電気的接続の信頼性をより高めることができる。

このとき、孔４９ａの開口の径が凹部３０の外縁の径よりも小さく且つ凹部３０の内縁の径より大きくなっているため、製造過程において、凸部３０ａと接触した導電性部材の端部が凹部３０内にまで拡がりやすくなるものの、凹部３０の容積を十分に大きく取ることができるので、アクチュエータユニット２１と流路ユニット４との間にまで導電性部材の端部が拡がることがない。

加えて、平面視において、多数の端子４６及び凹部３０が圧力室群９を取り囲むように配置されているため、圧力室１０同士の間に端子４６が配置されることなく圧力室１０を高密度に形成することができる。また、多数の端子４６と凸部３０ａとが接するため、共通電極３４と流路ユニット４とがより信頼性高く電気的に接続される。

また、平面視において、表面電極６１と端子４６とが互いに重ならないように配置されているため、表面電極６１とＦＰＣ５０の接続端子とを接合するときに表面電極６１が加圧されても、端子４６が流路ユニット４の表面に支えられて、端子４６の周辺に応力が集中しにくくなる。これにより、端子４６がアクチュエータユニット２１から外れない。

さらに、端子４６と流路ユニット４とが導電性接着剤からなる接着層６を介して電気的に接続されることになるため、共通電極３４と流路ユニット４とがより信頼性高く電気的に接続される。

加えて、アクチュエータユニット２１の表面に端子４６と電気的に接続された多数の表面電極６１が配置されているため、製造過程においてＦＰＣ５０に形成された共通電極３４用の複数の接続端子と複数の表面電極６１とを接合することによって、端子４６への給電が可能になるので、端子４６の電位を制御するための配線構造を簡略化することができる。さらに、これによってアクチュエータユニット２１とＦＰＣ５０との機械的な接合強度が高くなる。

なお、第１の実施の形態の一変形例として、図１０に示すように、平面視において、各圧電シート４１'〜４３'内を延在する導通配線４７ｂ'と導通配線４９ｂ'とが互いに重なるように、且つ、導通配線４８ｂ'と導通配線４７ｂ'、４９ｂ'とが互いに重ならないようにアクチュエータユニット２１'を構成してもよい。このとき、平面視において、表面電極６１'と導通配線４９ｂ'の下端に形成された端子４６'とが重なるように配置されている。つまり、表面電極６１'が端子４６'の対向端子となっている。これによると、アクチュエータユニット２１'内において導通配線４７ｂ'〜４９ｂ 'が占有する領域を小さくすることができる。また、製造工程において、流路ユニット４'とアクチュエータユニット２１'とを接着するときに、表面電極６１'を介して端子４６'が加圧される。これによって、端子４６'と凸部３０ａ'とを確実に電気的に接合することができる。さらに、表面電極６１'に加えられる押圧力は、表面電極６１'の直下にある凹部３０周辺にも直接伝えられるので、接着層６のフィレットを形成しやすくなる。この接着層６が、第１の実施の形態のように、導電性の接着剤であれば、表面電極６１'と流路ユニット４との確実な電気的接合を実現する上で有利に働く。この効果は、平面視において、表面電極６１'の少なくとも一部が、凹部３０と重なりをもつように形成されていれば得られる。さらに、ＦＰＣ５０に形成された複数の接地用の接続端子と複数の表面電極６１'とを接合することによって、端子４６'を容易に接地することができる。また、アクチュエータユニット２１'とＦＰＣ５０との機械的な接合強度が高くなる。

＜第２の実施の形態＞
次に、本発明に係る第２の実施の形態のインクジェットヘッドについて図面を参照しつつ説明する。なお、第１の実施の形態と同じ部材については、同一の符号を付してその説明を省略する。図１１は、第２の実施の形態のインクジェットヘッドが有するヘッド本体１７０の部分拡大平面図である。なお、図１１においては、アクチュエータユニットの陰になる圧力室１０を破線で示している。図１２は、図１１に示すXII−XII線における断面図である。図１３は、図１２に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大断面図である。図１１〜図１３に示すように、ヘッド本体１７０は、インク流路が形成された流路ユニット１０４と、流路ユニット１０４の上面に形成された導電性接着剤からなる接着層６によって接着されたアクチュエータユニット１２１とを含んでいる。

