JP4923652B2 - 半導体装置 - Google Patents

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Description

本発明は、入力端子に印加されたノイズを内部回路に伝播させずに誤動作を防止した半導体装置に関する。
モジュールやシステムの動作中に、静電気等のノイズが入力端子例えばリセット端子に印加されることがある。リセット信号がHIGHアクティブであって、ノイズが高電圧の場合に、そのノイズが内部に伝播されると、ノイズによってリセットされてしまう。
従来、リレーキャンセラー等により、あるパルス幅以上でないとリセットがかからないようにしていた。
しかし、静電気等のノイズ波形はμsオーダで比較的時間が長いので、リセットされてしまうおそれがある。また、リレー回路は大規模で面積を要する。
静電気対策としては、入力端子に接続された周知の静電気保護回路が設けられるが、リセットパルスの波高以上のノイズパルスが内部回路に伝播されることまでは防止できない。
LOWアクティブのリセット信号の場合には、接地電位GNDよりも低い静電気等のノイズによって、内部回路がリセットされてしまうことがある。この種の現象は、必ずしもリセット端子に限らず、HIGHアクティブまたはLOWアクティブの信号端子に共通する問題である。
そこで、本発明は比較的簡単な回路により、ノイズを本来の信号と区別し、ノイズが印加された場合には内部回路に伝播する前に遮断して、内部回路の誤動作などを防止できる半導体装置を提供することにある。
本発明の一態様に係る半導体装置は、アクティブ電位である第1の電源電位と、前記第1の電源電位よりも低い電位であって、ノンアクティブ電位である第2の電源電位とに変化する信号が入力される入力端子と、前記入力端子に入力された電位が遅延素子を介して第1端子に供給され、制御信号が第2端子に入力され、前記制御信号のHIGH論理に基づいて、前記第1端子に入力された電位が内部回路へ伝送されることを遮断制御する伝送制御回路と、前記入力端子に入力された電位レベルに基づいて、前記制御信号の論理を制御する制御回路とを有し、前記制御回路は、フローティングN型ウェル内に形成された第1のP型トランジスタを含み、前記第1のP型トランジスタのゲートに前記第1の電源電位が供給され、前記第1のP型トランジスタのソースに前記入力端子が接続され、前記第1のP型トランジスタのドレインが前記伝送制御回路の前記第2端子に接続されていることを特徴とする。
本発明の一態様によれば、入力端子に前記第1の電源電位より高い電位のノイズが印加されると、フローティングN型ウェルによりボディがクランプ電位に設定された第1のP型トランジスタがオンされ、伝送制御回路の第2端子にHIGHが印加される。このため、伝送制御回路は第1端子に入力されるノイズの伝送を遮断する。特に、ノイズが遅延素子にて遅延されるので、ノイズが第1端子に伝播する前に第2端子をHIGHに設定できる。第1のP型トランジスタがオンしても、フローティングN型ウェルに形成されているので、漏洩電流は流れない。
本発明の一態様において、前記第1端子に入力される信号がゲートに印加されるN型トランジスタを、前記第1のP型トランジスタのドレイン及び前記第2端子をつなぐ制御信号線と、グランドとの間に配置することができる。こうすると、ノイズが消滅して第1端子にLOWが入力された後に、制御信号線をLOW電位に確実に復帰させることができる。
本発明の一態様では、前記制御信号線とグランドとの間に抵抗を接続することができる。この抵抗により、第1のP型トランジスタのオンオフ後に所定の時間だけ制御信号線をHIGH論理に維持でき、ノイズが消滅するまで伝送制御回路にてノイズの伝播を遮断できる。
本発明の一態様では、前記制御回路は、前記フローティングN型ウェル内に形成された第2のP型トランジスタを含み、前記第2のP型トランジスタのゲートに前記入力端子が接続され、前記第2のP型トランジスタのソースに前記第1の電源電位が供給され、前記第2のP型トランジスタのドレインに前記フローティングN型ウェルを接続することができる。
この第2のP型トランジスタは、入力端子への第2の電源電位の入力時にオンして、フローティングN型ウェルをほぼ第1の電源電位にクランプできる。
本発明の他の態様にかかる半導体装置は、アクティブ電位である第1の電源電位と、前記第1の電源電位よりも高い電位であって、ノンアクティブ電位である第2の電源電位とに変化する信号が入力される入力端子と、前記入力端子に入力された電位が遅延素子を介して第1端子に供給され、制御信号が第2端子に入力され、前記制御信号のLOW論理に基づいて、前記第1端子に入力された電位が内部回路へ伝送されることを遮断制御する伝送制御回路と、前記入力端子に入力された電位レベルに基づいて、前記制御信号の論理を制御する制御回路とを有し、前記制御回路は、フローティングP型ウェル内に形成された第1のN型トランジスタを含み、前記第1のN型トランジスタのゲートに前記第1の電源電位が供給され、前記第1のN型トランジスタのソースに前記入力端子が接続され、前記第1のN型トランジスタのドレインが前記伝送制御回路の前記第2端子に接続されていることを特徴とする。
本発明の一態様によれば、入力端子に前記第1の電源電位より低い電位のノイズが印加されると、フローティングP型ウェルによりボディがクランプ電位に設定された第1のN型トランジスタがオンされ、伝送制御回路の第2端子にLOWが印加される。このため、伝送制御回路は第1端子に入力されるノイズの伝送を遮断する。特に、ノイズが遅延素子にて遅延されるので、ノイズが第1端子に伝播する前に第2端子をLOWに設定できる。第1のN型トランジスタがオンしても、フローティングP型ウェルに形成されているので、漏洩電流は流れない。
本発明の他の態様では、前記第1端子に入力される信号がゲートに印加されるP型トランジスタが、前記第1のN型トランジスタのドレイン及び前記第2端子をつなぐ制御信号線と、前記第2の電源電位の供給線との間に配置されていることができる。こうすると、ノイズが消滅して第1端子にLOWが入力された後に、制御信号線をHIGH電位に確実に復帰させることができる。
本発明の他の態様では、前記制御信号線と前記第2の電源電位の供給線の間に抵抗を接続することができる。この抵抗により、第1のN型トランジスタのオンオフ後に所定の時間だけ制御信号線をLOW論理に維持でき、ノイズが消滅するまで伝送制御回路にてノイズの伝播を遮断できる。
本発明の他の態様では、前記制御回路は、前記フローティングP型ウェル内に形成された第2のN型トランジスタを含み、前記第2のN型トランジスタのゲートに前記入力端子が接続され、前記第2のN型トランジスタのソースに前記第1の電源電位が供給され、前記第2のN型トランジスタのドレインを前記フローティングP型ウェルに接続することができる。
この第2のN型トランジスタは、入力端子への第2の電源電位の入力時にオンして、フローティングP型ウェルをほぼ第1の電源電位にクランプできる。
本発明の一態様及び他の態様では、前記入力端子を、前記アクティブ電位によって前記内部回路をリセットするリセット信号が入力されるリセット端子とすることができる。こうすると、ノイズによってリセットがかかるという重大な誤動作を防止できる。
以下、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、以下に説明する本実施形態は特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではなく、本実施形態で説明される構成の全てが本発明の解決手段として必須であるとは限らない。
図1は、例えばゲートアレイ等の半導体装置10を模式的に示す平面図である。半導体装置10は、周辺セル領域12と内部セル領域14とを有する。内部セル領域14には多数のMOSトランジスタが高集積に搭載されている。これらのMOSトランジスタを配線し、あるいは内部セル領域14に配置されたマクロセルに配線することで、種々のロジック回路やアナログ回路が半導体装置10に搭載される。
周辺セル領域12には、入力端子を介して信号の入出力機能や、電源端子を介して電源電圧の入力機能を果たす領域で、ドライバビリティを考慮して設計されている。周辺セル領域12は、ワイヤーボンディング等の外部配線の容量に抗するドライバビリティの他に、外部端子からの静電気ための保護機能も有する。
図2は、図1に示す半導体装置10の周辺セル領域12の一部を示す回路図である。図2において、入力端子20は例えばリセット端子である。なお、リセット端子20の直後には静電気保護回路が接続されているが、図2では省略している。リセット端子20には、通常動作時には、内部セル領域14内の回路をリセットさせるアクティブ電位であるHVDD電位(広義には第1の電位)と、ノンアクティブ電位である接地電位(広義には第2の電位)とに変化するリセット信号が入力される。なお、リセット端子20に接続された信号入力線22は、リセット端子20の近傍にてプルダウン抵抗R1を介して接地され、フローティング電位とならない。
リセット端子20に接続された信号入力線22には、HVDD電位からVDD電位にレベル変換して論理反転させるレベルシフタ(インバータ)INV1が設けられている。なお、本実施形態では、高電源電位HVDDと低電源電位LVDDを用いるため、レベルシフタINV1が必要であるが、単一電源電位であればインバータに置き換えられる。従って、図2に示す高電源電位HVDDを低電源電位LVDDに置き換えても良い。このインバータINV1は、広義には遅延素子として機能するものである。
本実施形態では、インバータINV1の下流側の信号入力線22には、ノア回路(広義には伝送制御回路)NOR1が設けられている。このノア回路NOR1の一方の第1端子AにインバータINV1の出力が入力され、他方の第2端子Bには制御信号CTRLが入力される。ノア回路NOR1は、制御信号CTRLの論理がHIGHであれば、リセット信号の論理に拘わらず、出力がLOW固定となり、第1端子Aに入力されたノイズなどの電位は伝送されない。制御信号CTRLの論理がLOWであると、ノア回路NOR1にはリセット信号の論理が現れ、リセット信号が伝送されることになる。
このノア回路NOR1に入力される制御信号CTRLは、制御回路30にて生成される。この制御回路30について、図2に加えて、図2中の制御回路30の断面図である図3を参照して説明する。
制御回路30は、リセット端子20に入力される信号の電位レベルに基づいて、制御信号CTRLの論理を制御するものである。図3に示すように、本実施形態の半導体装置が形成されるP型半導体基板60には、フローティングN型ウェル40が形成されている。制御回路30は、フローティングN型ウェル40内に形成された第1のP型トランジスタ32を含んでいる。第1のP型トランジスタ32のゲートにHVDD電位が供給され、第1のP型トランジスタ32のソース(P型不純物層)42にリセット端子20が接続され、第1のP型トランジスタのドレイン(P型不純物層)44は制御信号線70を介してノア回路NOR1のB端子に接続されている。
以上の構成により、リセット端子20に高電源電位HVDDより高い静電気等のノイズ電圧が印加されると第1のP型トランジスタ32がオンし、制御信号CTRLがHIGHとなることで、ノア回路BNOR1はリセット端子20を経由した信号を伝送せずにLOW固定できることが分かる。つまり、静電気等のノイズ電位が内部セル領域14側に伝播されて内部セル領域14内のロジック回路をリセットしてしまうことを防止できることが分かる。
第1のP型トランジスタ32が形成されているフローティングN型ウェル40には、第2のP型トランジスタ34を含むことが好ましい。この第2のP型トランジスタ34は、リセット端子20がノンアクティブ電位である接地電位になったときに、フローティングN型ウェル40のフローティング電位VFNをほぼ高電源電位HVDDにクランプするためのものである。この動作については後述する。
第2のP型トランジスタ34のソース(P型不純物層)46には、HVDD電位線が接続され、ドレイン(P型不純物層)48は、N型不純物層50を介してフローティングN型ウェル40に接続されている。
この制御回路30に設けられた第1,第2のP型トランジスタ32,34以外の他のトランジスタについては、フローティングN型ウェル40内に形成する必要はなく、通常のN型ウェルに形成して構わない。
ここで、ノア回路NOR1と制御回路30は、リセット端子20へのノイズ入力対策として設けられたものである。静電気が静電気保護回路にて除去されるとしても、完全には除去できず、その際のノイズ電圧をVESとする。第1のP型トランジスタ32のしきい値をVTHPとすると、第1のP型トランジスタ32がオンするためには、VES−VTHP>HVDDを満たしている必要がある。
すなわち、リセット端子20へのリセット信号のアクティブ電位HVDD+しきい値VTHPよりも高い静電気等のノイズ電圧VESが、図4(A)に示すようにリセット端子20に印加されたものとする。このとき、第1のP型トランジスタ32がオンされ、制御信号CTRLがHIGHとなる(図4(C)参照)。従って、ノア回路NOR1で内部セル領域14への静電気等のノイズ電圧の伝播を防止できる。
一方、リセット端子20からのノイズ電圧はインバータ(レベルシフタ)INV1を介してノア回路NOR1のA端子に伝送されるが、遅延素子として機能するインバータINV1にて遅延されるので、図4(B)に示すように、図4(C)に示すB端子がHIGHとなるよりも遅く立ち下がる。よって、ノア回路NOR1で内部セル領域14への静電気等のノイズ電圧の伝播を防止でき(図4(D)参照)、誤ってリセットされることがない。
また、リセット端子20へのノイズ電圧の印加が解消されると(図4(A)の電圧立ち下げ)、第1のP型トランジスタ32はオフされるが、制御信号線22の電位(制御信号CTRLの電位)は、抵抗R2等の存在によりある時定数をもって降下し、一気には降下しない。むしろ、入力信号線22途中のインバータINV1で遅延されたとしても、図4(B)に示すようにノア回路NOR1のA端子への入力電位が先に立ち上がるので、ノア回路NOR1の出力はLOW固定される。インバータINV1の出力がHGHに立ち上がった後は、B端子への制御信号をHIGHに維持する必要もない。
そこで、インバータINV1の出力がゲートに印加されるN型トランジスタ80を、制御信号線70と接地端との間に設けた。このN型トランジスタ80は、インバータINV1の出力がHIGHとなるとオンするので、図4(C)に示すように、制御信号線70の電位を元の接地電位に復帰させることができる。
一方、リセット端子20にリセット信号のアクティブ電位HVDDやそれより低いノンアクティブ電位が印加される限り、第1のP型トランジスタ32はオフし続ける。このとき、上述の通り、N型トランジスタ80により制御信号CTRLの電位は接地電位に設定されるので、ノア回路NOR1のB端子にはLOWが入力されるので、ノア回路NOR1での伝送機能が維持される。
次に、図2に示すフローティング電位VFNについて、図3及び図5を参照して説明する。図3に示すように、第1,第2のP型トランジスタ32,34のソース/ドレインとフローティングN型ウェル40との間には、寄生ダイオード90が存在する。
図5は、第1,第2のP型トランジスタ32,34を、その寄生ダイオードD1〜D3を含めて示した等価回路図である。第1,第2のP型トランジスタ32,34の各第2ゲートと寄生ダイオードD1〜D3のカソードとは、フローティングN型ウェル40によって構成され、フローティング電位VFNを有する。
ここで、フローティングN型ウェル40はフローティングとなっているので、漏洩電流が流れることはない。すなわち、リセット端子20にリセット信号のアクティブ電位HVDDが印加された場合には、寄生ダイオードD1によってフローティングN型ウェル40のフローティング電位VFNがHVDD−VD(VDは寄生ダイオードの順方向降下電圧)まで上がる。この時、他の寄生ダイオードD2,D3は逆バイアスされているので、電流の流れる経路は発生しない。
一方、リセット端子20にリセット信号のノンアクティブ電位(GND)が印加されると、寄生ダイオードD3または第2のP型トランジスタ34のソースからドレインに流れる電流によって、フローティングN型ウェル40のフローティング電位VFNが高電源電圧HVDD−VDにクランプされる。このとき、他の寄生ダイオードD1,D2は逆バイアスされているので、電流が流れる経路は発生しない。
このように、第2のP型トランジスタ34の存在により、フローティング電位VFNをほぼHVDD電位にクランプできるので、上述した第1のP型トランジスタ32の動作を担保できる。なお、第2のP型トランジスタ34は必須でなく、他の手法によってフローティング電位VFNをクランプ電位にしても良い。
なお、本発明の実施形態について説明したが、本発明の発明特定事項及び効果から実体的に逸脱しない多くの変形例が可能であることは当業者には容易に理解できる。従って、このような変形例は全て本発明の範囲内に含まれるものである。例えば、本明細書または図面において、少なくとも一度、より広義または同義な用語と共に記載された異なる用語は、本明細書又は図面のいかなる箇所においても、その広義または同義の用語に置き換えることができる。
図6は、リセット端子20にLOWアクティブのリセット信号が入力された時に、内部セル領域14内のロジック回路をリセットする場合に好適な例である。なお、図6において、図2と同一符号については詳細な説明は省略する。図6では、図2の制御回路30に代えて制御回路100を有する。半導体装置の断面図は省略するが、制御回路100はフローティングP型ウェルに形成された第1,第2のN型トランジスタ102,104を有する。
なお、図6の回路を図3と同じP型半導体基板60に形成するには、P型半導体基板60内にN型ウェルを形成し、そのN型ウェル内にフローティングP型ウェルを形成したトリプルウェル構造とすればよい。また、図6でも、図2と同様に静電気保護回路は省略されている。
