JP4916486B2 - 六方晶窒化ホウ素構造および製造方法 - Google Patents
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(1)単結晶六方晶窒化ホウ素バルク基板上の六方晶窒化ホウ素構造
(2)六方晶窒化ホウ素と格子整合する(もしくは格子不整合が小さい)基板上の六方晶窒化ホウ素構造
(3)六方晶窒化ホウ素と格子不整合する基板上の六方晶窒化ホウ素構造
高品質な六方晶窒化ホウ素成長のためには、(1)の単結晶六方晶窒化ホウ素バルク基板上に単結晶六方晶窒化ホウ素構造をホモエピタキシャル成長させる方法が、最も渇望されるところである。しかし、現在実現されている単結晶六方晶窒化ホウ素基板の大きさは、最大で0.5−1mm程度であり、また再現性良く成長させることが大変難しい。さらに、単結晶六方晶窒化ホウ素バルク基板は、商用的には販売されておらず入手不可能である。
42 六方晶窒化ホウ素
51 有機金属ガスライン
52 アンモニアガスライン
53 ベントライン
54a、54b、54c、54d バルブ
55 水素キャリアガス
56、57 貯蔵容器
58 反応炉
59 基板加熱ヒーター
Claims (2)
- サファイア単結晶基板と、該基板上に形成された単結晶六方晶窒化ホウ素を有し、前記基板の主方位面が、(11−20)面または(1−102)面であることを特徴とする六方晶窒化ホウ素構造。
- V族原料であるアンモニアと、III族原料であるトリエチルボロン、トリメチルボロン、ジラボン、三塩化ホウ素、または三フッ化ホウ素とを用いる気相成長法により、サファイア単結晶基板上に単結晶六方晶窒化ホウ素を形成し、前記V族原料であるアンモニアのモル流量と、前記III族原料であるトリエチルボロン、トリメチルボロン、ジボラン、三塩化ホウ素、または三フッ化ホウ素のモル流量との間のV/III比が、1000以上であることを特徴とする六方晶窒化ホウ素の製造方法。
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