JPH04218737A - マイケルソン干渉計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は例えば光スペクトルア
ナライザに用いられ、被測定光の波長に応じた周波数を
もつ干渉光を発生させるマイケルソン干渉計に関し、特
にその可動反射体の駆動部分に係わる。

【０００２】

【従来の技術】図１に従来のマイケルソン干渉計を示す
。被測定光１１は半透明鏡などのビームスプリッタ１２
に入射され、ビームスプリッタ１２でパワー比１：１の
反射光と透過光とに分割され、その反射光は固定反射体
１３に入射される。固定反射体１３はミラー又はプリズ
ムのコーナキューブなど、入射光をその到来方法に反射
する反射体である。ビームスプリッタ１２の透過光は可
動反射体１４に入射される。可動反射体１４も固定反射
体１３と同様に入射光をその到来方向に反射するもので
ある。固定反射体１３よりの反射光と可動反射体１４よ
りの反射光とがビームスプリッタ１２に戻り合波されて
干渉し、その干渉光は受光素子１５で受光されて電気信
号に変換される。可動反射体１４はリニアモータ１６に
取付けられ、ビームスプリッタ１２に対して進退する。 リニアモータ１６にはその進退方向（移動方向）に沿っ
て延長したリニアスケール１７が取付けられ、リニアス
ケール１７の単位量の移動がリニアスケール検出器１８
で検出される。その検出出力は互いに９０°位相がずれ
た２相パルス信号Ｄ１　，Ｄ２　であり、その何れの信
号が進み位相か遅れ位相かにより移動方向を示し、単位
移動長毎に１つのパルスが発生される。このようなリニ
アスケールと検出器の組は市販されている。このリニア
スケール検出器１８の出力２相信号はサーボ駆動回路１
９に入力される。サーボ駆動回路１９はマイクロコンピ
ュータを有しており、制御回路２１から移動速度、移動
量及び方向が入力され、それに従ってリニアモータ１６
の駆動制御が行われる。このようなサーボ駆動回路はＩ
Ｃとして市販されている。リニアモータ１６に遮光片２
２が取付けられ、リニアモータ１６、つまり可動反射体
１４が基準位置に達すると、遮光板２２がフォトインタ
ラプタ２３内に入り、フォトインタラプタ２３からリニ
アモータ１６、つまり可動反射体１４が基準位置にある
ことを示す信号が制御回路２１に与えられる。これを基
準として制御回路２１が速度、移動量及び方向をサーボ
駆動回路１９に設定すると、サーボ駆動回路１９はその
方向にその移動量だけ可動反射体１４を指定された一定
速度で移動させるように、リニアスケール検出器１８か
らの検出信号Ｄ１　，Ｄ２　を帰還信号として２相駆動
信号Ｐでリニアモータ１６をサーボ駆動する。

【０００３】被測定光が単一波長の場合は、ビームスプ
リッタ１２より固定反射体１３に達し、これより反射さ
れてビームスプリッタ１２に戻る光路長と、ビームスプ
リッタ１２より可動反射体１４に達し、これより反射さ
れてビームスプリッタ１２に戻る光路長との差が被測定
光１１の波長の２分の１の偶数（０を含む）倍と一致す
ると干渉光の強度が最大となり、奇数倍になると干渉光
の強度は最小になる。従って可動反射体１４を一定速度
で移動させると、干渉光の強度は波長に対応した周期で
正弦波的に変化する。被測定光が複数の異なる波長を含
んでいる場合は可動反射体１４が一定速度で移動するに
つれそれらの波長に対応した周波数成分を含む波形が受
光素子１５により検出される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】図１に示した従来の干
渉計においては、可動反射体１４の移動量、方向をリニ
アスケール１７を用いて検出しており、その検出２相信
号の４分の１周期ごとにリニアモータ１６の移動がステ
ップ的に制御されるため、可動反射体１４の移動単位、
つまり２相信号の４分の１の周期と対応する長さが大き
いと、被測定光の干渉光の強度が可動反射体１４のステ
ップ送りによりステップ的に変化し、受光素子１５に検
出される信号に好ましくない変調ノイズが加わってしま
う。

