JP4930740B2 - カラーフィルタの欠陥修正方法 - Google Patents
カラーフィルタの欠陥修正方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4930740B2 JP4930740B2 JP2001051030A JP2001051030A JP4930740B2 JP 4930740 B2 JP4930740 B2 JP 4930740B2 JP 2001051030 A JP2001051030 A JP 2001051030A JP 2001051030 A JP2001051030 A JP 2001051030A JP 4930740 B2 JP4930740 B2 JP 4930740B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- defect
- colored layer
- color filter
- foreign matter
- colored
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラス基板等のベース基板の一面上に着色層が形成された、液晶ディスプレイ用等のカラーフィルタを、顔料分散法、染色法等により作製する際の、フィルタ部の欠陥の修正方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、パーソナルコンピュータ、携帯電話の普及に伴い、パーソナルコンピュータ用の液晶ディスプレイ、携帯電話用の液晶ディスプレイの需要が増加する傾向にあり、これらの液晶ディスプレイには、画素の精細化とコストダウンが、益々、求められるようになってきている。
このような中、これらの液晶ディスプレイ用のカラーフィルタについても、益々の、画素の精細化と、その製造のコストダウンが求められている。
これら液晶ディスプレイ用のカラーフィルタの製造については、従来より、▲1▼顔料分散法、▲2▼染色法、▲3▼電着法、▲4▼印刷法、▲5▼インクジェット法が知られている。
▲1▼顔料分散法は、基板上に顔料を分散した感光性樹脂層を形成し、これをパターニングすることにより単色のパターンを得る工程を、3回繰り返すことにより、R,G,Bのカラーフィルタ層を形成する。
▲2▼染色法は、ガラス基板上に染色用の材料である水溶性高分子材料を塗布し、これをフォトリソグラフィー工程により所望の形状にパターニングした後、得られたパターンを染色浴に浸漬して着色されたパターンを得る工程を、3回繰り返すことによりR,G,Bのカラーフィルタ層を得る。
▲3▼電着法は、基板上に透明電極をパターニングし、顔料、樹脂、電解液等の入った電着塗装液に浸漬して第1の色を電着する工程を、3回繰り返してR,G,Bを塗り分けた後、樹脂を熱硬化させることにより表色層を形成するものである。
▲4▼印刷法は、熱硬化型の樹脂に顔料を分散させ、印刷を3回繰り返すことによりR,G,Bを塗り分けた後、樹脂を熱硬化させることにより着色層を形成するものである。
▲5▼インクジェット法は、ノズルないしオリフィス等の開口から着色剤を含む液(以下、インクないしペーストとも言う)を吐出してカラーフィルタ部を形成するものである。
【0003】
これら▲1▼〜▲4▼の方法に共通している点は、R,G,Bの3色を着色するために同一の工程を3回繰り返す必要があり、コスト高になることである。
また、工程が多いほど歩留まりが低下するという問題点を有している。
さらに、▲1▼顔料分散法、▲2▼染色法では、ガラス基板への感光剤塗布工程では、スピンコーターを使用することが主流であり、その使用量が多くなるという問題や、塗布精度が均一ではないという問題もある。
さらに、▲3▼電着法においては、形成可能なパターン形状が限定されるため、現状の技術ではTFT方式のカラー液晶ディスプレイには適用が難しい。
また、▲4▼印刷法は、解像性、平滑性が悪いためファインピッチのパターンは形成が難しい。
▲5▼インクジェット法は、これら▲1▼〜▲4▼の方法の欠点を補う製造方法として、種々提案されており、最近では、特に、携帯電話用の液晶ディスプレイの急速の普及に伴い、特にコストダウンを目的として注目されるようになってきた。
しかし、▲5▼インクジェット法では、インクジェットの制御、調整が必要で、且つ難しいという問題があり、まだ実用段階とは言えない。
【0004】
このため、画素の精細化が求められる液晶ディスプレイ用のカラーフィルタの製造方法としては、現状では、▲1▼顔料分散法、▲2▼染色法が主流となっているが、▲1▼顔料分散法、▲2▼染色法においては、R,G,Bの3色を着色するために同一の工程を3回繰り返す必要があり、工程全体が長く複雑となっており、作成されたフィルタ部に欠陥を有することが多々あるため、欠陥部を修正する修正工程が必要に応じて行われている。
カラーフィルタの製造工程において、フォトリソグラフィー用のマスクへの異物等の付着、露光不良等により、黒欠陥(突起欠陥を含む)、白欠陥(欠け欠陥を含む)等の欠陥を生じることがある。
