JP2016523315A - 冷却プレートを有する、間接冷却装置に適合するターゲット - Google Patents
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Abstract
Description
図1に概略的に示すように、直接冷却されるターゲット1によって、ターゲット表面3において熱に変換されたパワーは、熱伝導によりターゲット物質内をターゲット裏面7に伝達される。水ダクト9内を流れる冷却液11は、その熱容量と流れ条件に従って熱の流れを運び去る。ターゲット裏面7と冷却液11の間には非常に良好な熱接触がある。しかしながら、この場合、ねじ13によってターゲットを基体15に固着する必要がある。加えて、冷却液11(例えば、水)から真空に密閉するシール17が設けられねばならない。供給ライン6もまた図1に概略で描かれている。他には、図は概略的な描写である。例えば冷却液の真空製造、分離、供給及び除去のための他の部品が当業者には既知であり、ゆえにここでは示さない。
図2に示すように、間接冷却されるターゲットによって、ターゲット201の裏面203は源ホルダー205に(例えばねじやクランプにより)締結され、本質的に閉鎖された冷却プレート207は源ホルダー205に一体化される。例えば、冷却プレート207は、移動する液が熱を運び去る、冷媒が流れる冷却ダクト209を有する。
403 ターゲット裏面
407 炭素膜(カーボンフィルム)
409 粘着膜(粘着フィルム)
411 炭素膜(炭素フィルム)
Claims (9)
- 冷却ダクトを有する部品と、前記部品の冷却サイドに取り外し可能に締結された別な熱伝導プレートとを有し、
前記冷却サイドは、前記冷却ダクトがその冷却作用を及ぼすサイドである、ターゲット用冷却装置であって、
前記別な熱伝導プレートと前記部品の冷却サイドとの間に、第1粘着性炭素膜が設けられ、該第1粘着性炭素膜は、前記冷却サイドに面する前記別な熱伝導プレートの一方のサイドに広範囲かつ粘着質に接着されている、ことを特徴とするターゲット用冷却装置。 - 前記別な熱伝導プレートの他方のサイドに、広範囲で粘着質に接着する第2粘着性炭素膜が設けられる、ことを特徴とする請求項1に記載のターゲット用冷却装置。
- 前記別な熱伝導プレートがモリブデン及び/又は銅を含む、ことを特徴とする請求項1又は2に記載の装置。
- 前記粘着性炭素膜に簡単な操作に対して十分な安定性を与えるように、前記別な熱伝導プレートが十分な厚みになるように選択される、ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の装置。
- 前記別な熱伝導プレートが少なくとも3mm、好ましくは5mm、特に好ましくは少なくとも1cmの厚みを有する、ことを特徴とする請求項4に記載の装置。
- 請求項1〜5のいずれか一項に記載の冷却装置を有するターゲットであって、
スパッタリングプロセス及び/又はアーク蒸発放電のための材料源として具体化される、ことを特徴とするターゲット。 - 前記粘着性炭素膜は0.125mmから0.5mm未満の厚み、好ましくは0.125mmの厚みを有する、ことを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の装置。
- 請求項1〜7のいずれか一項に記載の装置を有するターゲットを有するコーティング源。
- 前記ターゲットの周囲は、高くて均一な接触圧力を創出する差し込みアタッチメントの形態の源ホルダーと協働する、ことを特徴とする請求項8に記載のコーティング源。
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