【０００５】このような問題が生じないようにするには
可動反射体１４をなるべく円滑に、つまり小ステップで
移動させる必要がある。そのためにはリニアスケール１
７の分解能を１μｍ　以下とする必要があるが、このよ
うに高分解能のリニアスケールは現在では著しく高価で
ある。またこのように高分解能のリニアスケール１７を
用いると、これとリニアスケール検出器１８との角度合
せも大変厳しくなり、調整が大変なものとなる。

【０００６】この発明の目的は安価な部品で構成でき、
しかも可動反射体を小さいステップで移動することが可
能なマイケルソン干渉計を提供することである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この発明によれば被測定
光と共に基準光を入射するマイケルソン干渉計において
、基準光の干渉信号を受光素子で電気信号に変換し、そ
の電気信号と、可動反射体に対する方向の制御信号とよ
り得た帰還信号を、可動反射体のサーボ駆動回路へ供給
する。

【０００８】

【実施例】図２にこの発明の実施例を示し、図１と対応
する部分に同一符号を付けてある。この発明ではビーム
スプリッタ１２に被測定光１１と共に基準光源２９から
単一波長の基準光ＲＬが入射され、基準光ＲＬがビーム
スプリッタ１２で２つに分割され、その一方の光ビーム
が可動反射体１４で反射し、他方の光ビームが固定反射
体１３で反射し、これら２つの分割光ビームはビームス
プリッタ１２で合波され、干渉光として受光素子３１に
入射される。可動反射体１４の移動距離△ｄに対し２つ
の分割光ビームの光路長差は２△ｄとなるので可動反射
体１４が基準光ＲＬの波長λｒ　の１／２の距離即ちλ
ｒ　／２を移動する毎に受光素子３１の出力レベルは１
サイクル変化する。従って受光素子３１の出力信号のレ
ベル変化サイクルの数は可動反射体１４の移動距離に対
応する。可動反射体１４が一定速度で移動すると基準光
の波長と反射体１４の移動速度で決まる一定周期の正弦
波状信号が受光素子３１から出力される。従ってこの受
光素子３１からの出力信号の周波数は受光素子１５で検
出される被測定光１１の干渉光による信号周波数に対し
測定基準を与える。基準光ＲＬはできるだけ短い方が精
度の高い波長分解能が得られ、被測定光１１の波長と同
等かそれより短いのが好ましい。基準光ＲＬとして例え
ば波長６３３ｎｍのＨｅ−Ｎｅガスレーザが用いられる
。可動反射体１４が移動することにより強度が繰返し変
化する干渉光が受光素子３１に入射され、正弦波状に変
化する電気信号に変換される。その電気信号は波形整形
器３２Ａへ供給されて図３に示す方形波信号Ｓｑに整形
され、その方形波信号Ｓｑから帰還信号発生手段として
の２相信号発生器３２Ｂにおいて互いに９０°位相がず
れた２相信号Ｓ１　及びＳ２　が図３に示すように形成
される。可動反射体１４が停止していると、図３の方形
波Ｓｑは“０”又は“１”のいずれか一方のレベルとな
っている。可動反射体１４が一定速度で移動すると一定
周期の方形波Ｓｑが波形整形器３２Ａから出力されるが
、その方形波Ｓｑには可動反射体１４の移動方向の情報
は含まれていない。そこでこの発明では制御回路２１か
ら可動反射体１４を移動させるべき方向を指定する方向
制御信号ＤＣを発生して２相信号発生器３２Ｂに与え、
例えば可動反射体１４をビームスプリッタ１２の方に移
動させる場合は信号Ｓ１　の位相が信号Ｓ２　の位相よ
り９０°進むように２相信号Ｓ１　，Ｓ２　を発生させ
、逆方向に移動させる場合は信号Ｓ２　の位相が信号Ｓ
１　の位相より９０°進むように信号Ｓ１　，Ｓ２　を
発生する。この２相信号Ｓ１　，Ｓ２　を帰還信号とし
てサーボ駆動回路１９へ供給する。

【０００９】２相信号Ｓ１　，Ｓ２　は方形波信号Ｓｑ
を１／２分周して形成され、制御回路２１から与えられ
る可動反射体１４の移動方向制御信号ＤＣに応じて、信
号Ｓ１　は例えば図３に示すように方形波信号Ｓｑの立
上り毎に状態が反転し、信号Ｓ２　は方形波信号Ｓｑの
立下りごとに状態が反転するように発生される。このよ
うにしてこの図３の例では方形波信号Ｓｑの立上りで作
った信号Ｓ１　は、立下りで作った信号Ｓ２　より９０
°進んだものとなる。可動反射体１４の移動方向が逆の
場合は、方形波信号Ｓｑの立上り毎に状態が反転するよ
うに信号Ｓ２　を発生させ、方形波信号Ｓｑの立下りご
とに状態が反転するように信号Ｓ１　を発生させる。

