JP5305281B2 - オートコリメータ - Google Patents
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Description
被検体の向かい合わせになった測定面間の傾きを測定するものとしてオートコリメータが知られている。この従来のオートコリメータを図11の光学系説明図を用いて簡単に説明する。図Aにおいて被検体としての透明なガラス板50は、その表面51が第1測定面として使用され、裏面52は第2測定面として使用される。両測定面51、52間には角θの傾きが生じていて、このようなガラス板50の上面から、例えば赤色の波長の光(λ=0.65μm)の光源53で照射する。するとその光はレンズ54、クロス線付のスクリーン55、ビームスプリッタ56、コリメータレンズ57を経て平行光束となりガラス板50に向かう。そのためスクリーン55のクロス線58は、第1測定面51と第2測定面52で反射し第1クロス線59と第2クロス線60となってコリメータレンズ57に戻り、ビームスプリッタ56で反射して受光面61に投影される。受光面61に投影されるクロス線58の像は第1測定面51と第2測定面52間の傾きθに応じて、夫々異なる位置に投影される。
図Bはこの第1クロス線59と第2クロス線60が距離xnの差を持って受光面61に投影された例となっている。つまりガラス板50の向かい合わせになった2つの測定面51、52が持つ傾きθによってクロス線58はxnの差を持って受光面61に投影される。傾きθが大きくなればxnの値も大きくなり、逆に2つのクロス線59、60が重なり合ってxn=0になれば、傾き角θも0となって第1測定面51と第2測定面52間は傾きのない平行状態と判断される。従がってxnの値を測定すれば、ある程度の精度で傾き角θを推定することが出来る。またxnを受光部61面上で視認すれば経験的に傾き角θの値を推定することもできる。
しかし傾き角θが小さく、クロス線59、60が接近して受光面61に投影されたときは、2つのクロス線59、60は一部が互いに重なり合って表示され、両者間の距離xnを判別することが難しくなる。図Cのようxnの値が2点間の分解限界であるレーリーリミットより小さくなってx1となると、クロス線59、60を判別することは殆ど不可能となる。このようにθの値が大きくxの値もnになって大きいときは、ある程度の精度で傾きを測定することが出来るが、θの値が小さくなってxの値が0に近づくと(xn>x1>0)検出不能となり、誤差となって生じる範囲が一定せず個人差が生じる様になる。
xn=f×tan2θ・・・・・(1)
f=コリメータレンズ57の焦点距離
で求められるから、
tan2θ=(xn/f)
θ=arctan(xn/f)×(1/2)・・・・(2)
従がって距離xnが得られれば被検体50が持つ傾斜角θを計算によって求めることが出来る。しかし前記したように距離xnがレーリーリミット以下のx1になって検出不能になれば傾斜角θの測定も不可能となる。
被測定物の傾きを測定するオートコリメータとして特許文献1が知られている。この特許文献1によれば被測定物の測定部位を拡大して確認できるようにするため顕微鏡を使用することが記されている。しかし顕微鏡を用いて測定部位を確認しようとすると、測定部位が極めて微細な領域にあるため確認が困難になる場合が多く発生してしまう。そのためこの特許文献1では被測定物に平行光を照射し、この平行光束中に出し入れ自在な顕微鏡を設置し、顕微鏡で位置決めを行った後に被測定物の傾きを測定するようにしている。
しかしこの特許文献1には顕微鏡を位置決めできるようにした光学系については開示されているが、被測定物の傾きを測定するときの精度向上手段、それも微細な傾きを精度を維持したまま検出して測定できるようにした感度向上手段については何も触れられていない。
レーザ光源からの光束を投光用コリメータレンズ経由で被検体に向かわせ、その第1測定面と第2測定面からの反射光を前記投光用コリメータレンズ経由で一次結像面に2つのスポットとして集光し、この両スポットを受光用レンズ経由で第1の受光部に結像することなく投影する光学系ユニットと、この光学系ユニットで第1の受光部に投影される両スポットの重なり部分に発生する等傾角の干渉縞を表示部に送って表示する制御ユニットとを備え、表示される干渉縞の本数から被検体測定面間の傾斜角を求めるようにしたオートコリメータにおいて、
