JP4877156B2 - スパッタリングカソード及び成膜方法 - Google Patents
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ロールコーター式スパッタリング装置に、図2に示すスパッタリングカソードを搭載した。スパッタリングターゲットは450mm×150mm×10mmの板状のNi−30Crであり、スパッタリングターゲットと冷却板の間に熱伝導性薄膜部材として厚さ0.1mmのアルミニウムシートを挿入した。また、幅460mm×厚み40μmの長尺ポリイミドフィルムを基板とし、スパッタリングターゲットと基板の距離は100mmとした。
上記の式において、冷却水に移動した熱量は、水温と温度上昇値と流量と冷却水の比重から算出できる。
ロールコーター式スパッタリング装置に、図3に示すスパッタリングカソードを搭載した。スパッタリングターゲットは450mm×130mm×10mmの板状のNi−30Crであり、その裏面には452mm×150mm×5mmの銅製のバッキングプレートがインジウムからなるボンディング材でボンディングしてある。また、バッキングプレートと冷却板の間には、熱伝導性薄膜部材として厚さ0.1mmのアルミニウムシートを挿入した。
熱伝導性薄膜部材を使用せず、スパッタリングターゲット裏面のバッキングプレートを冷却板上に直接配置したこと以外は、上記実施例2と同様にしてスパッタリングを実施した。その結果、投入電力を25W/cm2まで投入しても、ボンディング材の溶融は認められず、冷却効率も87%であった。また、成膜後のスパッタリング膜及び基板には、成膜ムラやしわがないことを目視で確認した。
図2に示すスパッタリングカソードにおいて、スパッタリングターゲット部と冷却板の間の間隙部にガスを封入しなかった以外は、上記実施例1と同様の方法によりスパッタリングを実施した。
図3に示すスパッタリングカソードにおいて、スパッタリングターゲット裏面のバッキングプレートと冷却板の間の間隙部にガスを封入しなかった以外は、上記実施例2と同様の方法によりスパッタリングを実施した。
ロールコーター式スパッタリング装置に、図2に示すスパッタリングカソードを搭載した。スパッタリングターゲットは450mm×150mm×10mmの板状のNi−30Crであり、スパッタリングターゲットと冷却板の間に熱伝導性薄膜部材として厚さ0.1mmのアルミニウムシートを挿入した。また、幅460mm×厚み40μmの長尺ポリイミドフィルムを基板とし、スパッタリングターゲットと基板の距離は100mmとした。
2 カソード本体
3 冷却板
4 冷却水配管
5 クランプ
5a 嵌合爪
6a 外側マグネット
6b 内側マグネット
7a、7b シール部材
8 ガス導入配管
9 熱伝導性薄膜部材
10 バッキングプレート
11 ボンディング材
Claims (2)
- スパッタリング装置の真空チャンバー内に配置され、真空チャンバー外から供給される冷媒によりスパッタリングターゲット部を冷却する冷却機構を備えるスパッタリングカソードであって、該冷却機構の冷却板とスパッタリングターゲット部とが両者間の外周部に配置したシール部材によって真空チャンバー側と気密に封止されており、該冷却板とスパッタリングターゲット部との気密封止された間隙部に厚さ0.3mm以下の熱伝導性薄膜部材を備えると共に、該隙間部にガスを封入するため真空チャンバー外からガスを導入するガス導入管が接続されていて、封入されるガスの圧力が100〜200,000Paであることを特徴とするスパッタリングカソード。
- 前記スパッタリングターゲット部が、スパッタリングターゲットのみからなるか、若しくは裏面にバッキングプレートが固定されたスパッタリングターゲットであることを特徴とする、請求項1に記載のスパッタリングカソード。
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JP2007220522A JP4877156B2 (ja) | 2007-08-28 | 2007-08-28 | スパッタリングカソード及び成膜方法 |
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