JP4934117B2 - ガス処理装置、ガス処理方法、および記憶媒体 - Google Patents
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Description
また、このようなガス処理方法を実行するプログラムを記憶した記憶媒体を提供することを目的とする。
この減圧処理においては、最初に開閉バルブ26を開成して、真空ポンプ12によりシリル化剤貯留タンク20内の真空引きを開始する(図3のt1)。このとき、急激な減圧による液体のシリル化剤の突沸を防止するためニードルバルブ27により排気流速を低速にすることが好ましい。この減圧処理によりシリル化剤貯留タンク20内の圧力が低下して行き、タンク20内が所定の真空圧、例えば1Torr(133.3Pa)になった時点(図3のt2)で、開閉バルブ26を閉成する。この減圧処理により、シリル化剤貯留タンク20内の空気が追い出される。
まず、所定のタイミング、例えばシリル化剤貯留タンク20内がシリル化剤の蒸気圧に達したタイミングでバルブ14を開成し、真空ポンプ12によりチャンバ2内の真空排気を開始する(図3のt3)。これにより、チャンバ2内の圧力が低下して行き、チャンバ2内が所定の真空圧、例えば1Torr(133.3Pa)になった時点(図3のt4)で、開閉バルブ14を閉成し、開閉バルブ23を開成する。
最初に、開閉バルブ14を開成して、大気圧(760Torr)のチャンバ2を真空排気し、1Torrの真空圧に達した時点で、上述したように開閉バルブ14を閉成し、開閉バルブ23を開成してチャンバ2内にシリル化剤であるTMSDMAを供給する。そして、チャンバ2内が処理圧である55Torrに達した時点で開閉バルブ23を閉成し、チャンバ2内を処理圧に維持してシリル化処理を開始する。すなわち、処理圧である55TorrのTMSDMA雰囲気がチャンバ2内に形成されることにより、チャンバ2内のウエハWに存在するダメージを受けたLow−k膜の表面でシリル化反応が生じ、ダメージを受けて末端基がOH基となった部分が改質されて、末端基がメチル基等となる。
処理時間:150sec
ホットプレート温度:120〜160℃
TMSDMA供給体積:0.21mL/ウエハ
TMSDMA温度:室温
チャンバ容積:500mL
N2ガス流量:6L/min
また、チャンバ2の真空排気を開始してからシリル化処理を開始するまでの時間は10〜15sec程度が例示され、シリル化処理が終了してからチャンバ2を大気開放するまでの時間は40〜45sec程度が例示される。
2;チャンバ
3;下部容器
4;蓋体
5;ホットプレート
6;ヒータ
9;シリル化剤供給配管(接続配管)
11;チャンバ排気管
12;真空ポンプ
13;圧力センサ(チャンバ圧力センサ)
14,16,23,26,30;開閉バルブ
15;バイパス配管
17,24,27,29;ニードルバルブ
20;シリル化剤貯留タンク(原料貯留容器)
22;圧力センサ(容器圧力センサ)
25;タンク排気管
28;パージガス配管
40;制御部
41;コントローラ
42;ユーザーインターフェース
43;記憶部(記憶媒体)
W;半導体ウエハ(被処理基板)
Claims (13)
- 液体原料を気化させて生成された処理ガスにより被処理基板にガス処理を施すガス処理装置であって、
前記液体原料を貯留する原料貯留容器と、
被処理基板が収容され、前記処理ガスの雰囲気が形成されるチャンバと、
前記原料貯留容器を真空排気する容器排気機構と、
前記チャンバを真空排気するチャンバ排気機構と、
前記原料貯留容器と前記チャンバとを接続する接続配管と、
前記接続配管に設けられた開閉バルブと、
前記原料貯留容器内の圧力を検出する容器圧力センサと、
前記チャンバ内の圧力を検出するチャンバ圧力センサと、
前記容器排気機構、前記チャンバ排気機構、および前記開閉バルブを制御する制御機構と
を具備し、
前記制御機構は、
前記容器排気機構により前記原料貯留容器を真空排気して所定の真空圧とした後、排気を停止して前記原料貯留容器を密閉状態とし、前記原料貯留容器内の真空圧により、前記原料貯留容器内を液体原料が気化して形成された前記処理ガスの雰囲気とする第1の操作と、
前記チャンバ内に被処理基板を収容させた状態で、前記チャンバ排気機構により前記チャンバを真空排気して所定の真空圧とした後、排気を停止して前記チャンバ内を密閉状態とする第2の操作と、
前記開閉バルブを開成し、前記原料貯留容器から前記処理ガスを前記チャンバに流入させる第3の操作と、