流路ユニット１０４は、キャビティプレート１２２を除いて第１の実施の形態における流路ユニット４と実質的に同じ構造を有している。流路ユニット１０４の最上層にあるキャビティプレート１２２の上面には、表面電極１６１と対向するように配置された凹部１３０が多数形成されている。凹部１３０は、円筒形状を有しており、その底面の中心から凹部１３０と同心の円柱形状を有する凸部１３０ａがアクチュエータユニット１２１に向かって突出している。したがって、凸部１３０ａに画定された凹部１３０が平面視において環状となっている（図７参照）。また、凹部１３０の深さと凸部１３０ａの高さとが同一となっている。つまり、凸部１３０ａの上端面が流路ユニット１０４の上面と同一平面上にある。

アクチュエータユニット１２１上には、平面形状がほぼ菱形で圧力室１０よりも一回り小さい個別電極３５が、圧力室１０と対向するようにマトリクス状に配列されている。そして、インクジェットヘッド１の長手方向（個別電極３５の幅方向）に隣接した２つの個別電極３５に係る２つの補助電極領域３５ｂ間を結ぶ線分の中心には、それぞれ、円盤状の表面電極１６１が配置されている。各補助電極領域３５ｂには、第１の実施の形態と同様に、ランド３６がそれぞれ形成されている。１つの圧力室１０に関しては、ランド３６と反対側のほぼ対称の位置に、１つの表面電極１６１が配置されている。そのため、３個のランド３６と３個の表面電極１６１とが、６角形のいずれかの頂点に位置する形態で１つの圧力室１０を包囲している。このうち、表面電極１６１についてみれば、三角形のいずれかの頂点に位置しこの圧力室１０を包囲している。なお、ＦＰＣ５０に設けられた個別電極３５に対応する各接続端子が、ランド３６と電気的に接合されている（図示せず）。

アクチュエータユニット１２１は、３枚の圧電シート４１、４２、４３が積層された積層構造を有している。このうち、最上層の圧電シート４１上に、個別電極３５及び表面電極１６１が配置されている。最上層の圧電シート４１とその下側の圧電シート４２との間には、シート全面に形成された共通電極３４が介在している。さらに、圧電シート４１とその下側の最下層の圧電シート４３との間には、共通電極３４と同様にシート全面に形成された補強電極３３が介在している。なお、本実施の形態では、表面電極１６１と共通電極３４との電気的な接続はされていない。

圧電シート４２、４３には、平面視において互いに重ならないように各シートの厚み方向に貫通した孔１４８ａ、１４９ａが形成されている。このとき、圧電シート４３の孔１４９ａと凹部１３０とが、平面視において各開口の中心が一致するように対向している。また、凹部１３０の外縁の径が孔１４９ａの開口の径よりも大きく、凹部１３０の内縁の径が孔１４９ａの開口の径よりも小さくなっている（図７参照）。孔１４８ａ、１４９ａ内には、筒状のスルーホール電極１６２ｂ、１６２ｃが配置されている。スルーホール電極１６２ｂの上端面が共通電極３４と電気的に接合されている。また、スルーホール電極１６２ｂとスルーホール電極１６２ｃとが補強電極３３を介して電気的に接続されている。スルーホール電極１６２ｃの下端面がアクチュエータユニット２１の下面（流路ユニット４との接着面）と同一平面上にある。このように、アクチュエータユニット１２１内には、２つの圧電シート４２、４３に設けられたスルーホール電極１６２ｂ、１６２ｃからなり、共通電極３４を電気的な導電路の一部とする筒状の内部配線（第３の内部配線）が形成されている。この内部配線は、表面電極１６１と絶縁されているが、さらに補強電極３３を導電路の一部に含んでいる。