前記光学系ユニットの光軸を調節するため、前記一次結像面に集光する2つのスポットを観察する機構を有していることを特徴とする。
そして、
前記レーザ光源からの光束はビームスプリッタ経由で前記投光用コリメータレンズに送られ、前記一次結像面に集光する2つのスポットを観察する機構は、前記ビームスプリッタと一次結像面間で光軸と直交する方向に移動自在として設置され、前記一次結像面に集光する2つのスポットを結像させる第2の受光部を有した観察ユニットであることを特徴とする。
また、
前記一次結像面に集光する2つのスポットを観察する機構は、前記受光用レンズを光軸に沿って移動自在とし、前記光学系ユニットの光軸調節時、一次結像面に集光する2つのスポットを前記第1の受光部に結像させられるようにした光学系ユニットであることを特徴とする。
さらに、
前記一次結像面に集光する2つのスポットを観察する機構は、前記受光用レンズと受光部間の光軸上に光軸と直交する方向に移動自在として第2レンズを設置し、該第2レンズが光軸位置に設置されたとき、前記一次結像面に集光する2つのスポットを前記第1の受光部に結像するようにした光学系ユニットであることを特徴とする。
それによって、レーリーリミットx1以下のような微細な間隔の傾斜角であったとしても、干渉縞の本数に置き換えることでそれを検出し測定することができ、かつ、オートコリメータの精度も高めることができる。しかもその検出、測定は被検体からの2つの反射光スポットs1、s2を一旦、一次結像面に集光し、そのスポットs1、s2を受光用レンズ経由で第1の受光部に結像することなく投影するという簡単な構成の全体光学系で行うことが出来る。これによって検出感度の高い高精度のオートコリメータを得ることが出来る。また測定面傾斜角の測定結果は、干渉縞本数という指標によって数値化して捉えることができるから、評価作業を一定化し個人差を除去することが出来る。さらに干渉縞は被検体からの2つのスポット重なり部分に機械的に発生するから干渉縞の発生に特別な装置を必要としない。またスポットサイズや形状が異なっても同じように測定を進めることが出来る。これは被検体としての範疇を拡げることにもなる。
また使用する光源の波長(λ)やコリメータレンズの倍率など測定時の条件(変動要素)に変動があったとしても、それら変動要素を予め想定したデータ群を準備しておくことによって、所定の対応する傾斜角θを求めることが出来る。さらに測定する傾斜角θの精度はオートコリメータが設置される環境に合わせてチェックできるようにしたので、その測定精度を維持することが出来る。
そのため一次結像面6上の位置p1、p2の2つのスポットが受光部11上に投影されるとき、強制的にθAがθBに角度変更(θA≦θB)され、それによってスポット光同士の干渉が促進されて機械的に干渉縞が発生する。この発生した干渉縞を両スポットと共に受光部11から制御ユニット13内の表示部14に伝えて表示し、表示された干渉縞の本数を観察すれば、後に述べるように被検体測定面間の傾き角(平行度)を測定することが出来る。制御ユニット13内の制御部15は装置全体を制御するもので、キーボードやマウスなどの入力部16からの指令を受ける。また出力部17と接続していてプリンタや各種の記憶媒体への記録が実施される。
以下、一次結像面6に集光した2つのスポットを受光用レンズ経由で受光部11に投影する光学系を受光ユニット12といい、投光ユニット9と受光ユニット12を併せて光学系ユニット18という。従がって受光ユニット12は結像系である投光ユニット9の検出角度θAをθBに強制的に変更し、θB/θAだけ感度を向上するよう機能することになる。
θB=(f1/f2)×θA・・・・(3)
で求められる。f1は投光用コリメータレンズ3が持つ一次結像面6までの焦点距離、f2は受光用レンズ10が持つ一次結像面6までの焦点距離である。従がって2つのレンズ3、10の焦点距離の比f1/f2を選択れば、受光部11上に投影されるスポット間の角度θBを設定することが出来る。
こうしてθBが求められればそこに発生する等傾角の干渉縞本数も決定されるから、設定された条件下での干渉縞本数を表示部14で確認することが出来る。但し、θAがθBに接近するような場合、発生する干渉縞は解像が低下するので、その値を適宜選択する必要がある。こうして表示された干渉縞の本数を確認し計数すれば、例えば本数2までは合格品と判定し、それ以上の本数であればこの被検体4、7は不合格品として判定することが出来る。このような光学系ユニット18を使用して被検体測定面5、8間の傾き角θを判定していく。
