JP2003279721A

JP2003279721A - カラーフィルタの欠陥修正方法およびカラーフィルタの欠陥修正用装置

Info

Publication number: JP2003279721A
Application number: JP2002085965A
Authority: JP
Inventors: Toshihiro Sano; 敏弘佐野; Hideaki Fujisaki; 藤崎　　英明; Junichi Nakatani; 中谷　　純一
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 2002-03-26
Filing date: 2002-03-26
Publication date: 2003-10-02

Abstract

(57)【要約】【課題】着色層からなる着色パタン部の異物欠陥部に
対して、レーザ光を照射し、異物欠陥部を含む領域をぬ
け部として新たに白欠陥を形成した後、ぬけ部に対応す
る色の修正用インキをディスペンサ等により充填して、
異物欠陥部を修正する、カラーフィルタの異物欠陥の修
正方法において、欠陥部分にレーザを照射する際、レー
ザ照射により欠陥となる飛散物が発生した場合に、これ
を簡単に除去できる方法および装置を提供する。【解決手段】着色層からなる着色パタン部の異物欠陥
部に対して、レーザ光を照射し、異物欠陥部を含む領域
をぬけ部として新たに白欠陥を形成した後、ぬけ部に対
応する色の修正用インキをディスペンサ等により充填し
て、異物欠陥部を修正する、カラーフィルタの異物欠陥
の修正方法であって、レーザ光を照射した際に飛散した
飛散物を、そのまま、あるいはヘラ等により機械的衝撃
を与えて吸引できる状態としてから、吸引手段にて吸い
取り除去した後に、ぬけ部に対応する色の修正用インキ
を充填するものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス基板等のベ
ース基板の一面上に着色層が形成された、液晶ディスプ
レイ用等のカラーフィルタを、顔料分散法、染色法等に
より作製する際の、フィルタ部の異物欠陥の修正方法に
関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、パーソナルコンピュータ、携帯電
話の普及に伴い、パーソナルコンピュータ用の液晶ディ
スプレイ、携帯電話用の液晶ディスプレイの需要が増加
する傾向にあり、これらの液晶ディスプレイには、画素
の精細化とコストダウンが、益々、求められるようにな
ってきている。このような中、これらの液晶ディスプレ
イ用のカラーフィルタについても、益々の、画素の精細
化と、その製造のコストダウンが求められている。これ
ら液晶ディスプレイ用のカラーフィルタの製造について
は、従来より、顔料分散法、染色法、電着法、
印刷法、インクジェット法が知られている。顔料分散法は、基板上に顔料を分散した感光性樹脂層
を形成し、これをパターニングすることにより単色のパ
ターンを得る工程を、３回繰り返すことにより、Ｒ，
Ｇ，Ｂのカラーフィルタ層を形成する。染色法は、ガラス基板上に染色用の材料である水溶性
高分子材料を塗布し、これをフォトリソグラフィー工程
により所望の形状にパターニングした後、得られたパタ
ーンを染色浴に浸漬して着色されたパターンを得る工程
を、３回繰り返すことによりＲ，Ｇ，Ｂのカラーフィル
タ層を得る。電着法は、基板上に透明電極をパターニングし、顔
料、樹脂、電解液等の入った電着塗装液に浸漬して第１
の色を電着する工程を、３回繰り返してＲ，Ｇ，Ｂを塗
り分けた後、樹脂を熱硬化させることにより表色層を形
成するものである。印刷法は、熱硬化型の樹脂に顔料を分散させ、印刷を
３回繰り返すことによりＲ，Ｇ，Ｂを塗り分けた後、樹
脂を熱硬化させることにより着色層を形成するものであ
る。インクジェット法は、ノズルないしオリフィス等の開
口から着色剤を含む液（以下、インクないしペーストと
も言う）を吐出してカラーフィルタ部を形成するもので
ある。

【０００３】これら〜の方法に共通している点は、
Ｒ，Ｇ，Ｂの３色を着色するために同一の工程を３回繰
り返す必要があり、コスト高になることである。また、
工程が多いほど歩留まりが低下するという問題点を有し
ている。さらに、顔料分散法、染色法では、ガラス
基板への感光剤塗布工程では、スピンコーターを使用す
ることが主流であり、その使用量が多くなるという問題
や、塗布精度が均一ではないという問題もある。さら
に、電着法においては、形成可能なパターン形状が限
定されるため、現状の技術ではＴＦＴ方式のカラー液晶
ディスプレイには適用が難しい。また、印刷法は、解
像性、平滑性が悪いためファインピッチのパターンは形
成が難しい。インクジェット法は、これら〜の方
法の欠点を補う製造方法として、種々提案されており、
最近では、特に、携帯電話用の液晶ディスプレイの急速
の普及に伴い、特にコストダウンを目的として注目され
るようになってきた。しかし、インクジェット法で
は、インクジェットの制御、調整が必要で、且つ難しい
という問題があり、まだ実用段階とは言えない。

【０００４】このため、画素の精細化が求められる液晶
ディスプレイ用のカラーフィルタの製造方法としては、
現状では、顔料分散法、染色法が主流となっている
が、顔料分散法、染色法においては、Ｒ，Ｇ，Ｂの
３色を着色するために同一の工程を３回繰り返す必要が
あり、工程全体が長く複雑となっており、作成されたフ
ィルタ部に欠陥を有することが多々あるため、欠陥部を
修正する修正工程が必要に応じて行われている。カラー
フィルタの製造工程において、フォトリソグラフィー用
のマスクへの異物等の付着、露光不良等により、黒欠陥
（突起欠陥を含む）、白欠陥（欠け欠陥を含む）等の欠
陥を生じることがある。クリーンルーム等の発塵量の少
ない環境においても、完全には異物の付着を防止するこ
とは困難である。これら欠陥部の修正方法としては、従
来、欠陥部分にＹＡＧレーザ（第２高調波）を照射し、
欠陥部を含む領域の欠陥あるいは着色レジストの除去を
行ない、除去部分に対応する所定の色のインキを塗布す
る方法が採られていた。この従来のＹＡＧレーザ（第２
高調波）を用いる欠陥修正方法においては、ＹＡＧレー
ザ（第２高調波）を照射して、レジスト内部に金属や顔
料の異物を含む欠陥を除去した場合、欠陥部分がすべて
昇華されず、数μｍ単位の大きさの異物が多数飛散して
しまい、除去したにもかかわらず、これら飛散した異物
が欠陥として残ることがあった。そしてまた、欠陥除去
部分に飛散した異物が残留したまま、修正のためのイン
キを塗布すると、修正された部分の膜厚が周辺より高く
なり、その結果、突起欠陥となってしまうこともあっ
た。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記のように、従来、
液晶ディスプレイ用のカラーフィルタを、顔料分散法、
染色法等にて作製する際、欠陥部分にＹＡＧレーザ（第
２高調波）を照射し、欠陥部を含む領域の欠陥あるいは
着色レジストの除去を行ない、除去部分に対応する所定
の色のインキを塗布する欠陥修正方法が採られていた
が、この欠陥修正方法においては、ＹＡＧレーザ（第２
高調波）を照射により飛散した異物が欠陥として残る、
あるいは突起欠陥の原因になり、その対応が求められて
いた。本発明は、これに対応するもので、具体的には、
着色層からなる着色パタン部の異物欠陥部に対して、レ
ーザ光を照射し、異物欠陥部を含む領域をぬけ部として
新たに白欠陥を形成した後、ぬけ部に対応する色の修正
用インキをディスペンサ等により充填して、異物欠陥部
を修正する、カラーフィルタの異物欠陥の修正方法にお
いて、欠陥部分にレーザを照射した際、レーザ照射によ
り欠陥となる飛散物が発生した場合に、これを簡単に除
去できる方法および装置を提供しようとするものであ
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明のカラーフィルタ
の欠陥修正方法は、着色層からなる着色パタン部の異物
欠陥部に対して、レーザ光を照射し、異物欠陥部を含む
領域をぬけ部として新たに白欠陥を形成した後、ぬけ部
に対応する色の修正用インキをディスペンサ等により充
填して、異物欠陥部を修正する、カラーフィルタの異物
欠陥の修正方法であって、レーザ光を照射した際に飛散
した飛散物を、そのまま、あるいはヘラ等により機械的
衝撃を与えて吸引できる状態としてから、吸引手段にて
吸い取り除去した後に、ぬけ部に対応する色の修正用イ
ンキを充填するものであることを特徴とするものであ
る。