【００１０】図４は図２における２相信号発生器３２Ｂ
の具体的回路構成例を示す。この例では制御回路２１か
ら与えられる方向制御信号ＤＣがあらかじめ決めた一方
の方向とその逆の方向をそれぞれ表わす別々の信号ＤＣ
１　とＤＣ２　で構成される場合であり、これらの信号
ＤＣ１　とＤＣ２　は別々の配線を通して２相信号発生
器３２Ｂに供給される。ただし、この例では信号ＤＣ１
　，ＤＣ２　は常時Ｈレベルにあり、いずれか一方の方
向に可動反射体１４を移動させる時に信号ＤＣ１　，Ｄ
Ｃ２　のうちの対応するもののレベルを一定の短い時間
のあいだＬレベルとする。信号ＤＣ１　，ＤＣ２　はこ
のＬレベルパルスを指すものとする。２相信号発生器３
２Ｂは３つのＤ型フリップフロップ３４，３５，３６、
アンドゲート３７、インバータ３８及びノアゲート３９
とから構成されている。方形波信号Ｓｑが入力される前
に予じめ移動方向に対応する信号ＤＣ１　，ＤＣ２　の
いずれか一方を与えることによりＤＦＦ３４と３６はク
リアされ、ＤＦＦ３５は信号ＤＣ１　又はＤＣ２　によ
りクリア又はプリセットされる。

【００１１】方形波信号ＳｑはＤＦＦ３４のクロック端
子に与えられ、データ端子に与えられているＨレベルを
読み込んで、そのＱ出力がＨレベルとなりゲート３７が
開き、方形波信号Ｓｑがゲート３７を通過する。前述の
ように信号ＤＣ１　及びＤＣ２　のいずれが与えられた
場合でもＤＦＦ３６はクリアされるのでそれによって反
転Ｑ出力はＨレベルとなっている。従ってゲート３７の
出力の方形波信号Ｓｑの最初の立下りでその反転Ｑ出力
のＨレベルがＤＦＦ３６に読込まれてＱ出力がＨレベル
となり以降は方形波信号Ｓｑの立下り毎にＱ出力のレベ
ルが反転する。このＤＦＦ３６のＱ出力は２相信号の一
方Ｓ２として出力される。一方ＤＦＦ３５においては、
予じめ信号ＤＣ１　によりクリアされていれば反転Ｑ出
力はＨレベルとなっており、ゲート３７を通った方形波
信号Ｓｑの最初の立上りでＱ出力のＨレベルが読込まれ
てＱ出力がＨレベルとなり、以降は方形波信号Ｓｑの立
上り毎にＱ出力のレベルが反転する。逆にＤＦＦ３５が
予じめ信号ＤＣ２　によりプリセットされていれば反転
Ｑ出力はＬレベルとなっているので、ゲート３７を通っ
た方形波信号Ｓｑの最初の立上りで反転Ｑ出力のＬレベ
ルが読込まれてＱ出力がＬレベルとなり、以降は方形波
信号Ｓｑの立上り毎にＱ出力のレベルが反転する。即ち
、後者の場合のＱ出力は前者の場合よりも位相が１８０
度遅れている。ＤＦＦ３５のＱ出力は２相信号の他方Ｓ
１　として出力される。つまり図４の２相信号発生器の
実施例では、常に方形波信号Ｓｑの立下り毎にレベルが
反転する信号Ｓ２を発生させ、これに対し方形波信号Ｓ
ｑの立上り毎にレベルが反転する信号Ｓ１　は与えられ
る方向制御信号がＤＣ１　であるかＤＣ２　であるかに
より信号Ｓ２　より９０°位相を進めるか又は遅らせて
発生されるように構成されている。

