JP4925007B2 - 圧電体球状微粒子の製造方法 - Google Patents
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桜井 修、他、日本セラミックス協会学術論文誌、97巻、4号、1989年、P407-12
本願発明者らは、溶融塩法に使用する原料粉末及び塩類(フラックス)の種類及び配合組成を調整し、混合後、適切な温度条件下で加熱反応することによって、同法による圧電体球状微粒子の製造方法を提供することで、上記課題を解決する。この内、特にPbOの過剰添加に伴い生成すると考えられるPbOを含む液相が、溶融フラックスの粘性や、PZT構成イオンの拡散係数等の物性値の変化により、PZT微粒子の生成機構に影響を及ぼし、結果として分散性に優れた球状微粒子を形成することに着目した手法はこれまでに知られていない。
上記した方法により製造された圧電体微粒子は球形であるため、マイクロセンサーやマイクロアクチュエーターといったデバイスに本実施形態の圧電体微粒子を好適に用いることができる。
本発明者らは、上記した製造方法を用いて圧電体微粒子の製造を行った。
以下に、上記(A)で得られた粒子を用いて焼結体を作製し、焼結性の評価及び電気特性について解析した。
焼結体のかさ密度は、水を用いたアルキメデス法で測定し、理論密度(8g/cm3)に対する相対密度で表した。
焼結体の表面に銀ペーストを塗布、600℃で焼き付けて電極を形成した。試料の分極処理は、80℃に加熱したシリコンオイル中で、3kV/mmの直流電界を30分間印加して行った。
図7に、焼結体密度と焼結温度の関係を示す。上記(A)で得られた粒子の焼結性については、相対密度が96.1%(1200℃焼結の場合)、97.6%(1300℃焼結の場合)までち密化し、易焼結性を有することがわかった。
Claims (5)
- 圧電体微粒子の主原料となる酸化物を、当該酸化物と溶融塩反応を起こす溶融無機塩類と混合して加熱することによって圧電体微粒子を製造する圧電体微粒子の製造方法であって、
上記酸化物として、Pb(Zrx,Ti1−x)O3 (Xは、0〜1を示す)を用いて、
上記酸化物に対して3〜10質量%の酸化鉛(PbO)、上記溶融無機塩類、および上記溶融無機塩類に対して50〜75質量%の上記酸化物を混合し、この混合物を800℃以上の温度で加熱することを特徴とする製造方法。 - 上記酸化物及び上記酸化鉛とともに、上記酸化物に対して所定量の塩化鉛(PbCl2)を混合することを特徴とする請求項1に記載の製造方法。
- 上記塩化鉛を、上記溶融無機塩類に対して、0を超えて、30質量%以下の範囲で用いることを特徴とする請求項2に記載の製造方法。
- 上記溶融無機塩類として、塩化カリウムとフッ化リチウムとの混合塩を用いることを特徴とする請求項1から3の何れか1項に記載の製造方法。
- 上記酸化鉛と上記酸化物とを混合した第1混合物と、上記溶融無機塩類と上記塩化鉛とを混合した第2混合物とを作成した後、当該第1混合物と第2混合物とを混合することを特徴とする請求項2に記載の製造方法。
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