上記目的を達成するために、この発明の一の局面による回路装置は、基板と、基板上に形成された絶縁層と、絶縁層に充填された充填材と、絶縁層上に形成された導電層と、導電層上に形成された回路素子とを備えている。そして、絶縁層の基板側に位置する部分のヤング率が絶縁層の基板とは反対側に位置する部分のヤング率よりも小さくなるように、絶縁層に充填される充填材の平均粒径が制御されている。
この一の局面による回路装置では、上記のように、絶縁層の基板側に位置する部分のヤング率が絶縁層の基板とは反対側に位置する部分のヤング率よりも小さくなるように、絶縁層に充填される充填材の平均粒径を制御することによって、絶縁層の基板側の部分の剛性を、絶縁層の基板とは反対側の部分の剛性よりも小さくすることができる。これにより、回路素子で発生した熱により基板が膨張する際に、基板上に形成された絶縁層が熱膨張した基板に引っ張られたとしても、絶縁層の基板側のヤング率(剛性)が小さい部分が基板と共に伸びるように変形するので、基板と絶縁層との間に発生する剪断応力を小さくすることができる。その結果、基板から絶縁層が剥離するのを抑制することができる。また、回路素子で発生した熱により基板が膨張したとしても、絶縁層の基板とは反対側に位置する部分のヤング率(剛性)が大きいので、絶縁層下の基板が反り返るように変形するのを抑制することができる。これにより、回路装置が変形するのを抑制することができる。
上記一の局面による回路装置において、絶縁層は、1つの層からなり、1つの層からなる絶縁層の基板側に位置する部分のヤング率は、1つの層からなる絶縁層の基板とは反対側に位置する部分のヤング率よりも小さくてもよい。このように構成すれば、容易に、1つの層からなる絶縁層の基板側に位置するヤング率(剛性)が小さい部分により、基板と絶縁層との間に発生する剪断応力を小さくすることができ、かつ、1つの層からなる絶縁層の基板とは反対側に位置するヤング率(剛性)が大きい部分により、絶縁層下の基板が反り返るように変形するのを抑制することができる。
上記一の局面による回路装置において、絶縁層は、基板上に形成された第1ヤング率を有する第1絶縁層と、第1絶縁層の基板とは反対側の表面上に形成された第2ヤング率を有する第2絶縁層とを含み、第1絶縁層の第1ヤング率は、第2絶縁層の第2ヤング率よりも小さい。このように構成すれば、容易に、小さい第1ヤング率(剛性)を有する第1絶縁層により、基板と絶縁層(第1絶縁層)との間に発生する剪断応力を小さくすることができ、かつ、大きい第2ヤング率(剛性)を有する第2絶縁層により、絶縁層(第1絶縁層)下の基板が反り返るように変形するのを抑制することができる。また、絶縁層を、基板上に形成された小さい第1ヤング率を有する第1絶縁層と、第1絶縁層の基板とは反対側の表面上に形成された大きい第2ヤング率を有する第2絶縁層とを含むように構成することによって、容易に、絶縁層の基板側の部分(第1絶縁層)のヤング率(剛性)を、絶縁層の基板とは反対側の部分(第2絶縁層)のヤング率(剛性)よりも小さくすることができる。
この場合、好ましくは、第1絶縁層には、互いに異なる複数種類の平均粒径の各々に対応する充填材が充填されているとともに、第2絶縁層には、互いに異なる複数種類の平均粒径の各々に対応する充填材が充填されている。このように構成すれば、たとえば、所定の充填材と、その所定の充填材の平均粒径よりも小さい平均粒径に対応する充填材とを用いることにより、所定の充填材が入り込めない小さい隙間に小さい平均粒径に対応する充填材を充填することができるので、第1絶縁層(第2絶縁層)中の充填材の充填率を高くすることができる。この場合、第1絶縁層(第2絶縁層)に充填される充填材を、第1絶縁層(第2絶縁層)の熱伝導率を高くすることが可能な材料により構成すれば、第1絶縁層(第2絶縁層)の放熱性を向上させることができる。なお、第1絶縁層(第2絶縁層)中の充填材の充填率を高くするためには、大きい平均粒径に対応する充填材と小さい平均粒径に対応する充填材との配合比を、8:2に設定するのが好ましい。
上記第1絶縁層(第2絶縁層)に互いに異なる複数種類の平均粒径の各々に対応する充填材が充填された構成において、好ましくは、絶縁層に充填される充填材のうちの最も大きい平均粒径に対応する充填材は、第1絶縁層に充填されておらず、第2絶縁層に充填されている。このように構成すれば、容易に、第1絶縁層のヤング率(剛性)を、第2絶縁層のヤング率(剛性)よりも小さくすることができる。
上記第1絶縁層(第2絶縁層)に互いに異なる複数種類の平均粒径の各々に対応する充填材が充填された構成において、好ましくは、絶縁層に充填される充填材のうちの最も小さい平均粒径に対応する充填材は、第1絶縁層および第2絶縁層の両方に充填されている。このように構成すれば、容易に、第1絶縁層および第2絶縁層の両方に充填される充填材の充填率を高くすることができる。
なお、上記絶縁層が1つの層からなる構成において、絶縁層には、互いに異なる複数種類の平均粒径の各々に対応する充填材が充填されていてもよい。このように構成すれば、たとえば、所定の充填材と、その所定の充填材の平均粒径よりも小さい平均粒径に対応する充填材とを用いることにより、所定の充填材が入り込めない小さい隙間に小さい平均粒径に対応する充填材を充填することができるので、絶縁層中の充填材の充填率を高くすることができる。この場合、絶縁層に充填される充填材を、絶縁層の熱伝導率を高くすることが可能な材料により構成すれば、絶縁層の放熱性を向上させることができる。
また、上記1つの層からなる絶縁層に互いに異なる複数種類の平均粒径の各々に対応する充填材が充填された構成において、絶縁層の基板側に位置する部分に充填される充填材の平均粒径は、絶縁層の基板とは反対側に位置する部分に充填される充填材の平均粒径よりも小さくてもよい。このように構成すれば、容易に、絶縁層の基板側の部分のヤング率(剛性)を、絶縁層の基板とは反対側の部分のヤング率(剛性)よりも小さくすることができる。
この場合、絶縁層に充填される充填材は、充填材の平均粒径が導電層側から基板側に向かって小さくなるように分布していてもよい。このように構成すれば、絶縁層の中間部分のヤング率(剛性)を、絶縁層の基板側に位置する部分のヤング率(剛性)と絶縁層の基板とは反対側に位置する部分のヤング率(剛性)との間の大きさにすることができる。これにより、絶縁層の中間部分により、絶縁層の基板側に位置する部分と絶縁層の基板とは反対側に位置する部分との間に発生する剪断応力を小さくすることができるので、絶縁層にクラックが発生するのを抑制することができる。
また、上記絶縁層が1つの層からなる構成において、絶縁層の回路素子の下方に対応する領域には、基板の表面に達する深さを有する開口部が形成されており、絶縁層上の導電層は、絶縁層の開口部を介して基板の表面に接触するように形成されていてもよい。このように構成すれば、回路素子から多量の熱が発生した場合に、その熱を基板の表面に接触する導電層を介して基板側に放熱することができる。これにより、回路装置の放熱性を向上させることができる。
また、上記第1絶縁層(第2絶縁層)に互いに異なる複数種類の平均粒径の各々に対応する充填材が充填された構成において、第2絶縁層に充填される充填材は、第1平均粒径に対応する第1充填材と、第1平均粒径よりも小さい第2平均粒径に対応する第2充填材と、第1平均粒径と第2平均粒径との間の大きさを有する第3平均粒径に対応する第3充填材とを少なくとも含んでいてもよい。このように構成すれば、第1充填材の第1平均粒径と第2充填材の第2平均粒径との差が大きい場合に、第1平均粒径と第2平均粒径との間の大きさを有する第3平均粒径に対応する第3充填材をさらに加えることにより、第2絶縁層中の充填材の充填率が低下するのを抑制することができる。
また、上記絶縁層が第1絶縁層と第2絶縁層とを含む構成において、導電層は、第1絶縁層と第2絶縁層との間に形成された第1導電層と、第2絶縁層上に形成された第2導電層とを含み、第1絶縁層の回路素子の下方に対応する領域には、基板の表面に達する深さを有する第1開口部が形成されているとともに、第2絶縁層の回路素子の下方に対応する領域には、第1導電層の表面に達する深さを有する第2開口部が形成されており、第1導電層は、第1絶縁層の第1開口部を介して基板の表面に接触するように形成された第1放熱部を含み、第2導電層は、第2絶縁層の第2開口部を介して第1導電層の表面に接触するように形成された第2放熱部を含んでいてもよい。このように構成すれば、絶縁層を2層構造にする場合において、回路素子から多量の熱が発生した場合に、その熱を第2導電層の第2放熱部から基板の表面に接触する第1導電層の第1放熱部に伝達することができるので、基板側への放熱を容易に行うことができる。これにより、絶縁層を2層構造にする場合において、回路装置の放熱性を向上させることができる。
また、上記導電層が第1導電層と第2導電層とを含む構成において、第1導電層は、第1放熱部に加えて、第1配線部を含み、第2導電層は、第2放熱部に加えて、第2配線部を含んでいてもよい。このように構成すれば、第1導電層の第1配線部と第2導電層の第2配線部とを第2絶縁層により絶縁することができる。これにより、第1導電層の第1配線部と第2導電層の第2配線部とを平面的に見て交差させたとしても、第1導電層の第1配線部と第2導電層の第2配線部とが電気的に短絡するのを抑制することができる。その結果、配線の引き回しの自由度を向上させることができるとともに、配線密度を向上させることができる。
また、上記絶縁層が第1絶縁層と第2絶縁層とを含む構成において、第1絶縁層および第2絶縁層は、同じ材料を主成分としていてもよい。このように構成すれば、第1絶縁層および第2絶縁層に充填される充填材の各々の平均粒径を制御することにより、容易に、第1絶縁層の第1ヤング率を、第2絶縁層の第2ヤング率よりも小さくすることができる。
また、上記一の局面による回路装置において、絶縁層は、樹脂を主成分とする絶縁層を含んでいてもよい。このように構成すれば、基板上に樹脂を主成分とする絶縁層が形成された回路装置において、容易に、基板から絶縁層が剥離するのを抑制することができ、かつ、回路装置が変形する(基板が反り返る)のを抑制することができる。
この場合、充填材は、絶縁層の熱伝導率を高くすることが可能な材料からなっていてもよい。このように構成すれば、樹脂を主成分とする絶縁層の熱伝導率が高くなるので、樹脂を主成分とする絶縁層の放熱性を向上させることができる。
また、上記一の局面による回路装置において、基板は、金属を主体とする基板を含んでいてもよい。このように構成すれば、金属を主体とする基板により、回路素子で発生した熱を効率的に放熱することができる。
また、上記一の局面による回路装置において、基板は、凹凸形状の表面を有していてもよい。このように構成すれば、基板と絶縁層との接触面積を増加させることができるので、基板と絶縁層との間の密着性を向上させることができる。これにより、基板から絶縁層が剥離するのをより抑制することができる。
また、上記一の局面による回路装置において、基板は、第1熱膨張係数を有する第1の層と、第1の層上に形成され、第1の層の第1熱膨張係数とは異なる第2熱膨張係数を有する第2の層と、第2の層上に形成され、第2の層の第2熱膨張係数とは異なる第3熱膨張係数を有する第3の層とを含んでいてもよい。このように構成すれば、第1の層、第2の層および第3の層の厚みを調節することにより、第1の層、第2の層および第3の層を含む基板の熱膨張係数を制御することができる。この場合、基板の熱膨張係数が回路素子の熱膨張係数および絶縁層の熱膨張係数の両方に近づくように、第1の層〜第3の層の厚みを調節すれば、基板と回路素子および絶縁層との間の熱膨張係数差に起因して、基板から絶縁層が剥離するのを抑制することができる。
