JP3216146B2 - マイケルソン干渉計 - Google Patents

マイケルソン干渉計

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、例えば、光スペクト
ルアナライザに用いられ、被測定光の波長に応じた周波
数をもつ干渉光を発生させるマイケルソン干渉計に関
し、特にその可動反射体の駆動部分に係わる。
【0002】
【従来の技術】図1に従来のマイケルソン干渉計を示
す。被測定光11は半透明鏡などのビームスプリッタ1
2に入射され、ビームスプリッタ12で反射光と透過光
とに分割され、その反射光は固定反射体13に入射され
る。固定反射体13はミラー又はプリズムのコーナキュ
ーブその他の入射光をその到来方法に反射する反射体で
ある。ビームスプリッタ12の透過光は可動反射体14
に入射される。可動反射体14も固定反射体13と同様
に入射光をその到来方向に反射するものである。固定反
射体13よりの反射光と可動反射体14よりの反射光と
がビームスプリッタ12に戻り合波されて干渉し、その
干渉光は受光素子15で受光されて電気信号に変換され
る。可動反射体14はリニアモータ16に取り付けら
れ、ビームスプリッタ12に対して進退する。リニアモ
ータ16にはその進退方向(移動方向)に沿って延長し
たリニアスケール17が取付けられ、リニアスケール1
7の単位量の移動がリニアスケール検出器18で検出さ
れる。その検出出力は互いに90°位相がずれた2相パ
ルス信号D1 、D2 であり、その何れの信号が進み位相
か遅れ位相かにより移動方向を示し、単位移動長毎に1
つのパルスが発生される。このようなリニアスケールと
検出器の組は市販されている。このリニアスケール検出
器18の出力2相信号はサーボ駆動回路19に入力され
る。サーボ駆動回路19はマイクロコンピュータを有し
ており、制御回路21から移動速度、移動量及び方向が
入力され、それに従ってリニアモータ16の駆動制御が
行われる。このようなサーボ駆動回路はICとして市販
されている。リニアモータ16に遮光片22が取付けら
れ、リニアモータ16、つまり可動反射体14が基準位
置に達すると、遮光板22がフォトインタラプタ23内
に入り、フォトインタラプタ23からリニアモータ1
6、つまり可動反射体14が基準位置にあることを示す
信号が制御回路21に与えられる。これを基準として制
御回路21が速度、移動量及び方向をサーボ駆動回路1
9に設定すると、サーボ駆動回路19はその方向にその
移動量だけ可動反射体14を指定された一定速度で移動
させるように、リニアスケール検出器18からの検出信
号D1 、D2 を帰還信号として2相駆動信号Pでリニア
モータ16をサーボ駆動する。
【0003】被測定光が単一波長の場合は、ビームスプ
リッタ12より固定反射体13に達し、これより反射さ
れてビームスプリッタ12に戻る光路長と、ビームスプ
リッタ12より可動反射体14に達し、これより反射さ
れてビームスプリッタ12に戻る光路長との差が被測定
光11の波長の2分の1の偶数(0を含む)倍と一致す
ると干渉光の強度が最大となり、奇数倍になると干渉光
の強度は最小になる。従って可動反射体14を一定速度
で移動させると、干渉光の強度は波長に対応した周期で
正弦波的に変化する。被測定光が複数の異なる波長を含
んでいる場合は可動反射体14が一定速度で移動するに
つれそれらの波長に対応した周波数成分を含む波形が受
光素子15により検出される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】図1に示した従来の干
渉計においては、可動反射体14の移動量、方向をリニ
アスケール17を用いて検出しており、その検出2相信
号の4分の1周期ごとにリニアモータ16の移動がステ
ップ的に制御されるため、可動反射体14の移動単位、
つまり2相信号の4分の1の周期と対応する長さが大き
いと、被測定光の干渉光の強度が可動反射体14のステ
ップ送りによりステップ的に変化し、受光素子15に検
出される信号に好ましくない変調ノイズが加わってしま
う。
【0005】このような問題が生じないようにするには
可動反射体14をなるべく円滑に、つまり小ステップで
移動させる必要がある。そのためにはリニアスケール1
7の分解能を1μm 以下とする必要があるが、このよう
に高分解能のリニアスケールは現在では著しく高価であ
る。またこのように高分解能のリニアスケール17を用
いると、これとリニアスケール検出器18との角度合せ
も大変厳しくなり、調整が大変なものとなる。
【0006】この発明の目的は安価な部品で構成でき、
しかも可動反射体を小さいステップで移動することが可
能なマイケルソン干渉計を提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】この発明によれば被測定
光と共に基準光を入射するマイケルソン干渉計におい
て、基準光の干渉信号を受光素子で電気信号に変換し、
その電気信号と、可動反射体に対する方向の制御信号と
より得た帰還信号を、可動反射体のサーボ駆動回路へ供
給する。
【0008】
【実施例】図2にこの発明の実施例を示し、図1と対応
する部分に同一符号を付与している。この発明ではビー
ムスプリッタ12に被測定光11と共に基準光源29か
ら単一波長の基準光RLが入射され、基準光RLがビー
ムスプリッタ12で2つに分割され、その一方の光ビー
ムが可動反射体14で反射し、他方の光ビームが固定反
射体13で反射し、これら2つの分割光ビームはビーム
スプリッタ12で合波され、干渉光として受光素子31
に入射される。可動反射体14の移動距離△dに対し2
つの分割光ビームの光路長差は2△dとなるので可動反
射体14が基準光RLの波長λr の1/2の距離即ちλ
r /2を移動する毎に受光素子31の出力レベルは1サ
イクル変化する。従って受光素子31の出力信号のレベ
ル変化サイクルの数は可動反射体14の移動距離に対応
する。可動反射体14が一定速度で移動すると基準光の
波長と反射体14の移動速度で決まる一定周期の正弦波
状信号が受光素子31から出力される。従ってこの受光
素子31からの出力信号の周波数は受光素子15で検出
される被測定光11の干渉光による信号周波数に対し測
定基準を与える。基準光RLはできるだけ短い方が精度
の高い波長分解能が得られ、被測定光11の波長と同等
かそれより短いのが好ましい。基準光RLとして、例え
ば、波長633nmのHe−Neガスレーザが用いられ
る。可動反射体14が移動することにより強度が繰返し
変化する干渉光が受光素子31に入射され、正弦波状に
変化する電気信号に変換される。その電気信号は波形整
形器32Aへ供給されて図3に示す方形波信号Sqに整
形され、その方形波信号Sqから帰還信号発生手段とし
ての2相信号発生器32Bにおいて互いに90°位相が
ずれた2相信号S1 及びS2 が図3に示すように形成さ
れる。可動反射体14が停止していると、図3の方形波
Sqは“0”又は“1”のいずれか一方のレベルとなっ
ている。可動反射体14が一定速度で移動すると一定周
期の方形波Sqが波形整形器32Aから出力されるが、
その方形波Sqには可動反射体14の移動方向の情報は
含まれていない。そこでこの発明では制御回路21から
可動反射体14を移動させるべき方向を指定する方向制
御信号DCを発生して2相信号発生器32Bに与え、例
えば可動反射体14をビームスプリッタ12の方に移動
させる場合は信号S1 の位相が信号S2 の位相より90
°進むように2相信号S1 、S2 を発生させ、逆方向に
移動させる場合は信号S2 の位相が信号S1 の位相より
90°進むように信号S1 、S2 を発生する。この2相
信号S1 、S2 を帰還信号としてサーボ駆動回路19へ
供給する。
【0009】2相信号S1 、S2 は方形波信号Sqを1
/2分周して形成され、制御回路21から与えられる可
動反射体14の移動方向制御信号DCに応じて、信号S
1 は例えば図3に示すように方形波信号Sqの立上り毎
に状態が反転し、信号S2 は方形波信号Sqの立下りご
とに状態が反転するように発生される。このようにして
この図3の例では方形波信号Sqの立上りで作った信号
1 は、立下りで作った信号S2 より90°進んだもの
となる。可動反射体14の移動方向が逆の場合は、方形
波信号Sqの立上り毎に状態が反転するように信号S2
を発生させ、方形波信号Sqの立下りごとに状態が反転
するように信号S1 を発生させる。
【0010】図4は図2における2相信号発生器32B
の具体的回路構成例を示す。この例では制御回路21か
ら与えられる方向制御信号DCがあらかじめ決めた一方
の方向とその逆の方向をそれぞれ表わす別々の信号DC
1 とDC2 で構成される場合であり、これらの信号DC
1 とDC2 は別々の配線を通して2相信号発生器32B
に供給される。ただし、この例は信号DC1 、DC2
常時Hレベルにあり、いずれか一方の方向に可動反射体
14を移動させる時に信号DC1 、DC2 のうちの対応
するもののレベルを一定の短い時間のあいだLレベルと
する。信号DC1 、DC2 はこのLレベルパルスを指す
ものとする。2相信号発生器32Bは3つのD型フリッ
プフロップ34、35、36、アンドゲート37、イン
バータ38及びノアゲート39とから構成されている。
方形波信号Sqが入力される前に予じめ移動方向に対応
する信号DC1 、DC2 のいずれか一方を与えることに
よりDFF34と36はクリアされ、DFF35は信号
DC1 又はDC2 によりクリア又はプリセットされる。
【0011】方形波信号SqはDFF34のクロック端
子に与えられ、データ端子に与えられているHレベルを
読み込んで、そのQ出力がHレベルとなり、ゲート37
が開き、方形波信号Sqがゲート37を通過する。前述
のように信号DC1 及びDC2 のいずれが与えられた場
合でもDFF36はクリアされるのでそれによって反転
Q出力はHレベルとなっている。従ってゲート37の出
力の方形波信号Sqの最初の立下りでその反転Q出力の
HレベルがDFF36に読込まれてQ出力がHレベルと
なり以降は方形波信号Sqの立下り毎にQ出力のレベル
が反転する。このDFF36のQ出力は2相信号の一方
2 として出力される。一方DFF35においては、予
じめ信号DC1 によりクリアされていれば反転Q出力は
Hレベルとなっており、ゲート37を通った方形波信号
Sqの最初の立上りでQ出力のHレベルが読込まれてQ
出力がHレベルとなり、以降は方形波信号Sqの立上り
毎にQ出力のレベルが反転する。逆にDFF35が予じ
め信号DC2 によりプリセットされていれば反転Q出力
はLレベルとなっているので、ゲート37を通った方形
波信号Sqの最初の立上りで反転Q出力のLレベルが読
込まれてQ出力がLレベルとなり、以降は方形波信号S
qの立上り毎にQ出力のレベルが反転する。即ち、後者
の場合のQ出力は前者の場合よりも位相が180度遅れ
ている。DFF35のQ出力は2相信号の他方S1 とし
て出力される。つまり図4の2相信号発生器の実施例で
は、常に方形波信号Sqの立下り毎にレベルが反転する
信号S2 を発生させ、これに対し方形波信号Sqの立上
り毎にレベルが反転する信号S1 は与えられる方向制御
信号がDC1 であるかDC2 であるかにより信号S2
り90°位相を進めるか又は遅らせて発生されるように
構成されている。
【0012】図2の実施例では可動反射体14の停止
時、又は測定時以外における可動反射体14の移動時
に、反射体14の移動に直接的に関連したスケール手段
を含む帰還信号発生手段を利用し、この例ではリニアス
ケール17を利用してサーボ制御可能とした場合であ
り、図1の従来技術と同様のリニアスケール17及びリ
ニアスケール検出器18も設けられる。リニアスケール
検出器18の出力2相信号D1,D2 と2相信号発生器3
2Bの出力2相信号S1,S2 とが切替え回路33で制御
回路21の制御により切替えられてサーボ駆動回路19
へ供給される。
【0013】可動反射体14を停止させている状態でも
外部振動などにより、ビームスプリッタ12に対し可動
反射体14が微小移動し、停止位置がずれるおそれがあ
る。この微小移動によっても受光素子31の出力レベル
が干渉光の強度変化に対応してほぼ正弦波状に変化する
が、前述のように受光素子31の出力から得られる信号
には可動反射体14の移動方向に関する情報は得られな
い。従って制御回路21は位置ずれを修正するために可
動反射体14をどちらの方向に移動させるべきか判断す
ることはできない。つまり2相信号発生器32Bに与え
るべき方向制御信号DCを指定することができない。そ
こで、この実施例ではリニアスケール検出器18の出力
2相信号D1 、D2 を切替え回路33を通してサーボ駆
動回路19へ供給し、可動反射体14が停止位置を保持
するように帰還制御する。
【0014】ここで、以上のマイケルソン干渉計の動作
について説明するに、電源スイッチをオンにした時、可
動反射体14を基準位置に移動させる制御はリニアスケ
ール検出器18からの2相信号D1 、D2 をサーボ駆動
回路19へ供給して行い、遮光板22がフォトインタラ
プタ23内に入るまで可動反射体14を移動させる。ま
た、非測定時における可動反射体14の移動も、リニア
スケール検出器18の出力をサーボ駆動回路19へ供給
して行う。
【0015】測定時においては、予め制御回路21から
可動反射体14の移動方向を指定する信号DCが2相信
号発生器32Bに与えられるから、可動反射体14の移
動と共にその方向に応じた位相の2相信号S1 、S2
2相信号発生器32Bから出力され、その2相信号
1 、S2 をサーボ駆動回路19へ供給して可動反射体
14の移動速度と移動距離を制御する。従って可動反射
体14の移動を高い精度で制御することができる。また
図2の例ではリニアモータ16は、基準光RLの2分の
1波長単位で駆動され、基準光RLの波長は633nmで
あるから、高い分解能で可動反射体14を円滑に移動さ
せることができる。サーボ駆動回路19は指定された距
離の駆動を完了すると移動完了信号DEを発生し制御回
路21に与える。制御回路21は、移動完了信号DEを
受けると、切替回路33に切替制御信号SWを与えてそ
の接続を切り替え、リニアスケール検出器18からの検
出信号D1 、D2 をこの切替回路33を介してサーボ駆
動回路19に与える。
【0016】可動反射体14を停止している時の停止位
置保持のためのサーボ制御や、非測定時における可動反
射体14の移動時のサーボ制御は可動反射体14の制御
のステップ(移動制御単位)が粗らくても問題ない。従
ってリニアスケール17は分解能が低い、例えば50μ
程度の安価なものを使用することができる。可動反射体
14を停止した状態で可動反射体14が動くおそれがな
い場合、特にこの例では1/2×633nm以下の振動に
おさえる防振台上に干渉計を乗せて使用する時は、リニ
アスケール17、リニアスケール検出器18、切替え回
路33を省略して2相信号発生器32Bの出力S1 、S
2 を直接サーボ駆動回路19へ供給すればよい。
【0017】可動反射体14の移動制御は、通常は受光
素子31の出力を帰還信号としてサーボ制御するが、こ
の制御系が故障した時は、リニアスケール17からの信
号によりサーボ制御をして暴走を防止する。
【0018】
【発明の効果】以上述べたように、この発明によれば基
準光を入射させ、その干渉光の電気信号から可動反射体
の移動と対応する帰還信号を作って、これをサーボ駆動
回路へ供給しているため、可動反射体の移動を微小ステ
ップで行うことができ、可動反射体のステップ移動が被
測定光の干渉光に実質的に影響を与えることがない。し
かも、従来の干渉計に対し、光学部品を加える必要がな
く、従って調整が複雑になることがなく、帰還信号発生
手段である2相信号発生器32Bは電気回路で容易に構
成することができ、従って、高分解能の高価なリニアス
ケールを使用する必要がない。
【0019】更に、2相信号発生器32Bは1個の受光
素子31から得られる出力に基づいて2相信号を発生せ
しめるものであり、2個の受光素子31から得られる出
力に基づいて2相信号を発生せしめる従来例、或いは2