【０００７】本発明のカラーフィルタの欠陥修正用装置
は、着色層からなる着色パタン部の異物欠陥部に対し
て、レーザ光を照射し、異物欠陥部を含む領域をぬけ部
として新たに白欠陥を形成した後、ぬけ部に対応する色
の修正用インキをディスペンサ等により充填して、異物
欠陥部を修正する修正方法を行なうための、カラーフィ
ルタの異物欠陥修正用の装置であって、少なくとも、レ
ーザ照射手段と、レーザ光を照射して新たに白欠陥を形
成した後にレーザ光を照射した際に飛散した飛散物を吸
い取り除去する吸引手段と、前記各手段と、カラーフィ
ルタとの相対的なＸ、Ｙ、Ｚ位置をそれぞれ制御するた
めの１つないし複数の位置制御手段を備えていることを
特徴とするものである。そして、上記において、吸引手
段の吸引する先端部は、ノズルからなり、該ノズル部あ
るいはその近傍に、機械的衝撃を飛散物に与え吸引でき
る状態とするためのヘラ等の機械的衝撃部を備えている
ことを特徴とするものである。そしてまた、上記におい
て、飛散物からのノズルのＺ方向位置を正確に把握する
ためのレーザ変位センサを設けていることを特徴とする
ものである。また、上記において、レーザ光を照射して
新たに形成した白欠陥部に修正用インキを充填する修正
用インキ充填手段を備えていることを特徴とするもので
ある。

【０００８】尚、ここでは、着色があるべき箇所におい
て、着色層が無い状態、即ち、あるべき着色層がぬけた
状態を白欠陥と言う。そして、ここでは着色層がぬけた
部分をぬけ部とも言う。上記において、異物欠陥に対し
て、新たに白欠陥を形成する白欠陥形成工程は、異物欠
陥を含む領域に波長１μｍ以下のレーザを照射し、異物
を除去し、前記異物欠陥を含む領域をぬけ部とするもの
であり、波長１μｍ以下のレーザとしては、ＹＡＧレー
ザ（第２、３、４高調波）、エキシマレーザ等が挙げら
れる。

【０００９】

【作用】本発明のカラーフィルタの欠陥修正方法は、こ
のような構成にすることにより、液晶ディスプレイ用の
カラーフィルタを、顔料分散法、染色法等にて作製する
際、欠陥部の修正を歩留まり良くできる修正方法の提供
を可能としている。具体的には、着色層からなる着色パ
タン部の異物欠陥部に対して、レーザ光を照射し、異物
欠陥部を含む領域をぬけ部として新たに白欠陥を形成し
た後、ぬけ部に対応する色の修正用インキをディスペン
サ等により充填して、異物欠陥部を修正する、カラーフ
ィルタの異物欠陥の修正方法で、レーザ光を照射した際
に飛散した飛散物を、そのまま、あるいはヘラ等により
機械的衝撃を与えて吸引できる状態としてから、吸引手
段にて吸い取り除去した後に、ぬけ部に対応する色の修
正用インキを充填するものであることにより、これを達
成している。尚、レーザ光を照射した際に飛散した飛散
物を、吸引手段にて吸い取り除去した後、更に、ぬけ部
に短波長紫外線を照射して、着色層の不要な残さや除去
した異物の汚れや残さを除去してから、ぬけ部に対応す
る色の修正用インキを充填しても良い。この場合、ぬけ
部の露出したベース基板面の濡れ性を、紫外線を照射し
ない場合に比べ、向上させることができる。短波長紫外
線の光源としては、低圧水銀灯、あるいはエキシマＵＶ
ランプが挙げられる。