また、上記一の局面による回路装置において、基板の表面は、酸化または窒化されていてもよい。このように構成すれば、基板と導電層との間に位置する絶縁層の絶縁性が劣化したとしても、基板の酸化または窒化された表面部分が絶縁層として機能するので、基板と導電層との間の絶縁耐圧が低下するのを抑制することができる。
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
(第1実施形態)
図1は、本発明の第1実施形態による混成集積回路装置(ハイブリッドIC)の構造を示した斜視図である。図2は、図1の100−100線に沿った断面図である。図3は、図2に示した第1実施形態による混成集積回路装置の樹脂層に充填される充填材の分布を示した模式図である。まず、図1〜図3を参照して、第1実施形態による混成集積回路装置の構造について説明する。
第1実施形態による混成集積回路装置では、図2に示すように、約100μm〜約3mm(たとえば、約1.5mm)の厚みを有する多層構造(3層構造)の基板1を用いている。この基板1は、銅からなる下層金属層1aと、下層金属層1a上に形成されたFe−Ni系合金(いわゆるインバー合金)からなる中間金属層1bと、中間金属層1b上に形成された銅からなる上層金属層1cとが積層されたクラッド材によって構成されている。銅からなる下層金属層1aおよび上層金属層1cは、約12ppm/℃の熱膨張係数を有する。また、インバー合金からなる中間金属層1bは、FeにNiが約36%含有された合金からなるとともに、約0.2ppm/℃〜約5ppm/℃の小さい熱膨張係数を有する。すなわち、中間金属層1bの熱膨張係数(約0.2ppm/℃〜約5ppm/℃)は、下層金属層1aおよび上層金属層1cの熱膨張係数(約12ppm/℃)よりも小さい。また、下層金属層1a、中間金属層1bおよび上層金属層1cの厚みの比率は、1:1:1であり、基板1の熱膨張係数が約6ppm/℃〜約8ppm/℃になるように調節されている。
また、第1実施形態では、基板1を構成する3層(1a〜1c)のうち、最上面の上層金属層1cの表面部分に、約0.1μm〜約0.3μmの厚みを有する酸化銅膜1dが形成されている。この酸化銅膜1dは、上層金属層1cの表面部分が酸化されることにより形成されている。また、第1実施形態では、基板1(酸化銅膜1d)の表面は、算術平均粗さRaが約10μm〜約20μmの凹凸形状に形成されている。
基板1(酸化銅膜1d)の凹凸形状の表面上には、約60μm〜約160μmの厚みを有するエポキシ樹脂を主成分とする1層目の樹脂層2が形成されている。この樹脂層2は、絶縁層として機能する。また、樹脂層2の熱膨張係数は、約17ppm/℃〜約18ppm/℃である。なお、樹脂層2は、本発明の「絶縁層」の一例である。
ここで、第1実施形態では、図3に示すように、エポキシ樹脂を主成分とする樹脂層2の熱伝導率を高くするために、互いに異なる3種類の平均粒径の各々に対応する充填材20a、20bおよび20cが樹脂層2に充填されている。樹脂層2の熱伝導率を高くすることが可能な充填材の構成材料としては、アルミナ(Al2O3)、シリカ(SiO2)、窒化アルミニウム(AlN)、窒化シリコン(SiN)および窒化ホウ素(BN)などがある。なお、アルミナやシリカなどの充填材が約85%充填されたエポキシ樹脂の熱伝導率は、約3W/(m・K)であり、充填材が添加されていないエポキシ樹脂の熱伝導率(約0.6W/(m・K))よりも高い。
また、樹脂層2に充填される充填材20a、20bおよび20cの平均粒径は、それぞれ、約1μm、約10μmおよび約20μmに設定されている。なお、たとえば、平均粒径が約10μmの充填材20bとは、平均粒径が約10μmで誤差が±10%程度の範囲内の充填材のことをいう。また、樹脂層2の内部において、充填材20a(平均粒径:約1μm)のみを含む層、充填材20b(平均粒径:約10μm)のみを含む層および充填材20c(平均粒径:約20μm)のみを含む層が基板1(図2参照)側からこの順番で配置されている。また、樹脂層2に充填された充填材20a〜20cの重量充填率は、合計で約60%〜約90%である。
そして、第1実施形態では、上記のように樹脂層2を構成することにより、絶縁層2の基板1(図2参照)側に位置する部分の剛性(ヤング率)が、絶縁層2の基板1とは反対側に位置する部分の剛性(ヤング率)よりも低くなっている。具体的には、樹脂層2の内部において、充填材20a(平均粒径:約1μm)を含む層、充填材20b(平均粒径:約10μm)を含む層および充填材20c(平均粒径:約20μm)を含む層のヤング率は、それぞれ、約0.5×1010Pa、約0.7×1010Paおよび約10×1010Paである。
また、第1実施形態では、図2に示すように、後述するLSIチップ9の下方に位置する樹脂層2の所定領域に、約70μmの直径を有するとともに、樹脂層2を貫通する5つのビアホール2aが形成されている。また、後述するチップ抵抗10の下方に位置する樹脂層2の所定領域には、約70μmの直径を有するとともに、樹脂層2を貫通する2つのビアホール2bが形成されている。そして、樹脂層2上の所定領域には、約15μmの厚みを有するとともに、サーマルビア部3aおよび3bと、配線部3cとを含む1層目の銅からなる導電層3が形成されている。導電層3のサーマルビア部3aは、LSIチップ9の下方の領域に配置されているとともに、基板1の表面に接触するように、ビアホール2a内に埋め込まれた部分を有する。また、サーマルビア部3bは、チップ抵抗10の下方の領域に位置するビアホール2b内に埋め込まれている。この導電層3のサーマルビア部3aおよび3bは、基板1に熱を放熱する機能を有する。なお、ビアホール2aおよび2b内に導電層3が埋め込まれた状態での樹脂層2の熱伝導率は、約6W/(m・K)〜約8W/(m・K)である。また、導電層3の配線部3cは、サーマルビア部3aの端部から所定の間隔を隔てた領域に配置されている。
また、第1実施形態では、導電層3を覆うように、上記した1層目の樹脂層2と同じ厚みおよび組成を有する2層目の樹脂層4が形成されているとともに、樹脂層4上の所定領域に、上記した1層目の導電層3と同じ厚みを有する2層目の銅からなる導電層5が形成されている。そして、2層目の樹脂層4および導電層5は、1層目の導電層3のサーマルビア部3aに熱を伝達するための構造を有する。なお、樹脂層4は、本発明の「絶縁層」の一例である。
具体的には、樹脂層4のLSIチップ9の下方に位置する領域に、約70μmの直径を有するとともに、樹脂層4を貫通する5つのビアホール4aが形成されている。この5つのビアホール4aは、それぞれ、5つのビアホール2aに対応する位置に形成されている。また、樹脂層4には、導電層3の配線部3cに対応する領域に、約70μmの直径を有するとともに、樹脂層4を貫通する2つのビアホール4bが形成されている。また、導電層5は、サーマルビア部5aと、ワイヤボンディング部5bと、配線部5cおよび5dとを含む。そして、導電層5のサーマルビア部5aは、LSIチップ9の下方の領域に配置されているとともに、導電層3のサーマルビア部3aの表面に接触するように、ビアホール4a内に埋め込まれた部分を有する。この導電層5のサーマルビア部5aは、LSIチップ9で発生した熱を導電層3のサーマルビア部3aに伝達して放熱する機能を有する。また、導電層5のワイヤボンディング部5bは、ビアホール4bに対応する領域に配置されているとともに、導電層3の配線部3cの表面に接触するように、ビアホール4b内に埋め込まれた部分を有する。導電層5の配線部5cは、チップ抵抗10の下方の領域に配置されている。導電層5の配線部5dは、後述するリード11の下方の領域に配置されている。そして、図示しないが、2層目の導電層5の配線部5dは、1層目の導電層3の配線部3cと平面的に見て交差するように配置されている。
また、導電層5を覆うように、導電層5のワイヤボンディング部5b、配線部5cおよび5dに対応する領域に開口部を有するソルダーレジスト層6aが形成されている。このソルダーレジスト層6aは、導電層5の保護膜として機能する。また、ソルダーレジスト層6aは、メラミン誘導体、液晶ポリマー、エポキシ樹脂、PPE(ポリフェニレンエーテル)樹脂、ポリイミド樹脂、フッ素樹脂、フェノール樹脂およびポリアミドビスマレイミドなどの熱硬化性樹脂からなる。なお、液晶ポリマー、エポキシ樹脂およびメラミン誘導体は、高周波特性に優れているので、ソルダーレジスト層6aの材料として好ましい。また、ソルダーレジスト層6aに、SiO2などの充填材を添加してもよい。LSIチップ9は、導電層5のサーマルビア部5a上のソルダーレジスト層6a上に、約20μmの厚みを有するエポキシ樹脂からなる樹脂層6を介して装着されている。なお、LSIチップ9では、単結晶シリコン基板(図示せず)が用いられており、熱膨張係数は、約4ppm/℃である。このLSIチップ9は、ワイヤ7によって、導電層5のワイヤボンディング部5bに電気的に接続されている。また、チップ抵抗10は、導電層5の配線部5c上に、はんだなどのロウ材からなる融着層8aを介して装着されているとともに、融着層8aにより配線部5cに電気的に接続されている。なお、LSIチップ9およびチップ抵抗10は、本発明の「回路素子」の一例である。また、リード11は、導電層5の配線部5d上に、はんだなどのロウ材からなる融着層8bを介して装着されているとともに、融着層8bにより配線部5dに電気的に接続されている。
また、図1および図2に示すように、装置内部に装着されたLSIチップ9およびチップ抵抗10などを保護するために、LSIチップ9およびチップ抵抗10を覆うように、エポキシ樹脂からなる樹脂層12が形成されている。また、図1に示すように、リード11は、混成集積回路装置の1つの辺に複数設けられている。
第1実施形態では、上記のように、エポキシ樹脂を主成分とする樹脂層2に充填される充填材20a、20bおよび20cの平均粒径を、それぞれ、約1μm、約10μmおよび約20μmに設定するとともに、樹脂層2の内部において、充填材20a(平均粒径:約1μm)を含む層、充填材20b(平均粒径:約10μm)を含む層および充填材20c(平均粒径:約20μm)を含む層を、基板1側からこの順番で配置することによって、樹脂層2の基板1側の部分のヤング率(剛性)を、樹脂層2の基板1とは反対側の部分のヤング率(剛性)よりも小さくすることができる。これにより、LSIチップ9およびチップ抵抗10で発生した熱により基板1が膨張する際に、基板1上に形成された樹脂層2が熱膨張した基板1に引っ張られたとしても、樹脂層2の基板1側のヤング率(剛性)が小さい部分が基板1と共に伸びるように変形するので、基板1と樹脂層2との間に発生する剪断応力を小さくすることができる。その結果、基板1から樹脂層2が剥離するのを抑制することができる。また、LSIチップ9およびチップ抵抗10で発生した熱により基板1が膨張したとしても、樹脂層2の基板1とは反対側に位置する部分のヤング率(剛性)が大きいので、樹脂層2下の基板1が反り返るように変形するのを抑制することができる。これにより、混成集積回路装置が変形するのを抑制することができる。
また、第1実施形態では、上記のように、1層目の樹脂層2の内部において、充填材20a(平均粒径:約1μm)を含む層、充填材20b(平均粒径:約10μm)を含む層および充填材20c(平均粒径:約20μm)を含む層を、基板1側からこの順番で配置することによって、樹脂層2の中間部分のヤング率(剛性)を、樹脂層2の基板1側に位置する部分のヤング率(剛性)と樹脂層2の基板1とは反対側に位置する部分のヤング率(剛性)との間の大きさにすることができる。これにより、樹脂層2の中間部分により、樹脂層2の基板1側に位置する部分と樹脂層2の基板1とは反対側に位置する部分との間に発生する剪断応力を小さくすることができるので、1層目の樹脂層2にクラックが発生するのを抑制することができる。なお、2層目の樹脂層4は、1層目の樹脂層2と同様の構造を有するので、2層目の樹脂層4においても、クラックが発生するのを抑制することができるという効果が得られる。
