JP4877146B2 - 半導体レーザ素子の製造方法 - Google Patents
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Description
以下、本発明の実施の形態1に係る半導体レーザ素子の製造方法について図1のフローチャートに沿って説明する。
本実施の形態では、水素プラズマ処理を行った後、図9に示すように、メサの表面を覆うようにp型InP第1埋込層17a(第1の埋め込み層)を成長温度Tg_p1(第1の成長温度)で形成する。次に、p型InP第1埋込層17a上に、p型InP第2埋込層17b、n型InP電流ブロック層18、p型InP埋込層19及びn型InP埋込層20(第2の埋め込み層)を成長温度Tg_p2(第2の成長温度)で形成してメサの周囲を埋め込む。その他の工程は実施の形態1と同様である。
本実施の形態では、メサの表面を清浄化させる工程において、第1の表面清浄化温度Tcl_1において水素プラズマを用いてメサの表面を清浄化させた(第1清浄化工程)後に、第2表面清浄化温度Tcl_2において水素プラズマを用いてメサの表面を清浄化させる(第2清浄化工程)。その他の工程は実施の形態1と同様である。
12 p型InPクラッド層(半導体積層構造)
13 AlGaInAs下光閉込層(半導体積層構造)
14 AlGaInAs―MQW活性層(半導体積層構造)
15 n型AlGaInAs上光閉込層(半導体積層構造)
16 n型InPクラッド層(半導体積層構造)
17 p型InP埋込層(埋め込み層)
17a p型InP第1埋込層(第1の埋め込み層)
17b p型InP第2埋込層(第2の埋め込み層)
18 n型InP電流ブロック層(埋め込み層)(第2の埋め込み層)
19 p型InP埋込層(埋め込み層)(第2の埋め込み層)
20 n型InP埋込層(埋め込み層)(第2の埋め込み層)
Claims (3)
- 基板上に、Alを含む半導体材料からなる活性層を持つ半導体積層構造を形成する工程と、
前記半導体積層構造をエッチングしてメサを形成する工程と、
水素プラズマを用いて前記メサの表面を清浄化させる工程と、
前記メサの表面を清浄化させた後に前記メサの表面を覆うように埋め込み層を形成する工程とを備え、
前記メサの表面を清浄化させる工程は、
前記メサの側面の酸化層が強固なものに変化する臨界温度よりも低い温度において、前記水素プラズマを用いて前記メサの側面を清浄化させる第1清浄化工程と、
前記第1清浄化工程の後に、前記臨界温度よりも高い温度において、前記水素プラズマを用いて前記メサの側面を清浄化させる第2清浄化工程とを有することを特徴とする半導体レーザ素子の製造方法。 - 前記埋め込み層をMOVPE法により形成することを特徴とする請求項1に記載の半導体レーザ素子の製造方法。
- 前記埋め込み層を形成する工程は、
前記メサの表面を覆うように第1の埋め込み層を第1の成長温度で形成する工程と、
前記第1の埋め込み層の上に第2の埋め込み層を前記第1の成長温度よりも高い第2の成長温度で形成して前記メサの周囲を埋め込む工程とを有することを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体レーザ素子の製造方法。
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