第n横列23では傾き角「θ=n」の時のもので、「θ=n」に相当するθAがθBに変更され、倍率も変換されて受光部11上にスポットs1a、s2aとして投影される。図ではこのときの両スポット間を「x1n」として示してある(x13<x1n)。従がって「x1n」と何らかの方法で判断されれば、反射面5、8間の傾斜角θは「θ=n」と確認される。
上記のように2つの反射面5、8間の傾き「θ=0」、「θ=1」、「θ=2」、・・・「θ=n」によって変化する一次結像面6上の位置p1、p2に集光するスポットs1、s2は、前記(3)式によって決定される受光部11上の位置にθBの角度をもって投影される。そして投影された両スポット間の距離x1を判断するため干渉縞を利用して発生した本数を「x」の値とみなし、それによって被検体測定面5、8間の傾き角θを判定する。干渉縞の本数確認に際しては上記の説明のように受光部11上のスポットs1a、s2a間に発生した干渉縞を検出するか、受光部11から伝えられた表示部14の表示画面で行うことになる。
第2レンズ42が実線のレンズ位置42aにあれば受光用レンズ10と第2レンズ42によって、一次結像面6のスポットs1、s2から図6Cのようにスポットs1c、s2cとして受光部11に結像する。このようにすることで図5の例と同様に2つのスポットs1c、s2cの確認を表示部14で行うことが出来る。そして本発明では図4で説明した観察ユニット26を設置する場合も、図5で説明した受光レンズ10を光軸31方向に移動させる場合も、図6で説明した第2レンズ42を光軸31と直交する方向に移動させる場合も含めて光学ユニット18という。
こうして2つの反射面5a、8aが平行になるよう調整された基準体4a、7aを原器として使用するが、これは測定台32を設置する室内の床の傾きや、室内温度、微小振動の有無など設置環境に合わせて事前に調整できることにもなる。一次結像面6に集光したスポットs1、s2は、受光ユニット12によって受光部11に結像することなく投影され、制御部15を介して表示部14にスポットs1a、s2aとして表示される。
以下同じようにして測定面5a、8a間の傾き角θに応じた干渉縞25の本数を表示画面14aで確認し、その結果を換算表37に記入していく。
このように2つの基準体4a、7a測定面が作る傾斜角「θ=0」、「θ=1」、「θ=2」、・・・「θ=n」に応じた干渉縞本数等を予め実験によって算出し、それを記入した換算表37を用意する。そして受光部11に投影される実際の被検体4、7からのスポットs1a、s2aが作り出す干渉縞25本数を確認すれば、被検体測定面間の傾斜角θを換算表37から得ることが出来る。そして例えば図8の第3横列39のように2本の干渉縞25a、25bが発生し、傾斜角が「θ=2」と求められたときは、その被検体4、7は合格品とし、第4横列40のように3本の干渉縞25a、25b、25cが発生して測定面間の傾斜角が「θ=3」と求められたときは不合格品として判定することが出来る。そしてこの判定結果は受光部11に投影されるスポット同士の大きさや干渉縞の形状などが被検体ごとに変化したとしても、基準となる換算表37の値は基準体4a、7aを用いて得たものであるから精度がばらつくようなことはない。
まず図8右欄の換算表37をメモリ41と読み替えるものとして、メモリ41と表示画面14aの関係について説明する。図8の第1横列36は、前記したように基準体4a、7aからのスポットs1、s2が受光部11にスポットs1a、s2aとして投影され、それが1つに重なって表示画面14aに表示され状態を示している。このような状態で表示されると、スポットs1a、s2aの重なり部分24に干渉縞25は発生しないからそれを確認することが出来ない。表示画面14aでこの干渉縞未発生の状態「0」を確認したら、キーボードなどの入力部16からメモリ41の所定番地、例えば第1列目36に傾斜角「θ=0」と本数「0」を伝え記憶する。
このように2つの基準体4a、7a測定面が作る傾斜角に応じた干渉縞の本数等を予め実験によって算出し、それを記憶したメモリ41を用意することで、表示部14に表示された被検体からのスポットs1a、s2aで発生した干渉縞25本数と対比することができ、必要とする傾斜角θを求めることが出来る。
まず図8の第1横列36左欄のように設置された基準体4a、7aに代わって被検体4、7を測定台32上に設置する。そしてその測定面からのスポットs1、s2をスポットs1a、s2aとして受光部11に投影して表示部14に表示する。このとき受光部11か表示部14に発生している干渉縞を制御部15で検出する。第1横列36では干渉縞が発生していないから、制御部15は「0」を検出しメモリ41のデータ群中を検索し、所定番地、この場合第1列目36からその記憶内容である「θ=0」を読み出して傾き角として画面14aに表示する。即ち、干渉縞本数「0」を制御部15が検出したときは、メモリ41の所定番地、この場合第1列36から本数「0」と傾斜角「θ=0」を読み出して画面14aに表示する。制御部15が受光部11や表示画面14aから干渉縞25を検出する方法は既知の方法を採用出来るのでその説明は省略するが、傾斜角表示用の表示画面を別に設置するようにすることも出来る。
以下同じようにして測定面5、8間の傾きに応じて発生する干渉縞の本数を制御部15で検出し、その本数が例えば「2」であれば、図8の第3横列39に相当するメモリ41の番地を検索して「θ=2」を読み出し、表示画面14aに表示する。また干渉縞の検出本数が「3」であれば、図8の第4横列40に相当するメモリ41の番地を検索して「θ=3」を読み出し表示画面14aに表示する。
このようにこの応用例では、第2の方法で作成したメモリ41を使用してその番地を発生した干渉縞本数で検索し、傾斜角θとして表示するようにしたことを特徴とする。
θn=arctan(λ/2)/L・・・・・(4)
となる。但しこの(4)式は干渉縞25間の距離Lの値が充分に小さく、又は図12Bのxnのようにスポットs1a、s2aが表示部14で夫々区別出来るような場合の傾斜角θnを求める場合に適用される。従がって図9Aの干渉縞25を正しく表記するなら、干渉は生じないのであるから図12のようにスポットs1、s2として表記される。
前記(4)式を実行するため、干渉縞25a、25b間の距離を仮にL=30mmとし、λを前記の例にならってλ=0.65μmとすれば、
θn=arctan(0.65/2)μm/30mm
=0.62秒
となる。この0.62秒が基準体4a、7a間に設けられた傾き角θnとなるが、この場合、波長λが予め制御部15に入力されていて、しかも前記のように制御部15が検出する干渉縞間距離L(この例では30mm)の値が充分に小さいときに限って0.62秒が求められる。つまり前記のように測定面5a、8a間の傾き角θnの値が小さく、受光部11上での干渉によって干渉縞が発生し、しかもその干渉縞間の距離Lが大きいときには前記(4)式では求めるθnを得ることは出来ない。そのためスポットs1a、s2a間に発生した干渉縞を利用して計算を行い、測定面5a、8a間の傾き角θnを求めることになる。これが第3の方法である。
これに対し図9Cでは被検体4、7からのスポットs1、s2による干渉縞25であるため、発生する干渉縞25d、25e、25fは、その形状、姿勢が変化するだけでなく、干渉縞25間の距離Lも変化してしまう。これは被検体の第1測定面5と第2測定面8に平面性の保証がないためで、図の例では干渉縞25dは緩やかな曲線を持って発生し、干渉縞25eは「く」の字状に湾曲して発生し、干渉縞25fは干渉縞25eとは異なる湾曲で発生した例となっている。そのためこの例のような干渉縞25が発生した場合、干渉縞間の距離Lを測定するには図の仮想線、例えばg1、g2、g3が干渉縞25d、25e、25fと夫々接する位置を測定位置として測定し、例えば仮想線g1と干渉縞25d、25e、仮想線g2と干渉縞25d、25e、仮想線g3と干渉縞25d、25の位置で測定した距離Lを平均化するなどして測定面5、8間の傾斜角θを求めるなどの対策が必要となる。このような対策を採れば被検体4、7を設置したときでも図9Aと同等の精度で測定を実施することが出来る。
但し、図9Cのような場合でも発生する干渉縞の本数には大きな変動は生じないであろうから、計算結果に大きな影響が出ることはない。逆に図9Cのような干渉縞の発生した状態から、被検体測定面が持つ微妙な歪みや平面精度を知ることが出来る。またこの図9Cのような現象は図8で基準体4a、7aに代わって被検体を設置した場合にも起こりえるので、複数個所での測定結果を平均化するなどの対策は測定作業を進める時に有効である。