第1のN型ウェル102のソースには、リセット端子20が接続され、そのゲートは接地される。第1のN型ウェル102のドレインから出力される電圧は、制御信号線110を介して、伝送回路であるナンド回路NAND1のB端子に入力される。なお、ナンド回路NAND1のA端子には、信号入力線22途中に設けられて遅延素子として機能するインバータ(シフトレジスタ)INV1の出力が入力される。
フローティングP型ウェル内に形成された第2のN型トランジスタ104のゲートはリセット端子20に接続され、ソースは接地され、ドレインはフローティングP型ウェルに接続されている。この第2のN型トランジスタ104は、リセット端子20がノンアクティブ電位HVDDになったときに、フローティングP型ウェルのフローティング電位VFPを電源電圧GND(0V)にクランプするものである。
次に、図6に示す回路の動作について図7を参照して説明する。ここで、第1のN型トランジスタ102のしきい値をVTHNとすると、第1のN型トランジスタ102がオンするためには、リセット端子20に印加される負のノイズ電圧VESが、VES+VTHN<GNDを満足する必要がある。
すなわち、GND−VTHNよりも低いノイズ電圧VESが入力されると(図7(A)参照)、第1のN型トランジスタ102がオンする。このため、制御信号線110を介して、ナンド回路NAND1のB端子にLOWが入力され(図7(C)参照)、ナンド回路NAND1ではA端子の信号伝送は遮断され、内部セル領域14にノイズが伝送されることが防止され、リセットを防止できる。
リセット端子20から信号入力線22を介してインバータINV1に入力されるノイズは、インバータINV1で遅延されて反転されるので、ナンド回路NAND1のA端子にHIGHが入力されるタイミングは、B端子にLOWが入力されるタイミングより遅い(図7(B)参照)。
リセット端子20に印加されたノイズが解消されて信号入力線22の電位が立ち上がると(図7(A)参照)、第1のN型トランジスタ102はオフするが、制御信号線110がHIGHに復帰するには時定数に従う必要がある。その前に、インバータINV1の出力が反転して、ナンド回路NAND1のA端子にLOWが印加される(図7(B)参照)。そのため、ナンドNAND1の出力はHIGHを維持する(図7(D)参照)。
インバータINV1の出力がLOWとなると、P型トランジスタ130がオンされ、制御信号線110の電位がHIGHに復帰する(図7(C)参照)。
図8は、第1,第2のN型トランジスタ102,104を、その寄生ダイオードD4〜D6と共に示した等価回路図である。第1,第2のN型トランジスタ102,104の各第2ゲートと寄生ダイオードD4〜D6のアノードとは、フローティングP型ウェル120によって形成され、フローティング電位VFPを有する。
ここで、フローティングP型ウェル120はフローティングとされているので、漏洩電流は流れない。すなわち、リセット端子20にノンアクティブ電位GNDが入力されると、寄生ダイオードD4によってフローティングP型ウェル120のフローティング電位がGND+VDまで下がる(VDは寄生ダイオードの順方向降下電圧)。このとき、他の寄生ダイオードD5,D6は逆バイアスされているので、電流が流れる経路は発生しない。
一方、リセット信号のノンアクティブ電位HVDDがリセット端子20に入力されると、第2のN型トランジスタ104のソースからドレインに流れる電流によって、フローティングP型ウェル120のフローティング電位VFPがほぼ接地電圧GNDにクランプされる。このとき、他の寄生ダイオードD4,D5は逆バイアスされるので、電流の流れる経路は発生しない。
なお、図2及び図6において、遅延素子は必ずしもインバータに限らず、ナンド等の他の素子を用いても良い。
本発明が適用される半導体装置の平面図である。 本発明をリセット端子のノイズ対策に適用した回路の実施形態を示す図である。 図2に示す制御回路の断面図である。 図2に示す回路の動作タイミングチャートである。 図2に示す制御回路の等価回路図である。 本発明の他の実施形態に係る回路を示す図である。 図6に示す回路の動作タイミングチャートである。 図6に示す制御回路の等価回路図である。
符号の説明
