JP4874835B2 - レジスト剥離廃液の再生方法および再生装置 - Google Patents

Description

本発明はレジスト剥離廃液の再生方法および再生装置に関する。

集積回路（ＩＣ）、高集積回路（ＬＳＩ）、超高集積回路（ＶＬＳＩ）等の半導体素子と液晶表示素子などディスプレイ装置を製造するためには多くのフォトエッチング工程およびレジスト剥離工程が反復的に実施され、これによって多量のレジスト剥離廃液が発生する。特に、液晶表示素子などディスプレイ基板面積の急速な大型化によって剥離液の使用量が大幅に増加しており、剥離廃液の再利用に関する要請がますます増大している。

レジスト剥離工程に使用された剥離液廃液はレジスト、水分、いろいろな種類の有機アミン化合物および有機溶媒を含んでいる。従来のこのような剥離液廃液を廃棄処理する方法として焼却処理する方法が一般的であった。しかし、このような方法は焼却ガスを大気中に放出することによって環境に悪い影響を与えるだけでなく、剥離液廃液中の再利用の可能な成分まで廃棄してしまうことになる。このため、経済性の面でも好ましくなく、剥離廃液の再生に関する多くの研究が試みられている。

また、最近、半導体およびディスプレイ製造工程で精密性および特性化がさらに要求されており、各工程に最適なフォトレジストの細分化が行われている。このため、それぞれの剥離工程で使用されるレジスト剥離液も有機アミンの種類、有機溶媒の種類および含有量が細分化されて使用されている。

レジスト剥離廃液の再生に対する試みの一例として特許文献１には、アルカノールアミン、有機溶媒およびレジストを含有するレジスト剥離廃液を再生するレジスト剥離廃液の再生装置であって、分画分子量１００〜１５００の膜を有し、前記レジスト剥離廃液を前記膜を用いて濃縮液と透過液に分離する膜分離装置と、前記透過液を貯油し、前記透過液中のアルカノールアミンおよび有機溶媒の濃度を調整するための濃度調整槽と、前記濃度調整槽にアルカノールアミンを供給するアルカノールアミン供給手段と、前記濃度調整槽に有機溶媒を供給する有機溶媒供給手段とを備えるレジスト剥離廃液の再生装置を開示している。この再生装置では、レジスト剥離廃液に含まれているアルカノ−ルアミンと有機溶媒はナノ膜を通過し、レジストは通過しない性質を利用して剥離液を再生する方法を採用している。

また、これとは別に、レジスト剥離廃液の再生に関するいろいろな試みが進められているが、特化されたアミン化合物を使用するそれぞれ細分化されたフォトエッチング及び剥離工程で発生した剥離廃液において、有機溶媒といろいろな種類のアミン化合物とを一度に分離・再生することは容易でない。また、半導体およびディスプレイ製造工程でいろいろな種類のレジストと剥離液とが使用される場合に、有機溶媒といろいろな種類のアミン化合物を一度に分離するために、既存のレジスト剥離液の再生方法では限界があり、レジスト剥離廃液中のレジスト、水分および有機アミン化合物を除去して有機溶媒のみを経済的に再生することができる方法がさらに要請されている。
大韓民国特許出願第１０−２００２−００７５２３５号

このような従来の技術の問題点を解決するために、本発明はレジスト剥離液に含まれているアミン化合物の種類に関係なく、高価の有機溶媒を再生してレジスト剥離液として再使用することによって、製造コストを低減することができるとともに、レジスト剥離廃液による環境汚染を低減させることができるレジスト剥離廃液の再生方法および再生装置を提供することを目的とする。

本発明の他の目的は、いろいろな特化されたアミン化合物を含む剥離液を使用する剥離工程と、いろいろな種類のレジストと剥離液が使用される場合にレジスト剥離廃液を経済性良く同時に再生するのに適したレジスト剥離廃液の再生方法および再生装置を提供することにある。

前記目的を達成するために、本発明は、
水、レジスト、アミン化合物、有機溶媒を含むレジスト剥離廃液を再生する方法であって、
（ａ）レジスト剥離廃液のアミン化合物と反応して、アミン化合物が有機溶媒蒸留時に蒸留されないアミン−酸化合物を形成する酸を添加する工程；および
（ｂ）前記（ａ）工程の反応物を分別蒸留して有機溶媒のみを収得する工程
を含むことを特徴とするレジスト剥離廃液の再生方法を提供する。

また、本発明は、
（ａ）水、レジスト、アミン化合物、有機溶媒を含む被処理レジスト剥離廃液貯蔵槽；
（ｂ）酸貯蔵槽；
（ｃ）前記被処理レジスト剥離廃液貯蔵槽から移送された剥離廃液に前記酸貯蔵槽から移送された酸を添加して剥離廃液のアミン化合物を酸と反応させる反応槽；
（ｄ）前記反応槽から移送された剥離廃液を分別蒸留する蒸留槽；および
（ｅ）前記分別蒸留槽で分別蒸留された有機溶媒を捕集して貯蔵する有機溶媒貯蔵槽
を含むことを特徴とするレジスト剥離廃液再生装置を提供する。

本発明によるレジスト剥離液再生方法および再生装置は、レジスト剥離液に含まれているアミン化合物の種類に関係なく、高価の有機溶媒を再生してレジスト剥離液として再使用することによって、製造コストを低減することができるとともに、レジスト剥離廃液による環境汚染を低減させることができ、特に、種々の特化されたアミン化合物を含む剥離液を使用する剥離工程において、種々のレジストと剥離液とが使用される場合に、レジスト剥離廃液を経済性良く同時に再生するのに適するという効果がある。

以下、本発明を詳細に説明する。
本発明者は、既存のレジスト剥離廃液の再生方法では、アミン化合物と有機溶媒との混合物が収集されるため、いろいろな特化されたアミン化合物を含む剥離液をいろいろな種類のレジストの剥離のために使用した場合に、レジスト剥離廃液を再生しても、実際に使用しようとする剥離液とは、必要とするアミン化合物が異なることがあり、このような再生した混合物は、剥離液として使用することができないのを発見し、必要な組成で、レジスト剥離廃液を再生する方法を研究していたところ、経済的な方法で、レジスト剥離廃液中のレジスト、水分およびアミン化合物を除去し、有機溶媒のみを捕集することにより、再びそれぞれの特化された剥離液に適したアミン化合物を、再生された有機溶媒に添加してレジスト剥離液を製造することができ、上記の全ての問題点が解決されることができるのを確認し、本発明を完成するに至った。

本発明は水、レジスト、アミン化合物、有機溶媒を含むレジスト剥離廃液を再生する方法にであって、（ａ）レジスト剥離廃液にアミン化合物と反応し、アミン化合物が有機溶媒蒸留時に蒸留されないアミン−酸化合物を形成する酸を添加する工程；および（ｂ）前記（ａ）工程の反応物を分別蒸留して有機溶媒のみを採取する工程を含むことを特徴とする。
前記レジスト剥離廃液は、剥離液が使用されるそれぞれの工程によって、いろいろな種類のアミン化合物またはいろいろな種類の有機溶媒を含んでいてもよい。
前記アミン化合物は、第１級、２級または３級アミンのいずれでもよく、脂肪族アミン、脂環族アミン、芳香族アミン、ヘテロサイクリックアミン、ヒドロキシルアミンのいずれであってもよい。

前記有機溶媒は、グリコール類のエチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノフェニルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノプロピルエーテル、またはジプロピレングリコールモノブチルエーテルを含むことができ、ジメチルスルホキシド、ジメチルアセトアミド、ジメチルホルムアミド、ジメチルイミダゾリジノン、スルホラン、またはＮ−メチルピロリドンのようなアルキルピロリドンを含むことができる。

本発明のレジスト剥離廃液の再生方法における前記（ａ）工程で使用される酸は、剥離廃液中のアミン化合物と反応し、剥離廃液のアミン化合物が有機溶媒蒸留時に蒸留されないアミン−酸化合物を形成するような酸であれば特に限定されず、安息香酸、クエン酸、蟻酸、マレイン酸、リンゴ酸、サリチル酸、酒石酸、酢酸、シュウ酸、燐酸、硝酸、塩酸、硫酸および過塩素酸などが挙げられる。これらは単独でまたは混用して使用することができる。使用量は、少なくとも剥離廃液に含まれているアミン化合物の当量と同一であるか、その当量以上であることが適しており、残留する（未反応の）アミン化合物がないように過量の酸を添加することが好ましい。また、酸は、有機溶媒分別蒸留時に、酸とアミンとの反応物、残存する酸が混合しないような酸を使用するのが好ましい。

前記（ａ）工程によって、被処理レジスト剥離廃液の成分は、レジスト、水分、アミンと酸の反応物、残存する酸および有機溶媒を含むようになる。
本発明のレジスト剥離廃液の再生方法は（ｂ）工程として、前記（ａ）工程の反応物を分別蒸留して有機溶媒のみを捕集する工程を含む。本工程で分別蒸留によって水分と酸および有機溶媒が分別蒸留されて有機溶媒のみを捕集することができ、蒸留されないレジストと酸とアミンの反応物は別途に分離される。

前記分別捕集された有機溶媒は凝縮器によって再び液体化することができ、前記有機溶媒に特別に要請されるアミン化合物を添加して再び剥離液として再使用することができるようになる。
本発明の剥離廃液再生方法は、アミン化合物の種類に関係なく、高価の有機溶媒を再生してレジスト剥離液として再使用することによってレジスト剥離廃液による環境汚染を低減することができる。また、高価の有機溶媒を再使用することによってさらに費用を節減することができる。

実施の形態１
以下、本発明の具体的な一実施形態として、酸成分として酢酸を使用していろいろなレジスト剥離工程で発生したＭＥＡ（モノエタノールアミン）、ＭＩＰＡ（モノイソプロパノールアミン）、ｎＭＥＡ（ｎ−メチルエタノールアミン）を含むアミン化合物、グリコールおよびアルキルピロリドンを含む有機溶媒、水分およびレジストから構成された剥離廃液を再生する方法を説明する。

ＭＥＡ、ＭＩＰＡ、ｎ−ＭＥＡを含むアミン化合物、グリコールおよびアルキルピロリドンを含む有機溶媒、水分およびレジストから構成された剥離廃液に前記アミン化合物の総当量より過量の酢酸を添加する。酢酸が添加されると、酢酸はアミン化合物と反応してアミン−酢酸反応物を生成し、反応に関与しない酢酸は剥離廃液に液体状態で残留する。

その後、レジスト、アミン−酢酸反応物、水分、反応に関与せずに残存する酢酸、有機溶媒の混合物は分別蒸留によって、水分が一番先に蒸留され、その次に酢酸が蒸留され、さらにその次に有機溶媒のグリコールとアルキルピロリドンが蒸留されされ、残留するレジストおよびアミン−酢酸反応物と分離される。これにより、目的する有機溶媒のみを捕集することができる。
その後、捕集された有機溶媒に、特別に要請されるアミン化合物のＭＥＡ、ＭＩＰＡまたはｎ−ＭＥＡなどを選択的に添加して剥離液として再使用することができる。

実施の形態２
また、以下に本発明の具体的な一実施形態として、酸成分としてシュウ酸（Ｃ₂Ｈ₂Ｏ₄）を使用していろいろなレジスト剥離工程で発生したＭＥＡ、ＭＩＰＡ、ｎ−ＭＥＡを含むアミン化合物、グリコールおよびアルキルピロリドンを含む有機溶媒、水分およびレジストから構成された剥離廃液を再生する方法を説明する。前記シュウ酸は常温で２水和物として存在するので、シュウ酸２水和物（Ｃ₂Ｈ₂Ｏ₄Ｈ₂Ｏ）を使用する。

ＭＥＡ、ＭＩＰＡ、ｎ−ＭＥＡを含むアミン化合物、グリコールおよびアルキルピロリドンを含む有機溶媒、水分およびレジストから構成された剥離廃液に、前記アミン化合物の総当量より過量のシュウ酸２水和物を添加する。
シュウ酸２水和物が添加されると、シュウ酸２水和物は、アミン化合物と反応してアミン−シュウ酸反応物を生成し、反応に関与しないシュウ酸２水和物は剥離廃液に残留する。

その後、レジスト、アミン−シュウ酸反応物、水分、反応に関与せずに残存するシュウ酸２水和物、有機溶媒の混合物は、分別蒸留によって、水分及びシュウ酸２水和物が分解されたホルム酸、二酸化炭素、一酸化炭素が先に蒸留され、その次に有機溶媒のグリコールとアルキルピロリドンとが蒸留され、残留するレジストおよびアミン−シュウ酸反応物および分解されないシュウ酸２水和物と分離され、目的する有機溶媒のみを捕集することができる。

その後、捕集された有機溶媒に、特別に要請されるアミン化合物のＭＥＡ、ＭＩＰＡまたはｎ−ＭＥＡなどを選択的に添加して剥離液として再使用することができる。
実施の形態３
本発明のレジスト剥離廃液再生装置は、（ａ）水、レジスト、アミン化合物、有機溶媒を含む被処理レジスト剥離廃液貯蔵槽；（ｂ）酸貯蔵槽；（ｃ）前記被処理レジスト剥離廃液貯蔵槽から移送された剥離廃液に前記酸貯蔵槽から移送された酸を添加して剥離廃液のアミン化合物を酸と反応させる反応槽；（ｄ）前記反応槽から移送された剥離廃液を分別蒸留する蒸留槽；および（ｅ）前記分別蒸留槽で分別蒸留された有機溶媒を捕集して貯蔵する有機溶媒貯蔵槽を含む。

以下、本発明のレジスト剥離廃液再生装置の一実施形態である図１に示された模式図によって、本発明を具体的に説明する。
まず、それぞれのレジスト剥離工程で回収された被処理レジスト剥離液は、被処理レジスト剥離廃液貯蔵槽１０に貯蔵される。前記被処理レジスト剥離廃液はレジスト、ＭＥＡ、ＭＩＰＡ、ｎ−ＭＥＡなどのいろいろな種のアミン化合物、水分および有機溶媒を含む。前記被処理レジスト剥離廃液貯蔵槽１０に貯蔵された被処理レジスト剥離廃液はポンプ１１を通じて配管に沿って反応槽３０に移送される。前記剥離廃液の移送時に剥離廃液の量を調節するために配管の所定の部分に自動調節バルブ１２を備えることができる。また、レジスト剥離廃液に含まれているアミン化合物と反応する酸を貯蔵する酸貯蔵槽２０が別途に備えられる。前記酸は酢酸またはシュウ酸二水和物が好ましい。前記酸貯蔵槽２０から、酸はポンプ２１を通じて配管に沿って反応槽３０に移送される。前記剥離廃液の移送時に酸の量を調節するために配管の所定の部分に自動調節バルブ２２を備えることができる。移送された酸の量は、剥離廃液に含まれているアミン化合物の総当量と同一か、過量で移送するのが好ましい。

被処理レジスト剥離廃液貯蔵槽１０から移送された剥離廃液と酸貯蔵槽２０から移送された酸は、反応槽３０で反応して、アミン−酸反応物（一例にアミン−酢酸反応物またはアミン−シュウ酸反応物）を形成し、反応に関与しない酸は、剥離廃液にそのまま存在する。この時、剥離廃液にはレジスト、酸−塩基反応物、水分、反応に関与しない酸、有機溶媒を含む。

前記反応が完結した剥離廃液は、反応槽３０からポンプ３１を通じて配管に沿って蒸留槽４０に移送される。前記剥離廃液の移送時に剥離廃液の量を調節するために配管の所定の部分に自動調節バルブ３２を備えることができる。
蒸留槽４０では、温度上昇によって剥離廃液に含まれている成分が分別蒸留されて捕集される。好ましくは、前記蒸留槽４０は水分を捕集するための１次蒸留槽４３、酸を捕集するための２次蒸留槽４４、有機溶媒を捕集するための３次蒸留槽４５、残留成分排出槽４６に分けて設置することができる。

酸として酢酸を使用する場合、剥離廃液内に含まれている水分は１次蒸留槽４３を通じて捕集され、反応に関与しない酢酸は２次蒸留槽４４を通じて捕集され、有機溶媒は３次蒸留槽４５を通じて捕集され、レジストとアミン−酢酸の反応物は蒸留されず残留成分排出槽４６に排出することができる。
好ましくは、前記蒸留槽４０は減圧装置４７を別途に備えることができる。この場合、蒸留温度を低下させることができるため、好ましい。

前記３次蒸留槽４５を通じて捕集された有機溶媒は、有機溶媒貯蔵槽５０に移送される。前記有機溶媒貯蔵槽５０は凝縮器５３を備え、捕集された有機溶媒を液体状態にすることができる。
前記有機溶媒貯蔵槽５０には所定のアミン化合物を添加できるアミン化合物槽６０が連結されているのが好ましく、所定のアミン化合物の添加によって個別レジスト剥離工程に適したアミン化合物のみを添加して、再生剥離液を製造することができる。

以下、本発明の理解のために好ましい実施例を提示するが、下記の実施例は本発明を例示するものに過ぎず、本発明の範囲が下記の実施例に限定されるわけではない。
実施例１
いろいろなレジスト剥離工程で収去されたレジスト３重量部、アミン化合物ＭＥＡ５重量部、ＭＩＰＡ５重量部、ｎ−ＭＥＡ５重量部、水分１０重量部、有機溶媒７２重量部（グリコール５０重量部およびアルキルピロリドン２２重量部）を含む剥離廃液に酢酸１０重量部を添加してアミン−酢酸化合物を形成した。

前記アミン−酢酸化合物が形成された剥離廃液を分別蒸留して、水分と残留する酢酸および有機溶媒を順次に捕集し、残留するレジストとアミン−酢酸を分離排出した。
前記捕集された有機溶媒を冷却して液体化し、液体化された有機溶媒の成分を分析した結果、有機溶媒１００重量部中のグリコールが６１．４重量部、アルキルピロリドンが３８．６重量部であり、水分は０．１重量部未満、総アミン化合物０．１重量部未満であり、樹脂は検出されなかった。

実施例２
いろいろなレジスト剥離工程で収去されたレジスト３重量部、アミン化合物ＭＥＡ４重量部、ＭＩＰＡ４重量部、ｎ−ＭＥＡ４重量部、水分２０重量部、有機溶媒６５重量部（グリコール４５重量部およびアルキルピロリドン２０重量部）を含む剥離廃液に酢酸８重量部を添加してアミン−酢酸化合物を形成した。
前記アミン−酢酸化合物が形成された剥離廃液を分別蒸留して、水分と残留する酢酸および有機溶媒を順次に捕集し、残留するレジストとアミン−酢酸を分離排出した。
前記捕集された有機溶媒を冷却して液体化し、液体化された有機溶媒の成分を分析した結果、有機溶媒１００重量部中のグリコールが６１．８重量部、アルキルピロリドンが３８．２重量部であり、水分は０．１重量部未満、総アミン化合物０．１重量部未満であり、樹脂は検出されなかった。

実施例３
いろいろなレジスト剥離工程で収去されたレジスト２重量部、アミン化合物ＭＥＡ２重量部、ＭＩＰＡ２重量部、ｎ−ＭＥＡ２重量部、水分４０重量部、有機溶媒５２重量部（グリコール３６重量部およびアルキルピロリドン１６重量部）を含む剥離廃液に酢酸４重量部を添加してアミン−酢酸化合物を形成した。
前記アミン−酢酸化合物が形成された剥離廃液を分別蒸留して、水分と残留する酢酸および有機溶媒を順次に捕集し、残留するレジストとアミン−酢酸を分離排出した。
前記捕集された有機溶媒を冷却して液体化し、液体化された有機溶媒の成分を分析した結果、有機溶媒１００重量部中のグリコールが５８．９重量部、アルキルピロリドンが４１．１重量部であり、水分は０．１重量部未満、総アミン化合物０．１重量部未満であり、樹脂は検出されなかった。

実施例４
いろいろなレジスト剥離工程で収去されたレジスト３重量部、アミン化合物ＭＥＡ５重量部、ＭＩＰＡ５重量部、ｎ−ＭＥＡ５重量部、水分１０重量部、有機溶媒７２重量部（グリコール５０重量部およびアルキルピロリドン２２重量部）を含む剥離廃液にシュウ酸２水和物１０．６重量部を添加してアミン−シュウ酸化合物を形成した。

反応に関与しないシュウ酸２水和物は、剥離廃液に固形分として残っていた。
前記アミン−シュウ酸化合物が形成された剥離廃液を分別蒸留して、水分とホルム酸、一酸化炭素、二酸化炭素などのシュウ酸の分解された物質と有機溶媒を捕集し、残留するレジストとアミン−シュウ酸および分解されないシュウ酸２水和物を分離排出した。

前記捕集された有機溶媒を冷却して液体化し、液体化された有機溶媒の成分を分析した結果、有機溶媒１００重量部中のグリコールが６２．２重量部、アルキルピロリドンが３７．８重量部であり、水分は０．１重量部未満、総アミン化合物０．１重量部未満であり、樹脂は検出されなかった。

実施例５
いろいろなレジスト剥離工程で収去されたレジスト３重量部、アミン化合物ＭＥＡ４重量部、ＭＩＰＡ４重量部、ｎ−ＭＥＡ４重量部、水分２０重量部、有機溶媒６５重量部（グリコール４５重量部およびアルキルピロリドン２０重量部）を含む剥離廃液にシュウ酸２水和物８．５重量部を添加してアミン−シュウ酸化合物を形成した。

反応に関与しないシュウ酸２水和物は剥離廃液に固形分として残っていた。
前記アミン−シュウ酸化合物が形成された剥離廃液を分別蒸留して、水分とホルム酸、一酸化炭素、二酸化炭素などのシュウ酸の分解された物質と有機溶媒を捕集し、残留するレジストとアミン−シュウ酸および分解されないシュウ酸２水和物を分離排出した。
前記捕集された有機溶媒を冷却して液体化し、液体化された有機溶媒の成分を分析した結果、有機溶媒１００重量部中のグリコールが５８．３重量部、アルキルピロリドンが４１．７重量部であり、水分は０．１重量部未満、総アミン化合物０．１重量部未満であり、樹脂は検出されなかった。

実施例６
いろいろなレジスト剥離工程で収去されたレジスト２重量部、アミン化合物ＭＥＡ２重量部、ＭＩＰＡ２重量部、ｎ−ＭＥＡ２重量部、水分４０重量部、有機溶媒５２重量部（グリコール３６重量部およびアルキルピロリドン１６重量部）を含む剥離廃液にシュウ酸２水和物４．３重量部を添加してアミン−シュウ酸化合物を形成した。

反応に関与しないシュウ酸２水和物は剥離廃液に固形分として残っていた。
前記アミン−シュウ酸化合物が形成された剥離廃液を分別蒸留して、水分とホルム酸、一酸化炭素、二酸化炭素などのシュウ酸の分解された物質と有機溶媒を捕集し、残留するレジストとアミン−シュウ酸および分解されないシュウ酸２水和物を分離排出した。

前記捕集された有機溶媒を冷却して液体化し、液体化された有機溶媒の成分を分析した結果、有機溶媒１００重量部中のグリコールが６２．８重量部、アルキルピロリドンが３７．２重量部である、水分は０．１重量部未満、総アミン化合物０．１重量部未満であり、樹脂は検出されなかった。

本発明の一実施形態によるレジスト剥離廃液再生装置の模式図である。

符号の説明

１０ 被処理レジスト剥離廃液貯蔵槽
１１ ポンプ
１２ 自動調節バルブ
２０ 酸貯蔵槽
２１ ポンプ
２２ 自動調節バルブ
３０ 反応槽
３１ ポンプ
３２ 自動調節バルブ
４０ 蒸留槽
４３ １次蒸留槽
４４ ２次蒸留槽
４５ ３次蒸留槽
４６ 残留成分排出槽
４７ 減圧装置
５０ 有機溶媒貯蔵槽
５３ 凝縮器
６０ アミン化合物槽

Claims (6)

1. 水、レジスト、アミン化合物、有機溶媒を含むレジスト剥離廃液を再生する方法であって、
   （ａ）レジスト剥離廃液のアミン化合物と反応し、アミン化合物が有機溶媒蒸留時に蒸留されないアミン−酸化合物を形成する酸を添加する工程；および
   （ｂ）前記（ａ）工程の反応物を分別蒸留して有機溶媒のみを収得する工程
   を含むことを特徴とするレジスト剥離廃液の再生方法。
2. 前記酸の添加量は、剥離廃液に含まれているアミン化合物と同当量以上である請求項１に記載のレジスト剥離廃液の再生方法。
3. 前記酸は、安息香酸、クエン酸、蟻酸、マレイン酸、リンゴ酸、サリチル酸、酒石酸、酢酸、シュウ酸、燐酸、硝酸、塩酸、硫酸および過塩素酸からなる群より選択される１種以上の化合物である請求項１に記載のレジスト剥離廃液の再生方法。
4. （ａ）水、レジスト、アミン化合物、有機溶媒を含む被処理レジスト剥離廃液貯蔵槽；
   （ｂ）酸貯蔵槽；
   （ｃ）前記被処理レジスト剥離廃液貯蔵槽から移送された剥離廃液に前記酸貯蔵槽から移送された酸を添加して剥離廃液のアミン化合物を酸と反応させる反応槽；
   （ｄ）前記反応槽から移送された剥離廃液を分別蒸留する蒸留槽；および
   （ｅ）前記分別蒸留槽で分別蒸留された有機溶媒を捕集して貯蔵する有機溶媒貯蔵槽
   を含むことを特徴とするレジスト剥離廃液再生装置。
5. 前記蒸留槽は、水分を捕集するための１次蒸留槽、酸を捕集するための２次蒸留槽、有機溶媒を捕集するための３次蒸留槽を含む請求項４に記載のレジスト剥離廃液再生装置。
6. 前記蒸留槽は減圧装置を備える請求項４に記載のレジスト剥離廃液再生装置。

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