【００１０】本発明のカラーフィルタの欠陥修正用装置
は、このような構成にすることにより、液晶ディスプレ
イ用のカラーフィルタを、顔料分散法、染色法等にて作
製する際、欠陥部の修正を歩留まり良くできる修正方法
を実施できるカラーフィルタの欠陥修正装置の提供を可
能としている。詳しくは、少なくとも、レーザ照射手段
と、レーザ光を照射して新たに白欠陥を形成した後にレ
ーザ光を照射した際に飛散した飛散物を吸い取り除去す
る吸引手段と、前記各手段と、カラーフィルタとの相対
的なＸ、Ｙ、Ｚ位置をそれぞれ制御するための１つない
し複数の位置制御手段を備えていることにより、これを
達成している。そして、吸引手段の吸引する先端部に、
ノズルからなり、該ノズル部あるいはその近傍に、機械
的衝撃を飛散物に与え吸引できる状態とするためのヘラ
等の機械的衝撃部を設けていることにより、吸引手段単
独では吸引できない飛散物も吸引することができる。ま
た、飛散物からの吸引手段のノズルのＺ方向位置を正確
に把握するためのレーザ変位センサを設けていることに
より、より吸引を効率てきに、確実にでき、且つ、カラ
ーフィルタへのノズル接触を防止できる。勿論、レーザ
光を照射して新たに形成した白欠陥部に修正用インキを
充填する修正用インキ充填手段を、更に備えているもの
も挙げられる。

【００１１】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態の例を図に基
づいて説明する。図１は本発明のカラーフィルタの欠陥
修正方法の実施の形態の１例の工程を示した工程平面図
で、図２は本発明のカラーフィルタの欠陥修正用装置の
実施の形態の１例の要部を示した概略図で、図３は変位
計の１例の概略図である。図１、図２中、１０はカラー
フィルタ、１１は第１の色の着色層、１２は第２の色の
着色層、１３は第３の色の着色層、１４はブラックスト
ライプ、１５は突起欠陥、１６は飛散物、１７はぬけ部
（白欠陥部とも言う）、１９は修正部、１１０はレーザ
照射手段、１１１は対物レンズ、１１２はレーザ光、１
２０は吸引手段、１２１はノズル、１２２は吸引用配
管、１３０はレーザ変位センサ、１４０はＸＹステー
ジ、１４１はチャック台、１６０はＺ方向移動用ガイド
レール（Ｚ方向駆動部の一部）、１８０はカラーフィル
タ、３００は変位計、３１０は半導体レーザ駆動回路、
３２０は半導体レーザ（発光素子）、３３０は透光レン
ズ、３４０はレーザ光、３４５は反射光、３５０は受光
レンズ、３６０は光位置検出素子（光センサー部）、３
７０は信号増幅回路、３８０は試料である。尚、図３
中、Ｄ０、Ｄ１、Ｄ２は試料面、Ｓ０、Ｓ１、Ｓ２は光
位置検出素子（光センサー部）の光到達位置である。

