JP5465585B2 - 成膜装置 - Google Patents
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Description
ここでは、大気圧雰囲気下において、図6(a)に示すような形状を有する冷却板(試験片1)および図6(b)に示すような形状を有する冷却板(試験片2)について、一方の面を真空雰囲気(1Pa)、他方の面を大気圧雰囲気(105Pa)に曝した場合の形状の変化についてシミュレーションを行った。図6(a)、(b)は、試験片1および試験片2を示す側面断面図である。図6には、XYZ直交座標系が示され、Z軸方向が上下方向に対応する。
(試験片1)
外形寸法:300mm×1600mm×15mm(厚さ)
材質:無酸素銅
外周溝寸法:外周溝は形成されていない
外形寸法:300mm×1600mm×15mm(厚さ)
材質:無酸素銅
外周溝寸法:20mm(幅)×12mm(深さ)
外周溝位置:外周端から溝中心までの距離が30mm
Claims (5)
- 成膜材料であるターゲットと当該ターゲットに接触して冷却する板状の冷却板とを備える成膜装置であって、
前記ターゲットと前記冷却板とはクランプによって固定され、
前記冷却板は、
前記ターゲットと対向する面である第1の面とは反対側の面である第2の面に溝部を有し、
前記第2の面が前記第1の面よりも高圧の雰囲気に曝されると共に、前記第1の面における中央部が前記ターゲット側に変位して前記ターゲットを押圧することを特徴とする成膜装置。 - 成膜材料であるターゲットに接触して冷却する板状の冷却板を備える成膜装置であって、
前記ターゲットと前記冷却板とはクランプによって固定され、
前記冷却板は、
前記ターゲットと対向する面である第1の面とは反対側の面である第2の面に溝部を有し、
前記第2の面が前記第1の面よりも高圧の雰囲気に曝されると共に、前記第1の面における中央部が前記ターゲット側に変位して前記ターゲットを押圧することを特徴とする成膜装置。 - 前記冷却板は、前記第2の面における中央部を取り囲む環状の溝部を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の成膜装置。
- 前記冷却板は、前記第2の面が大気圧雰囲気に曝され、前記第1の面が真空雰囲気に曝されることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の成膜装置。
- 前記ターゲットと前記冷却板との間には、前記ターゲットと前記冷却板との互いの対向面に接触する熱伝導性薄膜部材が配置されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の成膜装置。
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