前記チャンバ内の圧力が前記真空圧よりも高く、前記液体原料の蒸気圧よりも低い処理圧になった時点で前記開閉バルブを閉成し、前記処理圧の処理ガス雰囲気とする第4の操作とを含むシーケンスで制御することを特徴とするガス処理装置。 - 前記容器排気機構は、前記原料貯留容器に接続された容器排気管と、前記容器排気管に設けられた開閉バルブと、前記容器排気管に接続された真空ポンプとを有し、前記チャンバ排気機構は、前記チャンバに接続されたチャンバ排気管と、前記チャンバ排気管に設けられた開閉バルブと、前記チャンバ排気管に接続された真空ポンプとを有し、
前記容器排気機構および前記チャンバ排気機構は、前記真空ポンプを作動させた状態で、前記開閉バルブを開成することにより真空排気を行い、前記開閉バルブを閉成することにより前記原料貯留容器内および前記チャンバ内を密閉状態とすることを特徴とする請求項1に記載のガス処理装置。 - 前記容器排気機構と前記チャンバ排気機構とは共通の真空ポンプを有することを特徴とする請求項2に記載のガス処理装置。
- 前記容器排気管には、前記開閉バルブの下流側にニードルバルブが設けられていることを特徴とする請求項2または請求項3に記載のガス処理装置。
- 前記チャンバ排気機構は、前記開閉バルブをバイパスするバイパス配管を有し、前記バイパス配管には、開閉バルブと、その下流側に設けられたニードルバルブとを有することを特徴とする請求項2から請求項4のいずれか1項に記載のガス処理装置。
- 前記原料貯留容器は、前記処理ガスが前記チャンバに供給されて、前記接続配管に設けられた開閉バルブが閉成された後、貯留された液体原料の気化によりその中の圧力が上昇した状態となり、次の被処理基板の処理は、前記制御機構が、前記第2の操作以降、同様の操作で制御することにより行われることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載のガス処理装置。
- 前記制御機構が、前記第2の操作以降の操作を繰り返すことにより連続的に複数の被処理基板に対してガス処理を施すように制御することを特徴とする請求項6に記載のガス処理装置。
- 前記液体原料はシリル化剤であり、前記ガス処理は被処理体に対するシリル化処理であることを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか1項に記載のガス処理装置。
- 液体原料を貯留する原料貯留容器と、被処理基板が収容され、前記処理ガスの雰囲気が形成されるチャンバと、これらを接続する接続配管と、前記接続配管を開閉する開閉バルブとを有するガス処理装置を用いて、前記液体原料を気化させて生成された処理ガスにより被処理基板にガス処理を施すガス処理方法であって、
前記原料貯留容器を真空排気して所定の真空圧とした後、排気を停止して前記原料貯留容器を密閉状態とし、前記原料貯留容器内の真空圧により、前記原料貯留容器内を液体原料が気化して形成された前記処理ガスの雰囲気とする第1の工程と、
前記チャンバ内に被処理基板を収容させた状態で、前記チャンバを真空排気して所定の真空圧とした後、排気を停止して前記チャンバ内を密閉状態とする第2の工程と、
前記開閉バルブを開成し、前記原料貯留容器から前記処理ガスを前記チャンバに流入させる第3の工程と、
前記チャンバ内が前記真空圧よりも高く、前記液体原料の蒸気圧よりも低い処理圧になった時点で前記開閉バルブを閉成し、前記処理圧の処理ガス雰囲気とする第4の工程と
を有し、
前記処理圧の処理ガス雰囲気の前記チャンバ内で被処理基板にガス処理が施されることを特徴とするガス処理方法。 - 前記処理ガスが前記チャンバに供給されて、前記接続配管に設けられた開閉バルブが閉成された後、貯留された液体原料の気化により前記原料貯留容器内の圧力が上昇した状態となり、次の被処理基板の処理は、前記第2工程以降、同様の工程により行われることを特徴とする請求項9に記載のガス処理方法。
- 前記第2の工程以降の工程を繰り返すことにより連続的に複数の被処理基板に対してガス処理を施すことを特徴とする請求項10に記載のガス処理方法。
- 前記液体原料はシリル化剤であり、前記ガス処理は被処理体に対するシリル化処理であることを特徴とする請求項9から請求項11のいずれか1項に記載のガス処理方法。
- コンピュータ上で動作し、液体原料を貯留する原料貯留容器と、被処理基板が収容され、前記処理ガスの雰囲気が形成されるチャンバと、これらを接続する接続配管と、前記接続配管を開閉する開閉バルブとを有するガス処理装置を制御するためのプログラムが記憶された記憶媒体であって、前記プログラムは、実行時に、請求項9から請求項12のいずれかのガス処理方法が行われるようにコンピュータに処理装置を制御させることを特徴とする記憶媒体。
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