θB=(f1/f2)×θA
=(2400mm/20mm)×10"
=1200"
となる。
Δと(λ/2)の比を求めるためにまず受光部11に投影されるスポットs1a、s2aの大きさを求める。両スポットs1a、s2aの大きさはほぼ同じとみなせるから、
s1a(s2a)=1.22(定数)×F×λ
=1.22×(f1/φ)×0.65μm
=1.22×(2400mm/2mm)×0.65μm
=0.95mm
となる。次にΔを求めると
Δ=0.95mm×tan1200"
=5.5μm
となる。干渉縞の本数Nは
N=5.5μm/(λ/2)
=5.5μm/0.325μm
=17本
となる。
上記のように被検体4、7から一次結像面6に向かう2つのスポットs1、s2の光軸が成す角θAが10"で、受光部11に向かう2つのスポットの光軸同士が成す角θBが1200"のとき、17本の等傾角干渉縞25が発生する。従がってθAが10"のとき被検体4、7間の傾きθはその1/2であるから、Δθを求めると
Δθ=10"/2
となる。この状態を図Cに示したが、(λ/2)=0.325μm毎に発生した17本の干渉縞を便宜的に4つの干渉縞25a、25b、25c、25dとして示してある。
Δθ=arctan{(表示された干渉縞の本数×(λ/2))/スポットs1aのサイズ}×(f2/f1)×3600arcsec÷2
=arctan{(17本×0.325μm)/0.95mm}
×(20mm/2400mm)×3600arcsec÷2
=5秒
このような計算を制御部15で行わせ、その結果を表示部14に表示するようにすれば、発生した干渉縞の本数に相当する被検体4、7間の傾斜角θを求めることが出来る。
さらに図に示した光学系ユニット18は基本的な要素だけを例示してあり、光学系ユニット18中に通常設置される各種の部材、例えば投光用コリメータレンズ3と被検体4間に設置する絞りなどについては省略してあり詳しく説明していない。同様に図4、5、6で説明した観察ユニット26や受光用レンズ10、第2レンズ47の移動手段、位置既定手段なども省略してあり、既存のものを使用することが出来る。また制御部15や表示部14は一般のパソコンに置き換えることが出来る。
Claims (4)
- レーザ光源からの光束を投光用コリメータレンズ経由で被検体に向かわせ、その第1測定面と第2測定面からの反射光を前記投光用コリメータレンズ経由で一次結像面に2つのスポットとして集光し、この両スポットを受光用レンズ経由で第1の受光部に結像することなく投影する光学系ユニットと、
この光学系ユニットで第1の受光部に投影される両スポットの重なり部分に発生する等傾角の干渉縞を表示部に送って表示する制御ユニットとを備え、
表示される干渉縞の本数から被検体測定面間の傾斜角を求めるようにしたオートコリメータにおいて、
前記光学系ユニットの光軸を調節するため、前記一次結像面に集光する2つのスポットを観察する機構を有していることを特徴とするオートコリメータ。 - 前記レーザ光源からの光束はビームスプリッタ経由で前記投光用コリメータレンズに送られ、前記一次結像面に集光する2つのスポットを観察する機構は、前記ビームスプリッタと一次結像面間で光軸と直交する方向に移動自在として設置され、前記一次結像面に集光する2つのスポットを結像させる第2の受光部を有した観察ユニットであることを特徴とする請求項1記載のオートコリメータ。
- 前記一次結像面に集光する2つのスポットを観察する機構は、前記受光用レンズを光軸に沿って移動自在とし、前記光学系ユニットの光軸調節時、一次結像面に集光する2つのスポットを前記第1の受光部に結像させられるようにした光学系ユニットであることを特徴とする請求項1記載のオートコリメータ。
- 前記一次結像面に集光する2つのスポットを観察する機構は、前記受光用レンズと受光部間の光軸上に光軸と直交する方向に移動自在として第2レンズを設置し、該第2レンズが光軸位置に設置されたとき、前記一次結像面に集光する2つのスポットを前記第1の受光部に結像するようにした光学系ユニットであることを特徴とする請求項1記載のオートコリメータ。
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