JP5597433B2 - 真空処理装置 - Google Patents
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Description
前記ロック室は、ベント用バルブを介して乾燥ガスを供給するガス供給路、前記ロック室を排気する真空ポンプおよび前記ロック室内の湿度を検出する湿度センサを備え、前記ロック室の排気に際して前記ベント用バルブを開いて前記乾燥ガスの供給を開始し、前記ロック室内の湿度が所定値以下となった後前記真空ポンプによる排気を開始する。
ここで、Z=0の場合は、真空排気は断熱的であり、3つの境界条件、即ち無限大の排気速度、ゼロに近い熱伝達速度、極端に大きなロック室のいずれかに対応する。Z=∞の場合は、真空排気は等温的であり、非常に遅い排気時間、高い熱伝達率、小さなロック室、等に対応する。
101 プラズマ処理室
102 真空搬送室
103 真空搬送ロボット
104 大気搬送室
105 大気搬送ロボット
106 ロック室
107 アライメントユニット
108 カセット
201 真空ポンプ
202 排気ライン
203 排気ライン
204 真空排気バルブ
205 真空排気系
206 ガスディフューザ
207 ベント用バルブ
208 レギュレータ
209 ベントガス供給系
210 制御部
211 湿度センサ
Claims (2)
- 複数のプロセス処理装置、該プロセス処理装置のそれぞれに試料を搬送するための真空搬送室、該真空搬送室内に設置され前記試料の搬送を行う真空搬送ロボットと、
大気中で、複数の前記試料を収納したカセットを備え、該カセット内に収納された前記試料を搬送するための大気搬送室、該大気搬送室内に配置され前記試料の搬送を行う大気搬送ロボットと、
前記真空搬送装置と前記大気搬送装置との間に配置されたロック室とを備えた真空処理装置において、
前記ロック室は、ベント用バルブを介して乾燥ガスを供給するガス供給路、前記ロック室を排気する真空ポンプおよび前記ロック室内の湿度を検出する湿度センサを備え、前記ロック室の排気に際して前記ベント用バルブを開いて前記乾燥ガスの供給を開始し、前記ロック室内の湿度が所定値以下となった後前記真空ポンプによる排気を開始することを特徴とする真空処理装置。 - 複数のプロセス処理装置、該プロセス処理装置のそれぞれに試料を搬送するための真空搬送室、該真空搬送室内に設置され前記試料の搬送を行う真空搬送ロボットと、
大気中で、複数の前記試料を収納したカセットを備え、該カセット内に収納された前記試料を搬送するための大気搬送室、該大気搬送室内に配置され前記試料の搬送を行う大気搬送ロボットと、
前記真空搬送装置と前記大気搬送装置との間に配置されたロック室とを備えた真空処理装置において、
前記ロック室は、ベント用バルブを介して乾燥ガスを供給するガス供給路、前記ロック室を排気する真空ポンプおよび前記ロック室内の湿度を検出する湿度センサを備え、前記ロック室の排気に際して当該排気の初期に前記ベント用バルブを開いて前記乾燥ガスを供給しつつ排気を行い、前記ロック室内の圧力が所定値以下となった後前記真空ポンプによる排気の量を増大せしめることを特徴とする真空処理装置。
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