【００１２】はじめに、本発明のカラーフィルタの欠陥
修正方法の実施の形態の１例を、図１に基づいて説明す
る。本例は、ガラス基板からなるベース基板の一面上に
第１の色の着色層１１、第２の色の着色層１２、第３の
色の着色層１３が形成された、顔料分散法により作製さ
れた液晶ディスプレイ用等のカラーフィルタで、第２の
色の着色層１２からなる着色パタン領域内に突起異物１
５からなる異物欠陥を修正する欠陥修正方法である。通
常、ラインセンサやエリアセンサを用い、欠陥部からの
反射光や透過光を処理して欠陥部を検出する欠陥検査装
置等により、欠陥箇所を把握しておき、欠陥箇所を顕微
鏡やＴＶモニターにて確認し、修正前に、異物欠陥や白
欠陥の欠陥箇所は把握される。図１（ａ）に示すよう
に、着色層内に異物がある突起欠陥１５が第２の色の着
色層１２からなる着色パタン領域内にある場合、先ず、
突起異欠陥を含む領域にレーザ光をあてて異物と着色層
を除去し、異物欠陥を含む領域をぬけ部（白欠陥とも言
う）１７とする。（図１（ｂ））本例では、ＹＡＧレー
ザ（第２高調波等）を照射し、異物と着色層を除去し、
突起異物１５からなる欠陥を含む領域をぬけ部１７とす
る。図２に示すようなレーザ照射手段１１０にて行な
う。レーザ照射手段１１０についての説明は、後述す
る。本例のように、ＹＡＧレーザを照射する場合、突起
異物１５からなる異物欠陥とその周辺のグリーン着色層
１２を含む、所定の小領域を昇華除去する。例えば、異
物欠陥が最大幅４５μｍである場合には、５０μｍ□に
照射除去する。この際、図１（ｂ）に示すように、レー
ザ照射による飛散物１６が、ぬけ部１７や第２の色の着
色層１２上に散乱する。

【００１３】次いで、ぬけ部１７や第２の色の着色層１
２上に散乱した飛散物１６を、吸引除去する。（図１
（ｃ））レーザ光の異物欠陥照射の飛散物１６の吸引除
去は、図２に示すような吸引手段１２０を用いて行な
う。尚、吸引手段１２０についての説明は、後述する。
次いで、必要に応じ、低圧水銀灯等を用いて、短波長紫
外線をぬけ部１５２全領域所定時間照射し、着色層の残
さ、異物の汚れ、残さを除去し、ベース基板の濡れ性を
高めた後、ディスペンサー、マイクロシリンジ、針状塗
布部等により、ぬけ部１７へ第２の色の着色層１２と同
じ着色材（インキ）を塗布して、修正を終える。（図１
（ｄ））場合によっては、第２の色の着色層１２と同じ
着色材（インキ）を平坦化のため、カラーフィルタに振
動をかけたりしてもよい。このようにして、突起異物か
らなる異物欠陥の修正を行なう。ここでは、第２の色の
着色層１２についての突起欠陥修正を述べたが、第１の
色の着色層１１、第３の色の着色層１３についても同様
である。尚。第１の着色層１１、第２の着色層１２、第
３の着色層１３としては、例えば、レッド、グリーン、
ブルーの着色層が挙げられる。

【００１４】次に、本発明のカラーフィルタの欠陥修正
用装置の実施の形態の１例を、図２に基づいて説明す
る。本例のカラーフィルタの欠陥修正用装置は、着色層
からなる着色パタン部の異物欠陥部に対して、レーザ光
を照射し、異物欠陥部を含む領域をぬけ部として新たに
白欠陥を形成した後、ぬけ部に対応する色の修正用イン
キをディスペンサ等により充填して、異物欠陥部を修正
する修正方法を行なうために用いられる、カラーフィル
タの異物欠陥修正用の装置で、図１に示すカラーフィル
タの欠陥修正方法における図１（ａ）〜図１（ｃ）まで
の工程を、即ち、突起欠陥部をレーザ照射により除去
し、この際発生する飛散物を吸引除去するまでの処理を
行なう装置である。本例のカラーフィルタの欠陥修正用
装置は、レーザ照射手段１１０と、レーザ光を照射して
新たにぬけ部（白欠陥）を形成した後にレーザ光を照射
した際に飛散した飛散物（図１の１６に相当）を吸い取
り除去する吸引手段１２０と、吸引手段１２０とカラー
フィルタ１８０との相対的なＸ、Ｙ位置が、制御部（図
示していない）の指示のもとに制御されるＸ−Ｙステー
ジ１４０と、吸引手段１２０とカラーフィルタ１８０と
の相対的なＺ位置が、制御部（図示していない）の指示
のもとに制御され、Ｚ方向移動用ガイドレール（Ｚ方向
駆動部の一部）１６０に沿い、Ｚ方向を移動するＺ方向
駆動部（全体は図示していない）とを備えている。