【００１２】図２の実施例では可動反射体１４の停止時
、又は測定時以外における可動反射体１４の移動時に、
反射体１４の移動に直接的に関連したスケール手段を含
む帰還信号発生手段を利用し、この例ではリニアスケー
ル１７を利用してサーボ制御可能とした場合であり、図
１の従来技術と同様のリニアスケール１７及びリニアス
ケール検出器１８も設けられる。リニアスケール検出器
１８の出力２相信号Ｄ１，Ｄ２　と２相信号発生器３２
Ｂの出力２相信号Ｓ１，Ｓ２　とが切替え回路３３で制
御回路２１の制御により切替えられてサーボ駆動回路１
９へ供給される。

【００１３】可動反射体１４を停止させている状態でも
外部振動などにより、ビームスプリッタ１２に対し可動
反射体１４が微小移動し、停止位置がずれるおそれがあ
る。この微小移動によっても受光素子３１の出力レベル
が干渉光の強度変化に対応してほぼ正弦波状に変化する
が、前述のように受光素子３１の出力から得られる信号
には可動反射体１４の移動方向に関する情報は得られな
い。従って制御回路２１は位置ずれを修正するために可
動反射体１４をどちらの方向に移動させるべきか判断す
ることはできない。つまり２相信号発生器３２Ｂに与え
るべき方向制御信号ＤＣを指定することができない。そ
こで、この実施例ではリニアスケール検出器１８の出力
２相信号Ｄ１　，Ｄ２　を切替え回路３３を通してサー
ボ駆動回路１９へ供給し、可動反射体１４が停止位置を
保持するように帰還制御する。

【００１４】装置の電源スイッチをオンにした時に可動
反射体１４を基準位置に移動させる制御はリニアスケー
ル検出器１８からの２相信号Ｄ１　，Ｄ２　をサーボ駆
動回路１９へ供給して行い、遮光板２２がフォトインタ
ラプタ２３内に入るまで可動反射体１４を移動させる。 また被測定時における可動反射体１４の移動もリニアス
ケール検出器１８の出力をサーボ駆動回路１９へ供給し
て行う。

【００１５】測定時には予じめ制御回路２１から可動反
射体１４の移動方向を指定する信号ＤＣが２相信号発生
器３２Ｂに与えられるから、可動反射体１４の移動と共
にその方向に応じた位相の２相信号Ｓ１　，Ｓ２　が２
相信号発生器３２Ｂから出力され、その２相信号Ｓ１　
，Ｓ２　をサーボ駆動回路１９へ供給して可動反射体１
４の移動速度と移動距離を制御する。従って可動反射体
１４の移動を高い精度で制御することができる。また図
２の例ではリニアモータ１６は、基準光ＲＬの２分の１
波長単位で駆動され、基準光ＲＬの波長は６３３ｎｍで
あるから、高い分解能で可動反射体１４を円滑に移動さ
せることができる。サーボ駆動回路１９は指定された距
離の駆動を完了すると移動完了信号ＤＥを発生し制御回
路２１に与える。制御回路２１は移動完了信号ＤＥを受
けると切替回路３３に切替制御信号ＳＷを与えてその接
続を切り替え、リニアスケール検出器１８からの検出信
号Ｄ１　，Ｄ２　をサーボ駆動回路１９に与える。

【００１６】可動反射体１４を停止している時の停止位
置保持のためのサーボ制御や、非測定時における可動反
射体１４の移動時のサーボ制御は可動反射体１４の制御
のステップ（移動制御単位）が粗らくても問題ない。従
ってリニアスケール１７は分解能が低い、例えば５０μ
程度の安価なものを使用することができる。可動反射体
１４を停止した状態で可動反射体１４が動くおそれがな
い場合、特にこの例では１／２×６３３ｎｍ以下の振動
におさえる防振台上に干渉計を乗せて使用する時は、リ
ニアスケール１７、リニアスケール検出器１８、切替え
回路３３を省略して２相信号発生器３２Ｂの出力Ｓ１　
，Ｓ２を直接サーボ駆動回路１９へ供給すればよい。