10 半導体装置、12 周辺セル領域、14 内部セル領域、20 リセット端子(入力端子)、22 信号入力線、30 制御回路、32 第1のP型トランジスタ、34 第2のP型トランジスタ、40 フローティングN型ウェル、42 ソース、44 ドレイン、46 ドレイン、48 ソース、50 N型不純物層、60 P型半導体基板、70 制御信号線、80 N型トランジスタ、90 寄生ダイオード、100 制御回路、102 第1のN型トランジスタ、104 第2のN型トランジスタ、110 制御信号線、120 フローティングP型ウェル、130 P型トランジスタ、A 第1端子、B 第2端子、INV1 インバータ(遅延素子)、NOR1,NAND1 伝送制御回路

Claims (9)

  1. アクティブ電位である第1の電源電位と、前記第1の電源電位よりも低い電位であって、ノンアクティブ電位である第2の電源電位とに変化する信号が入力される入力端子と、
    前記入力端子に入力された電位が遅延素子を介して第1端子に供給され、制御信号が第2端子に入力され、前記制御信号のHIGH論理に基づいて、前記第1端子に入力された電位が内部回路へ伝送されることを遮断制御する伝送制御回路と、
    前記入力端子に入力された電位レベルに基づいて、前記制御信号の論理を制御する制御回路と、
    を有し、
    前記制御回路は、フローティングN型ウェル内に形成された第1のP型トランジスタを含み、前記第1のP型トランジスタのゲートに前記第1の電源電位が供給され、前記第1のP型トランジスタのソースに前記入力端子が接続され、前記第1のP型トランジスタのドレインが前記伝送制御回路の前記第2端子に接続されていることを特徴とする半導体装置。
  2. 請求項1において、
    前記第1端子に入力される信号がゲートに印加されるN型トランジスタが、前記第1のP型トランジスタのドレイン及び前記第2端子をつなぐ制御信号線と、グランドとの間に配置されていることを特徴とする半導体装置。
  3. 請求項2において、
    前記制御信号線とグランドとの間に抵抗が接続されていることを特徴とする半導体装置。
  4. 請求項1乃至3のいずれかにおいて、
    前記制御回路は、前記フローティングN型ウェル内に形成された第2のP型トランジスタを含み、前記第2のP型トランジスタのゲートに前記入力端子が接続され、前記第2のP型トランジスタのソースに前記第1の電源電位が供給され、前記第2のP型トランジスタのドレインに前記フローティングN型ウェルが接続されていることを特徴とする半導体装置。
  5. アクティブ電位である第1の電源電位と、前記第1の電源電位よりも高い電位であって、ノンアクティブ電位である第2の電源電位とに変化する信号が入力される入力端子と、
    前記入力端子に入力された電位が遅延素子を介して第1端子に供給され、制御信号が第2端子に入力され、前記制御信号のLOW論理に基づいて、前記第1端子に入力された電位が内部回路へ伝送されることを遮断制御する伝送制御回路と、
    前記入力端子に入力された電位レベルに基づいて、前記制御信号の論理を制御する制御回路と、
    を有し、
    前記制御回路は、フローティングP型ウェル内に形成された第1のN型トランジスタを含み、前記第1のN型トランジスタのゲートに前記第1の電源電位が供給され、前記第1のN型トランジスタのソースに前記入力端子が接続され、前記第1のN型トランジスタのドレインが前記伝送制御回路の前記第2端子に接続されていることを特徴とする半導体装置。
  6. 請求項5において、
    前記第1端子に入力される信号がゲートに印加されるP型トランジスタが、前記第1のN型トランジスタのドレイン及び前記第2端子をつなぐ制御信号線と、前記第2の電源電位の供給線との間に配置されていることを特徴とする半導体装置。
  7. 請求項6において、
    前記制御信号線と前記第2の電源電位の供給線の間に抵抗が接続されていることを特徴とする半導体装置。
  8. 請求項5乃至7のいずれかにおいて、
    前記制御回路は、前記フローティングP型ウェル内に形成された第2のN型トランジスタを含み、前記第2のN型トランジスタのゲートに前記入力端子が接続され、前記第2のN型トランジスタのソースに前記第1の電源電位が供給され、前記第2のN型トランジスタのドレインに前記フローティングP型ウェルが接続されていることを特徴とする半導体装置。
  9. 請求項1乃至8のいずれかにおいて、
    前記入力端子は、前記アクティブ電位によって前記内部回路をリセットするリセット信号が入力されるリセット端子であることを特徴とする半導体装置。
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