相信号をメカニカルな装置により発生せしめる従来例と
比較して、簡単容易に2相信号を発生することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来のリニアスケールを用いた干渉計を示すブ
ロック図。
【図2】この発明の実施例を示すブロック図。
【図3】2相信号発生器の動作を示すタイムチャート。
【図4】2相信号発生器の具体的構成を示す回路図。

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 入射光を反射光と透過光に分離するビー
    ムスプリッタと、 そのビームスプリッタに対し固定して設けられ、上記反
    射光及び上記透過光の一方を上記ビームスプリッタに向
    けて反射させる固定反射体と、 上記ビームスプリッタに対し進退可能に設けられ、上記
    反射光及び上記透過光の他方を上記ビームスプリッタに
    向けて反射させる可動反射体と、 その可動反射体を、上記進退をさせるように直線移動さ
    せるためのモータ手段と、 そのモータ手段を、測定された上記可動反射体の移動速
    度と移動方向とからなる第1または第2の帰還信号と、
    制御手段から設定された上記可動反射体の移動速度と移
    動方向とからなる移動制御信号とにより駆動するサーボ
    駆動手段と、 一定波長の基準光を発生し、上記ビームスプリッタに上
    記入射光として与える基準光源手段と、 上記基準光の入射にもとずき上記ビームスプリッタで発
    生した、上記固定反射体からの反射光と上記可動反射体
    からの反射光との干渉光が入射され、その干渉光を電気
    信号に変換する受光素子と、 その受光素子の出力電気信号と上記制御手段から設定さ
    れた移動方向とにより作られた上記第1帰還信号を発生
    する第1帰還信号発生手段と、 上記可動反射体の移動に直接的に関連したスケーラを
    み取って可動反射体の移動速度と移動方向とからなる上
    第2帰還信号を発生する第2帰還信号発生手段と、 上記第1帰還信号と上記第2帰還信号とを切替えてその
    一方を上記サーボ駆動手段へ供給する切替え手段と、 その切替え手段の切替え制御を行うと共に、上記サーボ
    駆動手段及び上記第1帰還信号発生手段に設定する上記
    移動速度信号と移動方向信号とを発生する上記制御手段
    と、 を含むマイケルソン干渉計。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載されるマイケルソン干渉
    計において、 上記第1帰還信号発生手段は、上記制御手段から入力さ
    れた上記可動反射体を移動すべき方向を表わす方向制御
    信号の表わす方向に従って一方又は他方の位相が進んだ
    同一周期の2相信号を上記第1帰還信号として上記受光
    素子の出力から作る2相信号発生手段であり、上記第2
    帰還信号発生手段は上記可動反射体の一定量の移動を周
    期とし、その移動方向に応じて一方又は他方の位相が進
    んだ同一周期の2相信号を上記第2帰還信号として発生
    するリニアスケールを含むリニアスケール検出手段であ
    ることを特徴とするマイケルソン干渉計。
  3. 【請求項3】 請求項2に記載されるマイケルソン干渉
    計において、 上記2相信号発生手段は与えられた上記方向制御信号が
    一方の移動方向を指定している時はクリアされ、他方の
    移動方向を指定している時はプリセットされ、与えられ
    た上記電気信号を1/2分周する第1フリップフロップ
    と、上記方向制御信号が与えられるとクリアされ、上記
    電気信号を反転して1/2分周する第2フリップフロッ
    プとを含み、上記第1及び第2フリップフロップの出力
    を上記2相信号として出力するものであることを特徴と
    するマイケルソン干渉計。
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