クリーンルーム等の発塵量の少ない環境においても、完全には異物の付着を防止することは困難である。
これら欠陥部の修正方法としては、従来、欠陥部分にYAGレーザ(第2高調波)を照射し、欠陥部を含む領域の欠陥あるいは着色レジストの除去を行ない、除去部分に対応する所定の色のインキを塗布する方法が採られていたが、修正歩留まりが悪く問題となっていた。
詳しくは、従来の欠陥修正方法においては、YAGレーザ(第2高調波)を照射して、除去部分にそのままインキを塗布すると、除去部分のガラスの濡れ性と周辺の着色レジスト部分の濡れ性の違いから着色レジスト方向に修正インキが引きよせられて、除去部分に残るインキ量が少なくなるという欠点があり、修正の成功率は著しく低かった。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、液晶ディスプレイ用のカラーフィルタを、顔料分散法、染色法等にて作製する際、欠陥部の修正歩留まりが悪く、その対応が求められていた。
本発明は、これに対応するもので、液晶ディスプレイ用のカラーフィルタを、顔料分散法、染色法等にて作製する際、欠陥部の修正を歩留まり良くできる修正方法を提供しようとするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明のカラーフィルタの欠陥修正方法は、ベース基板の一面上に着色層が形成された、フィルタ部の欠陥の修正方法であって、着色層からなる着色パターン領域内に着色層の無いぬけ部を有する白欠陥に対しては、そのまま、着色層からなる着色パターン領域内に異物を含む異物欠陥に対しては、異物とその周辺の着色層を除去し、前記異物欠陥を含む領域をぬけ部として新たに白欠陥を形成する白欠陥形成工程を施した後、順に、ぬけ部に低圧水銀灯またはエキシマUVランプを光源とする紫外線をそのぬけ部の寸法に合わせて照射しベース基板の濡れ性を高める紫外線照射工程、紫外線が照射されたぬけ部に対応する色の修正用インキをディスペンサ、マイクロシリンジ、塗布針のいずれかにより充填する修正用インキ充填工程を行なうことを特徴とするものである。そして、上記の紫外線照射工程において、ぬけ部を照射する紫外線が、260nm以下の波長の紫外線を短波長紫外線としている。そしてまた、上記において、異物欠陥に対して、新たに白欠陥を形成する白欠陥形成工程は、異物欠陥を含む領域に第2、3、4高調波のいずれか1つまたは複数からなるYAGレーザを 照射し、異物を除去し、前記異物欠陥を含む領域をぬけ部とするものであることを特徴とするものである。
【0007】
【作用】
本発明のカラーフィルタの欠陥修正方法は、このような構成にすることにより、液晶ディスプレイ用のカラーフィルタを、顔料分散法、染色法等にて作製する際、欠陥部の修正を歩留まり良くできる修正方法の提供を可能としている。具体的には、着色パターン内に着色層の無いぬけ部を有する白欠陥に対しては、そのまま、着色層からなる着色パターン領域内に異物を含む異物欠陥に対しては、異物を除去し、前記異物欠陥を含む領域をぬけ部として新たに白欠陥を形成する白欠陥形成工程を施した後、順に、ぬけ部に紫外線を照射する紫外線照射工程、紫外線が照射されたぬけ部に対応する色の修正用インキをディスペンサ等により、充填する修正用インキ充填工程とを行なうことにより、これを達成している。即ち、ぬけ部に紫外線を照射することにより、修正用インキの塗布性能を向上させることができ、カラーフィルタの高品位修正を可能としている。
【0008】
特に、ぬけ部を照射する紫外線が短波長紫外線である場合、着色層の不要な残さや除去した異物の汚れや残さを除去でき、ぬけ部の露出したベース基板面の濡れ性を、紫外線を照射しない場合に比べ、向上させることができる。
短波長紫外線の光源としては、低圧水銀灯、あるいはエキシマUVランプが挙げられる。
着色層の不要な残さや、除去した異物の汚れや残さの除去を、ここで、低圧水銀灯による照射の場合を例にとり、簡単に説明しておく。
低圧水銀灯は185nm、254nmの短波長紫外線を放射する。
185nmのような短波長紫外線は光エネルギーが強く、有機物の分子結合を切断すると言われている。
一方、185nm紫外線は、空気中の酸素O2 に吸収されてオゾンO3 を発生し、このオゾンに254nmの紫外線が吸収されると、励起酸素原子が発生する。
したがって、低圧水銀灯により、ぬけ部に185nm、254nmの短波長紫外線を放射すると、有機物の分子結合が切断されて発生した分子に、酸化力の強い励起酸素原子が反応し、結果、CO、CO2 、H2 Oのような気体となり、飛散除去される。
このようにして、着色層の不要な残さや、除去した異物の汚れや残さは除去される。
エキシマUVランプとしては、例えば、172nm波長の誘電体バリア放電エキシマランプ(ウシオ電機製、UVS−4200等)が挙げられる。
短波長で高エネルギー、単一波長で高効率である。
異物欠陥に対し、新たに白欠陥を形成する白欠陥形成工程としては、異物欠陥を含む領域にYAGレーザ(第2高調波)を照射し、異物を除去し、前記異物欠陥を含む領域をぬけ部とするものが挙げられる。
【0009】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態の例を図に基づいて説明する。
図1は本発明のカラーフィルタの欠陥修正方法の実施の形態の1例の工程を示した図である。
尚、図1中、図1(a)、図1(b)、図1(c)は、それぞれ、修正前、ぬけ部形成後、修正後の状態を示した図で、 図1(a1)、図1(b1)、図1(c1)は、それぞれ、図1(a)、図1(b)、図1(c)のA1−A2における断面図である。
図1中、110はベース基板、121は第1色の着色層、122は第2色の着色層、123は第3色の着色層、130はブラックマトリックス、151は異物欠陥、152はぬけ部、153は修正部、161は白欠陥(ぬけ部)、163は修正部である。
【0010】
本発明のカラーフィルタの欠陥修正方法の実施の形態の1例を、図1に基づいて説明する。本例は、ガラス基板からなるベース基板110の一面上に着色層121、122、123が形成された、顔料分散法により作製された液晶ディスプレイ用等のカラーフィルタで、着色層122からなる着色パターン領域内に異物を含む異物欠陥151を修正する欠陥方法である。通常、ラインセンサやエリアセンサを用い、欠陥部からの反射光や透過光を処理して欠陥部を検出する欠陥検査装置等により、欠陥箇所を把握しておき、欠陥箇所を顕微鏡やTVモニターにて確認し、修正前に、異物欠陥や白欠陥の欠陥箇所は把握される。図1(a)、図1(a1)に示すように、異物欠陥151が着色層122からなる着色パターン領域内にある場合、先ず、異物を除去し、異物欠陥151を含む領域をぬけ部152として新たに白欠陥を形成する白欠陥形成工程を施す。(図1(b)、図1(b1))
本例では、YAGレーザ(第2高調波)を照射し、異物を除去し、前記異物欠陥151を含む領域をぬけ部152とする従来から行われているぬけ部形成方法を採るが、ぬけ部152形成方法はこれに限定されない。例えば、異物部とこの周辺を変質し、剥がれ易い状態として粘着層により剥がすような方法や針により異物を削り取るスクラッチ方式でも良い。本例のように、YAGレーザ(第2高調波)を照射する場合、異物欠陥151とその周辺の着色層122を含む、所定の小領域を昇華除去する。例えば、異物欠陥151が最大幅45μmである場合には、50μm□に照射除去する。
【0011】
次いで、低圧水銀灯等を用いて、短波長紫外線をぬけ部152全領域所定時間(10秒間〜200秒間程度)照射し、着色層の残さ、異物の汚れ、残さを除去し、ベース基板の濡れ性を高める。
例えば、ぬけ部152が50μm□の場合、ほぼこれに合わせ、低圧水銀灯からの光をスリットを用い50μm□に集光して照射する。
低圧水銀灯による照射の場合、装置は比較的安価で、照射が大気中で行なえ、使用が楽である。
また、低圧水銀灯による照射は、熱エネルギーとして消費される波長の光をほとんど含まないため、熱による製品部へのダメージが発生しない。
他には、エキシマUVランプも使用できる。
【0012】
次いで、ディスペンサー、マイクロシリンジ、針状塗布部等により、ぬけ部152へ着色層122と同じ着色材を塗布する。(図1(c)、図1(c1))
低圧水銀灯による照射により、ベース基板110への濡れ性がたかまり、ぬけ部152へ着色材がほぼ平坦に塗布することができる。
このようにして、異物欠陥151は修正される。
【0013】
白欠陥161の修正については、ぬけ部152と同様に、低圧水銀灯等を用いて、短波長紫外線を白欠陥部(ぬけ部)全領域に所定時間(10秒間〜200秒間程度)照射し、着色層の残さ、異物の汚れ、残さを除去し、ベース基板の濡れ性を高めた後、ディスペンサー、マイクロシリンジ、針状塗布部等により、白欠陥部へ対応する着色層の着色材を塗布して、修正を行なう。
この場合、低圧水銀灯からの光をスリットを用い、ほぼ白欠陥の形状に合わせ集光して短波長紫外線の照射を行なう。
尚、必要に応じてYAGレーザ(第2高調波)により、白欠陥周辺の着色層の除去を行って、これを新たな白欠陥として、同様の修正処理を行っても良いことは言うまでもない。
各処理については、先の説明で代用し、ここでは説明を省く。
【0014】
本例は1例で、これに限定はされない。
【0015】
【発明の効果】
本発明は、上記のように、液晶ディスプレイ用のカラーフィルタを、顔料分散法、染色法等にて作製する際、欠陥部の修正を歩留まり良くできる修正方法の提供を可能とした。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のカラーフィルタの欠陥修正方法の実施の形態の1例の工程を示した図
【符号の説明】
110 ベース基板
121 第1色の着色層
122 第2色の着色層
123 第3色の着色層
130 ブラックマトリックス
