CN211897103U - 一种靶材溅射镀膜真空腔稳压装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种靶材溅射镀膜真空腔稳压装置，属于真空腔稳压技术领域，该一种靶材溅射镀膜真空腔稳压装置包括主体壳，所述主体壳底部开有导气室，且导气室一侧内壁开有进气口，所述进气口内壁通过密封条固定有进气通道，且导气室另一侧内壁开有出气口，出气口内壁通过密封条固定有出气通道，出气通道顶部外壁通过螺纹固定有压力表，所述主体壳靠近导气室上方的两侧内壁均开有安装槽，且两个安装槽相对一侧外壁均设置有同一个调压机构，主体壳正面外壁通过螺栓固定有安装板。本实用新型起到了对真空腔进行导气稳压的作用，也提高了真空腔稳压的效率，同时也让稳压工作更加直观和清晰，方便了对所需调压大小进行计量观察。

Description

一种靶材溅射镀膜真空腔稳压装置

技术领域

本实用新型属于真空腔稳压技术领域，具体涉及一种靶材溅射镀膜真空腔稳压装置。

背景技术

在现有技术中，镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。而磁控溅射通过在靶阴极表面引入磁场，利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率。又因为是在低气压下进行高速溅射，这就需要对设备真空腔进行有效稳压。

经过检索发现，在授权公告号为CN203513241U的中国专利中公开了一种全自动气体稳压装置，其特征在于包括：一进气管，进气管的一端与气源相通，另一端通过稳压阀与储罐的排气管道相通；一电磁阀，设置于进气管的进气口处；一检测器，其输入端通过管道与储罐相连，其输出端通过电线与电磁阀相连。

但是上述技术方案整体机构在稳压工作上描述相对模糊，且在气体稳压上无法进行计量，因此还存在气体稳压质量差的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种靶材溅射镀膜真空腔稳压装置，旨在解决现有技术中的气体稳压质量差的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：包括主体壳，所述主体壳底部开有导气室，且导气室一侧内壁开有进气口，所述进气口内壁通过密封条固定有进气通道，且导气室另一侧内壁开有出气口，出气口内壁通过密封条固定有出气通道，出气通道顶部外壁通过螺纹固定有压力表，所述主体壳靠近导气室上方的两侧内壁均开有安装槽，且两个安装槽相对一侧外壁均设置有同一个调压机构，主体壳正面外壁通过螺栓固定有安装板。

为促进导气室内部调压，作为本实用新型一种优选的，所述调压机构包括两个固定滑轨、四个密封滑槽、两个卡块、L型调压芯、复位弹簧、连接板、两个滑块和连接轴，且两个固定滑轨相反一侧外壁均焊接于两个安装槽的内壁上，每两个密封滑槽分别开于两个固定滑轨的两侧内壁上，两个滑块分别滑动连接于每两个密封滑槽内，连接板两端分别焊接于两个滑块相对一侧外壁上，复位弹簧顶端焊接于连接板底部外壁上，L型调压芯焊接于复位弹簧底端外壁上，两个卡块分别焊接于固定滑轨靠近两个密封滑槽之间的外壁上，且两个滑块底部开有卡槽，卡槽和卡块相适配，连接轴焊接于连接板顶部外壁上。

为了促进对连接柱下方的L型调压芯保持稳定，作为本实用新型一种优选的，所述连接轴顶部外壁通过螺纹固定有连接柱，且主体壳靠近连接柱两侧的顶部外壁均通过螺栓固定有固定架。

为了使得螺纹杆可以上下移动，作为本实用新型一种优选的，所述连接轴顶部外壁通过螺纹固定有连接柱，且主体壳顶部两侧外壁均通过螺栓固定有固定架，固定架顶部外壁开有滑孔，滑孔的内壁滑动连接有螺纹杆，连接柱顶部外壁开有螺纹孔。

为了方便对连接柱内螺纹杆进行限位，作为本实用新型一种优选的，所述螺纹杆底端通过螺纹插于连接柱内，且螺纹杆底部外壁与连接轴顶端相焊接。

为了满足不同气压调节的需求，作为本实用新型一种优选的，所述连接柱焊接于主体壳顶部中心外壁上，螺纹杆顶端圆周外壁套接有转轮。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、通过设置有两个固定滑轨、四个密封滑槽、两个卡块、L型调压芯、复位弹簧、连接板、两个滑块和连接轴，起到了对真空腔进行导气稳压的作用，也提高了真空腔稳压的效率，同时也让稳压工作更加直观和清晰，同时通过设置有压力表，方便了对所需调压大小进行计量观察。

2、通过设置有连接柱、螺纹杆、滑孔、固定架和转轮，有效保持了真空腔内气压的稳定，也满足了不同气压调节的需求。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1为本实用新型的主视结构示意图；

图2为本实用新型的剖视结构示意图；

图3为本实用新型调压机构的结构示意图；

图中：1-安装板；2-主体壳；3-进气通道；4-固定架；5-连接柱；6-转轮；7-压力表；8-出气通道；9-进气口；10-固定滑轨；11-螺纹杆；12-导气室；13-密封滑槽；14-卡块；15-L型调压芯；16-复位弹簧；17-连接板；18-滑块；19-连接轴。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供以下技术方案：包括主体壳2，所述主体壳2底部开有导气室12，且导气室12一侧内壁开有进气口9，所述进气口9内壁通过密封条固定有进气通道3，且导气室12另一侧内壁开有出气口，出气口内壁通过密封条固定有出气通道8，出气通道8顶部外壁通过螺纹固定有压力表7，所述主体壳2靠近导气室12上方的两侧内壁均开有安装槽，且两个安装槽相对一侧外壁均设置有同一个调压机构，主体壳2正面外壁通过螺栓固定有安装板1。

在本实用新型的具体实施例中，当需要对真空腔进行调压时，通过气泵将镀膜气体通过进气通道3导入导气室12内，不断导入导气室12内的镀膜气体将调压机构缓缓顶起，从而使得镀膜气体从出气口中导入出气通道8，并由此注入真空腔内，从而起到了调节真空腔内的气压的作用，而在镀膜气体通过出气通道8时，会通过压力表7进行计量，如此，不仅有利于促进真空腔压力的调节，而且方便了对所需调压大小进行计量观察。

具体的，所述调压机构包括两个固定滑轨10、四个密封滑槽13、两个卡块14、L型调压芯15、复位弹簧16、连接板17、两个滑块18和连接轴19，且两个固定滑轨10相反一侧外壁均焊接于两个安装槽的内壁上，每两个密封滑槽13分别开于两个固定滑轨10的两侧内壁上，两个滑块18分别滑动连接于每两个密封滑槽13内，连接板17两端分别焊接于两个滑块18相对一侧外壁上，复位弹簧16顶端焊接于连接板17底部外壁上，L型调压芯15焊接于复位弹簧16底端外壁上，两个卡块14分别焊接于固定滑轨10靠近两个密封滑槽13之间的外壁上，且两个滑块18底部开有卡槽，卡槽和卡块14相适配，连接轴19焊接于连接板17顶部外壁上。

本实施例中：当镀膜气体进入导气室12时，镀膜气体将L型调压芯15顶起，并使得复位弹簧16压缩形变，同时连接板17两侧的滑块18底部卡槽脱离卡块14，并在固定导轨10内滑动，此时，L型调压芯15向上运动，扩大了导气室12的空间，当L型调压芯15上升到一定位置时，导气室12一侧的出气口打开，镀膜气体就会通过出气口导出，从而起到了对真空腔进行导气稳压的作用，也提高了真空腔稳压的效率，同时也让稳压工作更加直观和清晰。

具体的，所述连接轴19顶部外壁通过螺纹固定有连接柱5，且主体壳2顶部两侧外壁均通过螺栓固定有固定架4，固定架4顶部外壁开有滑孔，滑孔的内壁滑动连接有螺纹杆11，连接柱5顶部外壁开有螺纹孔，所述螺纹杆11底端通过螺纹插于连接柱5内，且螺纹杆11底部外壁与连接轴19顶端相焊接，连接柱5焊接于主体壳2顶部中心外壁上，螺纹杆11顶端圆周外壁套接有转轮6。