【００１７】上述においては波形整形器３２Ａの出力を
、制御回路２１からの方向制御信号ＤＣに応じた位相の
２相信号Ｓ１　，Ｓ２　に変換して帰還信号としたが、
図５に示すように２相信号に変換することなく、波形整
形器３２Ａからの移動量を示す出力Ｓｑと制御回路２１
からの方向制御信号ＤＣとを帰還信号としてリニアモー
タ１６をサーボ制御してもよい。この場合は単相信号と
、２値の方向制御信号とを帰還信号とする公知のサーボ
駆動回路４１が使用される。リニアスケール検出器１８
からの帰還信号も、受光素子３１からの帰還信号と同種
のものとするため、リニアスケール検出器１８からの２
相パルス信号の一方Ｄ１　は移動量を示す信号として切
替回路３３へ供給されると共に、Ｄ形プリップフロップ
４２のデータ端子Ｄへ供給され、また、２相パルス信号
の他方Ｄ２　はＤ形フリップフロップ４２のクロック端
子ＣＫへ供給される。フリップフロップ４２のＱ出力は
２相パルスＤ１　，Ｄ２　が何れが進相かに応じて“１
”又は“０”となり、このＱ出力が方向制御信号として
切替回路３３へ供給される。このようにしてサーボ駆動
回路４１を使用して、可動反射体１４の移動時は基準光
の干渉光の電気信号を帰還信号して可動反射体１４を高
精度に移動制御することができ、停止時にはリニアスケ
ール１７の検出出力を帰還信号として停止位置を保持さ
せることができる。更に、このサーボ駆動回路４１を利
用する時は、磁気的、又はフォトインタラプタとスリッ
トとの組合せの光機械的単相信号発生器をスケーラとし
、これと、速度センサのような移動方向検出器とを用い
て、リニアスケール１７及びリニアスケール検出器１８
の代りとしてもよい。また上述で移動量を示す信号とし
ては正弦波信号でもよい。

【００１８】図２、図５に示した何れの実施例において
も、リニアスケール１７の代りに、可動反射体１４の直
線運動に応じてローラを回転させ、そのローラによりロ
ータリエンコーダを駆動し、そのロータリエンコーダの
出力を切替回路３３へ供給する２相又は単相の回転形ス
ケーラを用いてもよい。更にリニアスケール１７、その
検出器１８、遮光板２２及びフォトインタラプタ２３の
全体の機能をもつ絶対値形スケールを使用してもよい。 可動反射体１４の移動制御は、通常は受光素子３１の出
力を帰還信号としてサーボ制御するが、この制御系が故
障した時は、リニアスケール１７からの信号によりサー
ボ制御をして暴走を防止する。

【００１９】

【発明の効果】以上述べたようにこの発明によれば基準
光を入射させ、その干渉光の電気信号から可動反射体の
移動と対応する帰還信号を作って、これをサーボ駆動回
路へ供給しているため、可動反射体の移動を微小ステッ
プで行うことができ、可動反射体のステップ移動が被測
定光の干渉光に実質的に影響を与えることがない。しか
も、従来の干渉計に対し、光学部品を加える必要がなく
、従って調整が複雑になることがなく、帰還信号発生手
段、例えば２相信号発生器３２Ｂは電気回路で容易に構
成することができる。従って高分解能の高価なリニアス
ケールを使用する必要がない。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来のリニアスケールを用いた干渉計を示すブ
ロック図。