151 異物欠陥
152 ぬけ部
153 修正部
161 白欠陥(ぬけ部)
163 修正部
Claims (3)
- ベース基板の一面上に着色層が形成された、フィルタ部の欠陥の修正方法であって、着色層からなる着色パターン領域内に着色層の無いぬけ部を有する白欠陥に対しては、そのまま、着色層からなる着色パターン領域内に異物を含む異物欠陥に対しては、異物とその周辺の着色層を除去し、前記異物欠陥を含む領域をぬけ部として新たに白欠陥を形成する白欠陥形成工程を施した後、順に、ぬけ部に低圧水銀灯またはエキシマUVランプを光源とする紫外線をそのぬけ部の寸法に合わせて照射しベース基板の濡れ性を高める紫外線照射工程、紫外線が照射されたぬけ部に対応する色の修正用インキをディスペンサ、マイクロシリンジ、塗布針のいずれかにより充填する修正用インキ充填工程を行なうことを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正方法。
- 請求項1に記載のカラーフィルタの欠陥修正方法 において、前記ぬけ部に照射する紫外線は、260nm以下の紫外線であることを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正方法。
- 請求項1または2に記載のカラーフィルタの欠陥修正方法において、異物欠陥に対して、新たに白欠陥を形成する白欠陥形成工程は、異物欠陥を含む領域に、第2、3、4高調波のいずれか1つまたは複数からなるYAGレーザを照射し、異物を除去し、前記異物欠陥を含む領域をぬけ部とするものであることを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001051030A JP4930740B2 (ja) | 2001-02-26 | 2001-02-26 | カラーフィルタの欠陥修正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001051030A JP4930740B2 (ja) | 2001-02-26 | 2001-02-26 | カラーフィルタの欠陥修正方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002250810A JP2002250810A (ja) | 2002-09-06 |
JP4930740B2 true JP4930740B2 (ja) | 2012-05-16 |
Family
ID=18911896
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001051030A Expired - Fee Related JP4930740B2 (ja) | 2001-02-26 | 2001-02-26 | カラーフィルタの欠陥修正方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4930740B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5205733B2 (ja) * | 2006-09-29 | 2013-06-05 | 大日本印刷株式会社 | カラーフィルタの製造方法 |
JP5029192B2 (ja) * | 2007-07-25 | 2012-09-19 | 凸版印刷株式会社 | 液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法、及び液晶表示装置用カラーフィルタ |
JP2019061201A (ja) * | 2017-09-28 | 2019-04-18 | 東レエンジニアリング株式会社 | パターン形成装置およびパターン形成方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2794199B2 (ja) * | 1988-11-08 | 1998-09-03 | 共同印刷株式会社 | パターンの修正方法 |
JPH02294602A (ja) * | 1989-05-10 | 1990-12-05 | Seiko Epson Corp | カラーフィルター製造方法 |
JPH06109919A (ja) * | 1992-09-29 | 1994-04-22 | Ntn Corp | Lcd用カラーフィルタの欠陥修正法および欠陥修正装置 |
JPH06308317A (ja) * | 1993-04-26 | 1994-11-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜パターンの不良箇所修正方法および薄膜パターンの形成方法 |
JPH11142635A (ja) * | 1997-11-07 | 1999-05-28 | Toray Ind Inc | 微小着色パターン欠陥修正用カラーペースト及び修正方法 |
-
2001
