JP4907733B2 - 能動画素センサ - Google Patents

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Description

本発明は、広くは能動センサ素子を備える画像センサに係り、更に詳細にはCMOS画像センサに関する。
画像センサは一般に知られている。例えば、1995年のIEEE国際電子装置会議の原稿集の第17〜25頁におけるEric R. Fossumによる文献"CMOS画像センサ:オンチップ電子カメラ"を参照されたい。
通常、画像ピックアップ、即ち画像センサは、規則的なアレイに互いに隣接して配置された複数のセンサ素子を有している。各センサは光に対して感知的であり、当該センサ素子により受光された光に対応する電気信号を供給する。画像センサのセンサ素子のアレイ上に画像が投射されると、各センサ素子は、該投射された画像の1つの画素、即ちピクセルを表す電気信号を出力する。
上記能動センサ素子の各々は、光信号を電気信号に変換するフォトダイオードのような光感知要素と、該光感知要素により発生された電気信号を増幅する増幅器要素とを有している。上記センサ素子には、該センサ素子を機能させるために電源電圧と制御信号とが供給されねばならない。更に、上記センサ素子の出力信号は信号処理装置に供給されねばならない。この目的のため、当該画素マトリクスの表面上には導体トラックが延在し、これらトラックは上記センサ素子の各入力端又は出力端に接続されている。上記トラックは金属からなり、従って光に対して透過的でなく、その結果、これらトラックは、当該センサ素子の光を受光するのに有効に利用可能な表面面積を減少させることに繋がる。
本発明の目的は、機能を同一のままに留めながら、センサマトリクス上に延在する接続トラックの数が減少されるような能動画像センサを提供することにある。これにより得られる主要な利点は、各センサ素子の有効受光表面面積の改善である。
この目的を達成するため、本発明は、状況に応じて及び設計者により要求される追加の利点に応じ、所望のように使用することができる多数の変形例を提供する。以下、これら変形例を図面を参照して詳細に説明するが、該図面において同一又は同等の構成要素には同一の符号が付してある。
図1は、画像センサにおけるセンサ素子の主要な構成要素を概念的に示す。 図2Aは、本発明の第1実施例におけるセンサ素子の設計の、図1と同様の概要図である。 図2Bは、本発明の第2実施例におけるセンサ素子の設計の、図2Aと同様の概要図である。 図2Cは、図2Aに示す第1実施例のチップ構成を示す。 図2Dは、図2Aに示す第1実施例の他のチップ構成を示す。 図2Eは、図2Bに示す第2実施例のチップ構成を示す。 図2Fは、図2Bに示す第2実施例の他のチップ構成を示す。 図3Aは、本発明の第3実施例におけるセンサ素子の設計の、図2Aと同様の概要図である。 図3Bは、図3Aに示す第3実施例のチップ構成を示す。 図4Aは、本発明の第4実施例におけるセンサ素子の設計の、図2Aと同様の概要図である。 図4Bは、図4Aに示す第4実施例のチップ構成を示す。
図1は能動センサ素子の回路図であり、該素子には全体として符号1が付されている。センサ素子10は光センサ20、即ち光感知素子を有し、該センサは出力端22において当該光センサ20により受光された光Lに対応する電気信号を供給する。光センサ20の上記電気出力端22は増幅器回路30の入力端31に接続され、該増幅器回路30は入力端31で入力された上記光センサ20の電気出力信号に基づく増幅された信号を供給する出力端32を有している。
画像センサがスイッチオフされた場合、センサ素子は電源電圧を受けることはなく、"オフ状態"又は"非活性状態"と呼ぶ第1状態にある。電源電圧が存在する画像センサの動作中においては、個々のセンサ素子は読み出されるべく周期的に選択される。即ち、その場合、個々のセンサ素子は更なる処理のための出力信号を出力する。このようなセンサ素子の動作状態は、"選択状態"と呼ぶ。連続する選択状態の間においては、上記光センサは受光された光の量の積分に対応する電気信号を蓄積するよう動作し、この間において該センサ素子は出力端45においては出力信号を供給しない。このようなセンサ素子の動作状態は、"積分状態"と呼ぶ。光センサ20は上記積分に先立ちリセットされ、読み出しの間に供給される出力信号が、専ら、先行する積分期間の間に受光された光の量に対応するのを保証するようにする。このような動作状態は、"リセット状態"と呼ぶ。
センサ素子を上述した動作状態の1つに移行させるには制御信号が必要である。更に、センサ素子の満足のゆく動作には少なくとも2つの電源電圧が必要である。
従来のセンサ素子は上記電源電圧及び制御信号を入力するために4つの入力端子、即ち図1に示すように、第1電源入力端子41、第2電源入力端子42、選択信号入力端子43及びリセット信号入力端子44を有している。センサ素子10は、信号出力端子45も有している。2つの電源入力端子41及び42は、光センサ20及び増幅器30に正しい電源電圧を供給するよう働く。選択信号入力端子43及びリセット信号入力端子44は、前記3つの動作状態を設定するために、選択信号及びリセット信号を各々入力するよう働く。
当該画像センサには、全てのセンサ素子への又は全てのセンサ素子からの信号の入力及び出力のための対応する数の導体トラックを設けねばならず、これは前述したような問題を有する。
従来の状況においては前記3つの動作状態を設定するために2つの二進制御信号が用いられる。即ち、従来の状況では前記選択信号及びリセット信号は共に2つの信号値を取り得、これらは"活性信号値"及び"非活性信号値"と各々称する。
前記リセット状態は、活性信号値を持つリセット信号が供給されることにより達成される。その場合、前記選択信号の信号値は何の影響も有さない。
前記選択状態は、非活性信号値を持つリセット信号が供給され、且つ、活性信号値を持つ選択信号が供給されることにより達成される。
センサ素子10は、上記選択信号及びリセット信号の両者が非活性信号値を持つ場合に積分状態となる。
本発明は、上記選択信号及びリセット信号は上述した3つの動作状態の何れにおいても決して同時に活性信号値を有することはないとの認識に基づいている。本発明の重要な態様によれば、1つの制御入力端子を介して供給されるべき制御信号により所望の動作状態を達成することが可能であり、該供給される制御信号の意味は、異なった、取り得る信号値により決定される。この1つの制御入力端子は、"共通のリセット/選択信号入力端子"と呼ぶ。
図2Aは本発明による第1のセンサ素子11を示す。第1電源入力端子41は第1スイッチS1を介して光センサ20のリセット入力端21に接続されている。第2電源入力端子42は、光センサ20に直接接続されると共に、第2スイッチS2を介して増幅器30に接続されている。2つのスイッチS1及びS2は、当該センサ素子11の共通制御入力端子51に接続された制御入力端を有している。
3つの取り得る信号値を有する信号が共通制御入力端子51に供給されて、当該センサ素子11の動作状態を規定する。
第1信号値においては、両スイッチS1及びS2は閉じている。その場合、増幅器30は必要な電源電圧を入力しないので、当該センサ素子は出力信号を出力しないが、光センサ20は生きている。従って、センサ素子11は積分状態となる。
第2信号値は、第1スイッチS1は導通するが、第2スイッチS2は導通しないように選択される。これにより、光センサ20はリセットされる。これが、第1スイッチS1がリセットスイッチとも呼ばれ、該第2信号値がリセット信号とも呼ばれる所以である。
第3信号値においては、第2スイッチS2は導通状態にされるが、第1スイッチS1は導通状態にはされない。結果として、増幅器30は電源に正しく接続されて、光センサ20により供給される信号を増幅し、該信号を出力端子45に受け渡す。言い換えると、当該センサ素子は選択状態となる。従って、第2スイッチS2は選択スイッチとも呼ばれ、該第3信号値は選択信号と呼ばれる。
図2Aの第1実施例においては、センサ素子11の選択は、増幅器30への電源ライン内の可制御選択スイッチS2を制御することにより達成される。図2Bは本発明によるセンサ素子の第2実施例12を示し、該素子は可制御選択スイッチS3が増幅器30の出力端32と当該センサ素子12の出力端子45との間に含まれている点で図2Aに示した第1実施例11とは相違している。しかしながら、この変形例の動作は図2Aを参照して述べて動作と同一である。
図2C及び2Dは、図2Aを参照して述べた第1実施例11の2つの可能性のある実施化構成を示す一方、図2E及び2Fは図2Bを参照して述べた第2実施例12の2つの可能性のある実施化構成を示している。
増幅器30は図示の全ての4つの構成において共通ソース接続の単一MOSトランジスタとして構成され、ゲートは、図示の全ての4つの構成において光感知ダイオードとして表された光センサ20の出力端に接続されている。従って、センサ素子11、12の出力信号は、光センサ20の出力電圧に比例した強度の電流である。更に、可制御リセットスイッチS1及び当てはまる可制御選択スイッチS2又はS3は、図示の全ての4つの構成において単一のMOSトランジスタとして構成され、従って合計で3個以下のMOSトランジスタしか必要としない。
図2Cに示す第1実施例11の構成において、増幅トランジスタ30のドレインは出力端子45に接続され、該増幅トランジスタ30のゲートは光感知ダイオード20の陽極に接続されている。増幅トランジスタ30のソースは選択トランジスタS2のドレインに接続され、該トランジスタ20のソースは第2電源入力端子VDDに接続されている。光感知ダイオード20の陽極は更にリセットトランジスタS1のドレインに接続され、該トランジスタS1のソースは第1電源入力端子VSSに接続されている。リセットトランジスタS1及び選択トランジスタS2のゲートは、共に、制御入力端子51に接続されている。上記光感知ダイオードの陰極は第2電源入力端子VDDに結合されている。
図2Cの構成は、3つのNチャンネルMOSFETを用いて実現されている。図2Dの構成は図2Cのものと等価であるが、ここではPチャンネルMOSFETが使用されている。
図2Eの構成においては、光感知ダイオード20の陽極は増幅トランジスタ30のゲートと、リセットトランジスタS1ソースとに接続されている。該リセットトランジスタS1のドレインは第1電源電圧VSSに接続されている。増幅トランジスタ30のソースは第2電源電圧VDDに接続される一方、該増幅トランジスタ30のドレインは選択トランジスタS3のソースに接続され、該トランジスタS3のドレインは当該センサ素子12の出力端子45に接続されている。選択トランジスタS3のゲート及びリセットトランジスタS1のゲートは、共に、リセット/選択信号入力端子51に接続されている。
図2Eの構成は、Nチャンネルトランジスタを用いて実現されている。図2Fの構成は図2Eのものと等価であるが、ここではPチャンネルトランジスタが使用されている。
図2Cに示したセンサ素子11の変形例の動作を、簡単に説明する。第1電源入力端子41に供給される第1電源電圧VSSのレベルは、第2電源入力端子42に供給される第2電源電圧VDDのレベルよりも低い。
通常、制御入力端子51に供給される制御信号のレベルは第2電源電圧VDDに略等しく、従ってリセットトランジスタS1及び選択トランジスタS2は共に非導通状態である(積分状態)。
センサ素子11が読み出されるべき場合(選択状態)、第2電源電圧VDDより低いレベルの制御信号が制御入力端子51に供給され、従って選択トランジスタS2は導通するが、該レベルは第1電源電圧VSSよりも高いので、リセットトランジスタS1は依然として非導通状態である。この場合、出力端子45におえける出力信号は光感知ダイオード20の陽極の電圧により完全に規定される。
センサ20をリセットするためには、第1電源電圧VSSよりも低いレベルの制御信号が制御入力端子51に供給されるので、リセットトランジスタS1及び選択トランジスタS2は、共に、導通状態となる。
通常、1つのセンサ素子のリセットは、マトリクスの同一のライン上に位置する全ての他のセンサ素子のリセットと同時に生じる。これは、このライン上に位置するセンサ素子の全リセット入力端子を1つの共通の導体トラックにより制御することができるという利点が得られるからである。しかしながら、マトリクスアーキテクチャに対しては、当該マトリクスのピクセルを個々にリセットすることができるようにしたいという要望がある。これは、ピクセル当たりの積分時間を適応化することを可能にし、これがピクセルのダイナミックレンジの大幅な増加を可能にする。その場合、ピクセル毎の積分時間を依然として同一に維持することが可能であるので、ピクセルを通常のライン毎の順序以外の順序でアドレス指定することも可能となる。
センサ素子、即ちピクセルを個々にリセットすることが可能なCMOS画像センサは既知である。このような例は、1979年の固体回路に関するIEEEジャーナル第32巻、第2号の第285〜288頁におけるOrley Yadid-Pecht他による論文"区域的な電子シャッタを備えるCMOS能動画素センサのスタートラッカ"に記載されている。しかしながら、引用した該文献に記載された装置においては、追加の選択ライン、即ちリセット-選択ラインが必要である。従って、この既知の装置は、2つの電源ラインと、合計で4つの信号ライン、即ち出力ライン、読出/選択ライン、リセット信号ライン及びリセット/選択ライン、とを必要とする。本発明は、斯様な追加のリセット-選択ラインが必要とされないようなセンサ素子を提案し、従って、この点に関し本発明は、機能は同一に留めたまま、センサマトリクス上に延在する接続トラックの数を低減も提供する。
本発明は、上記ラインの内の2つのものの情報を各センサ素子において合成することにより、所望の機能を維持したまま、センサマトリクス表面上に延在する電気ラインの数を低減することが可能であるという認識に基づいている。
本発明の第1の方法によれば、センサ素子は、このセンサ素子が読出/選択ライン上の選択信号により同時に選択されている場合にのみ、リセット信号に応答してリセットされる。本発明によるセンサ素子は、この目的のため、リセット信号と選択信号とに対してAND機能を実行する手段を有している。この目的のためには別個のAND要素を設けることもできるが、代わりに、当該センサ素子自身の論理構造が該AND機能を含むようにすることも可能である。
図3Aは本発明によるセンサ素子13の第3実施例を示し、該センサ素子は前記の引用した文献のものと較べて低減された数の接続部との組合せで上記機能を提供する。画像センサ20は第2電源入力端子42に直接接続されている。第1可制御選択スイッチS2が増幅器30と第1電源入力端子41との間に接続されている。可制御リセットスイッチS1と第2可制御選択スイッチS2'との直列接続が、画像センサ20と第1電源入力端子41との間に含まれている。2つの選択スイッチS2及びS2'の制御入力端は、共に、選択信号を入力する選択入力端子61に接続されている。リセットスイッチS1の制御入力端は、リセット信号を入力するためのリセット入力端子62に接続されている。
図3Aに示す実施例の動作は次の通りである。選択入力端子61に供給される選択信号が非活性値を有する場合、スイッチS2及びS2'は非導通状態であり、当該センサ素子13は積分状態となる。この場合、リセット入力端子62に供給されるリセット信号の値は無関係となる。
選択入力端子61で入力される信号の値は活性状態であるが、リセット入力端子62で入力される信号が非活性値を有する場合、増幅器30は第1選択スイッチS2により電源入力端子41における電源電圧に接続される一方、センサ20と電源入力端子41との間の接続は非導通状態のリセットスイッチS1により切断される。この場合、画像センサ20の出力端22において発生される電気信号は、増幅器30により増幅された形で当該センサ素子13の出力端子45に供給される。即ち、当該センサ素子は選択状態となる。
選択入力端子61で入力される信号は活性状態であり、リセット入力端子62で入力される信号も活性値を有する場合は、画像センサ20は2つのスイッチS1及びS2'を介して電源入力端子41に接続され、該画像センサ20はリセットされる。
この場合、前記AND機能は、光センサ20と第1電源接続部41との間に直列に接続された2つのスイッチS1及びS2'により提供され、一方のスイッチS1はリセット信号により作動され、他方のスイッチS2'は選択信号により作動される。
図3Aに示す実施例においては、リセットスイッチS1が画像センサ20に接続され、第2選択スイッチS2'が第1電源入力端子41に接続されている。他の実施例においては、これら2つのスイッチの順序は逆にすることができ、その場合、リセットスイッチS1は電源入力端子41に接続され、第2選択スイッチS2'が画像センサ20に接続される。
図3Aに示す実施例における2つの選択スイッチS2及びS2'は、共に、第1電源入力端子41に接続されている。他の実施例においては、これら2つの選択スイッチは、その制御入力端が選択入力端子61に接続された単一の選択スイッチに統合することができ、その場合、一方のスイッチ端子は電源入力端子41に接続され、他方のスイッチ端子は増幅器30とリセットスイッチS1との両者に接続される。
図3Aに示した実施例におけるセンサ素子13は、増幅器30が電源入力端子41に接続されることにより、読み出し用として選択される。この目的のため、選択スイッチS2は電源入力端子41と増幅器30の電源接続端子との間に結合されている。他の例として、増幅器30は電源入力端子41に直接接続されるようにし、図2Bを参照して説明した図2Aの実施例の代替例と同様に、選択スイッチS2を増幅器30の出力端32とセンサ素子13の出力端子45との間の選択スイッチS3に置換することもできる。
図3Bは図3Aの実施例の実施化構成を示している。ここでは、増幅器30はソースフォロア構成の単一MOSトランジスタの形態で実現され、従って、出力信号は光感知構造20の両端間電圧に比例した電圧となるであろう。増幅トランジスタ30のソースは、当該センサ素子13の出力端子45に接続されている。増幅トランジスタ30のドレインは、選択スイッチングトランジスタS2のソースに接続され、該トランジスタS2のドレインは第1電源入力端子41に接続されている。ここでも、光センサ20は光感知ダイオードとして示され、該ダイオードの陽極は増幅トランジスタ30のゲートと、リセットトランジスタS1のソースとに接続されている。該リセットトランジスタS1のドレインは第2選択トランジスタS2'のソースに接続され、該トランジスタS2'のドレインは第1電源入力端子41に接続されている。リセットトランジスタS1のゲートはリセット入力端子62に接続されている。選択トランジスタS2及びS2'のゲートは選択入力端子61に接続されている。
この実施例における上記選択信号及びリセット信号の活性値はローに対応し、これら選択信号及びリセット信号の非活性値はハイに対応する。
図3Bの構成はNチャンネルトランジスタを使用しているが、Pチャンネルトランジスタに基づく構成も可能であることは当業者にとり自明であろう。
本発明の第2の方法によれば、センサ素子には、該センサ素子が同時に選択ラインにおける選択信号により選択される場合にのみ電源電圧が供給される。この場合、本発明は部分的には、センサ素子は選択されていない場合、如何なる電源電圧も必要としないという認識に基づいている。この目的のため、本発明によるセンサ素子は選択ライン上の選択信号の活性値が同時に電源信号としても使用されるような論理構造を有している。
図4Aは本発明によるセンサ素子14の第4実施例を示し、該実施例は上述した機能を、引用文献と比較して低減された数の接続ラインとの組合せで提供する。このセンサ素子14は、選択入力端子71、リセット入力端子72及び単一電源入力端子73のみを有している。画像センサ20は直接電源入力端子73に接続されている。増幅器30は、電源電圧を入力するために上記選択入力端子71に接続されている。可制御リセットスイッチS1が画像センサ20と選択入力端子71との間に接続され、該スイッチの制御入力端はリセット信号を入力するためにリセット入力端子72に接続されている。増幅器30の出力端32と当該センサ素子14の出力端子45との間には可制御選択スイッチS3が存在し、該スイッチの制御入力端は選択信号を入力するために選択入力端子71に接続されている。
図4Aに示す実施例の動作は、下記の通りである。選択入力端子71で入力される選択信号が非活性値を有する場合、スイッチS3は非導通状態であるので、増幅器30は出力端子45から遮断され、従って電源を受けることがない。この場合、当該センサ素子14は積分状態である。その場合、リセット入力端子72において入力されるリセット信号の値は重要ではない。
選択入力端子71において入力される信号が活性値を有する一方、リセット入力端子72で入力される信号が非活性値を有する場合、増幅器30は上記選択信号の活性値を当該増幅器の電源電圧として入力し、スイッチS3は導通して増幅器30の出力信号を当該センサ素子14の出力端子45に供給し、センサ20と選択入力端子71との間の接続は非導通状態のリセットスイッチS1により遮断される。この場合、画像センサ20の出力端22における電気信号は増幅器30により増幅された形で当該センサ素子14の出力端子45に供給される。即ち、センサ素子14は選択状態となる。
選択入力端子71において入力される信号の値が活性状態である一方、リセット入力端子72において入力される信号の値も活性状態である場合、画像センサ20はリセットスイッチS1を介して選択入力端子71における選択信号の活性値に接続され、該画像センサ20はリセットされる。
図4Bは、図4Aの実施例のPチャンネルトランジスタに基づく実施化構成を示しているが、当業者にとりNチャンネルトランジスタに基づく等価の設計も可能であることは自明であろう。
光センサ20は、ここでも、光感知ダイオードとして示され、該ダイオードの陽極は電源接続端子(GND)73に接続され、陰極は増幅トランジスタ30のゲートとリセットトランジスタS1のソースとに接続されている。該リセットトランジスタS1のドレインは選択入力端子71に接続され、該リセットトランジスタS1のゲートはリセット入力端子72に接続されている。増幅トランジスタ30のソースは選択トランジスタS3のドレインに接続され、該選択トランジスタS3のソースは出力端子45に接続されている。選択トランジスタS3のゲートは選択入力端子71に接続されている。増幅トランジスタ30のドレインは、選択入力端子71に結合されている。
選択入力端子71における信号レベルがローの場合、当該センサ素子14は積分状態になる。
選択入力端子71における信号レベルがハイである一方、リセット入力端子72における信号レベルがローの場合、当該センサ素子14は選択状態になる。
選択入力端子71における信号レベルがハイである一方、リセット入力端子72における信号レベルもハイの場合、センサ20はリセットされる。
原理的には、増幅トランジスタ30のドレインは選択入力端子71に直接接続することができる。図4Bに示す実施例においては、増幅トランジスタ30のドレインと選択入力端子71との間に第2選択トランジスタS3'が含まれ、該トランジスタS3'のゲートが選択入力端子71に接続されているので、この第2選択トランジスタS3'の動作は第1選択トランジスタS3の動作と同様である。該第2選択トランジスタS3'は、上記選択入力端子における信号のフォトダイオード20に対するクロストークが低減されるという付加的な利点を提供する。
このように、本発明はアレイに配置された多数の能動センサ素子11;12;13;14並びに電源電圧及び信号の伝達のために該アレイの表面上に延在する多数の導体ラインを有する画像センサを提供する。各センサ素子は光センサ20と増幅器30とを有する。
本発明によれば、導電性ラインの数の低減が達成される一方、機能は維持される。
第1及び第2実施例においては、この目的のためにセンサ素子11;12は、センサと関連された第1スイッチS1と、増幅器と関連された第2スイッチS2;S3とを有し、両スイッチは共通制御信号により制御される。
第3実施例においては、この目的のためにセンサ素子13はセンサと電源ラインとの間に接続された第1スイッチS1と第2スイッチS2'との直列接続を有する。第4実施例14においては、選択信号が同時に増幅器用の電源としても使用される。
当業者にとっては、本発明の範囲は上述した実施例に限定されるものではなく、これら実施例の種々の変形例が添付請求項に記載した本発明の範囲から逸脱することなく可能であることは自明であろう。かくして、例えば図2Aを参照して述べた実施例において、リセットスイッチがセンサと電源接続端子の一方との間に設けられ、選択スイッチングが増幅器と上記と同一の電源接続端子との間に設けられるようにすることができる。

Claims (21)

  1. センサ素子であって、
    光信号を電気信号に変換する光感知要素と、
    前記光感知要素により供給される前記電気信号を増幅する増幅器要素と、
    前記増幅器要素の出力端に結合されて、該増幅器要素により供給される増幅された信号を外部に通過させる出力端子と、
    第1電源電圧を入力する第1電源接続端子と、
    第2電源電圧を入力する第2電源接続端子と、
    選択信号を入力する第1制御接続端子と、
    リセット信号を入力する第2制御接続端子と、
    前記2つの制御接続端子に結合された手段であって、第1信号値を持つ前記選択信号の入力に応答して当該センサ素子を積分状態にし、第2信号値を持つ前記選択信号及び第1信号値を持つ前記リセット信号の入力に応答して当該センサ素子を選択状態にし、第2信号値を持つ前記選択信号及び第2信号値を持つ前記リセット信号の入力に応答して前記光感知要素をリセットするように構成された手段と、
    を有するセンサ素子。
  2. 請求項1に記載のセンサ素子であって、前記光感知要素のリセット端子と前記第1電源接続端子との間に接続された第1可制御スイッチと第2可制御スイッチとの直列接続を有し、前記第1可制御スイッチの制御入力端が前記第2制御接続端子に結合され、前記第2可制御スイッチの制御入力端が前記第1制御接続端子に結合されている、センサ素子。
  3. 請求項2に記載のセンサ素子であって、
    前記増幅器要素はソースが前記出力端子に結合され、ドレインが前記第1電源接続端子に結合されたMOSFETであり、
    前記第1可制御スイッチはゲートが前記第2制御接続端子に結合されたMOSFETであり、
    前記第2可制御スイッチはソースが前記第1可制御スイッチのドレインに結合され、ドレインが前記第1電源接続端子に結合され、ゲートが前記第1制御接続端子に結合されたMOSFETである、
    センサ素子。
  4. 請求項3に記載のセンサ素子であって、前記光感知要素が光感知ダイオードであり、該ダイオードが前記増幅トランジスタのゲートと前記第1可制御スイッチングトランジスタのソースとに接続されている、センサ素子。
  5. 請求項2に記載のセンサ素子であって、
    前記増幅器要素はソースが前記出力端子に結合され、ドレインが前記第1電源接続端子に結合されたMOSFETであり、
    前記第2可制御スイッチはゲートが前記第1制御接続端子に結合されたMOSFETであり、
    前記第1可制御スイッチはドレインが前記第2可制御スイッチのソースに結合され、前記第2可制御スイッチのドレインが前記第1電源接続端子に結合され、前記第1可制御スイッチのゲートが前記第2制御接続端子に結合されたMOSFETである、
    センサ素子。
  6. 請求項5に記載のセンサ素子であって、前記光感知要素が光感知ダイオードであり、該ダイオードが前記増幅トランジスタのゲートと前記第可制御スイッチングトランジスタのソースとに接続されている、センサ素子。
  7. 請求項2に記載のセンサ素子であって、
    前記増幅器要素はソースが前記出力端子に結合されたMOSFETであり、
    前記第1可制御スイッチはゲートが前記第2制御接続端子に結合されたMOSFETであり、
    前記第2可制御スイッチはソースが前記第1可制御スイッチのドレインと前記増幅トランジスタのドレインとに結合され、ドレインが前記第1電源接続端子に結合され、ゲートが前記第1制御接続端子に結合されたMOSFETである、
    センサ素子。
  8. 請求項7に記載のセンサ素子であって、前記光感知要素が光感知ダイオードであり、該ダイオードが前記増幅トランジスタのゲートと前記第1可制御スイッチングトランジスタのソースとに接続されている、センサ素子。
  9. 請求項2ないし6のうちいずれか1つに記載のセンサ素子であって、第3可制御スイッチを更に有し、該第3可制御スイッチが前記増幅器要素と前記第1電源接続端子との間に接続されている、センサ素子。
  10. 請求項9に記載のセンサ素子であって、前記第3可制御スイッチはソースが前記増幅トランジスタのドレインに結合され、ドレインが前記第1電源接続端子に結合され、ゲートが前記第1制御接続端子に結合されたMOSFETである、センサ素子。
  11. 請求項2ないし6のうちいずれか1つに記載のセンサ素子であって、第3可制御スイッチを更に有し、該第3可制御スイッチが前記増幅器要素の出力端と前記出力端子との間に接続されている、センサ素子。
  12. 請求項11に記載のセンサ素子であって、前記第3可制御スイッチはドレインが前記増幅トランジスタのソースに結合され、ソースが前記出力端子に結合され、ゲートが前記第1制御接続端子に結合されたMOSFETである、センサ素子。
  13. アレイに配置された請求項10ないし12のうちいずれか1つに記載されたセンサ素子の複数を有し、該センサ素子のアレイの表面上に、
    1つのラインに位置する前記センサ素子における前記出力端子に接合された出力ラインと、
    1つのライン上に位置する前記センサ素子における前記第1電源接続端子に結合された第1電源ラインと、
    1つのライン上に位置する前記センサ素子における前記第2電源接続端子に結合された第2電源ラインと、
    1つのライン上に位置する前記センサ素子における前記第1制御接続端子に結合された選択ラインと、
    1つのライン上に位置する前記センサ素子における前記第2制御接続端子に結合されたリセットラインと、
    が延在している、画像センサ。
  14. センサ素子であって、
    光信号を電気信号に変換する光感知要素と、
    前記光感知要素により供給される前記電気信号を増幅する増幅器要素と、
    前記増幅器要素の出力端に結合されて、該増幅器要素により供給される増幅された信号を外部に通過させる出力端子と、
    電源電圧を入力する電源接続端子と、
    選択信号を入力する第1制御接続端子と、
    リセット信号を入力する第2制御接続端子と、
    前記2つの制御接続端子に結合された手段であって、第1信号値を持つ前記選択信号の入力に応答して当該センサ素子を積分状態にし、第2信号値を持つ前記選択信号及び第1信号値を持つ前記リセット信号の入力に応答して当該センサ素子を選択状態にし、第2信号値を持つ前記選択信号及び第2信号値を持つ前記リセット信号の入力に応答して前記光
    感知要素をリセットするように構成された手段と、
    を有するセンサ素子。
  15. 請求項14に記載のセンサ素子であって、前記光感知要素のリセット端子と前記第1制御接続端子との間に結合された第1可制御スイッチを有し、該第1可制御スイッチの制御入力端が前記第2制御接続端子に結合され、前記増幅器要素の電源入力端が前記第1制御接続端子に結合されている、センサ素子。
  16. 請求項15に記載のセンサ素子であって、
    前記増幅器要素はソースが第2可制御スイッチを介して前記出力端子に結合され、ドレインが前記第1制御接続端子に結合されたMOSFETであり、
    前記第1可制御スイッチはゲートが前記第2制御接続端子に結合され、ドレインが前記第1制御接続端子に結合されたMOSFETである、
    センサ素子。
  17. 請求項16に記載のセンサ素子であって、前記光感知要素が光感知ダイオードであり、該ダイオードが前記増幅トランジスタのゲートと前記第1可制御スイッチングトランジスタのソースとに接続されている、センサ素子。
  18. 請求項16に記載のセンサ素子であって、前記第2可制御スイッチはソースが前記出力端子に結合され、ドレインが前記増幅器要素の出力端に結合され、ゲートが前記第1制御接続端子に結合されたMOSFETである、センサ素子。
  19. 請求項15ないし18のうちいずれか1つに記載のセンサ素子であって、前記増幅器要素の電源入力端と前記第1制御接続端子との間に接続された第3可制御スイッチを有している、センサ素子。
  20. 請求項19に記載のセンサ素子であって、前記第3可制御スイッチはソースが前記増幅器要素の電源入力端に結合され、ドレインが前記第1制御接続端子に結合され、ゲートが前記第1制御接続端子に結合されたMOSFETである、センサ素子。
  21. アレイに配置された請求項14ないし20のうちいずれか1つに記載されたセンサ素子の複数を有し、該センサ素子のアレイの表面上に、
    1つのラインに位置する前記センサ素子における前記出力端子に接合された出力ラインと、
    1つのライン上に位置する前記センサ素子における前記電源接続端子に結合された電源ラインと、
    1つのライン上に位置する前記センサ素子における前記第1制御接続端子に結合された共通の選択/電源ラインと、
    1つのライン上に位置する前記センサ素子における前記第2制御接続端子に結合されたリセットラインと、
    が延在している、画像センサ。
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Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20040055965A1 (en) * 1997-06-13 2004-03-25 Hubig Stephan M. Recreational water treatment employing singlet oxygen
US6831691B1 (en) * 1998-04-15 2004-12-14 Minolta Co., Ltd. Solid-state image pickup device
JP4708583B2 (ja) * 2001-02-21 2011-06-22 キヤノン株式会社 撮像装置
TWI229539B (en) * 2003-02-27 2005-03-11 Elecvision Inc Small image sensing device and image sensing element thereof
FR2855326B1 (fr) * 2003-05-23 2005-07-22 Atmel Grenoble Sa Capteur d'image matriciel en technologie cmos
US7456884B2 (en) * 2003-08-05 2008-11-25 Aptina Imaging Corporation Method and circuit for determining the response curve knee point in active pixel image sensors with extended dynamic range
US20060016963A1 (en) * 2004-06-07 2006-01-26 Benjamin Maytal Medical sensors