スルーホール電極１６２ｂ、１６２ｃ内にはそれぞれＡｇ−Ｐｄの混合剤からなる導電性部材が埋め込まれており、この導電性部材が導通配線１４８ｂ、１４９ｂとなっている。各導通配線１４８ｂ、１４９ｂは、各圧電シート４２、４３の厚さ方向に延在している。これにより、中間層でスルーホール電極１６２ｂと導通配線１４８ｂとが、最下層でスルーホール電極１６２ｃと導通配線１４９ｂとがそれぞれ電気的に接合されている。そして、導通配線１４８ｂの上端面が共通電極３４に、下端面が補強電極３３にそれぞれ電気的に接合されている。さらに、導通配線１４９ｂの上端面が補強電極３３に電気的に接合されており、下端面がアクチュエータユニット１２１の下面から流路ユニット１０４に向かって突出して端子１４６を形成している。つまり、アクチュエータユニット１２１内には、２つの圧電シート４２、４３に設けられた導通配線１４８ｂ、１４９ｂからなり、共通電極３４を電気的な導電路の一部とする別の内部配線（第４の内部配線）が形成されている。この内部配線も、表面電極６１と絶縁されているが、さらに補強電極３３をその一部に含んでいる。このとき、上述の第３の内部配線は、その内側に第４の内部配線が配設されて、並列の導電路を構成している。また、第３の内部配線は、その他端において、突出した端子１４６を有する導通配線１４９ｂ（導電性部材）が配置されている。なお、ここでは、平面視において、表面電極１６１と端子１４６とが互いに重なるように配置されていると共に３つの端子１４６が各圧力室１０を取り囲んでいる。つまり、表面電極１６１が端子１４６の対向端子となっている。

端子１４６は、その中心部が下方に向かって凸となった円盤形状を有しており、流路ユニット１０４の上面に形成された凹部１３０と対向している。平面視において、端子１４６の外径が孔１４９ａの開口の径よりも大きくなっている。言い換えれば、端子１４６の外縁の全てが、孔１４９ａの外縁より径方向の外側に位置している。このとき、端子１４６の外径が、凹部１３０の外縁の径よりも小さく、且つ、凹部１３０の内縁の径よりも大きくなっている。そのため、アクチュエータユニット１２１と流路ユニット１０４との接着界面から端子１４６が離隔しており、接着時の両者に加えられる押圧力でアクチュエータユニット１２１を破損することもない。また、第１の実施の形態と同様に、端子（Ａｇ−Ｐｄ系導電性材料）１４６は、比較的軟らかい。そのため、図１３に示すように、加えられる押圧力により、凸部１３０ａの先端が端子１４６内に容易に入り込む。このとき、端子１４６が凸部１３０ａの外周面と接触しており、端部１４６が凸部１３０ａの外周面を環状に被覆する。これによって、端子１４６と流路ユニット１０４とが凸部１３０ａを介して電気的に接続されている。

また、端子１４６の側面（周縁部）と凹部１３０の内壁面との間には、第１の実施の形態と同様に、接着層６のフィレットが形成されている。これにより、端子１４６と流路ユニット１０４とが接着層６のフィレットを介して電気的に接続されている。さらに、第３の内部配線と第４の内部配線とから構成された内部導電体路により、共通電極３４が端子１４６を介して流路ユニット１０４に電気的に接合されている。つまり、スルーホール電極１６２ｂ、１６２ｃと、導通配線１４８ｂ、１４９ｂと、これらと接合している共通電極３４及び補強電極３３の一部とがアクチュエータユニット１２１内に形成された内部導電体路となっている。なお、表面電極１６１と内部導電体路及び個別電極とは、電気的に絶縁されている。

共通電極３４が図示していない箇所で接地されているため、端子１４６を含む導通配線１４８ｂ、１４９ｂ及び補強電極３３の全てが接地されてグランド電位となっている。また、端子１４６と電気的に接続されている流路ユニット１０４もグランド電位となっている。つまり、流路ユニット１０４と共通電極３４との間に電位差が生じない構成となっている。さらに、押圧力が加わる表面電極１６１、端子１４６及び凸部１３０ａが、平面視で互いに重なる関係にあることから、流路ユニット１０４と共通電極３４とが確実に接続される構成となっている。

