JP5177566B2 - 屈折率測定方法および屈折率測定装置 - Google Patents
屈折率測定方法および屈折率測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5177566B2 JP5177566B2 JP2009080118A JP2009080118A JP5177566B2 JP 5177566 B2 JP5177566 B2 JP 5177566B2 JP 2009080118 A JP2009080118 A JP 2009080118A JP 2009080118 A JP2009080118 A JP 2009080118A JP 5177566 B2 JP5177566 B2 JP 5177566B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- measured
- prism
- optical path
- path length
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Description
本発明の一実施形態(第1実施形態)に係る屈折率測定装置100の概略構成を示す模式図である。以下、図1を参照して屈折率測定装置100の構成と、屈折率測定装置100を用いて実施する一実施形態に係る屈折率測定方法の各工程とを説明する。
n1=(Y/X+1)na (1)
により求めることができる。なお、上記は、被測定プリズム1の移動に伴う変化を測定しているため、補償用プリズム2および屈折率マッチング液5の屈折率は、測定結果に影響を及ぼさない。
Y=λ3φY/2π (2)
X=λ3φX/2π (3)
と表されるので、(1)式は、
n1=(Y/X+1)na=(φY/φX+1)na (4)
と表すことができ、真空波長の絶対値λ3はキャンセルされ、真空波長の絶対値λ3の影響を受けることなく、被測定プリズム1の屈折率n1を算出することができる。
図2は、本発明の一実施形態(第2実施形態)に係る屈折率測定装置110の概略構成を示す模式図である。以下、図2を参照して屈折率測定装置110の構成と、屈折率測定装置110を用いて実施する一実施形態に係る屈折率測定方法の各工程とを説明する。なお、屈折率測定装置100と同様の部材には同じ符号を付して説明を省略する。
X40=λ40φX40/2π (5)
とも表される。(3)式はnaDに等しく、(5)式はna40Dと等しい。ここでna40は、真空波長λ40における空気屈折率である。これらを比較することにより、
λ3=λ40φX40na/(φXna40) (6)
と、光源3の真空波長λ3を求めることができる。
2 補償用プリズム
3 光源(第1の光源)
4 第1ビームスプリッタ
5 屈折率マッチング液
6 ミラー
7 第2ビームスプリッタ
8 ミラー
9 干渉計(第1光路長変化測定手段)
11、13、21、23 斜面
12、22 底面
30 部分反射鏡
31 干渉計(第2光路長変化測定手段、第3光路長変化測定手段)
40 光源(第2の光源)
41 第3ビームスプリッタ
42 ダイクロイックミラー
51、52、53 光検出器
100、110 屈折率測定装置
Claims (8)
- 干渉計を用いて被測定プリズムの屈折率を測定する屈折率測定方法であって、
上記干渉計内に配置した上記被測定プリズムを特定方向に移動させて、第1の光源から出射して上記被測定プリズムを通過する第1の光の光路長と、同じ上記第1の光源から出射して上記第1の光と同じ経路で上記被測定プリズムに入射し、その入射面において上記被測定プリズムによって反射される第2の光の光路長とをそれぞれ変化させ、それらの変化を測定し、
測定した、上記第1の光の光路長の変化と上記第2の光の光路長の変化との関係に基づいて、上記被測定プリズムの屈折率を算出することを特徴とする屈折率測定方法。 - 上記被測定プリズムおよび補償用プリズムの斜面同士を対向させてなるプリズム対が上記干渉計内に配置されており、
上記特定方向は、上記被測定プリズムの上記斜面の面内方向であることを特徴とする請求項1に記載の屈折率測定方法。 - 上記第1の光と、上記第1の光源から出射して上記被測定プリズムを通過しない第3の光との干渉を検出することにより上記第1の光の光路長の変化を測定するとともに、上記第2の光と、上記第1の光源から出射して上記被測定プリズムによって反射されない第4の光との干渉を検出することにより上記第2の光の光路長の変化を測定することを特徴とする請求項1または2に記載の屈折率測定方法。
- 上記被測定プリズムを上記特定方向に移動させたときの、特定の波長の光を出射する第2の光源から出射して、上記第2の光と同じ位置かつ同じ反射角で上記被測定プリズムによって反射される第5の光の光路長の変化をさらに測定し、
測定した、上記第2の光の光路長の変化と上記第5の光の光路長の変化との関係に基づいて、上記第1の光源が出射する光の波長を算出することを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の屈折率測定方法。 - 内部に配置された被測定プリズムの屈折率を測定する屈折率測定装置であって、
第1の光源と、
上記第1の光源から出射する光の経路を規定する光学系と、
上記被測定プリズムを特定方向に移動させて、上記第1の光源から出射して上記被測定プリズムを通過する第1の光の光路長と、同じ上記第1の光源から出射して上記第1の光と同じ経路で上記被測定プリズムに入射し、その入射面において上記被測定プリズムによって反射される第2の光の光路長とをそれぞれ変化させる被測定プリズム移動手段と、
上記被測定プリズム移動手段が上記被測定プリズムを移動させたときの上記第1の光の光路長の変化を測定する第1光路長変化測定手段と、
上記被測定プリズム移動手段が上記被測定プリズムを移動させたときの上記第2の光の光路長の変化を測定する第2光路長変化測定手段とを備えており、
上記第1光路長変化測定手段が測定した上記第1の光の光路長の変化と、上記第2光路長変化測定手段が測定した上記第2の光の光路長の変化との関係に基づいて、上記被測定プリズムの屈折率を算出することを特徴とする屈折率測定装置。 - 上記被測定プリズムおよび補償用プリズムの斜面同士を対向させてなるプリズム対が上記屈折率測定装置内に配置されており、
上記特定方向は、上記被測定プリズムの上記斜面の面内方向であることを特徴とする請求項5に記載の屈折率測定装置。 - 上記光学系は、上記第1の光と、上記第1の光源から出射して上記被測定プリズムを通過しない第3の光とを干渉させるとともに、上記第2の光と、上記第1の光源から出射して上記被測定プリズムによって反射されない第4の光とを干渉させ、
上記第1光路長変化測定手段は、上記第1の光と上記第3の光との上記干渉を検出することにより上記第1の光の光路長の変化を測定し、
上記第2光路長変化測定手段は、上記第2の光と上記第4の光との上記干渉を検出することにより上記第2の光の光路長の変化を測定することを特徴とする請求項5または6に記載の屈折率測定装置。 - 上記被測定プリズムを上記特定方向に移動させたときの、特定の波長の光を出射する第2の光源から出射して、上記第2の光と同じ位置かつ同じ反射角で上記被測定プリズムによって反射される第5の光の光路長の変化を測定する第3光路長変化測定手段をさらに備え、
上記第2光路長変化測定手段が測定した上記第2の光の光路長の変化と、上記第3光路長変化測定手段が測定した上記第5の光の光路長の変化との関係に基づいて、上記第1の光源が出射する光の波長を算出することを特徴とする請求項5から7のいずれか1項に記載の屈折率測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009080118A JP5177566B2 (ja) | 2009-03-27 | 2009-03-27 | 屈折率測定方法および屈折率測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009080118A JP5177566B2 (ja) | 2009-03-27 | 2009-03-27 | 屈折率測定方法および屈折率測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010230574A JP2010230574A (ja) | 2010-10-14 |
JP5177566B2 true JP5177566B2 (ja) | 2013-04-03 |
Family
ID=43046544
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009080118A Expired - Fee Related JP5177566B2 (ja) | 2009-03-27 | 2009-03-27 | 屈折率測定方法および屈折率測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5177566B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113777035A (zh) * | 2021-08-26 | 2021-12-10 | 五邑大学 | 一种晶体折射率测量方法、装置及存储介质 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3216146B2 (ja) * | 1990-04-18 | 2001-10-09 | 株式会社アドバンテスト | マイケルソン干渉計 |
US6462823B1 (en) * | 2001-04-13 | 2002-10-08 | Agilent Technologies, Inc. | Wavelength meter adapted for averaging multiple measurements |
JP4915943B2 (ja) * | 2007-07-04 | 2012-04-11 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 屈折率測定方法及び装置 |
-
2009
- 2009-03-27 JP JP2009080118A patent/JP5177566B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010230574A (ja) | 2010-10-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8520218B2 (en) | Measuring method of refractive index and measuring apparatus of refractive index | |
CN102893121B (zh) | 用于检查结构化对象的光学设备和方法 | |
US10024647B2 (en) | Method of air refractive index correction for absolute long distance measurement | |
TW201502491A (zh) | 用於測量折射指數之方法,折射指數測量裝置,及用於製造光學元件之方法 | |
US9810521B2 (en) | Displacement detection apparatus | |
JP3881125B2 (ja) | 段差測定装置並びにこの段差測定装置を用いたエッチングモニタ装置及びエッチング方法 | |
CN106940220B (zh) | 一种简易低成本的激光波长实时测量装置 | |
CN104215176A (zh) | 高精度光学间隔测量装置和测量方法 | |
KR20160145496A (ko) | 굴절률의 계측방법, 계측장치와, 광학소자의 제조방법 | |
CN103250101A (zh) | 用于确定光学系统中的反射镜的发热状况的方法和布置 | |
KR101251292B1 (ko) | 편광을 이용한 3차원 형상 및 두께 측정 장치 | |
JP4915943B2 (ja) | 屈折率測定方法及び装置 | |
JP2012505393A (ja) | 共振器長の測定法 | |
US9625350B2 (en) | Refractive index distribution measuring method, refractive index distribution measuring apparatus, and method for manufacturing optical element | |
JP2015105850A (ja) | 屈折率計測方法、屈折率計測装置および光学素子の製造方法 | |
JP4208069B2 (ja) | 屈折率及び厚さの測定装置ならびに測定方法 | |
JPH04326005A (ja) | 真直度測定装置 | |
JP5177566B2 (ja) | 屈折率測定方法および屈折率測定装置 | |
TW201502492A (zh) | 用於測量折射指數之方法和裝置及用於製造光學元件之方法 | |
KR102079588B1 (ko) | 페브리-페롯 간섭계 기반 평판의 두께 및 굴절률 측정 방법 | |
JP5868227B2 (ja) | 屈折率計測方法および屈折率計測装置 | |
JP2015010920A (ja) | 屈折率計測方法、屈折率計測装置および光学素子の製造方法 | |
JP5361230B2 (ja) | 2波長レーザ干渉計評価校正方法、評価校正装置および評価校正システム | |
JP6193644B2 (ja) | 変位測定装置及び変位測定方法 | |
JP7284741B2 (ja) | 干渉計及び光学機器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110124 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120913 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120925 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7426 Effective date: 20121112 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121120 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20121112 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121218 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121226 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5177566 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |