JP4910473B2 - 光学装置、およびビームスプリッタの位置調整方法 - Google Patents
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Description
本発明は、ビームスプリッタの反射面の位置を正確に測定可能とすることを目的とする。さらに、本発明は、測定した反射面の位置に応じてビームスプリッタの位置を精度良く調整することを目的とする。
また、前記調整部がスペーサであっても良い。
なお、前記ビームスプリッタは、前記非接合面を少なくとも2面有し、前記測定手順では、それぞれの前記非接合面に前記測定点を有しても良い。
また、前記ビームスプリッタは、第1のプリズムの第1の面と、第2のプリズムの第2の面とを接合して形成され、前記第1の面の面積は前記第2の面の面積より小さく、前記第1の面と前記第2の面とが接合された状態で、前記第2の面内に、前記第1の面と接合されていない面があっても良い。
本実施形態では、顕微鏡装置の観察光路と照明光路とを光路分割するためのビームスプリッタの位置調整を例に挙げて説明する。ビームスプリッタ1は、図1に示すように台座2に固定され、調整用スペーサ3とともに光路分割ユニット5内に配置される。ここで、台座2および調整用スペーサ3の直径は、光路分割ユニット5に設けられた円筒状の空間51の直径と略同じ大きさである。したがって、ビームスプリッタ1が台座2に正しく固定されていれば、ビームスプリッタ1を光路分割ユニット5内に正確に配置することができる。なお、調整用スペーサ3の詳細は後述する。
また、図3Bに示すように、ビームスプリッタ1の外形寸法にマイナス方向の誤差が乗っていると、ビームスプリッタ1の反射ポイントが設計上の点P1から外形寸法の誤差分d2だけ下方向にシフトし、点P3となる。
次に、図4のフローチャートを用いて、顕微鏡装置におけるビームスプリッタ1の位置調整の流れについて説明する。
図5Aは、図2Aの矢印bの方向から見たビームスプリッタ1および台座2の図である。台座2に接着したビームスプリッタ1を、3次元測定器の試料台に載せ、台座2の外径データからその中心軸を求める。次に、測定面r1上の測定点M1およびM2と測定面r2上の測定点M3およびM4との位置を測定する。このように、それぞれの測定面に測定点を有することにより、位置の測定誤差を抑えることができる。
ステップS3において、調整用スペーサ3の高さを決定する。まず、中心軸(光軸)とステップS2で求めた平面データとに基づき、その交点を算出する。この交点が反射ポイントである。そして、図5Bに示すように、設計寸法と台座2の底面から反射ポイントまでの距離との差を求める。この差分がビームスプリッタ1における光軸ずれである。したがって、この光軸ずれをキャンセルするように、調整用スペーサ3の高さを決定する。
また、本実施形態によれば、互いに接合された2つのプリズムを有し、その接合面と同一平面上に、接合面の周に接した非接合面を有するビームスプリッタに対して、非接合面上の少なくとも3点の測定点の位置を測定する。そして、測定結果に基づいて接合面の位置を求め、接合面の位置に応じてビームスプリッタの位置を調整する。したがって、測定した反射面の位置に応じてビームスプリッタの位置を精度良く調整することができる。そのため、顕微鏡装置などの高精度な光学装置において、ビームスプリッタの製造誤差に起因する光軸ずれを調整することができる。
また、本実施形態によれば、ビームスプリッタは、第1のプリズムの第1の面と、第2のプリズムの第2の面とを接合して形成され、第1の面の面積は第2の面の面積より小さく、第1の面と第2の面とが接合された状態で、第2の面内に、第1の面と接合されていない面がある。したがって、第2の面内で、第1の面と接合されていない面に測定点を設けることにより、ビームスプリッタの反射面の位置を正確に測定することができる。
また、本実施形態では、顕微鏡装置の観察光路と照明光路とを光路分割するためのビームスプリッタを例に挙げて説明したが、他の用途のビームスプリッタの位置調整においても、本発明を同様に適用することができる。
また、本実施形態では、ビームスプリッタを備えた光学装置の一例として顕微鏡装置を例に挙げて説明したが、顕微鏡装置以外の光学装置にも、本発明を同様に適用することができる。
Claims (6)
- 互いに接合された2つのプリズムを有し、その接合面と同一平面上に、前記接合面の周に接した非接合面を有するビームスプリッタと、
前記非接合面上の少なくとも3点の測定点の位置を測定する測定部と、
前記測定部による測定結果に基づいて前記接合面の位置を求め、前記接合面の位置に応じて前記ビームスプリッタの位置を調整する調整部と
を備えたことを特徴とする光学装置。 - 請求項1に記載の光学装置において、
前記ビームスプリッタは、前記非接合面を少なくとも2面有し、
前記測定部は、それぞれの前記非接合面に前記測定点を有する
ことを特徴とする光学装置。 - 請求項1に記載の光学装置において、
前記ビームスプリッタは、第1のプリズムの第1の面と、第2のプリズムの第2の面とを接合して形成され、前記第1の面の面積は前記第2の面の面積より小さく、前記第1の面と前記第2の面とが接合された状態で、前記第2の面内に、前記第1の面と接合されていない面がある
ことを特徴とする光学装置。 - 互いに接合された2つのプリズムを有し、その接合面と同一平面上に、前記接合面の周に接した非接合面を有するビームスプリッタの位置を調整する位置調整方法であって、
前記非接合面上の少なくとも3点の測定点の位置を測定する測定手順と、
前記測定手順による測定結果に基づいて前記接合面の位置を求め、前記接合面の位置に応じて前記ビームスプリッタの位置を調整する調整手順と
を有することを特徴とするビームスプリッタの位置調整方法。 - 請求項4に記載の位置調整方法において、
前記ビームスプリッタは、前記非接合面を少なくとも2面有し、
前記測定手順では、それぞれの前記非接合面に前記測定点を有する
ことを特徴とする位置調整方法。 - 請求項4に記載の位置調整方法において、
前記ビームスプリッタは、第1のプリズムの第1の面と、第2のプリズムの第2の面とを接合して形成され、前記第1の面の面積は前記第2の面の面積より小さく、前記第1の面と前記第2の面とが接合された状態で、前記第2の面内に、前記第1の面と接合されていない面がある
ことを特徴とする位置調整方法。
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