インクジェットヘッドの製造工程は、第１の実施の形態と実質的に同じであるため、説明を省略する。

以上説明した第２の実施の形態によると、共通電極３４と電気的に接続された端子１４６と流路ユニット１０４に形成された凸部１３０ａとの接触部分がアクチュエータユニット１２１及び流路ユニット１０４によって閉じられた空間内に存在するために、この接触部分に外部からの不測の力が直接加えられることがない。したがって、端子１４６と凸部１３０ａとの電気的接続が解除されにくく、高い信頼性で流路ユニット１０４と共通電極３４とを電気的に接続することができる。さらに、製造過程において導電性部材の端部（端子１４６）と凸部１３０ａとを接触させることにより、凸部１３０ａと接触した導電性部材の端部が凸部１３０ａの表面に沿って変形する。そのため、アクチュエータユニット１２１と流路ユニット１０４との接着を導電性部材が阻害することがなく、しかも導電性部材の端部と凸部１３０ａとの接触面積が大きくなって両者の電気的接続の信頼性が高まる。

また、凹部１３０が凸部１３０ａによって環状に画定されているため、製造過程において導電性部材の端部（端子１４６）と凸部１３０ａとを接触させることにより、凸部１３０ａと接触した導電性部材の端部が凹部１３０内にまで拡がったとしても、アクチュエータユニット１２１と流路ユニット１０４との間にまで導電性部材の端部が拡がらない。したがって、加圧時にアクチュエータユニット１２１を破損させることがない。

さらに、各圧力室１０が、平面視において、３つの端子１４６に取り囲まれているため、製造工程において流路ユニット１０４とアクチュエータユニット１２１とを接着するときに、表面電極１６１を介して各端子１４６が均一に加圧される。さらに、表面電極１６１に加えられる押圧力は、表面電極１６１の直下にある凹部１３０周辺にも直接伝えられるので、接着層６のフィレットを形成しやすくなる。本実施の形態では、この接着層６が導電性の接着剤であるので、表面電極１６１と流路ユニット４との確実な電気的接合と高い機械的強度を実現する上で有利に働く。この効果は、平面視において、表面電極１６１の少なくとも一部が、凹部１３０と重なりをもつように形成されていれば得られる。

なお、本実施の形態の一変形例として、図１４に示すように、各表面電極１６１とこれに対応する各個別電極３５とを延在電極１６１ａを介して電気的に接続し、さらに表面電極１６１とＦＰＣ上に形成された接続端子とを接合するようにしてもよい。これによると、個別電極３５とＦＰＣとの電気的接続経路や接合部位が２つになるので、個別電極３５に関する電気的接続の信頼性を高めることができる。また、接合部位が増えることから、ＦＰＣ５０とアクチュエータユニット１２１との機械的な接合強度が高くなる。

以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。例えば、上述した第１及び第２の実施の形態においては、凸部３０ａ、１３０ａの高さが凹部３０、１３０の深さと同じになっているが、凸部３０ａ、１３０ａの高さが凹部３０、１３０の深さよりも小さくなっていてもよい。この場合、凸部３０ａ、１３０ａは少なくとも端子４６、１４６の先端部と当接する高さを有していることが好適である。このような形態では、凸部３０ａ、１３０ａの頭頂部に接着剤が塗布されない。特に、絶縁性の接着剤を用いた場合には、接着剤のフィレットを介して電気的に接続することはないが、端子４６、１４６に対して、凸部３０ａ、１３０ａがその外周面及び頭頂部で電気的に接続されることになる。このとき、端子４６、１４６と凸部３０ａ、１３０ａとの接触面積の割には、押圧時のアクチュエータユニット２１、１２１への機械的な負担が少なくてすむ。

また、第１及び第２の実施の形態においては、凹部３０、１３０及び凸部３０ａ、１３０ａが円柱形状を有しており、凸部３０ａ、１３０ａに画定されることによって凹部３０、１３０が環状となる構成であるが、端子４６、１４６が凸部と接するものであれば凹部及び凸部の形状はこれに限定されるものではない。例えば、凹部及び凸部の少なくともいずれかが角柱形状を有していてもよいし、凹部が環状となっていなくてもよい。

さらに、第１の実施の形態においては、導通配線４７ｂ、４８ｂ、４９ｂが、平面視において圧力室群９を取り囲むように多数配置され、第２の実施の形態においては、導通配線１４８ｂ、１４９ｂが、平面視において圧力室１０を取り囲むように配置される構成であるが、導通配線４７ｂ、４８ｂ、４９ｂ、１４８ｂ、１４９ｂは、圧力室群９又は圧力室１０を取り囲むように配置されていなくてもよい。また、導通配線４７ｂ、４８ｂ、４９ｂ、１４８ｂ、１４９ｂがそれぞれ１つであってもよい。

