CN113667947B - 一种应用于阴极平台的智能温控装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及磁控溅射镀膜技术领域，且公开了一种应用于阴极平台的智能温控装置，解决了平面阴极在使用长时间后其表面的温度会上升而影响镀膜效果的问题，其包括平面阴极主体，所述平面阴极主体的底部安装有安装板，安装板的底部安装有导气盒，导气盒的底部安装有安装盒，导气盒的一侧安装有蓄水盒，蓄水盒的一侧等距离开设有进气口，蓄水盒与导气盒之间等距离开设有导气口，导气盒的一侧等距离开设有排气口；本阴极平台的智能温控装置带有有效的降温功能，能够对温度上升的平面阴极进行有效的降温操作，从而确保了平面阴极能够安全且稳定的进行运行，也有效的保障了镀膜的效果，因此，本阴极平台的智能温控装置能够满足磁控溅射镀膜的使用需求。

Description

一种应用于阴极平台的智能温控装置

技术领域

本发明属于磁控溅射镀膜技术领域，具体为一种应用于阴极平台的智能温控装置。

背景技术

磁控溅射镀膜（PVD镀膜）是一种镀膜方法，适用于光学薄膜镀膜；磁控溅射由于具有可大规模生产的优点，可以在保证材料组成的同时沉积氧化物或其他化合物，成为最常用的镀膜方法之一；磁控溅射镀膜是在真空室中辉光放电的两极之间引入磁场，利用电子在电场作用下与溅射气体的原子发生碰撞使之变成等离子体，等离子体中的离子在电场作用下轰击靶材，使靶材表面的原子逸出并飞向基板，沉积在基板上并形成薄膜。

目前普遍采用平面磁控溅射阴极，即“平面阴极”，平面阴极均是采用在磁靴中安装磁铁的方法来获得加速磁场；而平面阴极在使用长时间后其表面的温度会上升，从而影响镀膜效果，因此，针对目前的状况，现需对其进行改进。

发明内容

针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本发明提供一种应用于阴极平台的智能温控装置，有效的解决了平面阴极在使用长时间后其表面的温度会上升而影响镀膜效果的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种应用于阴极平台的智能温控装置，包括平面阴极主体，所述平面阴极主体的底部安装有安装板，安装板的底部安装有导气盒，导气盒的底部安装有安装盒，导气盒的一侧安装有蓄水盒，蓄水盒的一侧等距离开设有进气口，蓄水盒与导气盒之间等距离开设有导气口，导气盒的一侧等距离开设有排气口，导气口位于导气盒内部的一端以及排气口位于导气盒外部的一端均安装有密封挡盖，导气盒的内部安装有吸排风组件，安装盒的内部安装有动力组件，动力组件与吸排风组件连接，安装板的底部且位于导气盒的内部等距离安装有导热片，所述导热片的顶部与所述平面阴极主体连接。

优选的，所述吸排风组件包括波纹橡胶管和固定地板，波纹橡胶管安装在导气盒内部的中部，固定地板固定安装在波纹橡胶管的底部。

优选的，所述波纹橡胶管的一端安装有排水管，排水管的一侧安装有控制阀，导气盒的一端开设有竖槽口，排水管通过竖槽口延伸至导气盒的外部。

优选的，所述动力组件包括连接板，连接板安装在安装盒的内部，且连接板顶部的四角处与固定地板的底部之间均连接有连杆，连接板的中部安装有升降件，安装盒内腔的底部安装有电机，电机的输出端与升降件的底部连接。

优选的，所述连接板两侧的两端均安装有滚轮，安装盒内腔两侧的两端均开设有轮槽，滚轮滚动卡接在轮槽的内部，安装盒内腔两侧的顶部均固定安装有横条，两个横条底部的两端与连接板的顶部之间均安装有弹簧。

优选的，所述升降件包括空心管，空心管安装在连接板的中部，空心管的内部开设有螺旋槽，螺旋槽的两端之间开设有连通槽，空心管的内部安装有转动轴，转动轴的上部安装有卡块，卡块滑动插接在螺旋槽的内部，转动轴的底部与电机的输出端固定连接。