【００１５】レーザ照射手段１１０は、その詳細を図示
していないが、簡単には、レーザ光源と光学系とを有
し、レーザ光源からのレーザ光を拡大し、フィルター、
スリット、結像レンズ、対物レンズ１１１を通過してレ
ーザ光を照射するものである。光学系は、ビームスプリ
ッターを介してモニターにてモニタリングできるように
なっている。吸引手段１２０は、本例ではレーザ照射手
段１１０と一体型で、レーザ照射手段１１０と一体とし
て、Ｚ方向移動を行なう。そして、図２に示すように、
ノズル１２１の先端から吸引するもので、吸引用配管１
２２により吸引される。本例では、更に、変位センサ１
３０を吸引手段１２０と一体的に設け、ノズルのＺ方向
位置の管理を正確にできるものとしている。

【００１６】変位センサ１３０としては、レーザを用い
たものが一般的で、所定の精度が得られれば特にこれに
限定はされない。例えば、図３に示す三角測量式レーザ
変位計が挙げられるが、この変位計３００の変位測定原
理を簡単に説明しておく。この変位計３００において
は、透光レンズ３３０を介して試料３８０に照射された
反射光が、試料３８０の面が基準位置Ｄ０にあるとき受
光レンズ３５０を介して光位置検出素子３６０の基準の
位置にＳ０に到達するようになっており、且つ、試料３
８０の面が基準位置Ｄ０からずれたＤ１位置にあると
き、これにともない、試料面Ｄ１からの反射光は、光位
置検出素子３６０のの基準の位置Ｓ０から所定の距離だ
けずれた位置Ｓ１へ到達するようになっており、同様
に、試料３８０の面が基準位置Ｄ０からずれたＤ２位置
にあるとき、これにともない、試料面Ｄ２からの反射光
は、光位置検出素子３６０のの基準の位置Ｓ０から所定
の距離だけずれた位置Ｓ２へ到達するようになってい
る。即ち、光位置検出素子における光到達位置と試料面
の位置とが対応がとれるようになっている。このため、
光位置検出素子における光到達位置を検出することによ
り、試料面の位置を検出ができるものである。

【００１７】本例のカラーフィルタの欠陥修正用装置の
変形例としては、本例の吸引手段１２０の吸引する先端
部であるノズル部あるいはその近傍に、機械的衝撃を飛
散物に与え吸引できる状態とするためのヘラ等の機械的
衝撃部を備えているものが挙げられる。また、本例の別
の実施の形態としては、本例のカラーフィルタの欠陥修
正用装置に、更に、レーザ光を照射して新たに形成した
白欠陥部に修正用インキを充填する修正用インキ充填手
段を備えているものが挙げられる。修正用インキ充填手
段としては、ディスペンサー、マイクロシリンジ、針状
塗布部等により、ぬけ部（新たに形成した白欠陥部）に
対応する着色材（インキ）を充填するものが挙げられ
る。また、本例の装置や上記変形例や本例とは別の実施
の形態例に、更に、短波長紫外線を照射する装置を備え
たものも挙げられる。尚、短波長紫外線を照射する装置
は、着色層の残さ、異物の汚れ、残さを除去し、ベース
基板の濡れ性を高めるためのものであり、低圧水銀灯等
が挙げられる。また、更に、修正用インキ充填手段によ
り、ぬけ部（新たに形成した白欠陥部）に修正用の着色
層（インキ）を充填した後、該着色材（インキ）を振動
等で平坦化するための機構を設けても良い。

