JP4890271B2 - フォトゲートを有する放射線検出装置とx線検査装置、および線量をモニタリングする方法とx線検査方法 - Google Patents
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Description
a)入射放射線の自由電荷(例えば、半導体中の電子又は電子−正孔対)への変換のための変換要素。
b)変換要素により生成された前記自由電荷の中間蓄積のための電荷蓄積要素。その電荷蓄積要素は電荷蓄積領域から同時に電気的に分離され且つ電荷蓄積領域に配置されているフォトゲート電極と電荷蓄積要素とを有し、その電極は電荷蓄積領域において電界を誘起する。
c)フォトゲートの電極を外部の駆動回路と接続するフォトゲートライン。
d)画素の出力ラインにおける電気信号(例えば、電荷又は電圧)への電荷蓄積要素に蓄積された電荷の選択的変換のための少なくとも1つの読み出し要素。
X線エネルギーに対して検査される対象物を暴露するためのX線源と;
検査される対象物による減衰の後、X線画像を受けるための上記のような種類のX線検出装置と;
を有するX線検査装置に更に関する。
− X線に対して検査される対象物を暴露する段階と;
− X線暴露中に電流センサの出力信号をモニタリングする段階であって、その電流センサは上記のようなフォトゲートラインに挿入されている、段階と;
− 電流センサの出力信号の前記モニタリングに応じて、X線暴露を停止する段階と;
− X線画像を得るために検出画素の電界蓄積要素に蓄積された電荷を読み出す段階と
を有する。
a)入射放射線の自由電荷(例えば、半導体中の電子又は電子−正孔対)への変換のための変換要素。
b)変換要素により生成された前記自由電荷の中間蓄積のための電荷蓄積要素。その電荷蓄積要素は電荷蓄積領域から同時に電気的に分離され且つ電荷蓄積領域に配置されているフォトゲート電極と電荷蓄積要素とを有し、その電極は電荷蓄積領域において電界を誘起する。
c)フォトゲートの電極を外部の駆動回路と接続するフォトゲートライン。
d)画素の出力ラインにおける電気信号(例えば、電荷又は電圧)への電荷蓄積要素に蓄積された電荷の選択的変換のための少なくとも1つの読み出し要素。
Claims (10)
- 放射線源から照射される放射線を検出する、検出画素のアレイを有する放射線検出装置であって、各々の画素は:
a)入射放射線の自由電荷(例えば、半導体中の電子又は電子−正孔対)への変換のための変換要素;
b)前記自由電荷の蓄積のための電荷蓄積要素であって、電荷蓄積領域と、電界を誘起するための前記電荷蓄積領域から電気的に分離され且つ前記電荷蓄積領域の上方に配置されたフォトゲート電極とを有する、電荷蓄積要素;及び
c)外部のドライバ回路に前記フォトゲート電極を接続しているフォトゲートライン;
d)前記画素の出力ラインにおける電気信号への前記電荷蓄積要素に蓄積された電荷の選択的変換のための読み出し要素;
を有する、放射線検出装置であり、
前記フォトゲートラインの少なくとも1つは、そのラインに結合された電荷蓄積要素の電荷における変化によりもたらされる変位電流を検出する電流センサを介して対応する外部ドライバ回路に接続されていて;
前記電流センサによる前記変位電流の測定により、前記アレイで吸収された放射線線量をモニタリングし、前記放射線源からの照射を制御することが可能である;
ことを特徴とする放射線検出装置。 - 請求項1に記載の放射線検出装置であって、隣接する画素の少なくとも1つの群は同じ前記フォトゲートライン及び前記電流センサに結合されている、ことを特徴とする放射線検出装置。
- 請求項1に記載の放射線検出装置であって、前記外部ドライバ回路は、それに結合されたフォトゲート電極に一定電圧を適用することができる、ことを特徴とする放射線検出装置。
- 請求項1に記載の放射線検出装置であって、前記電流センサは電荷感応増幅器を有する、ことを特徴とする放射線検出装置。
- 請求項1に記載の放射線検出装置であって、前記電荷蓄積領域は、好適には、結晶性シリコンの半導体から成る、ことを特徴とする放射線検出装置。
- 請求項1に記載の放射線検出装置であって、前記変換要素は可視光及び/又はX線に対して感応する、ことを特徴とする放射線検出装置。
- 請求項6に記載の放射線検出装置であって、各々の画素は、入射X線を光フォトンに変換するシンチレーション層を有する、ことを特徴とする放射線検出装置。
- X線検査装置であって:
X線エネルギーに対して検査される対象物を暴露するためのX線源;及び
検査される対象物による減衰の後、X線画像を受けるための請求項1乃至7のいずれか一項に記載のX線検出装置;
を有することを特徴とするX線検査装置。 - 請求項8に記載のX線検査装置を制御するための方法であって、
X線に対して検査される対象物を暴露する段階;
X線暴露中に電流センサの出力信号をモニタリングする段階;
前記の信号のモニタリングに応じて、前記X線暴露を停止する段階;及び
X線画像を得るように前記電界蓄積要素に蓄積された電荷を読み出す段階;
を有することを特徴とする方法。 - 放射線源から照射される放射線を検出する放射線検出装置の少なくとも1つの画素により収集された線量をモニタリングする方法であって、前記画素は:
a)入射放射線の自由電荷(例えば、半導体中の電子又は電子−正孔対)への変換のための変換要素;
b)前記自由電荷の蓄積のための電荷蓄積要素であって、電荷蓄積領域と、電界を誘起するための前記電荷蓄積領域から電気的に分離され且つ前記電荷蓄積領域の上方に配置されたフォトゲート電極とを有する、電荷蓄積要素;及び
c)外部のドライバ回路に前記フォトゲート電極を接続しているフォトゲートライン;
d)前記画素の出力ラインにおいて電気信号への前記電荷蓄積要素に蓄積された電荷の選択的変換のための読み出し要素;
を有する、放射線検出装置であり、
変位電流は少なくとも1つのフォトゲートラインの少なくとも1つにおいて検知され、前記変位電流は、前記ラインに接続された電荷蓄積要素の帯電における変化により誘起され;
前記電流センサによる前記変位電流の測定により、前記アレイで吸収された放射線線量をモニタリングし、前記放射線源からの照射を制御することが可能である;
ことを特徴とする方法。
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