优选的，所述蓄水盒内腔的底部等距离安装有超声波雾化器，蓄水盒的一端安装有进水管。

优选的，所述密封挡盖包括U形座，U形座等距离安装在导气盒的内部以及导气盒的外部，U形座的中部转动安装有连接销，连接销的中部固定安装有密封盖本体，密封盖本体的一端安装有密封橡胶圈。

优选的，所述导气口的形状为锥形结构，且导气口的小口径端朝向导气盒的内部。

与现有技术相比，本发明的有益效果是。

（1）、在工作中，通过设置有平面阴极主体、安装板、导气盒、安装盒、蓄水盒、进气口、导气口、排气口、密封挡盖和导热片，使本阴极平台的智能温控装置带有有效的降温功能，能够对温度上升的平面阴极进行有效的降温操作，从而确保了平面阴极能够安全且稳定的进行运行，也有效的保障了镀膜的效果，因此，本阴极平台的智能温控装置能够满足磁控溅射镀膜的使用需求。

（2）、在工作中，通过设置有U形座、连接销、密封盖本体和密封橡胶圈，从而能够有效的对导气口和排气口进行密封和导气，确保吹风和水雾降温的有效性。

当通过排气口进行排气散热时，波纹橡胶管的压缩会将导气盒内部的热气和热量进行挤压，挤压的热气和热量会对导气口和排气口一端的密封盖本体进行挤压，导气口上的密封盖本体受到挤压后会带动密封橡胶圈对导气口进行密封，而排气口上的密封盖本体受到挤压后会进行转动，使导气盒内部的热气和热量通过排气口进行排出而起到散热的作用。

当通过导气口进行吸气降温时，波纹橡胶管的伸展会使导气盒的内部形成负压，从而使排气口上的密封盖本体带动密封橡胶圈对排气口进行密封，以及使导气口上的密封盖本体进行转动打开，最终使外部的冷空气通过进气口被吸入到蓄水盒的内部，之后冷空气与蓄水盒内部的水雾混合再通过导气口进入到导气盒内部，使其对导气盒的内部以及导热片进行吹风和水雾降温。

（3）、在工作中，通过设置有波纹橡胶管、固定地板、排水管、控制阀、竖槽口、连接板、连杆、升降件、空心管、螺旋槽、转动轴、卡块、电机、横条、弹簧、轮槽、滚轮、超声波雾化器和进水管，从而能够有效的对导气盒的内部以及导热片进行有效的散热降温。

通过启动电机，使转动轴带动卡块进行转动调节，卡块的转动会在螺旋槽内部进行转动，卡块的转动会通过螺旋槽带动空心管进行上移，空心管的上移会使连接板带动连杆进行上移，连接板的上移会对弹簧进行压缩，同时连杆的上移会带动固定地板对波纹橡胶管进行压缩，从而使导气盒内部的热气以及热量通过排气口进行排出，当卡块移动至螺旋槽的顶部且位于连通槽的顶部时，通过弹簧的弹力，会使连接板带动空心管和连杆下移，空心管的下移会使卡块通过连通槽移动至螺旋槽的底部，而连杆的下移会带动固定地板下移，使固定地板带动波纹橡胶管进行拉伸，波纹橡胶管的拉伸会通过进气口和导气口将外部的冷空气以及蓄水盒内部的水雾吸入到导气盒的内部，从而对导气盒的内部以及导热片进行降温，通过反复的上下移动，会对导气盒的内部以及导热片进行有效的吹风和水雾降温。

