JP4922752B2 - 孔あきサポートプレート - Google Patents
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Description
上記0.7mm厚のガラス製のサポートプレートであって、溶解液を通すための多数の貫通孔が空いているものにおいては、貫通孔の全ては、孔あきサポートプレートのエッジとその近傍領域とを残す略全ての領域に、高い密度で均等に設けられている。そのため、この貫通孔を通じて溶解液がウエハとの貼り合わせ面全体に効率よく導かれるようになり、ウエハと孔あきサポートプレートの間に介在させた粘着性を有する物質をすばやく反応させて、ウエハと孔あきサポートプレートとを短時間で剥離することが可能になる。
ウエハを接着層を挟んで面サポートするための孔あきサポートプレートであって、板状基材に形成した、幾何学模様の線からなる撓み防止用孔無し領域である撓み防止用の補強部を備え、前記幾何学模様は、複数の同心円、放射状に延びた線、又は同一図形の繰り返しによって構成される。
板状基材に形成した、幾何学模様の線からなる撓み防止用孔無し領域である撓み防止用の補強部を備え、前記幾何学模様の線幅は1mm以下である。
また、上記孔あきサポートプレートは、径が略300mmであり且つ厚みが0.7mm以下であることが好ましい。
また、上記撓み防止用の補強部を板状基材に、幾何学模様の線からなる撓み防止用孔無し領域として設けるようにした場合は、孔あきサポートプレートの厚みを板状基材の厚みに合わせることができる。
特に径が300mm以上の0.7mm厚の孔あきサポートプレートにおいては、剛性が高められることにより撓みの発生を抑えることができるようになり、孔あきサポートプレートとしての利用性が高まる。
(第一の実施の形態)
図1及び図2は、第一の実施の形態における本発明の孔あきサポートプレートの説明図である。図1(a)は、上記孔あきサポートプレートの斜視図、同図(b)は、上記孔あきサポートプレートの平面図である。また、図2(a)は、図1(b)における点線A部分の拡大図であり、同2(b)は、同図(a)のB−B´線における断面図である。
上記の幾何学模様の線の部位14のより詳しい構造は、図2(a)の部分拡大図及び同図(b)の断面図に示した如くである。即ち、図2(a)に示すように、板状基材10上には略均等に高い密度で多数の貫通孔(同図(a)の黒い点)12が設けられているが、幾何学模様の線の部位(同図(a)の白い太線)14においては上記貫通孔が設けられていない。また、同図(b)に示すように、領域12´においては、板状基材10の上面10Aから下面10B(厚み方向)に貫通した多数の貫通孔12が設けられており、それぞれの貫通孔12(同図(b)の黒く縦縞で示された部分)の位置においてガラス物質が完全に除去されているが、円の繰り返しによる幾何学模様の線の部位14においては貫通孔がないため、板状基材10を構成しているガラス物質がそのまま残っている。
上記のように、補強部を、上記板状基材上において円形の幾何学模様にして配置したことにより、広範囲に渡って効率よく面強度を上げることができるようになった。
(第二の実施の形態)
第二の実施の形態においては、片面を真空吸着して保持するタイプの吸着装置において利用される孔あきサポートプレートについて示す。
図3(a)及び(b)の孔あきサポートプレート2は、第一の実施の形態で示したものと同様に、0.7mm厚のガラス製の板状基材10が300mm径に円形に加工されたもので、0.4mm径程度の複数の貫通孔12が全面に高い密度で空けられている。
(第三の実施の形態)
第三の実施の形態においては、第一及び第二の実施の形態において示した本発明の孔あきサポートプレートに構成されている補強部(特に撓み防止用孔無し領域)と、吸着用未開口領域の変形例を示す。ただし、以下において特に説明しないが「撓み防止用孔無し領域」と「吸着用未開口領域」のそれぞれは、第二の実施の形態に示した条件で設けられているものとする。
図4は、上記円形の幾何学模様の線を多角形の幾何学模様の線に変更した場合の例であり、六角形の繰り返しパターンによる幾何学模様の線30によって補強部(又は撓み防止用孔無し領域)を構成している。
図7は、吸着用未開口領域を、互いに直行する2本の帯状の線60にして設けた場合の例である。
なお、以上に示した補強部(又は撓み防止用孔無し領域)の模様は、一例である。そのため、上記補強部(又は撓み防止用孔無し領域)の模様をその他の幾何学模様の線で構成してもよい。例えば、円或いは多角形を一つだけ使用して上記幾何学模様の線を構成してもよい。
10 ガラス製の板状基材
12 貫通孔
14 幾何学模様の線の部位
Claims (4)
- ウエハを接着層を挟んで面サポートするための孔あきサポートプレートであって、
板状基材に形成した、幾何学模様の線からなる撓み防止用孔無し領域である撓み防止用の補強部を備え、
前記幾何学模様は、複数の同心円、放射状に延びた線、又は同一図形の繰り返しによって構成されている、
ことを特徴とする孔あきサポートプレート。 - ウエハを接着層を挟んで面サポートするための孔あきサポートプレートであって、
板状基材に形成した、幾何学模様の線からなる撓み防止用孔無し領域である撓み防止用の補強部を備え、
前記幾何学模様の線幅は1mm以下である、
ことを特徴とする孔あきサポートプレート。 - 前記サポートプレートは、吸着用未開口領域を有する、
ことを特徴とする請求項1または2に記載の孔あきサポートプレート。 - 径が略300mm且つ厚みが0.7mm以下である、
ことを特徴とする請求項1乃至3の内の何れか一つに記載の孔あきサポートプレート。
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