KR20070006982A (ko) * 2005-07-09 2007-01-12 삼성전자주식회사 수광 효율이 향상된 독출 소자 공유 이미지 센서
US20070152136A1 (en) * 2006-01-04 2007-07-05 Jianquo Yao Transimpedance amplifier protection circuits
JP5328169B2 (ja) * 2007-02-28 2013-10-30 キヤノン株式会社 撮像装置及び放射線撮像システム
US7638772B2 (en) * 2007-02-28 2009-12-29 Canon Kabushiki Kaisha Imaging apparatus and radiation imaging system
WO2010053894A1 (en) 2008-11-05 2010-05-14 Next Biometrics As Voltage reading technique for large sensor arrays through reduced noise differential path
US8878816B2 (en) 2009-02-19 2014-11-04 Au Optronics Corporation Active pixel sensor and method for making same
JP5251736B2 (ja) * 2009-06-05 2013-07-31 ソニー株式会社 固体撮像装置、固体撮像装置の駆動方法および電子機器
US10265784B2 (en) * 2012-10-29 2019-04-23 Kyocera Corporation Ball end mill
JP2016029795A (ja) * 2014-07-18 2016-03-03 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置、撮像装置及び電子機器
US9526468B2 (en) 2014-09-09 2016-12-27 General Electric Company Multiple frame acquisition for exposure control in X-ray medical imagers
TWI651929B (zh) * 2018-05-02 2019-02-21 友達光電股份有限公司 感測電路

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06334920A (ja) * 1993-03-23 1994-12-02 Nippon Hoso Kyokai <Nhk> 固体撮像素子とその駆動方法
JPH09275204A (ja) * 1996-04-04 1997-10-21 Fuji Xerox Co Ltd 固体撮像素子
US5949061A (en) * 1997-02-27 1999-09-07 Eastman Kodak Company Active pixel sensor with switched supply row select
US5892541A (en) * 1996-09-10 1999-04-06 Foveonics, Inc. Imaging system and method for increasing the dynamic range of an array of active pixel sensor cells
JPH10257392A (ja) * 1997-03-14 1998-09-25 Matsushita Electron Corp 物理量分布検知半導体装置およびその駆動方法ならびにその製造方法
US5869857A (en) * 1997-04-07 1999-02-09 Chen; Pao-Jung CMOS photodetectors with wide range operating region
JP4238377B2 (ja) * 1997-08-15 2009-03-18 ソニー株式会社 固体撮像素子およびその駆動方法
DE69841968D1 (de) * 1997-08-15 2010-12-09 Sony Corp Festkörper-Bildaufnahmevorrichtung und Steuerverfahren dafür
US5962844A (en) * 1997-09-03 1999-10-05 Foveon, Inc. Active pixel image cell with embedded memory and pixel level signal processing capability
US6097022A (en) * 1998-06-17 2000-08-01 Foveon, Inc. Active pixel sensor with bootstrap amplification

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