【図２】この発明の実施例を示すブロック図。

【図３】２相信号発生器３２Ｂの動作を示すタイムチャ
ート。

【図４】２相信号発生器３２Ｂの具体的構成を示す回路
図。

【図５】この発明の他の実施例を示すブロック図。

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　入射光を反射光と透過光に分離するビ
   ームスプリッタと、上記ビームスプリッタに対し固定し
   て設けられ、上記反射光と透過光の一方を上記ビームス
   プリッタに向けて反射させる固定反射体と、上記ビーム
   スプリッタに対し進退可能に設けられ、上記反射光と透
   過光の他方を上記ビームスプリッタに向けて反射させる
   可動反射体と、上記可動反射体を上記進退をさせるよう
   に直線移動させるためのモータ手段と、上記モータ手段
   の駆動を帰還信号と移動制御信号にもとづいて行うサー
   ボ駆動手段と、一定波長の基準光を発生し上記ビームス
   プリッタに上記入射光として与える基準光源手段と、上
   記基準光の入射にもとずき上記ビームスプリッタで発生
   した、上記固定反射体からの反射光と上記可動反射体か
   らの反射光との干渉光が入射され、その干渉光を電気信
   号に変換する受光素子と、上記受光素子の出力電気信号
   と、方向制御信号とから帰還信号を発生して上記サーボ
   駆動手段に与える帰還信号発生手段と、上記可動反射体
   を移動すべき方向を表わす上記方向制御信号を発生して
   上記帰還信号発生手段に与え、上記可動反射体の移動を
   制御する上記移動制御信号を発生して上記サーボ駆動手
   段に与える制御手段と、を含むマイケルソン干渉計。
2. 【請求項２】　　上記帰還信号発生手段は、上記方向制
   御信号の表わす方向に従って、一方又は他方の位相が進
   んだ同一周期の２相信号を上記帰還信号として上記受光
   素子の出力から作る２相信号発生手段であることを特徴
   とする請求項１記載のマイケルソン干渉計。
3. 【請求項３】　　上記帰還信号発生手段は上記受光素子
   よりの出力電気信号から得られた単相信号と、上記方向
   制御信号とを上記帰還信号として出力するものであるこ
   とを特徴とする請求項１記載のマイケルソン干渉計。
4. 【請求項４】　　入射光を反射光と透過光に分離するビ
   ームスプリッタと、そのビームスプリッタに対し固定し
   て設けられ、上記反射光及び上記透過光の一方を上記ビ
   ームスプリッタに向けて反射させる固定反射体と、上記
   ビームスプリッタに対し進退可能に設けられ、上記反射
   光及び上記透過光の他方を上記ビームスプリッタに向け
   て反射させる可動反射体と、その可動反射体を、上記進
   退をさせるように直線移動させるためのモータ手段と、
   そのモータ手段を、帰還信号と移動制御信号とにより駆
   動するサーボ駆動手段と、一定波長の基準光を発生し、
   上記ビームスプリッタに上記入射光として与える基準光
   源手段と、上記基準光の入射にもとずき上記ビームスプ
   リッタで発生した、上記固定反射体からの反射光と上記
   可動反射体からの反射光との干渉光が入射され、その干
   渉光を電気信号に変換する受光素子と、その受光素子の
   出力電気信号より作られた第１帰還信号を発生する第１
   帰還信号発生手段と、上記可動反射体の移動に直接的に
   関連したスケーラを含み可動反射体の移動と対応し、上
   記第１帰還信号と同種の第２帰還信号を発生する第２帰
   還信号発生手段と、上記第１帰還信号と上記第２帰還信
   号とを切替えて上記帰還信号として上記サーボ駆動手段
   へ供給する切替え手段と、その切替え手段の切替え制御
   を行うと共に、上記移動制御信号を発生して上記サーボ
   駆動手段へ与える制御手段と、を含むマイケルソン干渉
   計。
5. 【請求項５】　　上記第１帰還信号発生手段は、上記制
   御手段から入力された上記可動反射体を移動すべき方向
   を表わす方向制御信号の表わす方向に従って一方又は他
   方の位相が進んだ同一周期の２相信号を上記第１帰還信
   号として上記受光素子の出力から作る２相信号発生手段
   であり、上記第２帰還信号発生手段は上記可動反射体の
   一定量の移動を周期とし、その移動方向に応じて一方又
   は他方の位相が進んだ同一周期の２相信号を上記第２帰
   還信号として発生するスケーラを含む手段であることを
   特徴とする請求項４記載のマイケルソン干渉計。
6. 【請求項６】　　上記第１帰還信号発生手段は、上記受
   光素子よりの出力電気信号から得られた単相信号と、上
   記制御手段から入力された上記可動反射体を移動すべき
   方向を表わす方向制御信号とを上記第１帰還信号として
   出力するものであり、上記第２帰還信号発生手段は上記
   可動反射体の一定量の移動を周期とする単相信号と、そ
   の可動反射体の移動方向検出出力とを上記第２帰還信号
   として発生するスケーラを含む手段であることを特徴と
   する請求項４記載のマイケルソン干渉計。
7. 【請求項７】　　上記２相信号発生手段は与えられた上
   記方向制御信号が一方の移動方向を指定している時はク
   リアされ、他方の移動方向を指定している時はプリセッ
   トされ、与えられた上記電気信号を１／２分周する第１
   フリップフロップと、上記方向制御信号が与えられると
   クリアされ、上記電気信号を反転して１／２分周する第
   ２フリップフロップとを含み、上記第１及び第２フリッ
   プフロップの出力を上記２相信号として出力するもので
   あることを特徴とする請求項２又は５記載のマイケルソ
   ン干渉計。