附图说明

附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。

在附图中。

图1为本发明正视结构示意图。

图2为本发明后视结构示意图。

图3为本发明图2的A处放大结构示意图。

图4为本发明图1的侧剖结构示意图。

图5为本发明升降件的剖视展开结构示意图。

图中：1、平面阴极主体；2、安装板；3、导气盒；4、安装盒；5、蓄水盒；6、进气口；7、导气口；8、排气口；9、密封挡盖；901、U形座；902、连接销；903、密封盖本体；904、密封橡胶圈；10、波纹橡胶管；11、固定地板；12、导热片；13、排水管；14、控制阀；15、竖槽口；16、连接板；17、连杆；18、升降件；1801、空心管；1802、螺旋槽；1803、转动轴；1804、卡块；19、电机；20、横条；21、弹簧；22、轮槽；23、滚轮；24、超声波雾化器；25、进水管。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例；基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例一，由图1至图4给出，本发明包括平面阴极主体1，平面阴极主体1的底部安装有安装板2，安装板2的底部安装有导气盒3，导气盒3的底部安装有安装盒4，导气盒3的一侧安装有蓄水盒5，蓄水盒5的一侧等距离开设有进气口6，蓄水盒5与导气盒3之间等距离开设有导气口7，蓄水盒5内腔的底部等距离安装有超声波雾化器24，蓄水盒5的一端安装有进水管25，进水管25与外部水源连接，超声波雾化器24为HH171010型号的雾化器，从而能够有效的产生水雾，而水雾的表面积较大，能够有效的对导气盒3的内部以及导热片12的表面进行降温操作，导气盒3的一侧等距离开设有排气口8，通过进气口6、导气口7和排气口8的设置，能够有效的对将外部的冷空气导入到导气盒3的内部，以及对导气盒3的内部进行降温和散热，使导热片12能够有效的进行降温，导气口7位于导气盒3内部的一端以及排气口8位于导气盒3外部的一端均安装有密封挡盖9，导气口7的形状为锥形结构，且导气口7的小口径端朝向导气盒3的内部，从而能够有效的对吸入的空气和水雾进行加速，使空气和水雾提升降温效果，导气盒3的内部安装有吸排风组件，安装盒4的内部安装有动力组件，动力组件与吸排风组件连接，安装板2的底部且位于导气盒3的内部等距离安装有导热片12，导热片12的顶部与平面阴极主体1连接，通过导热片12的设置，能够有效的对平面阴极主体1进行导热降温。

实施例二，在实施例一的基础上，由图1、图2、图4和图5图给出，吸排风组件包括波纹橡胶管10和固定地板11，波纹橡胶管10安装在导气盒3内部的中部，固定地板11固定安装在波纹橡胶管10的底部。

波纹橡胶管10的一端安装有排水管13，排水管13的一侧安装有控制阀14，导气盒3的一端开设有竖槽口15，排水管13通过竖槽口15延伸至导气盒3的外部，从而能够对导气盒3以及波纹橡胶管10内部的水分进行排出处理。

当水雾与导热片12以及导气盒3的内壁接触后会产生液化水，为了确保波纹橡胶管10使用的有效性，通过打开控制阀14，使水分通过排水管13进行排出处理。

动力组件包括连接板16，连接板16安装在安装盒4的内部，且连接板16顶部的四角处与固定地板11的底部之间均连接有连杆17，连接板16的中部安装有升降件18，安装盒4内腔的底部安装有电机19，电机19的输出端与升降件18的底部连接，从而能够有效的进行上下移动。

连接板16两侧的两端均安装有滚轮23，安装盒4内腔两侧的两端均开设有轮槽22，滚轮23滚动卡接在轮槽22的内部，安装盒4内腔两侧的顶部均固定安装有横条20，两个横条20底部的两端与连接板16的顶部之间均安装有弹簧21，从而能够稳定进行上下移动。

升降件18包括空心管1801，空心管1801安装在连接板16的中部，空心管1801的内部开设有螺旋槽1802，螺旋槽1802的两端之间开设有连通槽，空心管1801的内部安装有转动轴1803，转动轴1803的上部安装有卡块1804，卡块1804滑动插接在螺旋槽1802的内部，转动轴1803的底部与电机19的输出端固定连接，从而能够有效的进行上下移动调节。

通过启动电机19，使转动轴1803带动卡块1804进行转动调节，卡块1804的转动会在螺旋槽1802内部进行转动，卡块1804的转动会通过螺旋槽1802带动空心管1801进行上移，空心管1801的上移会使连接板16带动连杆17进行上移，连接板16的上移会对弹簧21进行压缩，同时连杆17的上移会带动固定地板11对波纹橡胶管10进行压缩，从而使导气盒3内部的热气以及热量通过排气口8进行排出，当卡块1804移动至螺旋槽1802的顶部且位于连通槽的顶部时，通过弹簧21的弹力，会使连接板16带动空心管1801和连杆17下移，空心管1801的下移会使卡块1804通过连通槽移动至螺旋槽1802的底部，而连杆17的下移会带动固定地板11下移，使固定地板11带动波纹橡胶管10进行拉伸，波纹橡胶管10的拉伸会通过进气口6和导气口7将外部的冷空气以及蓄水盒5内部的水雾吸入到导气盒3的内部，从而对导气盒3的内部以及导热片12进行降温，通过反复的上下移动，会对导气盒3的内部以及导热片12进行有效的吹风和水雾降温。

实施例三，在实施例一的基础上，由图3给出，密封挡盖9包括U形座901，U形座901等距离安装在导气盒3的内部以及导气盒3的外部，U形座901的中部转动安装有连接销902，连接销902的中部固定安装有密封盖本体903，密封盖本体903的一端安装有密封橡胶圈904，从而能够有效的对导气口7和排气口8进行密封和导气。

当通过排气口8进行排气散热时，波纹橡胶管10的压缩会将导气盒3内部的热气和热量进行挤压，挤压的热气和热量会对导气口7和排气口8一端的密封盖本体903进行挤压，导气口7上的密封盖本体903受到挤压后会带动密封橡胶圈904对导气口7进行密封，而排气口8上的密封盖本体903受到挤压后会进行转动，使导气盒3内部的热气和热量通过排气口8进行排出而起到散热的作用。

当通过导气口7进行吸气降温时，波纹橡胶管10的伸展会使导气盒3的内部形成负压，从而使排气口8上的密封盖本体903带动密封橡胶圈904对排气口8进行密封，以及使导气口7上的密封盖本体903进行转动打开，最终使外部的冷空气通过进气口6被吸入到蓄水盒5的内部，之后冷空气与蓄水盒5内部的水雾混合再通过导气口7进入到导气盒3内部，使其对导气盒3的内部以及导热片12进行吹风和水雾降温。

工作原理：降温散热过程：通过启动电机19，使转动轴1803带动卡块1804进行转动调节，卡块1804的转动会在螺旋槽1802内部进行转动，卡块1804的转动会通过螺旋槽1802带动空心管1801进行上移，空心管1801的上移会使连接板16带动连杆17进行上移，连接板16的上移会对弹簧21进行压缩，同时连杆17的上移会带动固定地板11对波纹橡胶管10进行压缩，从而使导气盒3内部的热气以及热量通过排气口8进行排出，当卡块1804移动至螺旋槽1802的顶部且位于连通槽的顶部时，通过弹簧21的弹力，会使连接板16带动空心管1801和连杆17下移，空心管1801的下移会使卡块1804通过连通槽移动至螺旋槽1802的底部，而连杆17的下移会带动固定地板11下移，使固定地板11带动波纹橡胶管10进行拉伸，波纹橡胶管10的拉伸会通过进气口6和导气口7将外部的冷空气以及蓄水盒5内部的水雾吸入到导气盒3的内部，从而对导气盒3的内部以及导热片12进行降温，通过反复的上下移动，会对导气盒3的内部以及导热片12进行有效的吹风和水雾降温。

通气散热过程：当通过排气口8进行排气散热时，波纹橡胶管10的压缩会将导气盒3内部的热气和热量进行挤压，挤压的热气和热量会对导气口7和排气口8一端的密封盖本体903进行挤压，导气口7上的密封盖本体903受到挤压后会带动密封橡胶圈904对导气口7进行密封，而排气口8上的密封盖本体903受到挤压后会进行转动，使导气盒3内部的热气和热量通过排气口8进行排出而起到散热的作用。

