JP2005210039A - 静電チャック接合体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】アルミニウム製のブレージングシートを接合層とし、できるだけ低い圧力(5×10−5〜1×10−5Torr,590〜605℃,加圧力0〜10kgf/cm2)でセラミック製の誘電体層とアルミニウム製基盤あるいはジャケットを接合させる。
【選択図】図1
Description
5×10−5〜1×10−5Torrの真空状態にて温度範囲590〜605℃に被接合体を昇温する。このとき誘電体層2と基盤7を互いに押し付ける圧力はそれらの自重のみでもよいし、最大10kgf/cm2の圧力をかける場合もある。ブレージングシート7の溶融状態を確認した後、炉内を冷却し、接合層を固化し、誘電体層2と基盤7の接合が完了する。
2 誘電体層
3 上層
4 中間層
5 下層
6 ブレージングシート
7 基盤
8 冷媒径路
9 半導体ウエハ
Claims (4)
- 誘電体層と基盤を具備する静電チャックにおいて、金属性のブレージングシートを前期誘電体層と前記冷却基盤の間に配置し、5×10−5〜1×10−5Torrの真空雰囲気中、かつ前記ブレージングシートを含む前記誘電体層と前記基盤を温度590〜605℃に昇温し、ブレージングシートに加える圧力を無加圧0kgf/cm2を含む10kgf/cm2以下の範囲で接合することを特徴とする静電チャック。
- 前記誘電体層は、アルミナ、窒化アルミニウムのセラミックからなる請求項1記載の静電チャック。
- 前記基盤は、アルミニウムと多孔質セラミックから成る複合材質であることを特徴とする請求項1の静電チャック。
- 前記金属性ブレージングシートは、アルミニウム材質で三層から成り、二つの外層部は内層部より溶融温度が低いことを特徴とする、請求項1の静電チャック。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004042097A JP2005210039A (ja) | 2004-01-19 | 2004-01-19 | 静電チャック接合体 |
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JP2004042097A JP2005210039A (ja) | 2004-01-19 | 2004-01-19 | 静電チャック接合体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2005210039A true JP2005210039A (ja) | 2005-08-04 |
Family
ID=34908400
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Country | Link |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008071845A (ja) * | 2006-09-13 | 2008-03-27 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 放熱部品及びその製造方法 |
JP2017126640A (ja) * | 2016-01-13 | 2017-07-20 | 日本特殊陶業株式会社 | 保持装置 |
JP2017126641A (ja) * | 2016-01-13 | 2017-07-20 | 日本特殊陶業株式会社 | 保持装置 |
-
2004
- 2004-01-19 JP JP2004042097A patent/JP2005210039A/ja active Pending
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JP2008071845A (ja) * | 2006-09-13 | 2008-03-27 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 放熱部品及びその製造方法 |
JP2017126640A (ja) * | 2016-01-13 | 2017-07-20 | 日本特殊陶業株式会社 | 保持装置 |
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