【００１８】

【発明の効果】本発明は、上記のように、液晶ディスプ
レイ用のカラーフィルタを、顔料分散法、染色法等にて
作製する際、欠陥部の修正を歩留まり良くできる修正方
法の提供を可能とした。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のカラーフィルタの欠陥修正方法の実施
の形態の１例の工程を示した工程平面図

【図２】本発明のカラーフィルタの欠陥修正用装置の実
施の形態の１例の要部を示した概略図

【図３】変位計の１例の概略図である。

【符号の説明】

１０カラーフィルタ１１第１の色の着色層１２第２の色の着色層１３第３の色の着色層１４ブラックストライプ１５突起欠陥１６飛散物１７ぬけ部（白欠陥部とも言う）１９修正部１１０レーザ照射手段１１１対物レンズ１１２レーザ光１２０吸引手段１２１ノズル１２２吸引用配管１３０レーザ変位センサ１４０ＸＹステージ１４１チャック台１６０Ｚ方向移動用ガイドレール（Ｚ方
向駆動部の一部）１８０カラーフィルタ３００変位計３１０半導体レーザ駆動回路３２０半導体レーザ（発光素子）３３０透光レンズ３４０レーザ光３４５反射光３５０受光レンズ３６０光位置検出素子（光センサー部）３７０信号増幅回路３８０試料Ｄ０、Ｄ１、Ｄ２試料面Ｓ０、Ｓ１、Ｓ２光位置検出素子（光センサー部）
の光到達位置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者中谷純一東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号大日本印刷株式会社内Ｆターム(参考） 2H048 BA02 BA11 BA45 BB02 BB42 2H088 FA14 FA15 FA30 HA12 2H091 FA02Y FC23 FC30 FD04

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】着色層からなる着色パタン部の異物欠陥
部に対して、レーザ光を照射し、異物欠陥部を含む領域
をぬけ部として新たに白欠陥を形成した後、ぬけ部に対
応する色の修正用インキをディスペンサ等により充填し
て、異物欠陥部を修正する、カラーフィルタの異物欠陥
の修正方法であって、レーザ光を照射した際に飛散した
飛散物を、そのまま、あるいはヘラ等により機械的衝撃
を与えて吸引できる状態としてから、吸引手段にて吸い
取り除去した後に、ぬけ部に対応する色の修正用インキ
を充填するものであることを特徴とするカラーフィルタ
の欠陥修正方法。
【請求項２】着色層からなる着色パタン部の異物欠陥
部に対して、レーザ光を照射し、異物欠陥部を含む領域
をぬけ部として新たに白欠陥を形成した後、ぬけ部に対
応する色の修正用インキをディスペンサ等により充填し
て、異物欠陥部を修正する修正方法を行なうための、カ
ラーフィルタの異物欠陥修正用の装置であって、少なく
とも、レーザ照射手段と、レーザ光を照射して新たに白
欠陥を形成した後にレーザ光を照射した際に飛散した飛
散物を吸い取り除去する吸引手段と、前記各手段とカラ
ーフィルタとの相対的なＸ、Ｙ、Ｚ位置をそれぞれ制御
するための１つないし複数の位置制御手段を備えている
ことを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正用装置。
【請求項３】請求項２において、吸引手段の吸引する
先端部は、ノズルからなり、該ノズル部あるいはその近
傍に、機械的衝撃を飛散物に与え吸引できる状態とする
ためのヘラ等の機械的衝撃部を備えていることを特徴と
するカラーフィルタの欠陥修正用装置。
【請求項４】請求項２ないし３において、飛散物から
のノズルのＺ方向位置を正確に把握するためのレーザ変
位センサを設けていることを特徴とするカラーフィルタ
の欠陥修正用装置。
【請求項５】請求項２ないし４において、レーザ光を
照射して新たに形成した白欠陥部に修正用インキを充填
する修正用インキ充填手段を備えていることを特徴とす
るカラーフィルタの欠陥修正用装置。