当通过导气口7进行吸气降温时，波纹橡胶管10的伸展会使导气盒3的内部形成负压，从而使排气口8上的密封盖本体903带动密封橡胶圈904对排气口8进行密封，以及使导气口7上的密封盖本体903进行转动打开，最终使外部的冷空气通过进气口6被吸入到蓄水盒5的内部，之后冷空气与蓄水盒5内部的水雾混合再通过导气口7进入到导气盒3内部，使其对导气盒3的内部以及导热片12进行吹风和水雾降温。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (3)

1.一种应用于阴极平台的智能温控装置，包括平面阴极主体（1），其特征在于：所述平面阴极主体（1）的底部安装有安装板（2），安装板（2）的底部安装有导气盒（3），导气盒（3）的底部安装有安装盒（4），导气盒（3）的一侧安装有蓄水盒（5），蓄水盒（5）的一侧等距离开设有进气口（6），蓄水盒（5）与导气盒（3）之间等距离开设有导气口（7），导气盒（3）的一侧等距离开设有排气口（8），导气口（7）位于导气盒（3）内部的一端以及排气口（8）位于导气盒（3）外部的一端均安装有密封挡盖（9），导气盒（3）的内部安装有吸排风组件，安装盒（4）的内部安装有动力组件，动力组件与吸排风组件连接，安装板（2）的底部且位于导气盒（3）的内部等距离安装有导热片（12），所述导热片（12）的顶部与所述平面阴极主体（1）连接；

所述吸排风组件包括波纹橡胶管（10）和固定地板（11），波纹橡胶管（10）安装在导气盒（3）内部的中部，固定地板（11）固定安装在波纹橡胶管（10）的底部；

所述波纹橡胶管（10）的一端安装有排水管（13），排水管（13）的一侧安装有控制阀（14），导气盒（3）的一端开设有竖槽口（15），排水管（13）通过竖槽口（15）延伸至导气盒（3）的外部；

所述动力组件包括连接板（16），连接板（16）安装在安装盒（4）的内部，且连接板（16）顶部的四角处与固定地板（11）的底部之间均连接有连杆（17），连接板（16）的中部安装有升降件（18），安装盒（4）内腔的底部安装有电机（19），电机（19）的输出端与升降件（18）的底部连接；

所述连接板（16）两侧的两端均安装有滚轮（23），安装盒（4）内腔两侧的两端均开设有轮槽（22），滚轮（23）滚动卡接在轮槽（22）的内部，安装盒（4）内腔两侧的顶部均固定安装有横条（20），两个横条（20）底部的两端与连接板（16）的顶部之间均安装有弹簧（21）；

所述升降件（18）包括空心管（1801），空心管（1801）安装在连接板（16）的中部，空心管（1801）的内部开设有螺旋槽（1802），螺旋槽（1802）的两端之间开设有连通槽，空心管（1801）的内部安装有转动轴（1803），转动轴（1803）的上部安装有卡块（1804），卡块（1804）滑动插接在螺旋槽（1802）的内部，转动轴（1803）的底部与电机（19）的输出端固定连接；

所述蓄水盒（5）内腔的底部等距离安装有超声波雾化器（24），蓄水盒（5）的一端安装有进水管（25）。

2.根据权利要求1所述的一种应用于阴极平台的智能温控装置，其特征在于：所述密封挡盖（9）包括U形座（901），U形座（901）等距离安装在导气盒（3）的内部以及导气盒（3）的外部，U形座（901）的中部转动安装有连接销（902），连接销（902）的中部固定安装有密封盖本体（903），密封盖本体（903）的一端安装有密封橡胶圈（904）。

3.根据权利要求1所述的一种应用于阴极平台的智能温控装置，其特征在于：所述导气口（7）的形状为锥形结构，且导气口（7）的小口径端朝向导气盒（3）的内部。

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