また、第1実施形態では、上記のように、充填材20a〜20cを、1層目の樹脂層2の熱伝導率を高くすることが可能な材料により構成することによって、エポキシ樹脂を主成分とする樹脂層2の熱伝導率が高くなるので、エポキシ樹脂を主成分とする樹脂層2の放熱性を向上させることができる。なお、2層目の樹脂層4は、1層目の樹脂層2と同様の構造を有するので、2層目の樹脂層4においても、放熱性を向上させることができるという効果が得られる。
また、第1実施形態では、上記のように、導電層3を、樹脂層2のビアホール2aを介して基板1の表面に接触するサーマルビア部3aを含むように構成するとともに、導電層5を、樹脂層4のビアホール34aを介して導電層3の表面に接触するサーマルビア部5aを含むように構成することによって、LSIチップ9から多量の熱が発生した場合に、その熱を導電層5のサーマルビア部5aから基板1の表面に接触する導電層3のサーマルビア部3aに伝達することができる。また、導電層3を、樹脂層2のビアホール2bを介して基板1の表面に接触するサーマルビア部3bを含むように構成することによって、チップ抵抗10から多量の熱が発生した場合に、その熱を基板1の表面に接触する導電層3のサーマルビア部3bに伝達することができる。これにより、LSIチップ9およびチップ抵抗10から多量の熱が発生した場合に、基板1側への放熱を容易に行うことができる。
また、第1実施形態では、上記のように、1層目の樹脂層2および導電層3を順次形成するとともに、1層目の導電層3上に、2層目の樹脂層4および導電層5を順次形成することによって、導電層3の配線部3cと導電層5の配線部5dとを樹脂層4により絶縁することができる。これにより、導電層3の配線部3cと導電層5の配線部5dとを平面的に見て交差させたとしても、導電層3の配線部3cと導電層5の配線部5dとが電気的に短絡するのを抑制することができる。その結果、配線部3cおよび5dの引き回しの自由度を向上させることができるとともに、配線密度を向上させることができる。
また、第1実施形態では、上記のように、金属を主体とする基板1を用いることによって、LISチップ9およびチップ抵抗10で発生した熱を効率的に放熱することができる。
また、第1実施形態では、上記のように、凹凸形状の表面を有する基板1を用いるとともに、その基板1の凹凸形状の表面上に、エポキシ樹脂を主成分とする樹脂層2を形成することによって、基板1と樹脂層2との接触面積を増加させることができるので、基板1と樹脂層2との間の密着性を向上させることができる。これにより、基板1から樹脂層2が剥離するのをより抑制することができる。
また、第1実施形態では、上記のように、約0.2ppm/℃〜約5ppm/℃の熱膨張係数を有する銅からなる下層金属層1aおよび上層金属層1cと、約0.2ppm/℃〜約5ppm/℃の熱膨張係数を有するインバー合金からなる中間金属層1bとを含む基板1を用いるとともに、下層金属層1a、中間金属層1bおよび上層金属層1cの厚みの比率を1:1:1にすることによって、基板1の熱膨張係数を約6ppm/℃〜約8ppm/℃にすることができるので、基板1の熱膨張係数(約6ppm/℃〜約8ppm/℃)を、LSIチップ9の熱膨張係数(約4ppm/℃)および樹脂層2の熱膨張係数(約17ppm/℃〜約18ppm/℃)の両方に近づけることができる。これにより、基板1とLSIチップ9および樹脂層2との間の熱膨張係数差に起因して、基板1から樹脂層2が剥離するのを抑制することができる。
また、第1実施形態では、上記のように、基板1(上層金属層1c)の表面を酸化することにより、基板1(上層金属層1c)の表面部分に酸化銅膜1dを形成することによって、基板1と導電層3の配線部3cとの間に位置する樹脂層2の絶縁性が劣化したとしても、基板1の表面部分の酸化銅膜1dが絶縁層として機能するので、基板1と導電層3の配線部3cとの間の絶縁耐圧が低下するのを抑制することができる。
図4〜図16は、本発明の第1実施形態による混成集積回路装置の製造プロセスを説明するための断面図である。次に、図2〜図16を参照して、第1実施形態による混成集積回路装置の製造プロセスについて説明する。
まず、図4に示すように、約12ppm/℃の熱膨張係数を有する銅からなる下層金属層1aおよび上層金属層1cと、約0.2ppm/℃〜約5ppm/℃の熱膨張係数を有するとともに、インバー合金からなる中間金属層1bとを含む基板1を形成する。具体的には、下層金属層1aおよび上層金属層1cの間に中間金属層1bを配置した状態で圧着することにより3層構造のクラッド材からなる基板1を形成する。この際、基板1の厚みが約100μm〜約3mm(たとえば、約1.5mm)になるように、下層金属層1a、中間金属層1bおよび上層金属層1cのそれぞれの厚みを設定する。なお、第1実施形態では、下層金属層1a、中間金属層1bおよび上層金属層1cの厚みの比率を1:1:1に設定する。これにより、基板1の熱膨張係数が約6ppm/℃〜約8ppm/℃になる。
この後、サンドブラスト技術、ウェットブラスト技術またはウェットエッチング技術を用いて、基板1を構成する最上面の上層金属層1cの表面を、算術平均粗さRaが約10μm〜約20μmの凹凸形状になるように粗面化する。なお、サンドブラスト技術とは、研磨剤をコンプレッサからの圧縮空気で加速させることにより、被加工物(ワーク)に研磨剤を吹き付ける技術である。また、ウェットブラスト技術とは、研磨剤を混合した液体をコンプレッサからの圧縮空気で加速させることにより、被加工物(ワーク)に研磨剤を吹き付ける技術である。
次に、図5に示すように、基板1を百数十度の温度条件下で熱処理することによって、基板1の最上面の上層金属層1cの凹凸形状の表面を酸化する。これにより、基板1の最上面の上層金属層1cの凹凸形状の表面部分が、約0.1μm〜約0.3μmの厚みを有する酸化銅膜1dとなる。
次に、図6に示すように、基板1(酸化銅膜1d)の凹凸形状の表面上に、互いに異なる3種類の平均粒径の各々に対応する充填材20a(平均粒径:約1μm)、20b(平均粒径:約10μm)および20c(平均粒径:約20μm)(図3参照)が充填されたエポキシ樹脂を塗布することによって、約60μm〜約160μmの厚みを有する樹脂層2を形成する。この際、図3に示したように、樹脂層2の内部において、充填材20a(平均粒径:約1μm)を含む層、充填材20b(平均粒径:約10μm)を含む層および充填材20c(平均粒径:約20μm)を含む層が基板1側からこの順番で配置されるように形成する。この後、樹脂層2上に、約3μmの厚みを有する銅箔3dを圧着する。
次に、図7に示すように、フォトリソグラフィ技術およびエッチング技術を用いて、ビアホール2aおよび2b(図2参照)の形成領域上に位置する銅箔3dを除去する。これにより、樹脂層2のビアホール2aおよび2bの形成領域が露出される。
次に、図8に示すように、銅箔3dの上方から炭酸ガスレーザまたはUVレーザを照射することによって、樹脂層2の露出した表面から基板1の表面に達するまでの領域を除去する。これにより、樹脂層2に、約70μmの直径を有するとともに、樹脂層2を貫通する5つのビアホール2aおよび2つのビアホール2bを形成する。このビアホール2aおよび2bは、それぞれ、後述するサーマルビア部3aおよび3bを形成するために設けられる。
次に、図9に示すように、無電解めっき法を用いて、銅箔3d(図8参照)の上面およびビアホール2aおよび2bの内面上に、銅を約0.5μmの厚みでめっきする。続いて、電解めっき法を用いて、銅箔3dの上面およびビアホール2aおよび2bの内部に、めっきする。なお、第1実施形態では、めっき液中に、抑制剤および促進剤を添加することによって、抑制剤を銅箔3dの上面上に吸着させるとともに、促進剤をビアホール2aおよび2bの内面上に吸着させる。これにより、ビアホール2aおよび2bの内面上の銅めっきの厚みを大きくすることができるので、ビアホール2aおよび2b内に銅を埋め込むことができる。その結果、図9に示すように、樹脂層2上に、約15μmの厚みを有する導電層3が形成されるとともに、ビアホール2aおよび2b内に、導電層3が埋め込まれる。
上記した銅めっき工程において、第1実施形態では、FeとNiとを含むインバー合金からなる中間金属層1bを、銅からなる下層金属層1aおよび上層金属層1cにより挟んだ基板1を用いているので、インバー合金からなる中間金属層1bの成分がめっき液中に溶出することに起因して、めっき液が劣化するのを抑制することができる。
次に、図10に示すように、フォトリソグラフィ技術およびエッチング技術を用いて、導電層3をパターニングする。これにより、LSIチップ9(図2参照)の下方の領域に位置するサーマルビア部3aと、チップ抵抗10(図2参照)の下方の領域に位置するサーマルビア部3bと、サーマルビア部3aの端部から所定の間隔を隔てた領域に位置する配線部3cとを形成する。
次に、図11に示すように、導電層3を覆うように、互いに異なる3種類の平均粒径の各々に対応する充填材(図示せず)が充填されたエポキシ樹脂を塗布することによって、約60μm〜約160μmの厚みを有する樹脂層4を形成する。なお、樹脂層4の形成に用いる3種類の充填材は、それぞれ、図3に示した充填材20a(平均粒径:約1μm)、充填材20b(平均粒径:約10μm)および充填材20c(平均粒径:約20μm)と同様の平均粒径を有する。また、樹脂層4を形成する際には、約1μmの平均粒径に対応する充填材を含む層、約10μmの平均粒径に対応する充填材を含む層および約20μmの平均粒径に対応する充填材を含む層が基板1側からこの順番で配置されるように形成する。この後、樹脂層4上に、約3μmの厚みを有する銅箔5eを圧着する。
次に、図12に示すように、フォトリソグラフィ技術およびエッチング技術を用いて、ビアホール4aおよび4b(図2参照)の形成領域上に位置する銅箔5eを除去する。これにより、樹脂層4のビアホール4aおよび4bの形成領域が露出される。
次に、図13に示すように、銅箔5eの上方から炭酸ガスレーザまたはUVレーザを照射することによって、樹脂層4の露出した表面から導電層3の表面に達するまでの領域を除去する。これにより、樹脂層4に、約70μmの直径を有するとともに、樹脂層4を貫通する5つのビアホール4aおよび2つのビアホール4bを形成する。
次に、図14に示すように、無電解めっき法を用いて、銅箔5e(図13参照)の上面およびビアホール4aおよび4bの内面上に、銅を約0.5μmの厚みでめっきする。続いて、電解めっき法を用いて、銅箔5eの上面およびビアホール4aおよび4bの内部に、めっきする。この際、めっき液中に、抑制剤および促進剤を添加することによって、抑制剤を銅箔5eの上面上に吸着させるとともに、促進剤をビアホール4aおよび4bの内面上に吸着させる。これにより、ビアホール4aおよび4bの内面上の銅めっきの厚みを大きくすることができるので、ビアホール4aおよび4b内に銅を埋め込むことができる。その結果、樹脂層4上に、約15μmの厚みを有する導電層5が形成されるとともに、ビアホール4aおよび4b内に、導電層5が埋め込まれる。
次に、図15に示すように、フォトリソグラフィ技術およびエッチング技術を用いて、導電層5をパターニングする。これにより、LSIチップ9(図2参照)の下方の領域に位置するサーマルビア部5aと、サーマルビア部5aの端部から所定の間隔を隔てた領域に位置するワイヤボンディング部5bと、チップ抵抗10(図2参照)の下方の領域に位置する配線部5cと、リード11(図2参照)の下方の領域に位置する配線部5dとを形成する。
次に、図16に示すように、導電層5を覆うように、導電層5のワイヤボンディング部5b、配線部5cおよび5dに対応する領域に開口部を有するソルダーレジスト層6aを形成する。そして、導電層5のサーマルビア部5a上のソルダーレジスト層6a上に、約50μmの厚みを有するエポキシ樹脂からなる樹脂層6を介してLSIチップ9を装着する。このLSIチップ9を装着した後の樹脂層6の厚みは、約20μmとなる。この後、LSIチップ9と導電層5のワイヤボンディング部5bとをワイヤ7により電気的に接続する。また、導電層5の配線部5c上に、はんだなどのロウ材からなる融着層8aを介してチップ抵抗10を装着する。また、導電層5の配線部5d上に、はんだなどのロウ材からなる融着層8bを介してリード11を装着する。なお、チップ抵抗10およびリード11は、それぞれ、融着層8aおよび8bを介して配線部5cおよび5dに電気的に接続される。
最後に、図2に示したように、基板1上のLSIチップ9やチップ抵抗10を保護するために、LSIチップ9やチップ抵抗10を覆うように、エポキシ樹脂からなる樹脂層12を形成することによって、第1実施形態による混成集積回路装置が形成される。
(第2実施形態)
図17は、本発明の第2実施形態による混成集積回路装置の構造を示した断面図である。図18は、図17に示した第2実施形態による混成集積回路装置の1層目の樹脂層に充填される充填材の分布を示した模式図であり、図19は、図17に示した第2実施形態による混成集積回路装置の1層目の樹脂層に充填される充填材の分布を示したグラフである。図20は、図17に示した第2実施形態による混成集積回路装置の2層目の樹脂層に充填される充填材の分布を示した模式図であり、図21は、図17に示した第2実施形態による混成集積回路装置の2層目の樹脂層に充填される充填材の分布を示したグラフである。図17〜図21を参照して、この第2実施形態では、上記第1実施形態と異なり、1層目の樹脂層のヤング率が2層目の樹脂層のヤング率よりも小さくなるように、1層目の樹脂層に充填される充填材および2層目の樹脂層に充填される充填材の各々の平均粒径を制御する場合について説明する。
この第2実施形態では、図17に示すように、上記第1実施形態と同様の基板1上に、約120μmの厚みを有するエポキシ樹脂を主成分とする1層目の樹脂層32が形成されている。この樹脂層32は、絶縁層として機能する。なお、樹脂層32は、本発明の[絶縁層]および「第1絶縁層」の一例である。
ここで、第2実施形態では、図18に示すように、樹脂層32に、互いに異なる2種類の平均粒径の各々に対応する充填材32aおよび32bを少なくとも含む充填材が約75%の重量充填率で充填されている。この充填材32aおよび32bの平均粒径は、それぞれ、約0.7μmおよび約3μmである。また、充填材32a(平均粒径:約0.7μm)および32b(平均粒径:約3μm)は、図19に示すような頻度で充填されている。具体的には、充填材32aおよび32bの配合比は、2:8である。また、充填材32aおよび32bの構成材料としては、樹脂層32の熱伝導率を向上させることが可能なアルミナ(Al2O3)が用いられている。
この第2実施形態では、上記のように充填材32aおよび32bを充填することにより、1層目の樹脂層32のヤング率(剛性)を約38470MPaに設定している。また、1層目の樹脂層32の熱伝導率および熱膨張係数は、それぞれ、約4.4W/(m・K)および約10ppm/℃である。
また、第2実施形態では、図17に示すように、LSIチップ9の下方に位置する樹脂層32の所定領域に、約70μmの直径を有するとともに、樹脂層32を貫通する5つのビアホール32aが形成されている。また、チップ抵抗10の下方に位置する樹脂層32の所定領域には、約70μmの直径を有するとともに、樹脂層32を貫通する2つのビアホール32bが形成されている。
また、樹脂層32上の所定領域には、約15μmの厚みを有するとともに、サーマルビア部3aおよび3bと、配線部3cとを含む1層目の銅からなる導電層3が形成されている。導電層3のサーマルビア部3aは、LSIチップ9の下方の領域に配置されているとともに、基板1の表面に接触するように、ビアホール32a内に埋め込まれた部分を有する。また、サーマルビア部3bは、チップ抵抗10の下方の領域に位置するビアホール32b内に埋め込まれている。この導電層3のサーマルビア部3aおよび3bは、基板1に熱を放熱する機能を有する。
また、第2実施形態では、導電層3を覆うように、約155μmの厚みを有するエポキシ樹脂を主成分とする2層目の樹脂層34が形成されている。この樹脂層34は、絶縁層として機能する。なお、樹脂層34は、本発明の「絶縁層」および「第2絶縁層」の一例である。
ここで、第2実施形態では、図20に示すように、樹脂層34に、互いに異なる3種類の平均粒径の各々に対応する充填材34a、34bおよび34cを少なくとも含む充填材が約65%の重量充填率で充填されている。この充填材34a、34bおよび34cの平均粒径は、それぞれ、約0.7μm、約10μmおよび約45μmである。また、充填材34a(平均粒径:約0.7μm)、34b(平均粒径:約10μm)および34c(平均粒径:約45μm)は、図21に示すような頻度で充填されている。具体的には、充填材34a、34bおよび34cの配合比は、2:4:4である。また、充填材34a、34bおよび34cの構成材料としては、樹脂層34の熱伝導率を向上させることが可能なアルミナ(Al2O3)が用いられている。
この第2実施形態では、上記のように充填材34a、34bおよび34cを充填することにより、2層目の樹脂層34のヤング率(剛性)を約42050MPaに設定している。すなわち、第2実施形態では、1層目の樹脂層32のヤング率(剛性)(約38470MPa)が、2層目の樹脂層34のヤング率(剛性)(約42050MPa)よりも小さくなるように構成されている。なお、2層目の樹脂層34の熱伝導率および熱膨張係数は、それぞれ、約3.8W/(m・K)および約17ppm/℃である。
また、第2実施形態では、図17に示すように、LSIチップ9の下方に位置する樹脂層34の所定領域に、約70μmの直径を有するとともに、樹脂層34を貫通する5つのビアホール34aが形成されている。この5つのビアホール34aは、それぞれ、5つのビアホール32aに対応する位置に配置されている。また、樹脂層34には、導電層3の配線部3cに対応する領域に、約70μmの直径を有するとともに、樹脂層34を貫通する2つのビアホール34bが形成されている。
また、樹脂層34上の所定領域には、約15μmの厚みを有するとともに、サーマルビア部5aと、ワイヤボンディング部5bと、配線部5cおよび5dとを含む2層目の銅からなる導電層5が形成されている。導電層5のサーマルビア部5aは、LSIチップ9の下方の領域に配置されているとともに、導電層3のサーマルビア部3aの表面に接触するように、ビアホール34a内に埋め込まれた部分を有する。この導電層5のサーマルビア部5aは、LSIチップ9で発生した熱を導電層3のサーマルビア部3aに伝達して放熱する機能を有する。また、導電層5のワイヤボンディング部5bは、ビアホール34bに対応する領域に配置されているとともに、導電層3の配線部3cの表面に接触するように、ビアホール34b内に埋め込まれた部分を有する。導電層5の配線部5cは、チップ抵抗10の下方の領域に配置されている。導電層5の配線部5dは、リード11の下方の領域に配置されている。
なお、第2実施形態のその他の構成は、上記第1実施形態と同様である。
第2実施形態では、上記のように、エポキシ樹脂を主成分とする1層目の樹脂層32に充填される充填材32aおよび32bの平均粒径を、それぞれ、約0.7μmおよび約3μmに設定するとともに、エポキシ樹脂を主成分とする2層目の樹脂層34に充填される充填材34a、34bおよび34cの平均粒径を、それぞれ、約0.7μm、約10μmおよび約45μmに設定することによって、1層目の樹脂層32のヤング率(剛性)を、2層目の樹脂層34のヤング率(剛性)よりも小さくすることができる。これにより、LSIチップ9およびチップ抵抗10で発生した熱により基板1が膨張する際に、基板1上に形成された1層目の樹脂層32が熱膨張した基板1に引っ張られたとしても、小さいヤング率(剛性)を有する1層目の樹脂層32が基板1と共に伸びるように変形するので、基板1と1層目の樹脂層32との間に発生する剪断応力を小さくすることができる。その結果、基板1から1層目の樹脂層32が剥離するのを抑制することができる。また、LSIチップ9およびチップ抵抗10で発生した熱により基板1が膨張したとしても、2層目の樹脂層34のヤング率(剛性)が大きいので、2層目の樹脂層34(1層目の樹脂層32)下の基板1が反り返るように変形するのを抑制することができる。これにより、混成集積回路装置が変形するのを抑制することができる。
また、第2実施形態では、上記のように、1層目の樹脂層32に、比較的小さい平均粒径に対応する充填材32aおよび32bのみを充填する一方、2層目の樹脂層34に、比較的小さい平均粒径に対応する充填材34aと、比較的大きい平均粒径に対応する充填材34bおよび34cとを充填することによって、容易に、1層目の樹脂層32のヤング率(剛性)を、2層目の樹脂層34のヤング率(剛性)よりも小さくすることができる。
また、第2実施形態では、上記のように、1層目の樹脂層32に充填される充填材32a(平均粒径:約0.7μm)および32b(平均粒径:約3μm)の配合比を、2:8に設定することによって、約3μmの平均粒径に対応する充填材32bが入り込めない小さい隙間に約0.7μmの平均粒径に対応する充填材32aを充填することができるので、樹脂層32中の充填材の充填率を高くすることができる。これにより、樹脂層32の熱伝導率を高くすることができるので、樹脂層32の放熱性を向上させることができる。
また、第2実施形態では、上記のように、2層目の樹脂層34に、充填材34aの平均粒径(約0.7μm)と充填材34cの平均粒径(約20μm)との間の大きさを有する平均粒径(約10μm)に対応する充填材34bを充填することによって、2層目の樹脂層34中の充填材の充填率が低下するのを抑制することができるので、樹脂層34の放熱性が低下するのを抑制することができる。
なお、第2実施形態のその他の効果は、上記第1実施形態と同様である。
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
たとえば、上記第1および第2実施形態では、LSIチップおよびチップ抵抗が装着された混成集積回路装置に本発明を適用したが、本発明はこれに限らず、LSIチップおよびチップ抵抗以外の回路素子が装着された混成集積回路装置や混成集積回路装置以外の半導体集積回路装置にも適用可能である。
また、上記第1および第2実施形態では、1層目の導電層上に2層目の絶縁層および導電層が順次形成された2層構造の回路装置に本発明を適用する例を説明したが、本発明はこれに限らず、1層構造の回路装置にも適用可能である。また、2層目の導電層上に、さらに3層目の絶縁層および導電層が順次形成された回路装置にも適用可能である。また、4層以上の多層構造の回路装置にも適用可能である。
また、上記第1実施形態では、樹脂層の内部において、約1μmの平均粒径に対応する充填材のみを含む層、約10μmの平均粒径に対応する充填材のみを含む層および約20μmの平均粒径に対応する充填材のみを含む層を、基板側からこの順番で配置したが、本発明はこれに限らず、約20μmの平均粒径に対応する充填材を含む層に、約20μm以下の平均粒径に対応する充填材(たとえば、約10μmや約1μmの平均粒径に対応する充填材)が混在していてもよいし、約10μmの平均粒径に対応する充填材を含む層に、約10μm以下の平均粒径に対応する充填材(たとえば、約1μmの平均粒径に対応する充填材)が混在していてもよい。この場合には、大きい平均粒径に対応する充填材が入り込めない小さい隙間に小さい平均粒径に対応する充填材を充填することができるので、樹脂層中の充填材の充填率を高くすることができる。これにより、樹脂層の熱伝導率を高くすることができるので、樹脂層の放熱性を向上させることができる。