また、第１及び第２の実施の形態においては、アクチュエータユニット２１、１２１において、導通配線４７ｂ、４８ｂ、４９ｂ、１４８ｂ、１４９ｂが孔４７ａ、４８ａ、４９ａ、１４８ａ、１４９ａ内に埋め込まれることによって各圧電シート４１〜４３の厚さ方向に延在する構成であるが、導通配線４７ｂ、４８ｂ、４９ｂ、１４８ｂ、１４９ｂの少なくとも１つが厚さ方向以外に延在する構成であってもよい。

加えて、第１及び第２の実施の形態においては、接着層６が導電性接着剤で構成されているが、上記において一部説明したように、接着層が絶縁性の接着剤で構成されてもよい。

さらに、第１及び第２の実施の形態においては、導通配線４９ｂ、１４９ｂの下端面に形成された端子４６、１４６が、その中心部が下方に向かって凸となった円盤形状を有する構成であるが、端子４６、１４６の形状はこれに限定されるものではなく中心部以外が下方に向かって凸となっていてもよいし、円盤形状以外の形状を有していてもよい。さらに、端子４６、１４６の外縁の全てが、孔４９ａ、１４９ａの外縁より径方向の外側に位置する構成であるが、端子４６、１４６の外縁の一部のみが、孔４９ａ、１４９ａの外縁より径方向の外側に位置する構成であってもよいし、端子４６、１４６の外縁の全てが、孔４９ａ、１４９ａの外縁より径方向の内側に位置する構成であってもよい。

加えて、第１及び第２の実施の形態においては、アクチュエータユニット２１、１２１において、孔４７ａ、４８ａ、４９ａ、１４８ａ、１４９ａ内にスルーホール電極６２ａ、６２ｂ、６２ｃ、１６２ｂ、１６２ｃが配置される構成であるが、孔４７ａ、４８ａ、４９ａ、１４８ａ、１４９ａ内にスルーホール電極６２ａ、６２ｂ、６２ｃ、１６２ｂ、１６２ｃが配置されない構成であってもよい。このとき、孔４７ａ、４８ａ、４９ａ、１４８ａ、１４９ａ内に導通配線４７ｂ、４８ｂ、４９ｂ、１４８ｂ、１４９ｂが直接埋め込まれていればよい。

また、第２の実施の形態においては、表面電極１６１が個別電極３５及び端子１４６と電気的に絶縁された構成であるが、表面電極１６１が個別電極３５と電気的に絶縁され且つ端子１４６と電気的に接続された構成であってもよい。これにより、少なくともＦＰＣ５０とアクチュエータユニット１２１との接合部位が増えるので、両者間の機械的な接合強度が高くなる。さらに、ＦＰＣ５０において、表面電極１６１に対応する接続端子が接地配線と接続されていれば、共通電極３４及び流路ユニット１０４を確実にグランド電位とすることができる。このとき、複数の表面電極１６１を接地配線と接続することで、その電気的信頼性が高くなる。

さらに、第１及び第２の実施の形態においては、アクチュエータユニット２１、１２１の表面に表面電極６１、１６１が配置されているが、表面電極６１、１６１が配置されていなくてもよい。このとき、第１の実施の形態においては、共通電極３４を他の経路で接地させればよい。

導電性部材としては、加熱処理以外の処理を施すことで硬化するもの、加熱処理などの処理を施しても硬化しないものを用いてもよい。

さらに、第１及び第２の実施の形態においては、端子４６、１４６が、凸部３０ａ、１３０ａを被覆することによって、凸部３０ａ、１３０ａの外周面と接触する状態であるが、端子が凸部３０ａ、１３０ａの先端とだけ接触しておりその外周面と接触していない状態であってもよい。さらに、端子が凸部３０ａ、１３０ａの外周面と接触している場合においても、端子が凸部３０ａ、１３０ａの外周面を環状に被覆している必要はない。端子で被覆された外周面を介して、電気的な接続が確実に確保される。

