JP4895184B2 - 電子部品パッケージの気密検査方法と気密検査装置 - Google Patents
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2 遠赤外線発生装置
3 遠赤外線検知装置
Claims (2)
- 気密封止された電子部品パッケージの気密を検査する検査方法において、
該電子部品パッケージを、加圧した水または水蒸気雰囲気中に置き、
その後、遠赤外線発生装置を用いて、遠赤外線を周波数を可変させつつ該電子部品パッケージに照射し、
該電子部品パッケージを透過した遠赤外線を検知装置により受け、該電子部品パッケージ内に存在する水により吸収するスペクトラムを検出する
ことを特徴とするパッケージの気密検査方法。 - 水または水蒸気雰囲気中で加圧処理された電子部品パッケージを搬送する搬送装置と、
該搬送装置の該電子部品パッケージが移動する途中に設けられ、可変した周波数の遠赤外線を該電子部品パッケージに照射する遠赤外線発生装置と、
該遠赤外線発生装置から照射され、該電子部品パッケージを透過した遠赤外線を検知する検知装置と、
を備えたことを特徴とする電子部品パッケージの気密検査装置。
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