本实施例中：通过旋转转轮6可使得螺纹杆11在连接柱5内向下运动，进而可带动连接板向下运动，使得复位弹簧16下方的L型调压芯15向下运动，并使其一端将出气口堵住，从而有效保持真空腔内气压稳定，同时也可对复位弹簧16的高低位置进行调节，进而满足了不同气压调节的需求。

本实用新型的工作原理及使用流程：当需要对真空腔进行调压时，通过气泵将镀膜气体通过进气通道3导入导气室12内，镀膜气体将L型调压芯15顶起，并使得复位弹簧16压缩形变，同时连接板17两侧的滑块18底部卡槽脱离卡块14，并在固定导轨10内滑动，此时，L型调压芯15向上运动，扩大了导气室12的空间，当L型调压芯15上升到一定位置时，导气室12一侧的出气口打开，镀膜气体就会通过出气口导出，从而起到了对真空腔进行导气稳压的作用，同时也可通过旋转转轮6可使得螺纹杆11在连接柱5内向下运动，进而可带动连接板向下运动，使得复位弹簧16下方的L型调压芯15向下运动，并使其一端将出气口堵住，从而有效保持真空腔内气压稳定，同时也可对复位弹簧16的高低位置进行调节，进而满足了不同气压调节的需求。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种靶材溅射镀膜真空腔稳压装置，其特征在于：包括主体壳(2)，所述主体壳(2)底部开有导气室(12)，且导气室(12)一侧内壁开有进气口(9)，所述进气口(9)内壁通过密封条固定有进气通道(3)，且导气室(12)另一侧内壁开有出气口，出气口内壁通过密封条固定有出气通道(8)，出气通道(8)顶部外壁通过螺纹固定有压力表(7)，所述主体壳(2)靠近导气室(12)上方的两侧内壁均开有安装槽，且两个安装槽相对一侧外壁均设置有同一个调压机构，主体壳(2)正面外壁通过螺栓固定有安装板(1)。

2.根据权利要求1所述的一种靶材溅射镀膜真空腔稳压装置，其特征在于：所述调压机构包括两个固定滑轨(10)、四个密封滑槽(13)、两个卡块(14)、L型调压芯(15)、复位弹簧(16)、连接板(17)、两个滑块(18)和连接轴(19)，且两个固定滑轨(10)相反一侧外壁均焊接于两个安装槽的内壁上，每两个密封滑槽(13)分别开于两个固定滑轨(10)的两侧内壁上，两个滑块(18)分别滑动连接于每两个密封滑槽(13)内，连接板(17)两端分别焊接于两个滑块(18)相对一侧外壁上，复位弹簧(16)顶端焊接于连接板(17)底部外壁上，L型调压芯(15)焊接于复位弹簧(16)底端外壁上，两个卡块(14)分别焊接于固定滑轨(10)靠近两个密封滑槽(13)之间的外壁上，且两个滑块(18)底部开有卡槽，卡槽和卡块(14)相适配，连接轴(19)焊接于连接板(17)顶部外壁上。

3.根据权利要求2所述的一种靶材溅射镀膜真空腔稳压装置，其特征在于：所述连接轴(19)顶部外壁通过螺纹固定有连接柱(5)，且主体壳(2)靠近连接柱(5)两侧的顶部外壁均通过螺栓固定有固定架(4)。

4.根据权利要求3所述的一种靶材溅射镀膜真空腔稳压装置，其特征在于：所述连接轴(19)顶部外壁通过螺纹固定有连接柱(5)，且主体壳(2)顶部两侧外壁均通过螺栓固定有固定架(4)，固定架(4)顶部外壁开有滑孔，滑孔的内壁滑动连接有螺纹杆(11)，连接柱(5)顶部外壁开有螺纹孔。

5.根据权利要求4所述的一种靶材溅射镀膜真空腔稳压装置，其特征在于：所述螺纹杆(11)底端通过螺纹插于连接柱(5)内，且螺纹杆(11)底部外壁与连接轴(19)顶端相焊接。

6.根据权利要求5所述的一种靶材溅射镀膜真空腔稳压装置，其特征在于：所述连接柱(5)焊接于主体壳(2)顶部中心外壁上，螺纹杆(11)顶端圆周外壁套接有转轮(6)。

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