- 2001-02-26 JP JP2001051030A patent/JP4930740B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002250810A (ja) | 2002-09-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4930740B2 (ja) | カラーフィルタの欠陥修正方法 | |
US6455209B1 (en) | Color filter manufacturing method, color filter and liquid crystal displayer | |
US7940367B2 (en) | Liquid crystal display panel with hydrophilic spacer and fabricating method and apparatus thereof | |
JP2008242175A (ja) | 薄膜パターンの形成方法及びカラーフィルタ用ブラックマトリックス基板の製造方法 | |
JP2004053971A (ja) | カラーフィルタの製造方法およびカラーフィルタ修正用装置 | |
JP2005317802A (ja) | パターン基板の欠陥修正方法及び欠陥修正装置並びにパターン基板製造方法 | |
JP4237982B2 (ja) | カラーフィルタの欠陥修正方法 | |
CN107329378A (zh) | 一种高精度ito光刻工艺 | |
US20080099429A1 (en) | Methods for repairing patterned structures of electronic devices | |
JP2004077904A (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
JP2003279722A (ja) | カラーフィルタの欠陥除去方法 | |
JP4078785B2 (ja) | カラーフィルター用中間品の作製方法、カラーフィルターの作製方法 | |
JP4480150B2 (ja) | カラーフィルター基板の欠陥修正方法およびカラーフィルター基板 | |
JP2010078972A (ja) | カラーフィルタおよびカラーフィルタの製造方法 | |
JP5212681B2 (ja) | カラーフィルタ形成基板の欠陥修正方法 | |
JP5182126B2 (ja) | カラーフィルタ基板の修正方法 | |
JP4872673B2 (ja) | カラーフィルタ形成基板の欠陥修正方法およびカラーフィルタ形成基板 | |
JP5556001B2 (ja) | カラーフィルタ基板の修正方法およびカラーフィルタ | |
JP2003043236A (ja) | カラーフィルタの欠陥修正方法 | |
US7447559B2 (en) | Apparatus and method of forming a photoresist pattern, and repair nozzle | |
JP2004077905A (ja) | カラーフィルタの欠陥修正装置 | |
JP2002082217A (ja) | カラーフィルタ異物除去方法 | |
JP2003279721A (ja) | カラーフィルタの欠陥修正方法およびカラーフィルタの欠陥修正用装置 | |
JP2989809B2 (ja) | エマルジョンマスク等の欠陥修正方法 | |
JP4061810B2 (ja) | カラーフィルター用中間品の作製方法、カラーフィルターの作製方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080117 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100519 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100525 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100716 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110421 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110616 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120119 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120201 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150224 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |