JP4929802B2 - 圧電デバイス - Google Patents
圧電デバイス Download PDFInfo
- Publication number
- JP4929802B2 JP4929802B2 JP2006107335A JP2006107335A JP4929802B2 JP 4929802 B2 JP4929802 B2 JP 4929802B2 JP 2006107335 A JP2006107335 A JP 2006107335A JP 2006107335 A JP2006107335 A JP 2006107335A JP 4929802 B2 JP4929802 B2 JP 4929802B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrating piece
- piezoelectric vibrating
- piezoelectric
- package base
- lid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
また前記蓋体の上面に赤外線反射防止膜が設けられていることを特徴としている。
赤外線反射膜により、ICチップに赤外線が当たるのを防止でき、またはICチップに当たる赤外線の量を削減できるので、ICチップが高温になって壊れるのを防止できる。
赤外線反射防止膜により、蓋体の上面で生じる反射を防止でき、照射される赤外線を効率的に使用できる。
Claims (5)
- バランス調整部を備えている圧電振動片と、
前記バランス調整部と積層方向に重なる位置に少なくとも設けられている絶縁基板と、
前記圧電振動片と前記絶縁基板とに接合され、前記圧電振動片を前記絶縁基板から離して保持しているリードと、
前記絶縁基板、前記リードおよび前記圧電振動片が配設されているパッケージベースと、
前記パッケージベース上かつ前記絶縁基板の下方に搭載され、前記圧電振動片と電気的に接続しているICチップと、
前記パッケージベースの上面に接合材を介して接合され、前記ICチップ、前記絶縁基板、前記リードおよび前記圧電振動片を封止している透明な蓋体と、を備え、
前記蓋体の前記ICチップ側に赤外線反射膜が設けられていることを特徴とする圧電デバイス。 - 前記蓋体の上面に赤外線反射防止膜が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の圧電デバイス。
- 前記パッケージベース上にレーザ光保護部が設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の圧電デバイス。
- 前記パッケージベースは、凹陥部を含み、
前記凹陥部の側面にレーザ光保護部が設けられていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の圧電デバイス。 - 前記圧電振動片は、ジャイロセンサ用の圧電振動片であることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の圧電デバイス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006107335A JP4929802B2 (ja) | 2006-04-10 | 2006-04-10 | 圧電デバイス |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006107335A JP4929802B2 (ja) | 2006-04-10 | 2006-04-10 | 圧電デバイス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007278920A JP2007278920A (ja) | 2007-10-25 |
JP4929802B2 true JP4929802B2 (ja) | 2012-05-09 |
Family
ID=38680506
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006107335A Expired - Fee Related JP4929802B2 (ja) | 2006-04-10 | 2006-04-10 | 圧電デバイス |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4929802B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5838543B2 (ja) * | 2010-09-30 | 2016-01-06 | セイコーエプソン株式会社 | センサーデバイス、モーションセンサー、および電子機器 |
JP6010968B2 (ja) * | 2012-03-29 | 2016-10-19 | セイコーエプソン株式会社 | 振動デバイス及び振動デバイスの製造方法 |
JP5935841B2 (ja) * | 2014-07-31 | 2016-06-15 | セイコーエプソン株式会社 | センサーモジュールおよび電子機器 |
JP2020144062A (ja) | 2019-03-08 | 2020-09-10 | セイコーエプソン株式会社 | 振動デバイス、電子機器および移動体 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5396691A (en) * | 1977-02-03 | 1978-08-24 | Citizen Watch Co Ltd | Frequency adjustment method of crystal vibrator |
JPS5452489A (en) * | 1977-10-03 | 1979-04-25 | Seikosha Kk | Method of adjusting frequency of quartz oscillator |
JPS6175593A (ja) * | 1984-09-20 | 1986-04-17 | 関西日本電気株式会社 | 多端子リ−ドの接続方法 |
JPH01140806A (ja) * | 1987-11-27 | 1989-06-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 加熱処理方法 |
JP2878481B2 (ja) * | 1991-05-09 | 1999-04-05 | アルプス電気株式会社 | 押釦スイツチ |
JPH1095112A (ja) * | 1996-09-25 | 1998-04-14 | Seiko Epson Corp | インクジェットプリンタ用アクチュエータ |
JP3969824B2 (ja) * | 1998-02-09 | 2007-09-05 | マイクロストーン株式会社 | 角速度センサ |
JP2003133885A (ja) * | 2001-10-22 | 2003-05-09 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、発振器及び電子機器 |
JP3922570B2 (ja) * | 2002-05-31 | 2007-05-30 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電デバイスと圧電デバイス用パッケージ、圧電デバイスの製造方法、ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置ならびに圧電デバイスを利用した電子機器 |
JP2006029799A (ja) * | 2004-07-12 | 2006-02-02 | Seiko Epson Corp | 圧電デバイス、及び圧電発振器 |
JP2006229877A (ja) * | 2005-02-21 | 2006-08-31 | Seiko Epson Corp | 圧電デバイス |
-
2006
- 2006-04-10 JP JP2006107335A patent/JP4929802B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007278920A (ja) | 2007-10-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5123987B2 (ja) | 圧電デバイス、および圧電デバイスの周波数調整方法 | |
US7859172B2 (en) | Piezoelectric resonator, manufacturing method thereof and lid for piezoelectric resonator | |
JP7060052B2 (ja) | 水晶振動デバイス | |
JP4929802B2 (ja) | 圧電デバイス | |
JP4720554B2 (ja) | 圧電デバイスおよび圧電デバイスの製造方法 | |
JP2003270264A (ja) | 半導体式力学量センサ | |
JP2010118784A (ja) | 圧電振動子の製造方法、圧電振動子及び電子部品 | |
JP2012515441A5 (ja) | ||
JP2008153485A (ja) | 電子部品の製造方法 | |
JP5900006B2 (ja) | 電子デバイスの封止方法 | |
JP4407845B2 (ja) | 圧電振動子及びその製造方法並びに圧電振動子用の蓋 | |
US20160120051A1 (en) | Package, manufacturing method of package, electronic device, electronic apparatus, and moving object | |
JP2006229877A (ja) | 圧電デバイス | |
JP4830074B2 (ja) | 圧電デバイスおよび電子デバイスの製造方法 | |
JP2007251238A (ja) | 圧電デバイスおよび圧電デバイスの製造方法 | |
JP5365851B2 (ja) | 電子部品 | |
JP2011049992A (ja) | 圧電デバイス及び圧電デバイスの製造方法 | |
JP7047922B2 (ja) | Memsデバイスの製造方法及びmemsデバイス | |
JP5824202B2 (ja) | 振動デバイスおよび電子機器 | |
JP4274215B2 (ja) | 圧電デバイスおよび圧電デバイスの製造方法 | |
JP2007281377A (ja) | 電子部品用リッド、及び電子部品 | |
JP6365964B2 (ja) | 小型化半導体パッケージ | |
US20110173787A1 (en) | Manufacturing method of piezoelectric device | |
JP5838694B2 (ja) | 物理量検出器、物理量検出デバイス及び電子機器 | |
JP2021073787A (ja) | 音叉型振動片及び音叉型振動子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090410 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110720 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20110729 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20110729 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110819 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110914 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110915 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120117 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120130 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150224 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |