JP4888147B2 - 樹脂組成物、フィルム付きまたは金属箔付き絶縁樹脂シート、多層プリント配線板、多層プリント配線板の製造方法および半導体装置 - Google Patents
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Description
(1)
(A)シアネートエステル樹脂、
(B)分子内に3つ以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂、
(C)無機充填材、
を必須成分とする多層プリント配線板用絶縁樹脂組成物であって、
前記無機充填材は予め官能基含有シラン類、環状オリゴシロキサン類、オルガノハロシラン類、およびアルキルシラザン類からなる群から選ばれる少なくとも1種以上の表面処理剤によって表面処理された球状シリカを全無機充填材中の5〜50重量%含有するものであり、
樹脂組成物の硬化物の線熱膨張係数が、15〜21ppm/Kの範囲であり且つ、
樹脂組成物の最低最低複素粘度[測定条件 周波数:10Hz、昇温速度:5℃/min平面ずり、測定温度50℃〜220℃)]が、4000Pa・s以下であることを特徴とする樹脂組成物。
(2)
前記樹脂組成物の硬化物は、動的粘弾性試験におけるガラス転移温度が200℃以上である(1)に記載の樹脂組成物。
(3)
前記樹脂組成物の硬化物は、250℃における弾性率が0.65GPa以上である(1)または(2)に記載の樹脂組成物。
(4)
前記(A)シアネートエステル樹脂は、80℃における粘度が15〜550mPa・sの範囲である(1)ないし(3)のいずれかに記載の樹脂組成物。
(5)
前記官能基含有シラン類が、エポキシシラン、(メタ)アクリルシラン、メルカプトシラン、アミノシラン、ビニルシラン、イソシアネートシラン、ウレイドシラン、(5-ノルボルネン-2-イル)アルキルシラン、およびフェニルシランからなる群から選ばれる少なくとも1種以上である(1)ないし(4)のいずれかに記載の樹脂組成物。
(6)
(1)ないし(5)のいずれかに記載の樹脂組成物より構成される絶縁樹脂層をフィルム上または金属箔上に積層してなるフィルム付きまたは金属箔付き絶縁樹脂シート。
(7)
(6)に記載のフィルム付きまたは金属箔付き絶縁樹脂シートを内層回路板の内層回路パターンが形成された面に重ね合わせて積層する工程、前記絶縁樹脂層をレーザー照射により開孔する工程、及び導体回路層を形成する工程を含む多層プリント配線板の製造方法。
(8)
前記フィルム付きまたは金属箔付き絶縁樹脂シートを内層回路板の内層回路パターンが形成された面に重ね合わせて積層する工程は、真空下で加熱加圧ラミネートを用いて行う工程である(7)に記載の多層プリント配線板の製造方法。
(9)
(7)または(8)に記載の製造方法により得られる多層プリント配線板。
(10)
(9)に記載の多層プリント配線板に半導体素子を搭載してなる半導体装置。
(A)シアネートエステル樹脂、
(B)分子内に3つ以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂、
(C)無機充填材、
を必須成分とする多層プリント配線板用絶縁樹脂組成物であって、
前記無機充填材は予め官能基含有シラン類、環状オリゴシロキサン類、オルガノハロシラン類、およびアルキルシラザン類からなる群から選ばれる少なくとも1種以上の表面処理剤によって表面処理された球状シリカを全無機充填材中の5〜50重量%含有するものであり、樹脂組成物の硬化物の線熱膨張係数が、15〜21ppm/Kの範囲であり且つ、
樹脂組成物の最低複素粘度[測定条件 周波数:10Hz、昇温速度:5℃/min平面ずり、測定温度50℃〜220℃)]が、4000Pa・s以下である樹脂組成物を提供するものである。本発明の樹脂組成物からなる絶縁樹脂層を有するフィルム付きまたは金属箔付き絶縁樹脂シートを用いた本発明の多層プリント配線板製造方法により、成形性が良好であり、高強度で、絶縁層間の接続信頼性に優れ、前記多層プリント配線板よりなる半導体装置は低反りである。
さらに、前記樹脂組成物は、温度150〜200℃、30分〜120分で加熱硬化させた場合、動的粘弾性試験(TAインスツルメント社製、10Hz、昇温速度:5℃/min、引っ張りモード)によるガラス転移温度が200℃以上、また250℃における弾性率が0.65GPa以上であることが好ましい。これにより、半導体装置製造時において鉛フリー半田実装を行う場合においても、多層プリント配線板と半導体素子との接続信頼性に優れる。前記ガラス転移温度未満、または前記弾性率未満では半導体素子を接続する際に位置ずれ等を起こし、接続不良が生じる恐れがある。
前記プレポリマーは、通常、前記シアネート樹脂を加熱反応などにより、例えば3量化することで得られるものであり、樹脂組成物の成形性、流動性を調整するために好ましく使用されるものである。
前記プレポリマーは、特に限定されないが、例えば3量化率が20〜50重量%のプレポリマーを用いた場合、良好な成形性、流動性を発現できる。
さらに、このようなイミダゾール化合物を用いた樹脂組成物は、樹脂成分との間で微小なマトリックス単位から高い均一性で硬化させることができる。これにより、多層プリント配線板に形成された絶縁樹脂層の絶縁性、耐熱性を高めることができる。
このような粗化処理後の絶縁樹脂層表面に金属メッキ処理を行うと、粗化処理面の平滑性が高いため、微細な導体回路を精度よく形成することができる。また、微小な凹凸形状によりアンカー効果を高め、絶縁樹脂層とメッキ金属との間に高い密着性を付与することができる。
本発明の樹脂組成物の樹脂組成物は、まず、前記(A)シアネートエステル樹脂、(B)エポキシ樹脂、(C)無機充填材を必須成分として含有する。
前記塗工装置は、特に限定されないが、例えば、ロールコーター、バーコーター、ナイフコーター、グラビアコーター、ダイコーター、コンマコーターおよびカーテンコーターなどを用いることができる。これらの中でも、ダイコーター、ナイフコーター、およびコンマコーターを用いる方法が好ましい。これにより、ボイドがなく、均一な絶縁樹脂層の厚みを有するフィルム付きまたは金属箔付き絶縁樹脂シートを効率よく製造することができる
フィルム付き絶縁樹脂シート1または金属箔付き絶縁樹脂シート2は、前記の樹脂組成物で構成される絶縁樹脂層3を、フィルム4または金属箔5上に積層してなるものである。前記樹脂組成物で構成される絶縁樹脂層は、回路段差の埋め込み性、および埋め込み後の平坦性、およびレーザー加工性に優れる。
金属箔は、前記フィルム同様、内層回路に金属箔付き絶縁樹脂シートを積層後、剥離して用いても良いし、また、金属箔をエッチングし導体回路として用いても良い。その点において、銅やアルミニウムを用いることが好ましい。前記フィルムまたは金属箔の厚さは、特に限定されないが、1〜100μmが好ましく、特に3〜50μmが好ましい。金属箔またはフィルムの厚さが前記範囲内であると、取扱いが容易で、また絶縁樹脂層の平坦性に優れる。
なお、前記多層プリント配線板を得る際に用いられる内層回路板は、例えば、内層回路部分を黒化処理等の粗化処理したものを好適に用いることができる。また開口部11は、導体ペースト、または樹脂ペーストで適宜埋めることができる。
なお、レーザー照射後の樹脂残渣等は過マンガン酸塩、重クロム酸塩等の酸化剤などにより除去することが好ましい。また、平滑な絶縁樹脂層3の表面を同時に粗化することができ、続く金属メッキにより形成する導電配線回路の密着性を上げることができる。本発明の樹脂組成物から形成された樹脂層は、前記粗化工程において微細な凹凸形状を均一に施すことができる。また、樹脂層表面の平滑性が高いため微細な配線回路を精度よく形成することができる。
一方、銅箔表面の微細な凹凸が絶縁樹脂層表面に転写されることを利用し、銅箔を全面エッチングする場合は、フィルム付き絶縁樹脂シートを用いたときと同様ににして多層プリント配線板を製造することもできる。これにより、絶縁樹脂層にできた微細な凹凸により回路と絶縁樹脂層との密着性を向上させることができる。
図4は、本発明の半導体装置15の一例を示す断面図である。
図4に示すように、多層プリント配線板16の片面は、複数の接続用電極部17が設けられている。この多層プリント配線板の接続用電極部に対応して設けられた半田バンプ19を有する半導体素子18は、半田バンプ19を介して、前記多層プリント配線板と接続される。そして、多層配線板16と半導体素子18との間には液状封止樹脂20を充填し、半導体装置を形成する。尚、多層プリント配線板16は、内層回路基板6上に内層回路7、絶縁層3、および外層回路10が形成されており、内層回路7と外層回路10は導体ポスト13介して接続されている。また、最外層はソルダーレジスト14で覆われている。半田バンプ19は、錫、鉛、銀、銅、ビスマスなどからなる合金で構成されることが好ましい。半導体素子と多層プリント配線板の接続方法は、フリップチップボンダーなどを用いて基板上の接続用電極部と半導体素子の金属バンプの位置合わせを行ったあと、IRリフロー装置、熱板、その他加熱装置を用いて半田バンプを融点以上に加熱し、基板上の多層プリント配線板と半田バンプとを溶融接合することにより接続する。尚、接続信頼性を良くするため、あらかじめ多層プリント配線板上の接続用電極部に半田ペースト等、比較的融点の低い金属の層を形成しておいても良い。この接合工程に先んじて、半田バンプおよび、または多層プリント配線板上の接続用電極部の表層にフラックスを塗布することで接続性を向上させることもできる。
(実施例1)
1、樹脂組成物の製造
(A)シアネートエステル樹脂としてノボラック型シアネートエステル樹脂(ロンザジャパン社製、プリマセットPT−15、80℃粘度35mPa・s)40重量部、(B)分子内に3つ以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂としてフェノールノボラック型エポキシ樹脂(日本化薬社製、EOCN−120−80)40重量部、(C)無機充填材として球状シリカ(アドマテックス社製、SO−25R、平均粒子径0.5μm)155重量部、硬化促進剤として1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール(四国化成工業社製、キュアゾール1B2PZ)0.5重量部、その他の成分としてフェノキシ樹脂(ジャパンエポキシレジン社製、EP4275)20重量部、添加剤としてエポキシシラン化合物(GE東芝シリコーン株式会社製、A−187)2重量部とを、メチルイソブチルケトン、およびシクロヘキサノンに溶解・混合させた。次いで、高速撹拌装置を用いて60分間撹拌して、固形分約65重量%の樹脂ワニスを調製した。尚、樹脂組成物中の(C)無機充填材の比率は60.2重量%であった。
前記で得られた樹脂ワニスを、厚さ50μmのPET(ポリエチレンテレフタレート)フィルム(三菱ポリエステルフィルム社製、ダイアホイルMRX−50)の片面に、コンマコーター装置を用いて乾燥後の樹脂層が40μmとなるように塗工し、これを150℃の乾燥装置で10分間乾燥して、フィルム付き絶縁樹脂シートを製造した。
前記で得られたフィルム付き絶縁樹脂シートよりフィルムを除去し、続いて窒素雰囲気下の乾燥機により200℃で1時間、加熱硬化した樹脂組成物をサンプルとした。
熱機械測定装置(TAインスツルメント社製)を用い、窒素雰囲気下、引っ張りモードで昇温速度10℃/min、温度25〜300℃、荷重5g、2サイクル測定を行った。線熱膨張係数は、2サイクル目の温度25〜100℃における平均線熱膨張係数とした。
前記で得られたフィルム付き絶縁樹脂シートよりフィルムを除去し、続いて窒素雰囲気下の乾燥機により200℃で1時間、加熱硬化した樹脂組成物をサンプルとした。
動的粘弾性装置(TAインスツルメント社製)を用い、窒素雰囲気下、周波数10Hz、昇温速度5℃/min、温度25〜350℃の引っ張り測定を行った。ガラス転移温度は、tanδ値が極大値を示すさいの温度とした。
前記で得られたフィルム付き絶縁樹脂シートよりフィルムを除去し、続いて窒素雰囲気下の乾燥機により200℃で1時間、加熱硬化した樹脂組成物をサンプルとした。
前記ガラス転移温度の測定と同様、動的粘弾性装置(TAインスツルメント社製)を用い、窒素雰囲気下、周波数10Hz、昇温速度5℃/min、温度25〜350℃の引っ張り測定を行い、温度250℃における貯蔵弾性率の値とした。
前記で得られたフィルム付き絶縁樹脂シートよりフィルムを除去し、サンプルとした。
粘弾性測定装置(Anton Par社製)で、周波数10Hz、昇温速度5℃/min、温度50〜220℃の平面ずり測定を行った。最低動的粘度は、複素粘度(η*)の極小値とした。
総厚さが0.3mmで銅箔厚さが18μmの両面銅張り積層板(住友ベークライト(株)製ELC−4765GS)を用いて、ドリル機で開孔後、無電解めっきで上下銅箔間の導通を図り、前記両面の銅箔をエッチングすることにより内層回路を両面に形成した。(L/S=120/180μm、クリアランスホール1mmφ、3mmφ、スリット2mm)
次に内層回路に過酸化水素水と硫酸を主成分とする薬液(旭電化工業(株)製テックSO−G)をスプレー吹きつけすることにより粗化処理による凹凸形成を行った。次に前記で得られたフィルム付き絶縁樹脂シートを内層回路上に真空積層装置を用いて積層した。次にキャリアフィルムを剥離し、温度170℃、時間60分間加熱し、絶縁樹脂層を半硬化させた。尚、フィルム付き絶縁樹脂シートを積層する条件は、温度100℃、圧力1MPa、時間30秒とした。
次に、炭酸レーザー装置を用いてφ60μmの開口部(ブラインド・ビアホール)を形成し、70℃の膨潤液(アトテックジャパン社製、スウェリングディップ セキュリガント P)に10分間浸漬し、さらに80℃の過マンガン酸カリウム水溶液(アトテックジャパン社製、コンセントレート コンパクト CP)に20分浸漬後、中和して粗化処理を行った。次に脱脂、触媒付与、活性化の工程を経た後、無電解銅メッキ皮膜を約0.5μmの給電層を形成した。次にこの給電層表面に、厚さ25μmの紫外線感光性ドライフィルム(旭化成社製AQ−2558)をホットロールラミネーターにより貼り合わせ、最小線幅/線間が20/20μmのパターンが描画されたクロム蒸着マスク(トウワプロセス社製)を使用して、位置を合わせ、露光装置(ウシオ電機社製UX−1100SM−AJN01)にて露光、炭酸ソーダ水溶液にて現像し、めっきレジストを形成した。
線幅/線間/厚み=20μm/20μm/10μmである回路層を有する回路基板上に、前記で得たフィルム付き絶縁樹脂シートを温度120℃、圧力1.0MPaの条件で真空積層装置により積層(ラミネート)後、フィルムを剥離し、乾燥機により温度170℃で1時間加熱処理し、樹脂組成物を硬化させて絶縁樹脂層を形成した。得られた絶縁樹脂層を有する回路基板の断面を観察し、線間の樹脂の埋め込み性を評価した。
各符号は、以下の通りである。
◎:良好 樹脂が隙間なく、埋め込まれている
○:実質上問題なし 2μm以下の微小な円形ボイド
△:実質上使用不可 2μm以上のボイド
×:使用不可 埋め込み不良
絶縁樹脂層間の接続信頼性は、前記で得られた多層プリント配線板を、温度30℃、湿度70%の雰囲気下で196時間放置後、260℃リフローを3回行い、温度サイクル試験(−40℃、125℃各30分、さらしなし)を行い、100サイクル毎に導通テストして、不良発生サイクルで評価した。
各符号は以下の通りである。
◎:良好 800サイクル以上
○:実質上問題なし 500〜800サイクル
△:実質上使用不可 100〜500サイクル
×:使用不可 100サイクル未満
実装信頼性は、前記で得られた半導体装置を、温度85℃、湿度85%の雰囲気下で100時間放置後、260℃リフローを3回行い、超音波深傷検査装置で半導体素子裏面の剥離、および半田バンプの欠損を価した。
各符号は以下の通りである。
◎:良好 剥離、バンプ欠損なし
○:実質上問題なし アンダーフィル周辺に微小剥離のみ、バンプ欠損なし
△:実質上使用不可 10%以上の剥離およびバンプ欠損
×:使用不可 80%以上の剥離、およびバンプ欠損
反り評価は、前記で得られた半導体装置を、温度30℃、湿度70%の雰囲気下で196時間放置後、260℃リフローを3回行い、基板の反りを評価した。
各符号は以下の通りである。
◎:良好 反り50μm未満
○:実質上問題なし 反り50μm以上150μm未満
△:実質上使用不可 反り150μm以上250μm未満
×:使用不可 反り250μm以上
実施例1で用いた球状シリカ155重量部を、球状シリカを250重量部に変更した以外は、実施例1と同じように、フィルム付き絶縁樹脂シートを作製し、樹脂組成物の物性値を測定し、表1に示した。またその後、実施例1同様、フィルム付き絶縁樹脂シート、多層プリント配線板、半導体装置を評価し、その結果を表2に示した。尚、樹脂組成物中の無機充填材の比率を70.9重量%であった。
実施例1で用いた球状シリカ155重量部を、球状シリカを165重量部、予めN−フェニル−3−アミノプロピルトリメトキシシランで表面処理された球状シリカ(アドマテックス社製、SC2050−KMF、平均粒子径0.5μm、溶剤カット65重量%)30重量部に変更した以外は、実施例1と同じように、フィルム付き絶縁樹脂シートを作製し、樹脂組成物の物性値を測定し、表1に示した。またその後、実施例1同様、フィルム付き絶縁樹脂シート、多層プリント配線板、半導体装置を評価し、その結果を表2に示した。尚、樹脂組成物中の(C)無機充填材の比率を65.5重量%であった。
実施例1で用いた球状シリカ155重量部を球状シリカ60重量部、予めN−フェニル−3−アミノプロピルトリメトキシシランで表面処理された球状シリカ(アドマテックス社製、SC2050−KMF、平均粒子径0.5μm、溶剤カット65重量%)135重量部に変更した以外は、実施例1と同じように、フィルム付き絶縁樹脂シートを作製し、樹脂組成物の物性値を測定し、表1に示した。またその後実施例1同様、フィルム付き絶縁樹脂シート、多層プリント配線板、半導体装置を評価し、その結果を表2に示した。尚、樹脂組成物中の(C)無機充填材の比率を65.5重量%であった。
実施例1で用いたノボラック型シアネートエステル樹脂40重量部をノボラック型シアネートエステル樹脂(プリマセットPT−15)60重量部に、実施例1で用いたエポキシ樹脂40重量部をフェノールノボラック型エポキシ樹脂(EOCN−120−80)を20重量部に、実施例1で用いた球状シリカ155重量部を球状シリカ125重量部に変更した以外は、実施例1と同じように、フィルム付き絶縁樹脂シートを作製し、樹脂組成物の物性値を測定し、表1に示した。またその後、実施例1同様、フィルム付き絶縁樹脂シート、多層プリント配線板、半導体装置を評価し、その結果を表2に示した。尚、樹脂組成物中の(C)無機充填材の比率を54.9重量%であった。
実施例1で用いたノボラック型シアネートエステル樹脂(プリマセット、PT−15)40重量部を80℃粘度が5,000mPa・sのシアネートエステル樹脂(プリマセット、PT−60)40重量部に変更した以外は、実施例1と同じように、フィルム付き絶縁樹脂シートを作製し、樹脂組成物の物性値を測定し、表1に示した。またその後、実施例1同様、フィルム付き絶縁樹脂シート、多層プリント配線板、半導体装置を評価し、その結果を表2に示した。
実施例1で用いた球状シリカ155重量部を球状シリカ60重量部、予めヘキサメチルジシラザンで表面処理された球状シリカ(アドマテックス社製、SC2050−KMH、平均粒子径0.5μm、溶剤カット65重量%)135重量部に変更した以外は、実施例1と同じように、フィルム付き絶縁樹脂シートを作製し、樹脂組成物の物性値を測定し、表1に示した。またその後、実施例1同様、フィルム付き絶縁樹脂シート、多層プリント配線板、半導体装置を評価し、その結果を表2に示した。尚、樹脂組成物中の(C)無機充填材の比率を65.6重量%であった。
シクロヘキサノン中に65重量%の濃度で高速分散させながら球状シリカに対して約1重量%の3−グリドキシプロピルトリメトキシシランを5分かけて逐次添加した後、約1時間攪拌する方法で処理したシリカを用い、実施例1で用いた球状シリカ155重量部を、球状シリカを60重量部、前記表面処理された球状シリカ(アドマテックス社製、SO−25R、平均粒子径0.5μm)135重量部に変更した以外は、実施例1と同じように、フィルム付き絶縁樹脂シートを作製し、樹脂組成物の物性値を測定し、表1に示した。またその後、実施例1同様、フィルム付き絶縁樹脂シート、多層プリント配線板、半導体装置を評価し、その結果を表2に示した。尚、樹脂組成物中の(C)無機充填材の比率を65.5重量%であった。
実施例1で用いた球状シリカ155重量部を、球状シリカ162.5重量部、予め3−メルカプトプロピルトリメトキシシランで表面処理された球状溶融シリカ(アドマテックス社製、SC2050−KLM、平均粒子径0.5μm、溶剤カット60重量%)32.5重量部に変更した以外は、実施例1と同じように、フィルム付き絶縁樹脂シートを作製し、樹脂組成物の物性値を測定し、表1に示した。またその後、実施例1同様、フィルム付き絶縁樹脂シート、多層プリント配線板、半導体装置を評価し、その結果を表2に示した。尚、樹脂組成物中の(C)無機充填材の比率を65.5重量%であった。
実施例1で用いた球状シリカ155重量部を、球状シリカを70重量部に変更した以外は、実施例1と同じようにフィルム付き絶縁樹脂シートを作製し、樹脂組成物の物性値を測定し、表1に示した。またその後、実施例1同様、フィルム付き絶縁樹脂シート、多層プリント配線板、半導体装置を評価し、その結果を表2に示した。尚、樹脂組成物中の無機充填材の比率を40.6重量%であった。
実施例1で用いたノボラック型シアネートエステル樹脂40重量部を、シアネートエステル樹脂を25重量部、実施例1で用いたエポキシ樹脂40重量部をエポキシ樹脂25重量部、実施例1で用いたフェノキシ樹脂20重量部を、フェノキシ樹脂50重量部に変更した以外は、実施例1と同じにようにフィルム付き絶縁樹脂シートを作製し、樹脂組成物の物性値、評価後を調べ、表1に示す。またその後、実施例1同様、フィルム付き絶縁樹脂シート、多層プリント配線板、半導体装置を評価し、その結果を表2に示す。尚、樹脂組成物中の無機充填材の比率を60.2重量%であった。
特開2003−73543号公報、実施例1に記載の樹脂組成物を用い塗布含浸によりプレプレグ(厚み40μm)を作製した後、両面銅張積層板を得た。そして、銅箔を全面エッチングして除去したガラス繊布(日東紡社製、E03E)を含む樹脂組成物の物性値を測定し、表1に示した。またその後、プリプレグを用いて実施例1同様に、多層プリント配線板、半導体装置を評価し、その結果を表2に示した。
2 金属箔付き絶縁樹脂シート
3 絶縁樹脂層
4 フィルム
5 金属箔
6 内層回路基板
7 内層回路
10 外層回路
11 開口部
12 ビア開口部
13 導体ポスト
14 ソルダーレジスト
15 半導体装置
16 多層プリント配線板
17 接続用電極部
18 半導体素子
19 半田バンプ
Claims (10)
- (A)シアネートエステル樹脂、
(B)分子内に3つ以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂、
(C)無機充填材、
を必須成分とする多層プリント配線板用絶縁樹脂組成物であって、
前記無機充填材は予め官能基含有シラン類、環状オリゴシロキサン類、オルガノハロシラン類、およびアルキルシラザン類からなる群から選ばれる少なくとも1種以上の表面処理剤によって表面処理された球状シリカを全無機充填材中の5〜50重量%含有するものであり、
樹脂組成物の硬化物の線熱膨張係数が、15〜21ppm/Kの範囲であり且つ、
樹脂組成物の最低複素粘度[測定条件 周波数:10Hz、昇温速度:5℃/min平面ずり、測定温度50℃〜220℃)]が、4000Pa・s以下であることを特徴とする樹脂組成物。 - 前記樹脂組成物の硬化物は、動的粘弾性試験におけるガラス転移温度が200℃以上である請求項1に記載の樹脂組成物。
- 前記樹脂組成物の硬化物は、250℃における弾性率が0.65GPa以上である請求項1または2に記載の樹脂組成物。
- 前記(A)シアネートエステル樹脂は、80℃における粘度が15〜550mPa・sの範囲である請求項1ないし3のいずれかに記載の樹脂組成物。
- 前記官能基含有シラン類が、エポキシシラン、(メタ)アクリルシラン、メルカプトシラン、アミノシラン、ビニルシラン、イソシアネートシラン、ウレイドシラン、(5-ノルボルネン-2-イル)アルキルシラン、およびフェニルシランからなる群から選ばれる少なくとも1種以上である請求項1ないし4のいずれかに記載の樹脂組成物。
- 請求項1ないし5のいずれかに記載の樹脂組成物より構成される絶縁樹脂層をフィルム上または金属箔上に積層してなるフィルム付きまたは金属箔付き絶縁樹脂シート。
- 請求項6に記載のフィルム付きまたは金属箔付き絶縁樹脂シートを内層回路板の内層回路パターンが形成された面に重ね合わせて積層する工程、前記絶縁樹脂層をレーザー照射により開孔する工程、及び導体回路層を形成する工程を含む多層プリント配線板の製造方法。
- 前記フィルム付きまたは金属箔付き絶縁樹脂シートを内層回路板の内層回路パターンが形成された面に重ね合わせて積層する工程は、真空下で加熱加圧ラミネートを用いて行う工程である請求項7に記載の多層プリント配線板の製造方法。
- 請求項7または8に記載の製造方法により得られる多層プリント配線板。
- 請求項9に記載の多層プリント配線板に半導体素子を搭載してなる半導体装置。
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