JP4915943B2 - 屈折率測定方法及び装置 - Google Patents
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Description
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により求めることができる。このとき屈折率マッチング液6の屈折率は測定結果に影響を及ぼさない。
2 補償用プリズム
3 光源
4 第1ビームスプリッタ
5 ミラー
6 マッチング液
7 ミラー
8 第2ビームスプリッタ
9 干渉計
10 レーザ測長器
11、13、21、23 斜面
12、22 底面
14 第2ビームスプリッタ
15 第3ビームスプリッタ
16 ミラー
17 第4ビームスプリッタ
18 第2レーザ測長器
19 第2ビームスプリッタ
20 ミラー
24 ビームスプリッタ
25 ミラー
26 偏光ビームスプリッタ
27 ミラー
28 偏光ビームスプリッタ
29 4分の1波長板
30 コーナリフレクタ
31 偏光ビームスプリッタ
32 ミラー
33 偏光ビームスプリッタ
34 4分の1波長板
35 コーナリフレクタ
36 偏光ビームスプリッタ
Claims (8)
- 被測定プリズムと補償用プリズムの斜面を近接対向配置してプリズム対を形成し、
前記プリズム対を干渉計の中に配置し、
前記被測定プリズムを、補償用プリズムに向かい合っている面内で平行移動させて、干渉計中の被測定プリズム中の光路長を変化させ、
前記被測定プリズム中光路長変化と、被測定プリズムの移動量の関係から、被測定プリズムの屈折率を求めることを特徴とする屈折率測定方法。 - 前記干渉計は、被測定プリズムの同一点にそれぞれ別方向から、同一光源の光を分岐した光を導き、出射した各光を各々同一光源の参照光と各々干渉させることにより、前記被測定プリズムの平行移動時における平行方向以外のずれをキャンセルすることを特徴とする請求項1記載の屈折率測定方法。
- 前記干渉計は、被測定プリズムの同一点にそれぞれ別方向から、同一光源の光を分岐した光を導き、出射した各光を干渉させることにより、前記被測定プリズムの平行移動時における平行方向以外のずれをキャンセルすることを特徴とする請求項1記載の屈折率測定方法。
- 被測定プリズムと補償用プリズムの斜面を近接対向配置してプリズム対を構成し、
前記プリズム対を干渉計の中に配置し、
前記被測定プリズムを、補償用プリズムに向かい合っている面内で平行移動させて、干渉計中の被測定プリズム中の光路長を変化させる手段と、被測定プリズムの移動量を測定する手段とを備え、
前記被測定プリズム中光路長変化と、被測定プリズムの移動量の関係から、被測定プリズムの屈折率を求めることを特徴とする屈折率測定装置。 - 前記干渉計は、同一光源からの光を分岐した片方の光路に前記プリズム対を配置し、他方の参照光と合成して干渉させることを特徴とする請求項4記載の屈折率測定装置。
- 前記干渉計は、被測定プリズムの同一点にそれぞれ別方向から、同一光源の光を分岐した光を導き、出射した各光を各々同一光源の参照光と各々干渉させることにより、前記被測定プリズムの平行移動時における平行方向以外のずれをキャンセルすることを特徴とする請求項4記載の屈折率測定装置。
- 前記干渉計は、被測定プリズムの同一点にそれぞれ別方向から、同一光源の光を分岐した光を導き、出射した各光を干渉させることにより、前記被測定プリズムの平行移動時における平行方向以外のずれをキャンセルすることを特徴とする請求項4記載の屈折率測定装置。
- 前記被測定プリズムの移動量は、被測定プリズムの1つの斜面の移動量を測定し、または2つの斜面の移動量をそれぞれ測定することを特徴とする請求項4記載の屈折率測定装置。
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