本発明の第１の実施の形態によるインクジェットヘッドの外観斜視図である。 図１のII−II線に沿った断面図である。 図２に示すヘッド本体を上面から見た平面図である。 図３に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大平面図である。 図３に示すヘッド本体における１つのアクチュエータユニットが配置されている１つの接着領域のみを示した部分平面図である。 図４に示すVI−VI線における断面図である。 図４に描かれた凹部の平面図である。 （ａ）は図６に描かれた１点鎖線で囲まれた領域の部分拡大断面図であり、（ｂ）はアクチュエータユニットの部分拡大平面図である。 図８に描かれた１点鎖線で囲まれた領域の部分拡大断面図である。 第１の実施の形態に係る一変形例を示すアクチュエータユニットの部分拡大断面図である。 本発明の第２の実施の形態によるインクジェットヘッドが有するヘッド本体の部分拡大平面図である。 図１１に示すXII−XII線における断面図である。 図１２に描かれた１点鎖線で囲まれた領域の部分拡大断面図である。 第２の実施の形態に係る一変形例を示すヘッド本体の部分拡大断面図である。

符号の説明

１ インクジェットヘッド
４ 流路ユニット
６ 接着剤
８ ノズル
１０ 圧力室
２１ アクチュエータユニット
３０ 凹部
３０ａ 凸部
３３ 補強電極
３４ 共通電極
３５ 個別電極
４１〜４３ 圧電シート
４６ 端子
４７ｂ，４８ｂ，４９ｂ 導通配線

Claims (13)

1. 複数のノズルとそれぞれが前記ノズルと連通した複数の圧力室とを有する導電性材料からなる流路ユニットと、
   圧電層と、
   前記圧電層に積層された一又は複数の絶縁層と、
   それぞれが前記圧力室に対向する複数の個別電極と、
   前記複数の個別電極と共に前記圧電層を挟む共通電極と、
   前記流路ユニットと前記絶縁層のうちの最外層とを接着する接着層とを有するインクジェットヘッドであって、
   前記流路ユニットが、表面に形成された凹部及び前記凹部の底面から突出した凸部を有しており、
   前記流路ユニットとの接着面に開口する孔が前記最外層に形成されていると共に、前記共通電極と電気的に接続された導電性部材の少なくとも一部が前記孔内に埋め込まれており、
   前記導電性部材の前記接着面から突出した端部が前記凸部と接触し当該凸部と電気的に接続されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
2. 前記凹部の深さと前記凸部の高さとが同じであることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
3. 前記凹部が前記凸部によって環状に画定されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のインクジェットヘッド。
4. 前記端部が前記凸部の外周面と接触していることを特徴とする請求項３に記載のインクジェットヘッド。
5. 前記端部が前記凸部の外周面を環状に被覆していることを特徴とする請求項４に記載のインクジェットヘッド。
6. 前記凹部の外縁の径が、前記孔の径よりも大きく、前記凹部の内縁の径が前記孔の径よりも小さいことを特徴とする請求項４又は５に記載のインクジェットヘッド。
7. 前記導電性部材を複数備えていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
8. 前記圧電層と前記一又は複数の絶縁層とが積層された積層体における前記個別電極が配設された前記圧電層の表面に、前記複数の導電性部材の前記端部に対向するように配設された複数の対向端子をさらに有していることを特徴とする請求項７に記載のインクジェットヘッド。
9. 前記複数の対向端子のそれぞれが、前記端部に電気的に接続されていることを特徴とする請求項８に記載のインクジェットヘッド。
10. 前記複数の導電性部材に係る複数の前記端部が、平面視において、前記流路ユニットにおける前記圧電層に対向した領域内にある複数の前記圧力室を取り囲んでいることを特徴とする請求項７〜９のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
11. 前記対向端子は、前記個別電極と電気的に接続され、且つ、対応する前記端部と電気的に絶縁されていることを特徴とする請求項８に記載のインクジェットヘッド。
12. 前記圧力室が、平面視において、複数の前記端部に取り囲まれていることを特徴とする請求項７〜９、１１のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
13. 前記接着層が導電性接着剤からなり、前記端部が前記接着層と接触していることを特徴とする請求項１〜１２のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。

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